CN101084554A - 包含聚合物微米纤维元件的电子封装过滤器 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种用于电子封装件内部的过滤组合件，所述电子封装件例如是含旋转盘的硬盘驱动器封装件。该过滤组合件提供对电子封装件内空气过滤，并任选对进入该电子封装件的空气进行过滤。因此，本发明部分涉及用于电子封装件的过滤组合件，该过滤组合件包括除微粒介质。在一些实施方式中，除微粒介质包括含疏水性添加剂和至少一种聚合物的细纤维层。在某些实施情况，所述聚合物包含两种或更多种聚合物的掺混物。

Description

包含聚合物微米纤维元件的电子封装过滤器
本申请是于2005年11月9日以Donaldson股份有限公司(美国公司，指定除美国以外的所有国家的申请人)和Mark A.Gogins等人(只指定美国的申请人)的名义提交的PCT国际专利申请，并要求2004年11月9日提交的美国临时专利申请No.60/626,824的优先权。
发明背景
硬盘驱动器是涂覆了磁性材料的刚性盘在其中高速旋转的封装件。磁读/写头在高于该刚性盘仅几微米的空气垫上“飞行(fly)”。要求磁头定位在尽可能靠近盘但不与盘接触，以提供高效的硬盘驱动器。
已经发现，微粒和气态污染物会降低硬盘驱动器的效率和寿命。盘驱动器中普通污染物来源包括有意或无意的泄漏物；可含有某些污染物的制造环境；以及结合在盘驱动器中释放微粒和气体的物质。
再循环过滤器已用于硬盘驱动器和其它电子封装件，用以除去污染物，这种过滤器能有效除去微粒污染物。某些再循环过滤器包含静电介质，用来收集和保留微粒污染物。然而，在某些硬盘驱动器所处于的高温下，这种静电介质会降解。这些问题对处于升高温度的环境的盘驱动器如安装在汽车或可移动设备中盘驱动器尤为明显。
因此，需要能用于电子封装件的改进的再循环过滤器、改进的过滤器介质。
发明概述
本发明涉及一种在诸如包含旋转盘的硬盘驱动器的电子封装件内部使用的过滤组合件。该过滤组合件能过滤电子封装件内的空气，并任选过滤进入电子封装件的空气。
因此，本发明部分涉及用于电子封装件的过滤组合件，该过滤组合件包含除微粒介质。在某些实施方式中，除微粒介质包括含疏水性添加剂和至少一种聚合物的细纤维层。在某些实施方式中，所述聚合物包含两种或更多种聚合物的掺混物。
在某些实施情况，细纤维层包含由两种聚合物树脂的掺混物形成的纤维，该纤维直径为0.01-0.5微米。合适的细纤维层可以制成不同的厚度，可以包含多个厚度小于约30微米的层。这种薄层因细纤维能高效捕集微粒而是可能的，与现有的各种过滤介质相比能够在减小的阻力下有效捕集微粒。在某些实施情况，细纤维层的厚度小于约20微米。
除了微粒过滤介质外，过滤组合件可含有吸附材料。合适的吸附材料包括例如活性炭。过滤介质还可以包括织造或非织造的基层。合适的基层包括玻璃、聚合物、金属和它们的组合。
在某些实施方式中，过滤介质具有在承受高温和高湿度的复杂环境中的优良耐久性。例如，在一些实施方式中，细纤维介质在置于约140温度和相对湿度约为100％的空气流时维持16小时以上，约大于50％的纤维保持完好。这种条件，尤其是高湿度条件是包含盘驱动器的常规电子封装件不大可能经历的。但是，在这种极端条件下具有耐久性是有利的，因为这种耐久性也表明在不大极端条件下盘驱动器内的耐久性，微粒过滤器介质即使发生相对一般的降解的情况也会有损于驱动器的功能。
本发明的特定实施情况涉及用于电子封装件的过滤组合件，该过滤组合件包括含细纤维层的除微粒介质和基重约为8-200g/m2的基层。细纤维可包含疏水性添加剂和聚合物的混合物，所述聚合物包括至少两种不同聚合物的掺混物，所述细纤维的纤维尺寸约为0.01-0.5微米。在某些实施方式中，置于140和100％相对湿度的空气中1-16小时后，至少50％的细纤维基本上保持不变。在一些实施情况，细纤维层包含疏水性添加剂和包括丙烯酸类聚合物的聚合物的混合物。细纤维层可以由例如聚合物树脂和交联剂的反应产物形成。
以上对本发明的概述的意图并不是描述所讨论的本发明的每一个实施方式。本发明的每一实施方式由附图和下面的详细描述来说明。
附图简述
结合以下附图可以更完整地理解本发明，附图中：
图1所示是按照本发明构造和设置的基本过滤组合件的透视图。
图2是图1所示的过滤组合件沿A-A’线的截面图。
图3是按照本发明制造的多层过滤组合件的截面图，该过滤组合件包含吸附材料。
虽然容许本发明有各种变动和其它形式，本发明的细节已通过举例和附图示出，并将进行详细描述。但是，应理解，本发明不限于所述的特定实施方式。相反，本发明覆盖了在本发明的精神和范围之内的变动、等价体和替换体。
发明详述
本发明提供一种包含改进的过滤介质的过滤组合件，该过滤组合件用于电子封装件，以除去微粒污染物。这种过滤介质改进了物理稳定性和化学稳定性，使这种过滤介质很适合用于预期在升高的温度下运行的电子封装件。
本发明还涉及一种放置在盘驱动器封装件内的过滤器构件。这种过滤器构件的结构为能从封装件内的空气或进入封装件的空气或这两种空气中除去有形的污染物，如微粒。由于操作温度升高，静电介质的效率下降。本发明的介质所提供的机械过滤很少受明显高于对新的盘驱动应用的运行所估计的高温的温度的影响。
本发明的过滤介质在试图除去较小微粒时也能提供较好的效率。提高的效率因为盘驱动器的读-写头在盘上的“飞行高度”的下降而变得日益重要。
本发明还涉及其中具有过滤器结构的盘驱动器组合件。这种盘驱动器组合件包括封装件、安装在封装件内的可旋转盘以及过滤器结构。这种过滤器构件位于封装件内，包括位于气流中的外壳和该外壳中的第一过滤器部分，所述气流在盘驱动器封装件内流动。
下面，参见附图详细描述本发明的实施方式，所有附图中，相同标号在这些视图中代表类似的部分和组件。术语“吸附”、“吸附剂”等应理解为涵盖吸附和吸收两种现象和两种材料。虽然所述过滤组合件能过滤其它流体，但采用从空气中过滤污染物进行说明。
参见图1，图1示出按照本发明构造的过滤组合件10的透视图。该过滤组合件10包括再循环过滤元件12。再循环过滤元件12具有边缘部分14，其构造成固定在框架或其它安装装置上，使过滤元件能够让空气流动通过其内部。过滤元件12的外表面16和18包含有特别适合捕集小微粒的过滤介质。
图2所示是图1的过滤组合件10沿A-A′线的截面图。具体地，图3显示过滤组合件10的整个截面。在图3所示的实施方式中，过滤组合件的内部20还包含吸附材料22，如活性炭。
需要时过滤组合件还可以具有另外多个层，这些层可以不同于顶层和底层。例如，过滤组合件可限于仅在一侧具有微粒吸附层的吸附材料，在另一侧有另外的能防止吸附材料逃逸但基本上不除去微粒的层。
下面进一步描述用来形成本发明的过滤组合件的材料。
微粒除去层
每个过滤组合件10包含至少一种微粒除去层或微粒过滤层。合适的材料包括在美国专利No.6,743,273中揭示的那些材料，该专利全文参考结合于此。本文揭示的过滤介质明显提高了对热、湿度、高流速、亚微米微粒以及其它苛刻条件的不利作用的耐受性。微米纤维和纳米纤维的性能得到改进是改善了形成微米纤维和纳米纤维的聚合物材料的特性的结果。
此外，本发明的过滤介质18使用了本发明的改进的聚合物材料，因此提供许多有利特征，包括较高效率、较低流动限制、在磨料微粒存在下的高耐久性(相关或与环境相关的应力)以及不含散纤维或原纤的光滑外表面。过滤介质的总体结构提供了总体较薄的介质，较薄的介质能够提高单位体积的介质面积，提高介质效率和降低对流动的限制。
可用于电子封装件的过滤介质可包括微米纤维和纳米纤维组合物。纳米纤维是直径小于200纳米或0.2微米的纤维。微米纤维是直径大于0.2微米，但不大于10微米的纤维。这种过滤介质可以制成改进的细纤维层的多层微米过滤介质结构的形式。本发明的细纤维层可以包含无规分布的细纤维，这些纤维可以粘结形成互锁的网。主要由于细纤维阻挡微粒通过而获得过滤性能。
在过滤组合件的过滤介质中所使用纤维的刚性、强度、成褶性等结构性质可以由粘合细纤维的基层来提供。细纤维互锁的网结构的重要特征是细纤维为微米纤维或纳米纤维形式，并且纤维之间的间距相对较小。所述纤维之间的间距通常在约0.01-25微米范围，或经常是约0.1-10微米。
本发明一种理想的细纤维过滤介质是一种聚合物掺混物，该掺混物包含第一聚合物和不同的第二聚合物(聚合物类型、分子量或物理性质不同)，可以在升高温度下进行调节或处理。该聚合物掺混物可以反应形成单一类的化学物质或者可以通过退火工艺物理混合为掺混的组合物。退火意味着物理变化，象结晶度、应力松弛或取向。优选的材料能化学反应为单一类的聚合物，使差式扫描量热计分析显示为单一聚合物材料。这种材料与优选的添加材料混合，可以在微米纤维上形成添加剂表面涂层，提供在处于高温、高湿度和难操作的条件下的疏油性、疏水性或其它相关改进的稳定性。
这种类型材料的过滤用细纤维的直径为2微米至小于0.01微米。这种微米纤维具有光滑的表面，表面上包含添加材料的不连续层或添加材料的外涂层，所述添加材料部分溶解在聚合物表面或在聚合物表面形成合金，或者两种情况都存在。
适用于掺混的聚合物体系的材料包括：尼龙6；尼龙66；尼龙6-10；尼龙6-66-610共聚物和其它一般为线型脂族尼龙组合物。通过端基滴定，分析了合乎需要的尼龙共聚物树脂(SVP-651)的分子量(J.E.Walz和G.B.Taylor，determination of the molecular weight of nylon(尼龙的分子量测定)，Anal.Chem.Vol.19，Number 7，第448-450页(1947))。数均分子量(Wn)为21,500-24,800。由三组分尼龙的熔融温度相图估算其组成，尼龙6约45％，尼龙66约20％，尼龙610约25％。(第286页，Nylon Plastics Handbook(尼龙塑料手册)，Melvin Kohan ed.Hanser Publisher，New York(1995))。
在使用这些聚合物体系制备过滤介质时可使用水解度为87-99.9+％的聚乙烯醇。这些聚合物可任选交联，如与较大量的疏油性和疏水性添加剂材料发生交联并结合。
本发明的另一种理想方式涉及与添加剂组合物组合的单一聚合物材料，以提高纤维寿命或操作性能。能用于本发明这一方面的优选聚合物包括尼龙聚合物、聚偏二氯乙烯聚合物、聚偏二氟乙烯聚合物、聚乙烯醇聚合物，特别是在与强疏油性和疏水性添加剂组合时列出的那些聚合物材料，能形成具有以涂层形式形成在细纤维表面上的添加剂材料的微米纤维或纳米纤维。而且，类似聚合物掺混物，如类似尼龙掺混物、类似的聚氯乙烯聚合物、聚偏二氯乙烯聚合物的掺混物能用于本发明。
此外，预期不同聚合物的聚合物掺混物或合金也可用作电子封装件中的过滤介质。在这点上，聚合物的相容混合物可用于形成微米纤维材料。可以使用添加剂组合物，如含氟表面活性剂、非离子表面活性剂、低分子量树脂，如，分子量小于约3000的叔丁基苯酚树脂。这种树脂的特性是在没有亚甲基桥连基团存在下苯酚核之间的低聚键合。羟基和叔丁基可以任意位于环周围。苯酚核之间的连接几乎都连接到羟基而不是任意的方式。类似地，聚合物材料可以和双酚A形成的醇溶性非线型聚合树脂组合。这种材料类似于上述叔丁基苯酚树脂，因为这种材料是利用在没有任何桥连基团如亚烷基或亚甲基的条件下直接连接芳环与芳环的低聚键合形成的。
本发明的特定过滤材料包括尺寸约为2-0.01微米的微米纤维材料。一种特定的合乎需要的纤维尺寸范围为0.05-0.5微米。这种纤维提供了优良的过滤活性，容易进行反向脉冲(back pulse)清洁以及其它方面。
形成过滤元件后，元件的一个重要参数是其对热、湿度或两者作用的耐受性。本发明的过滤介质的一个方面是测试过滤介质浸在热水中能持续一定时间的能力。该浸入测试能提供有关细纤维能经受得住热和潮湿条件的有价值的信息。
另一种具有细纤维过滤结构的合适过滤材料包括双层或多层结构，其中，过滤器包含一层或多层的细纤维层，所述细纤维层与一种或多种合成的纤维素或掺混的卷材组合或被所述卷材分隔。另一种任选的模式是在其它纤维的基质或者掺混物中包含细纤维的结构。
我们认为，过滤结构中的纤维和微米纤维层的重要特性与耐温性、耐湿或水分性以及耐溶剂性相关，特别是当微米纤维处于升高温度下与湿度、水分或溶剂接触时。此外，本发明材料的第二个重要性质与材料与基层结构的粘合性有关。微米纤维层的粘合性是过滤材料的一个重要特性，这种特性使制成的材料不会发生微米纤维层与基层的分层，微米纤维层加上基层可以加工成一种过滤结构，该结构包含褶、轧制的材料和其它没有明显分层的结构。
我们已经发现，该制造工艺的加热步骤中，温度升高到一种聚合物材料的熔融温度或接近但刚好低于所述熔融温度的温度，通常低于最低熔融温度，可以明显提高纤维相互之间的粘合性和纤维与基层的粘合性。在高于或等于熔融温度的温度，细纤维会失去其纤维状结构。控制加热速率也很重要。如果纤维处于其结晶温度持续一定的时间，纤维也可能失去纤维状结构。小心进行热处理也能提高聚合物性质，这些性质是在添加剂材料迁移到表面并将疏水性或疏油性基团暴露于纤维表面时形成外部添加剂层产生的。
性能的标准是根据最终用途，材料能够在不同操作温度，如140、160、270、300，达1小时或3小时而保持完好，同时能保持30％、50％、80％或90％过滤效率。另一种性能标准是依据最终用途，材料能够在不同操作温度，即140、160、270、300，达1小时或3小时而保持完好，同时依据最终用途保持过滤层中有30％、50％、80％或90％的有效细纤维。在这些温度下材料保持完好对在低湿度、高湿度和水饱和的空气中是很重要的。认为本发明的微米纤维和过滤材料具有耐湿性，材料能够浸在高于160的温度约达5分钟以上保持完好，同时保持效率。类似地，本发明的微米纤维材料和过滤材料的耐溶剂性可以由能够在70下与诸如乙醇、烃、液压油或芳族溶剂的溶剂接触约5分钟以上时保持完好，同时保持50％效率的材料获得。
包含本发明的含微米纤维或纳米纤维层的细纤维可以是直径约为0.001-2微米，优选0.05-0.5微米的纤维。通常细纤维过滤层的厚度约为纤维直径的1-100倍，基重约为0.01-240微克/cm2。
聚合物材料可以以非织造织物和织造织物、纤维和微纤维的形式制造。聚合物材料提供产品稳定性所需的物理性质。这些材料不应发生明显的尺寸变化，分子量下降，成为低柔性的或者在阳光、湿度、高温或其它负面环境作用下发生应力龟裂或实际上变差。本发明涉及改进的聚合物材料，这种材料在面对如环境光的入射电磁辐射、热、湿度和其它实际复杂条件时能保持其物理性质。
可用于本发明的聚合物组合物的聚合物材料包括加聚物和缩聚物材料，如，聚烯烃、聚缩醛、聚酰胺、聚酯、纤维素醚和纤维素酯、聚硫醚、聚亚芳基氧、聚砜、改性聚砜聚合物以及它们的混合物。在这些大类中优选的材料包括：聚乙烯、聚丙烯、聚氯乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯(和其它丙烯酸类树脂)、聚苯乙烯及其共聚物(包括ABA型嵌段共聚物)、聚(偏二氟乙烯)、聚(二氯乙烯)、交联和非交联形式的各种水解度(87-99.5％)的聚乙烯醇。优选的加聚物往往会是玻璃质的(Tg高于室温)。对聚氯乙烯和聚甲基丙烯酸甲酯，聚苯乙烯聚合物组合物或合金为这种情况，对聚偏二氟乙烯和聚乙烯醇材料是结晶度较低。
一类聚酰胺缩聚物是尼龙材料。术语“尼龙”是对所有长链合成聚酰胺的通用名词。通常，尼龙术语包括一系列的数字，如在尼龙-6，6中，数字表明原料是C6二胺和C6二酸(第一个数字表示是C6二胺，第二个数字表示是C6二羧酸化合物)。另一种尼龙可以通过ε己内酰胺在少量水存在下的缩聚制备。该反应形成尼龙-6(由环内酰胺，也称作ε-氨基己酸形成)，这种尼龙是线型聚酰胺。此外，还考虑尼龙共聚物。共聚物可以通过在反应混合物中组合各种二胺化合物、各种二酸化合物与各种环内酰胺结构，然后形成在聚酰胺结构中具有无规排列的单体物质的尼龙。例如，尼龙6，6-6，10材料是由1，6-己二胺和C6二酸和-C10二酸的混合物制成的。尼龙6-6，6-6，10是通过对ε-氨基己酸、1，6-己二胺与C6二酸和-C10二酸的混合物进行共聚制得的尼龙。
嵌段共聚物也可以用于本发明的方法。用这种共聚物时，溶剂溶胀剂的选择很重要。选择的溶剂能使两种嵌段都溶于该溶剂。一个例子是在二氯甲烷溶剂中的ABA(苯乙烯-EP-苯乙烯)或AB(苯乙烯-EP)聚合物。如果一种组分不溶于该溶剂，该组分可能形成凝胶。这种嵌段共聚物的例子有：Kraton型苯乙烯-b-丁二烯和苯乙烯-b-氢化丁二烯(乙烯丙烯)、Pebax型ε-己内酰胺-b-环氧乙烷、Sympatex聚酯-b-环氧乙烷以及环氧乙烷和异氰酸酯的聚氨酯。
加聚物象聚偏二氟乙烯、间同立构聚苯乙烯、偏二氟乙烯和六氟丙烯的共聚物、聚乙烯醇、聚乙酸乙烯酯、无定形加聚物，如聚(丙烯腈)和其与丙烯酸和甲基丙烯酸酯的共聚物、聚苯乙烯、聚氯乙烯和其各种共聚物、聚(甲基丙烯酸甲酯)和其各种共聚物能相对容易地进行溶液旋涂，因为这些加聚物能在较低压力和温度下可溶。但是，高结晶度的聚合物，象聚乙烯和聚丙烯，如果要进行溶液旋涂则需要高温、高压溶剂。因此，很难进行聚乙烯和聚丙烯的溶液旋涂。静电溶液旋涂是制造纳米纤维和微米纤维的一种方法。
化学吸收元件
在一些实施方式中，过滤组合件的至少一个部分包括吸附元件，通常是含碳的化学吸附材料。因此，用于多层过滤制品中的材料的至少一部分具有吸附性。吸附材料可包括物理吸着剂和/或化学吸着剂，如干燥剂(即，吸附或吸收水或水蒸汽的材料)和/或吸附挥发性有机化合物和/或酸气体的材料。酸气体可产生于电子封装件内，因此，要求包含浸有化学品的有机蒸气除去层，所述化学品提高了酸气体的去除。用来评价浸渍剂除去酸气体的能力的化学品的例子包括硫化氢(H2S)、盐酸(HCl)、氯气(Cl2)等。
合适的吸附材料包括，例如，活性炭、活性氧化铝、分子筛、硅胶、高锰酸钾、碳酸钙、碳酸钾、碳酸钠、硫酸钙或它们的混合物。吸附材料可以吸附一种或多种类型的污染物，包括，例如，水、水蒸汽、酸气体和挥发性有机化合物。虽然吸附材料可以是单一的物质，但也可以使用多种物质的混合物。对典型的操作，优选在-40℃至100℃的温度范围稳定吸附的吸附材料。碳适用于大多数的实施情况，适用于本发明的碳披露于美国专利No.6,077,335，该专利全文参考结合于此。
吸附材料可以以颗粒材料、片剂、片材或其它合适的形式提供。在一些实施方式中，吸附材料是粘结在一起的粉末。在这种实施情况，吸附材料在形成成形的吸附剂制品之前可以是粉末(能通过100目)或颗粒材料(28-200目)。粘结剂通常是干的，粉末状的和/或粒状的，可以与吸附剂混合。在某些实施方式中，粘结剂和吸附材料使用临时的液体粘结剂进行混合，然后进行干燥。合适的粘结剂包括，例如，微晶纤维素、聚乙烯醇、淀粉、羧甲基纤维素、聚乙烯基吡咯烷酮、二水合磷酸二钙和硅酸钠。
应理解，虽然上述本发明的实施情况涉及硬盘驱动器封装件，但是，本发明的器件可以与其它电子封装件一起使用，并且不限于硬盘驱动器封装件。此外，虽然参考几个特定实施情况描述了本发明，但是，本领域的技术人员应理解，在不偏离本发明的精神和范围内可以对本发明进行许多变动。

Claims (20)

1.一种用于电子封装件的过滤组合件，该过滤组合件包括除微粒介质，所述介质包括含疏水性添加剂和聚合物的混合物的细纤维层，所述聚合物包括至少一种聚合物。
2.如权利要求1所述的用于电子封装件的过滤组合件，其特征在于，细纤维层包含由两种聚合物树脂的掺混物形成的纤维，该纤维的直径为0.01-0.5微米。
3.如权利要求1所述的用于电子封装件的过滤组合件，其特征在于，细纤维层包含至少两种聚合物的掺混物。
4.如权利要求1所述的用于电子封装件的过滤组合件，其特征在于，细纤维层的厚度小于约20微米。
5.如权利要求1所述的用于电子封装件的过滤组合件，其特征在于，所述过滤组合件还包括吸附材料。
6.如权利要求1所述的用于电子封装件的过滤组合件，其特征在于，细纤维层置于约140温度和约100％相对湿度的空气流时维持16小时以上，约大于50％的纤维保持完好。
7.如权利要求1所述的用于电子封装件的过滤组合件，其特征在于，所述过滤介质还包括织造的或非织造的基层。
8.如权利要求7所述的用于电子封装件的过滤组合件，其特征在于，非织造的基层包括选自玻璃、聚合物、金属和它们的组合的纤维。
9.一种用于电子封装件的过滤组合件，该过滤组合件包括除微粒介质，所述介质包括细纤维层和基重约为8-200g/m2的基层，所述细纤维包含疏水性添加剂和聚合物的混合物，所述聚合物包括至少两种不同的聚合物的掺混物，所述细纤维的纤维尺寸约为0.01-0.5微米，所述基层包含过滤介质；细纤维置于约140温度和约100％相对湿度的空气中达1-16小时后，至少50％的纤维基本上保持不变。
10.如权利要求9所述的用于电子封装件的过滤组合件，其特征在于，所述细纤维层包括疏水性添加剂和含丙烯酸类聚合物的聚合物的混合物。
11.如权利要求9所述的用于电子封装件的过滤组合件，其特征在于，所述细纤维层包含聚合物树脂和交联剂的反应产物。
12.如权利要求9所述的用于电子封装件的过滤组合件，其特征在于，细纤维层包含两种聚合物树脂的掺混物，且细纤维直径为0.01-0.2微米。
13.如权利要求9所述的用于电子封装件的过滤组合件，其特征在于，所述过滤组合件还包括吸附材料。
14.如权利要求9所述的用于电子封装件的过滤组合件，其特征在于，所述过滤介质还包括织造或非织造的基层。
15.一种用于电子封装件的多层过滤组合件，该过滤组合件包括；
第一过滤部分，该部分构造并设置于电子封装件的开口之上；该第一过滤部分包含用于将第一过滤部分固定在开口之上的粘结剂层；
第二过滤部分，构造并设置成对在该电子封装件内循环的空气进行过滤；其中，至少第一过滤部分或至少第二过滤部分包括细纤维层，该细纤维层包含疏水性添加剂和聚合物的混合物，所述聚合物包含至少两种不同聚合物的掺混物。
16.如权利要求15所述的用于电子封装件的过滤组合件，其特征在于，所述细纤维层包含由两种聚合物树脂的掺混物形成的纤维，且纤维直径为0.01-0.5微米。
17.如权利要求15所述的用于电子封装件的过滤组合件，其特征在于，所述细纤维层的厚度小于约30微米。
18.如权利要求15所述的用于电子封装件的过滤组合件，其特征在于，所述细纤维层的厚度小于约20微米。
19.如权利要求15所述的用于电子封装件的过滤组合件，其特征在于，所述过滤组合件还包括吸附材料。
20.如权利要求15所述的用于电子封装件的过滤组合件，其特征在于，所述细纤维层置于约140温度和约100％相对湿度的空气流时维持16小时以上，大于约50％的纤维保持完好。
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