CN101063455A - 利用风机过滤单元保持通风设施中空气特性的方法和设备 - Google Patents

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CN101063455A CNA2006100988878A CN200610098887A CN101063455A CN 101063455 A CN101063455 A CN 101063455A CN A2006100988878 A CNA2006100988878 A CN A2006100988878A CN 200610098887 A CN200610098887 A CN 200610098887A CN 101063455 A CN101063455 A CN 101063455A
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Abstract

本发明公开了一种利用至少一个风机过滤单元保持空气通风设施中的至少一种空气特性的系统，所述系统包括：至少一个传感器，用于感应至少一种空气特性，所述至少一个传感器暴露至所述空气通风设施；所述至少一个传感器可操作地连接至控制系统，所述控制系统可操作地连接至所述至少一个风机过滤单元；所述控制系统接收来自所述至少一个传感器的输出指示，并确定所述输出指示是否在范围内，并响应于否定的确定，提供指令至所述至少一个风机过滤单元以调节所述至少一个风机过滤单元的运转速度。本发明还公开了对应的方法和设备。

Description

利用风机过滤单元保持通风设施中空气特性的方法和设备
技术领域
本发明涉及通过利用风机过滤单元保持空气通风设施中的室特性的方法和设备。
背景技术
对于现代生产和检测设施来说，通常要控制空气通风设施内循环的空气中的颗粒，以确保输出的质量。这种设施的一个示例是清洁室。不论是晶圆晶片、压缩光盘、存储盘驱动还是食物，包含于空气通风设施内循环的空气中的颗粒应当被保持在可接受的水平或之下。此外，需要循环空气使工人能够呼吸。
此外，至少一个风机过滤单元用于使空气通风设施中的空气超压以减小颗粒从外部进入空气通风设施的可能性。空气通风设施中的空气压力通常高于顶部间隙以及其它外部区域中的空气压力，以减小脏空气泄露到设施中的可能性。压差越高，空气泄露到设施中的可能性越小。
但是，风机过滤单元在设施中提供超压的能力依赖于风机过滤单元例如能够从顶部间隙或连接风机过滤单元的管道抽吸的空气的量。影响此的这些因素包括：
例如建筑物梁的阻碍之类的实际的位置条件；
离空气供应源最远的风机过滤单元的较弱空气供应；以及
空气供应的速率和体积的波动。
风机过滤单元不能或不足抽吸足量空气将导致至少一部分设施中的正气压的减小，并可能损害设施的清洁。
确定气压波动的影响的一种方法是通过测量正好在风机过滤单元下方的气流体积和气流速度。气流速度×过滤器表面积＝气流体积。由于以上给出的任意一个或多个原因所导致的从风机过滤单元的更大压力损失将意味着风机过滤单元之下更慢的空气速度。
确保充分的正气压的公知方法包括利用便携式测量装置在设施中的几个不同位置处每次测量一个位置的压力的物理过程和手工过程。结果，存在利用试验和误差来调节各个风机过滤单元的风机速度以满足需要的压力的时间消耗过程。这通常是通过在最大速度处操作所有的风机过滤单元来迂回完成。这可以建立过度的超压并且能量的效率很低。
此外，通常需要设施中的一个位置处于比周围环境高的空气压力。对该位置可能需要高的空气流量。
此外，例如由于精密的制造过程的需要，可能通常需要整个限定的空间在区域的特定位置上具有非常平稳的气流，因为不平稳的气流可能导致较低的出产率。这在诸如计算机芯片、TFT-LCD等的制造之类的一些产业中是很重要的。这通常通过调节风机过滤单元的小组中的每个风机过滤单元的气流来迂回完成，其中每次调节一个小组。一个组的调节将影响另一个组的气流(气压)。在许多生产工厂中，通常不使数以千计的风机过滤单元处于限定的空间中，例如清洁室，其中任意位置处的气流平稳度对于可靠的生产来说是必需的。为了达到气流中的平稳度，可能需要利用试验和误差进行数个星期的大量来回调节。还存在可能影响气流平稳度的许多其它情况，例如但不限于一个或多个风机过滤单元的失效。
发明内容
根据第一个优选方面，提供了一种利用至少一个风机过滤单元保持空气通风设施中的至少一种空气特性的系统，所述系统包括：
(a)至少一个传感器，用于感应至少一种空气特性，所述至少一个传感器暴露至所述空气通风设施；
(b)所述至少一个传感器可操作地连接至控制系统，所述控制系统可操作地连接至所述至少一个风机过滤单元；
(c)所述控制系统接收来自所述至少一个传感器的输出指示，并确定所述输出指示是否在范围内，并响应于否定的确定，提供指令至所述至少一个风机过滤单元以调节所述至少一个风机过滤单元的运转速度。
根据第二个优选方面，提供了一种利用至少一个风机过滤单元保持空气通风设施中的至少一种空气特性的方法，所述方法包括：
(a)利用至少一个传感器来感应所述至少一种空气特性，所述至少一个传感器暴露至所述空气通风设施；
(b)所述至少一个传感器可操作地连接至控制系统，所述控制系统可操作地连接至所述至少一个风机过滤单元；
(c)在所述控制系统处获取来自所述至少一个传感器的空气特性的输出指示；
(d)确定所述输出指示是否在范围内；并且
(e)响应于否定的确定，提供指令至所述至少一个风机过滤单元以调节所述至少一个风机过滤单元的运转速度。
根据第三个优选方面，提供了一种利用至少一个风机过滤单元保持空气通风设施中的至少一种空气特性的设备，所述设备包括：
(a)至少一个传感器，用于感应至少一种空气特性，所述至少一个传感器暴露至所述空气通风设施；
(b)所述至少一个传感器可操作地连接至控制系统，所述控制系统可操作地连接至所述至少一个风机过滤单元；
(c)所述控制系统用于接收来自所述至少一个传感器的输出指示，并确定所述输出指示是否在范围内，并响应于否定的确定，提供指令至所述至少一个风机过滤单元以调节所述至少一个风机过滤单元的运转速度。
对于这三个方面，所述至少一个传感器可以是用于感应从以下的至少一个：空气流速、气压、空气温度、空气颗粒量以及空气湿度。所述至少一个传感器位于所述空气通风设施的顶板中、顶板上、之上或之下、和/或在所述至少一个风机过滤单元中、在所述至少一个风机过滤单元上、在所述至少一个风机过滤单元之上或之下、在所述至少一个风机过滤单元的顶上、附装到所述至少一个风机过滤单元的外壳、在所述顶板之上，并可以通过以下中的一种可操作地连接至所述控制系统：无线地、通过与所述至少一个风机过滤单元共用的控制线缆、和通过独立于所述至少一个风机过滤单元的控制线缆。还提供了能够可操作地连接至所述控制系统的发声警报。所述控制系统可以包括多个辅助控制器。可以存在能够互相独立操作的多个传感器、以及每个都能够由所述控制系统独立指令的多个风机过滤单元。
对于所有这三个方面，可以存在布置在多个组中的多个风机过滤单元。可替换地，所述传感器可以互相独立地操作。可以存在多个传感器，每个传感器与一个风机过滤单元和/或一组风机过滤单元可操作地关联。
获取所述输出指示可以通过查询、读取以及接收中的一种或多种来完成。
如果所述输出指示在所述范围之下，则(e)中的调节可以增大所述至少一个风机过滤单元的运转速度，并且如果所述输出在所述范围之上，则(e)中的调节可以减小所述至少一个风机过滤单元的运转速度。可替换地，如果所述输出在所述范围之下，则(e)中的调节可以减小所述至少一个风机过滤单元的运转速度，并且如果所述输出在所述范围之上，则(e)中的调节可以增大所述至少一个风机过滤单元的运转速度。所述调节可以通过预设的因子。所述调节的方向可以由空气特性确定。所述方法还可以包括确定所述感应是对于所述至少一个风机过滤单元的全部，还是局部感应用于局部区域或位置的所述至少一个风机过滤单元中的那些。响应于肯定的确定，在重复所述方法之前可以包括等待预定的时间。在所述调节之后，在重复所述方法之前可以包括等待。
附图说明
为了使可以彻底理解本发明并容易地实现效果，现在将通过本发明的非限制性的优选实施例来描述，该描述参考附随的示例性附图。在附图中：
图1是现有技术的系统的示意性侧视图；
图2是优选实施例的示意图；
图3是优选实施例的简化系统的操作流程图；
图4是第二优选实施例的带有单个变量的更加复杂系统的操作流程图；并且
图5是另一个优选实施例的带有两个变量的更加复杂系统的流程图。
具体实施方式
图1中示出现有技术的系统。设施中具有室101，室101具有活动地板102、顶板103和顶104。顶104和顶板103之间是顶部间隙105。空气106供应至间隙105并沿着间隙105流动。空气106可以是大气、过滤的空气、清洁空气、冷却空气、热空气、除湿空气、加湿空气以及装有冷暖装置的空气中的一种或多种。数个风机过滤单元107安装在顶板103中或安装到顶板103用于从间隙105抽吸空气106并将其传递到室101以将过滤空气108的流动提供到室101中。空气108的流速在室101中建立了超压。仅通过手动测量以及每个风机过滤单元的试验和误差手动调节就可以获得需要的气流。
图2中示出的是当根据优选实施例安装和操作时的相同的室。类似的参考标号用于类似的部件但是前缀数字“1”改变成“2”。再次，设施中具有室201，室201具有活动地板202、顶板203和顶204。顶204和顶板203之间是顶部间隙205。空气206供应至间隙205并沿着间隙205流动。数个风机过滤单元207安装在顶板203中或安装到顶板203用于从间隙205抽吸空气206并将其传递到室201以将过滤空气208的流动提供到室201中。空气208的流速在室201中建立了超压。
至少一个压力传感器209安装在合适的位置处。其可以在风机过滤单元207中、在风机过滤单元207之下、在风机过滤单元的顶上、附装到风机过滤单元的外壳、在顶板203中、在顶板203之上、在壁210上或在工作台或加工台211上。所有的压力传感器209都暴露到空气中用于进入室201或实际上进入室201。传感器209的位置由室201的条件、室201中的设备以及室201的操作者的需求来确定。它们可以并且优选地在室201中的不同位置。安装在室201中的压力传感器209的数量可以改变并且部分地由设备对室201中压力变化的灵敏度来确定，或者根据操作需求来改变。压力传感器209的数量和风机过滤单元207的数量可以不同。一个传感器209可以可操作地指定到一组风机过滤单元207。在这种情况下，传感器209将靠近该组风机过滤单元207的边界或在其边界之内。
每个压力传感器209无线地或通过使用线缆213独立连接到控制系统212。线缆213可以独立于风机过滤单元209的控制线缆或与风机过滤单元209的控制线缆集成。如果需要或者必要的话可以使用多路技术。
如图3所示，控制系统212将按顺序从每个压力传感器209查询或读取(301)值，或者压力传感器209定期将它们的值报告至控制系统212，该值被控制系统212接收。
基于接收到的压力(302)，控制系统212确定(203)来自传感器209的压力是否在用于室201内的各个区域的用户配置的阈值或范围内。这些值或范围存储在控制系统212中。如果不在值或范围内(306)，则控制系统212将确定(307)压力在范围或值之上或之下(310)并发送命令(309、311)至位于那个区域的风机过滤单元(一个或多个)，以调整它们的风机速度满足室201的压力需要。然后再次检查(303)压力。如果在值或范围内(304)，则查询下一个传感器(305)，并且过程继续。
在风机过滤单元207的风机速度的调节不能恢复室201中的压力的情况下，控制系统212还可以发送警报(通过电子邮件、SMS或可见和/或发声警报214)至工作人员。这可以是在通风系统的其它部分中存在失效的信号。发声警报214可以在室201中或在控制系统212位于其中的控制室(未示出)中。
传感器209可以是或者包括用于气压和/或流速和/或空气温度和/或空气湿度和/或颗粒量、和/或根据需要或要求的其它方面的传感器。以此方式，传感器209可以用于室201中任意需要的空气特性——气压和/或流速和/或空气温度和/或空气湿度和/或空气颗粒量等等。传感器209可以相互独立地操作，并且每个风机过滤单元207可以单独地控制。可替换地，传感器209和/或风机过滤单元207可以成组，其中每个组中的那些共同操作而不是单独操作。用于不同特性的传感器209可以共同布置，使得例如温度传感器和颗粒量传感器可以互相靠近或者甚至结合。
图4示出带有用于单个变量的传感器209的更复杂的系统。在开始(401)之后，读取一个传感器的变量值(402)。如果存在用于特性的新的值或者值的新范围，则还读取值的新范围(403)。然后进行确定(404)进行的改变是局部的(405)还是全面的(423)。例如，如果控制系统212已经用于改变设置用于整个室201的温度，则改变可能是全面的。如果改变仅是改变一个位置处的空气流速或气压，则改变是局部的。局部是指用于局部区域或位置的单个风机过滤单元或者一组风机过滤单元。
如果改变是局部的(405)，则读取改变的位置或区域(406)，并且之后读取在那个位置或区域中的所有传感器209(407)。这可以是一个传感器209或数个传感器209。如果在该位置或区域处的传感器209在值的所需范围内(408、409)，则过程回到开始(410)。在重新开始之前，可以存在例如15分钟、30分钟、1小时、2小时等等的迟延。该迟延依赖于由传感器209感应的特性或变量、室201或所需或要求的其它因素。
如果在(404)处结果是用于全面的改变，则读取所有的传感器209(439)并且过程返回到(408)。
如果在(408)处结果是读取的一个或多个传感器209在值的所需范围之外(423)，则读取考虑的传感器209的值(424)，并且进行确定(425)该值在值的所需范围之上(432)或之下(426)。如果在之下(426)，则通过预设的因子(427)增大风机速度，并且记录新的速度(428)。如果值在之上(432)，则通过预设的因子(433)减小风机速度并且记录新的速度(428)。
然后考虑下一个传感器209(429)，并且进行确定(430)传感器209的读取是否已经完成直到已经读取所有的传感器209。如果是(434)，则在迟延预设的时间(435)之后进行确定(436)改变是全面的(438)还是局部的(437)。如果是局部的(437)，则返回(407)。如果是全面的，则返回(439)。该预设时间可以是诸如15分钟、30分钟、1小时、1.5小时、2小时、3小时之类的任意合适的持续时间。
在(427)和(433)处，调整的风机速度将是风机过滤单元或与相关的传感器(一个或多个)209相关或连接至传感器的单元中的风机的速度。
在步骤(427)和(433)中，如果被测的特性需要，风机转速的变化可以相反。例如，在用强的空调来冷却设施201的热天气中，如果设施201中的温度在需要的范围之下则可以减小风机过滤单元运转速度，并且如果在之上则可以增加运转速度。反之可以应用到使用强加热的冷气候中。
图5更详细地示出当存在用于两个不同变量或特性的传感器209时，在用于调节风机过滤单元的运转速度的操作系统212内的过程的操作。
在开始(501)之后，读取一个传感器的变量值(502)。如果存在用于特性的新的值或者值的新范围，则还读取值的新范围(503)。然后进行确定(504)进行的改变是局部的(505)还是全面的(523)。例如，如果控制系统212已经用于改变设置用于整个室201的温度，则改变可能是全面的。如果改变仅是改变一个位置处的空气流速或气压，则改变是局部的。局部是指用于局部区域或位置的单个风机过滤单元或者一组风机过滤单元。
如果改变是局部的(505)，则读取改变的位置或区域(506)，并且之后读取在那个位置或区域中的所有传感器209(507)。这可以是一个传感器209或数个传感器209。如果在该位置或区域处的传感器209在值的所需范围内(508、509)，则进行询问以确定是否存在更多变量(510)。如果是，则转到图5B中的过程。如果不是，则返回(501)处的开始。
在图5B上，在诸如15分钟、30分钟、1小时、2小时等之类的预定时间之后(511)，读取在该位置或区域中的所有传感器209(512)。如果所有的都在值的所需范围内(513、514)，则过程返回到开始(501)。
如果在(513)处，一个或多个传感器209具有在所需范围之外的值(516)，则检查用于这些传感器209中的每个的读取(517)。如果读取的结果在范围或值之上或之下(518)，则通过预设的因子(例如5％、10％、15％、20％等等)向上或向下调节风机速度(519)，并且进行确定是否存在更多的传感器209需要考虑(520)。如果是(521)，则过程返回(517)。如果不是(522)，则过程返回(511)。
如果在(504)处，结果是全面的改变(523)，则读取所有的传感器209(539)，并且过程返回到(508)。
如果在(508)处，结果是读取的一个或多个传感器209在值的所需范围之外(523)，在读取考虑的传感器209的值(524)，并且进行确定(525)该值在值的所需范围之上(532)或之下(526)。如果在之下(526)，则通过预设的因子增大风机速度(527)，并且记录新的速度(528)。如果值在之上(532)，则通过预设的因子减小风机速度(533)并且记录新的速度(528)。
然后考虑下一个传感器209(529)，并且进行确定(530)传感器209的读取是否已经完成直到已经读取所有的传感器209。如果是(534)，则在迟延预设的时间(535)之后进行确定(536)改变是全面的(538)还是局部的(537)。如果是局部的(537)，则返回(507)。如果是全面的，则返回(539)。该预设时间可以是诸如15分钟、30分钟、1小时、1.5小时、2小时、3小时之类的任意合适的持续时间。
在(519)、(527)和(533)处，调整的风机速度将是风机过滤单元或与相关的传感器(一个或多个)209相关或连接至传感器的单元中的风机的速度。此外，在(519)处，如果传感器209用于确定颗粒量，则在值的所需范围之下的数不是问题，因为所需范围将在零处开始一完美的结果。因此，(517)处的仅有的负面回答将是颗粒量在值的所需范围之上。同样地，(519)处的响应将增加风机速度。但是，所有其它的特性将具有值的所需范围。
在步骤(527)和(533)中，如果被测的特性需要，风机转速的变化可以相反。例如，在用强的空调来冷却设施201的热天气中，如果设施201中的温度在需要的范围之下则可以减小风机过滤单元运转速度，并且如果在之上则可以增加运转速度。反之可以应用到使用强加热的冷气候中。
如果存在被感应或控制的两个或更多特性或变量，则将对每个额外的变量或特性重复一次步骤(511)至(515)，除了(515)将被询问所需的次数(510)所代替。
对于大的网络控制系统，通常具有用于大区域的辅助控制器(另称为智能路由器)。这将网络划分以加速查询和指令过程。
可以对辅助控制器编程以发送指令至在其控制下的风机过滤单元以调节风机速度而不干涉主控制系统。可替换地，辅助控制器可以发送数据至主控制系统，并且主控制系统将确定对每个单独的风机过滤单元设置什么样的速度。
尽管前述已经描述了本发明的优选实施例，但是本领域技术人员应当理解可以在不脱离本发明的情况下对设计或构造的细节进行许多变化或修改。

Claims (38)

1.一种利用至少一个风机过滤单元保持空气通风设施中的至少一种空气特性的系统，所述系统包括：
(a)至少一个传感器，用于感应所述至少一种空气特性，所述至少一个传感器暴露至所述空气通风设施；
(b)所述至少一个传感器可操作地连接至控制系统，所述控制系统可操作地连接至所述至少一个风机过滤单元；
(c)所述控制系统接收来自所述至少一个传感器的输出指示，并确定所述输出指示是否在范围内，并响应于否定的确定，提供指令至所述至少一个风机过滤单元以调节所述至少一个风机过滤单元的运转速度。
2.根据权利要求1所述的系统，其中至少一个传感器是用于感应从以下组成的组中选择的至少一个：空气流速、气压、空气温度、空气颗粒量以及空气湿度。
3.根据权利要求1或2所述的系统，其中所述至少一个传感器位于从以下组成的组中选择的至少一个位置处：在所述空气通风设施的项板中、在所述至少一个风机过滤单元中、在所述至少一个风机过滤单元之下、在所述至少一个风机过滤单元的顶上、附装到所述至少一个风机过滤单元的外壳、在所述顶板之上、在壁上、在工作台上、和在加工台上。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的系统，其中所述至少一个传感器通过从以下组成的组中选择的一种可操作地连接至所述控制系统：无线地、通过与所述至少一个风机过滤单元共用的控制线缆、和通过独立于所述至少一个风机过滤单元的控制线缆。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的系统，还包括可操作地连接至所述控制系统的发声警报。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的系统，其中所述控制系统包括多个辅助控制器。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的系统，其中存在互相独立操作的多个传感器。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的系统，其中存在多个风机过滤单元，每个由所述控制系统独立控制。
9.根据权利要求1至7中任一项所述的系统，其中存在布置为多个组的多个风机过滤单元。
10.根据权利要求9所述的系统，其中存在多个传感器，每个传感器与以下中的至少一个可操作地关联：单个风机过滤单元、和多个组中的一组。
11.一种利用至少一个风机过滤单元保持空气通风设施中的至少一种空气特性的设备，所述设备包括：
(a)至少一个传感器，用于感应所述至少一种空气特性，所述至少一个传感器暴露至所述空气通风设施；
(b)所述至少一个传感器可操作地连接至控制系统，所述控制系统可操作地连接至所述至少一个风机过滤单元；
(c)所述控制系统用于接收来自所述至少一个传感器的输出指示，并确定所述输出指示是否在范围内，并响应于否定的确定，提供指令至所述至少一个风机过滤单元以调节所述至少一个风机过滤单元的运转速度。
12.根据权利要求11所述的设备，其中至少一个传感器是用于感应从以下组成的组中选择的至少一个：空气流速、气压、空气温度、空气颗粒量以及空气湿度。
13.根据权利要求11或12所述的设备，其中所述至少一个传感器位于从以下组成的组中选择的至少一个位置处：在所述空气通风设施的顶板中、在所述至少一个风机过滤单元中、在所述至少一个风机过滤单元之下、在所述至少一个风机过滤单元的顶上、附装到所述至少一个风机过滤单元的外壳、在所述顶板之上、在壁上、在工作台上、在加工台上。
14.根据权利要求11至13中任一项所述的设备，其中所述至少一个传感器能够通过从以下组成的组中选择的一种能够可操作地连接至所述控制系统：无线地、通过与所述至少一个风机过滤单元共用的控制线缆、和通过独立于所述至少一个风机过滤单元的控制线缆。
15.根据权利要求11至14中任一项所述的设备，还包括所述空气通风设施中能够可操作地连接至所述控制系统的发声警报。
16.根据权利要求11至15中任一项所述的设备，其中所述控制系统包括多个辅助控制器。
17.根据权利要求11至16中任一项所述的设备，其中存在能够互相独立操作的多个传感器。
18.根据权利要求11至17中任一项所述的设备，其中存在多个风机过滤单元，每个能够由所述控制系统独立控制。
19.根据权利要求11至17中任一项所述的设备，其中存在布置为多个组的多个风机过滤单元。
20.根据权利要求19所述的设备，其中存在多个传感器，每个传感器与以下中的至少一个可操作地关联：单个风机过滤单元、和多个组中的一组。
21.一种利用至少一个风机过滤单元保持空气通风设施中的至少一种空气特性的方法，所述方法包括：
(a)利用至少一个传感器来感应所述至少一种空气特性，所述至少一个传感器暴露至所述空气通风设施；
(b)所述至少一个传感器可操作地连接至控制系统，所述控制系统可操作地连接至所述至少一个风机过滤单元；
(c)在所述控制系统处获取来自所述至少一个传感器的空气特性的输出指示；
(d)确定所述输出指示是否在范围内；并且
(e)响应于否定的确定，提供指令至所述至少一个风机过滤单元以调节所述至少一个风机过滤单元的运转速度。
22.根据权利要求21所述的方法，其中至少一个传感器感应从以下组成的组中选择的至少一种空气特性：空气流速、气压、空气温度、空气颗粒量以及空气湿度。
23.根据权利要求21或22所述的方法，其中所述至少一个传感器位于从以下组成的组中选择的至少一个位置处：在所述空气通风设施的项板中、在所述至少一个风机过滤单元中、在所述至少一个风机过滤单元之下、在所述至少一个风机过滤单元的顶上、附装到所述至少一个风机过滤单元的外壳、在所述顶板之上、在壁上、在工作台上、和在加工台上。
24.根据权利要求2123中任一项所述的方法，其中所述至少一个传感器通过从以下组成的组中选择的一种可操作地连接至所述控制系统：无线地、通过与所述至少一个风机过滤单元共用的控制线缆、和通过独立于所述至少一个风机过滤单元的控制线缆。
25.根据权利要求21至23中任一项所述的方法，还包括设置发声警报。
26.根据权利要求21至25中任一项所述的方法，其中所述控制系统包括多个辅助控制器。
27.根据权利要求21至26中任一项所述的方法，其中存在多个风机过滤单元，每个由所述控制系统独立控制。
28.根据权利要求21至26中任一项所述的方法，其中存在布置为多个组的多个风机过滤单元。
29.根据权利要求21至28中任一项所述的方法，其中存在互相独立操作的多个传感器。
30.根据权利要求28所述的方法，其中存在多个传感器，每个传感器与以下中的至少一个可操作地关联：单个风机过滤单元、和多个组中的一组。
31.根据权利要求21至30中任一项所述的方法，其中获取所述输出指示是通过从查询、读取以及接收组成的组中选择的一种或多种来完成的。
32.根据权利要求21至31中任一项所述的方法，其中如果所述输出指示在所述范围之下，则(e)中的调节是增大所述至少一个风机过滤单元的运转速度，并且如果所述输出指示在所述范围之上，则(e)中的调节是减小所述至少一个风机过滤单元的运转速度。
33.根据权利要求21至31中任一项所述的方法，其中如果所述输出在所述范围之下，则(e)中的调节是减小所述至少一个风机过滤单元的运转速度，并且如果所述输出在所述范围之上，则(e)中的调节是增大所述至少一个风机过滤单元的运转速度。
34.根据权利要求32或33所述的方法，其中通过预设的因子进行所述调节。
35.根据权利要求32至34中任一项所述的方法，其中所述调节的方向由所述空气特性确定。
36.根据权利要求21至35中任一项所述的方法，还包括确定所述感应是对于所述空气通风设施中的所述至少一个风机过滤单元的全部，还是局部感应用于局部区域或位置的所述至少一个风机过滤单元中的那些。
37.根据权利要求21至36中任一项所述的方法，其中响应于肯定的确定，在重复所述方法之前包括等待预定的时间。
38.根据权利要求21至37中任一项所述的方法，其中在所述调节之后，在重复所述方法之前经过预设的时间。
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