JP6083485B1 - 制御装置、制御システム、プログラムおよび制御方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 22
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 181
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 36
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims description 3
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 47
- 230000008859 change Effects 0.000 description 19
- 230000006854 communication Effects 0.000 description 15
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 12
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 9
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 7
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- Y02B—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
- Y02B30/00—Energy efficient heating, ventilation or air conditioning [HVAC]
- Y02B30/70—Efficient control or regulation technologies, e.g. for control of refrigerant flow, motor or heating
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Abstract
【課題】ファンフィルタユニット(FFU)の動作を制御する制御装置を提供する。【解決手段】ファンフィルタユニット(FFU)の動作を制御する制御装置であって、パーティクルカウンタにより計測された計測パーティクル数に応じた信号および温度センサにより計測された計測温度に応じた信号が入力される入力部と、計測パーティクル数に応じた第1のFFU制御量および計測温度に応じた第2のFFU制御量に基づいて、FFUの動作を制御する制御部とを備える制御装置を提供する。【選択図】図1
Description
本発明は、制御装置、制御システム、プログラムおよび制御方法に関する。
従来、ファンの動作を制御する制御装置において、センサが取得した信号に基づいて、ファンの回転数を制御することが知られている(例えば、特許文献1−3参照)。
特許文献1 特開2003−279115号公報
特許文献2 特開2010−271015号公報
特許文献3 特開平9−280629号公報
特許文献1 特開2003−279115号公報
特許文献2 特開2010−271015号公報
特許文献3 特開平9−280629号公報
しかしながら、従来の制御装置では、センサが取得した信号に応じて、ファンの消費電力を十分に低減することができない。
本発明の第1の態様においては、ファンフィルタユニット(FFU)の動作を制御する制御装置であって、パーティクルカウンタにより計測された計測パーティクル数に応じた信号および温度センサにより計測された計測温度に応じた信号が入力される入力部と、計測パーティクル数に応じた第1のFFU制御量および計測温度に応じた第2のFFU制御量に基づいて、FFUの動作を制御する制御部とを備える制御装置を提供する。
制御部は、第1のFFU制御量および第2のFFU制御量のうち、大きい方のFFU制御量を選択して、FFUの動作を制御してよい。
制御装置は、計測パーティクル数に応じた信号および計測温度に応じた信号に基づいて、FFUの制御量を算出する算出部を更に備えてよい。算出部は、計測パーティクル数と予め定められた目標パーティクル数との関係に基づいて、第1のFFU制御量を算出してよい。算出部は、計測温度と予め定められた目標温度との関係に基づいて、第2のFFU制御量を算出してよい。
算出部は、計測パーティクル数が、目標パーティクル数よりも大きくなった場合に、第1のFFU制御量を大きくし、計測パーティクル数が、目標パーティクル数よりも小さくなった場合に、第1のFFU制御量を小さくしてよい。
制御部は、計測パーティクル数が、目標パーティクル数よりも大きい場合に、予め定められた第1待機時間だけ待機した後に、第1のFFU制御量で、FFUを制御してよい。制御部は、計測パーティクル数が、目標パーティクル数よりも小さい場合に、予め定められた第2待機時間だけ待機した後に、第1のFFU制御量で、FFUを制御してよい。第1待機時間は、第2待機時間よりも短くてよい。
制御部は、第1待機時間および第2待機時間と、次の第1待機時間又は次の第2待機時間との間に、入力部への信号の入力を監視するための監視期間を設けてよい。
制御部は、計測パーティクル数が予め定められた第1の閾値以下の場合に予め定められた第1回転数でFFUを動作させてよい。また、制御部は、計測パーティクル数が第1の閾値を超えた場合にFFUの制御運転を開始してよい。制御部は、計測パーティクル数が第1の閾値よりも高い第2の閾値を超えた場合に、FFUを第1回転数よりも大きな第2回転数で動作させてよい。
制御部は、計測パーティクル数が第2の閾値を超えた場合に、監視期間を設けずに、予め定められた監視周期で計測パーティクル数を監視してよい。
算出部は、目標温度と計測温度との関係に基づいて、冷水コイルバルブのバルブ開度を算出してよい。制御部は、バルブ開度に応じて、冷水コイルバルブのバルブ開度およびFFUの動作を制御してよい。
算出部は、計測温度が目標温度よりも高くなった場合に、第2のFFU制御量を大きくし、且つ、バルブ開度を大きくしてよい。算出部は、計測温度が目標温度よりも低くなった場合に、第2のFFU制御量を小さくし、且つ、バルブ開度を小さくしてよい。
制御部は、計測温度が目標温度よりも大きい場合に、予め定められた第3待機時間だけ待機した後に、第2のFFU制御量で、FFUを制御してよい。制御部は、計測温度が目標温度よりも小さい場合に、予め定められた第4待機時間だけ待機した後に、第2のFFU制御量で、FFUを制御してよい。第3待機時間は、第4待機時間よりも長くてよい。
制御部は、バルブ開度に応じて、FFUの回転数の制御運転を開始するか否かを判断してよい。
制御部は、バルブ開度が予め定められた第3の閾値を連続して超える期間が、予め定められた第5待機時間を超えた場合に、FFUの制御運転を開始してよい。
制御装置は、パーティクルカウンタおよび温度センサの故障を判定する故障判定部をさらに備えてよい。制御部は、故障判定部が故障有と判定している間、予め定められた故障時用の回転数でFFUを動作させてよい。
制御部は、故障判定部が故障から復帰したと判定した場合、入力部に入力された計測パーティクル数および計測温度に基づいて、FFUの回転数を制御してよい。
入力部には、複数のパーティクルセンサにより計測された複数の計測パーティクル数に応じた信号及び温度センサにより計測された計測温度に応じた信号が入力されてよい。制御部は、複数の計測パーティクル数から算出されたFFU制御量の内、最も大きいFFU制御量を選択して、FFUを制御してよい。
制御装置は、入力部に入力された信号と、入力された信号に応じたFFUの制御量を記憶する記憶部を更に備えてよい。制御部は、記憶部に記憶された情報に基づくFFUの制御量で、FFUの動作を制御してよい。
制御部は、記憶部に記憶された情報に対応する信号が入力部に入力された場合に、記憶部に記憶された情報から算出された最低回転数以上で、FFUを動作させてよい。
本発明の第2の態様においては、ファンフィルタユニット(FFU)と、制御装置とを備える制御システムを提供する。
本発明の第3の態様においては、コンピュータを制御装置として動作させるためのプログラムを提供する。
本発明の第4の態様においては、ファンフィルタユニット(FFU)の動作を制御するための制御方法であって、パーティクルカウンタにより計測された計測パーティクル数に応じた信号および温度センサにより計測された計測温度に応じた信号を取得し、計測パーティクル数に応じた第1のFFU制御量および計測温度に応じた第2のFFU制御量に基づいて、FFUの動作を制御する制御方法を提供する。
なお、上記の発明の概要は、本発明の特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
[実施例1]
図1は、実施例1に制御システム200の構成の一例を示す。本例の制御システム200は、制御装置100、FFU110、パーティクルカウンタ120および温度センサ130を備える。制御装置100は、入力部10、算出部20および制御部30を備える。
図1は、実施例1に制御システム200の構成の一例を示す。本例の制御システム200は、制御装置100、FFU110、パーティクルカウンタ120および温度センサ130を備える。制御装置100は、入力部10、算出部20および制御部30を備える。
制御システム200は、任意の空間の清浄度を制御する。本明細書において、清浄度は、任意の空間内に存在するパーティクル数で示される。パーティクル数が多いことを清浄度が「低い」と称し、パーティクル数が少ないことを清浄度が「高い」と称する。例えば、制御システム200は、クリーンルーム内の清浄度を予め定められたレベル以上に保つ。本明細書に係る制御システム200は、自動制御運転でクリーンルーム内の清浄度を保つことにより、消費電力を低減する。
FFU110は、エリアの清浄度を維持するために用いられるファンフィルタユニット(FFU:Fan Filter Unit)である。本例のFFU110は、ファンおよびHEPA(High Efficiency Particulate Air)フィルタを有する。FFU110は、HEPAフィルタによりパーティクルを除去した空気をファンで吐き出す。これにより、FFU110は、清浄度の高い空気を循環させる。
パーティクルカウンタ120は、計測パーティクル数Pmを取得する。計測パーティクル数Pmは、任意のエリアのパーティクル数を示す。一例において、パーティクルカウンタ120は、1フィート四方の空間におけるパーティクル数を測定する。計測パーティクル数Pmの測定方法は特に限られない。例えば、パーティクルカウンタ120は、レーザーを照射した場合の光散乱を検出することにより計測パーティクル数Pmを取得する。制御システム200には、複数のパーティクルカウンタ120が設けられてもよい。パーティクルカウンタ120は、FFU110と離れた位置に設けられてよい。パーティクルカウンタ120は、取得した計測パーティクル数Pmを制御装置100に出力する。
温度センサ130は、計測温度Tmを取得する。計測温度Tmは、任意のエリアの温度を示す。制御システム200には、複数の温度センサ130が設けられてもよい。また、温度センサ130は、FFU110と離れて設けられてよい。温度センサ130は、取得した計測温度Tmを制御装置100に出力する。
入力部10は、計測パーティクル数Pmに応じた入力信号Sinおよび計測温度Tmに応じた入力信号Sinが入力される。ここで、計測パーティクル数Pmに応じた入力信号Sinおよび計測温度Tmに応じた入力信号Sinとは、計測パーティクル数Pmおよび計測温度Tmのいずれかに少なくとも基づく信号であれば、計測パーティクル数Pmおよび計測温度Tmに限られないことを示す。例えば、計測温度Tmに応じた入力信号Sinは、制御システム200が制御するエリアの温度を調整するための冷水コイルバルブのバルブ開度である。このように、入力信号Sinは、FFU110の回転数(MVFFU)を制御するために必要な、パーティクル数や温度に関する信号であれば計測パーティクル数Pmおよび計測温度Tmに限られない。入力部10は、入力信号Sinを算出部20に出力する。
算出部20は、入力信号Sinに基づいて、FFU110を制御するためのFFU制御量Cを算出する。算出部20は、FFU制御量Cを制御信号Scとして制御部30に出力する。本例の算出部20は、計測パーティクル数Pmに基づいて、FFU制御量Cpを算出する。一例において、算出部20は、計測パーティクル数Pmと予め定められた目標パーティクル数SVpとの関係に基づいて、FFU制御量Cpを算出する。例えば、算出部20は、計測パーティクル数Pmが目標パーティクル数SVpよりも少ない場合に、FFUの回転数を相対的に下げる。一方、算出部20は、計測パーティクル数Pmが目標パーティクル数SVpよりも多い場合に、FFUの回転数を相対的に上げる。同様に、算出部20は、計測温度Tmに基づいて、FFU制御量Ctを算出する。一例において、算出部20は、計測温度Tmと予め定められた目標温度SVtとの関係に基づいて、FFU制御量Ctを算出する。
本明細書において、FFU制御量Cの大きさは、FFU110の回転数と相関関係を有する。即ち、FFU制御量Cが大きい程、FFU110の回転数が大きくなる。また、FFU制御量Cが正の場合、FFU110の回転数が現在値から上昇するように制御され、FFU制御量Cが負の場合、FFU110の回転数が現在値から下降するように制御される。
一例において、FFU110の回転数の変化量は、サンプリング方式のPID制御演算式を利用して次式で示される。
ここで、en,en−1,en−2は、それぞれ今回、前回、前々回の偏差(PV−SV)を示す。PVは、清浄度の実測値であり、SVは、目標とする清浄度を示す。Kp,Ki,Kdは、任意の係数である。
制御部30は、算出部20が算出した制御信号Scに応じて、FFU110の動作を制御する。また、制御部30は、制御信号Scに応じて、冷却部140の動作を制御してもよい。本例の制御部30は、制御信号Scに基づいて、FFU110の動作を自動制御することにより、FFU110における消費電力を低減する。
ここで、制御部30は、2つの閾値SVptmおよび閾値SVpptを有する。閾値SVptmは、パーティクル数の上限値を示す。閾値SVpptは、閾値SVptmよりも低いパーティクル数の閾値を示す。例えば、制御部30は、計測パーティクル数Pmと2つの閾値SVptmおよび閾値SVpptとの関係に応じて、平常運転モード、制御運転モードおよび強運転モードの3つのモードで動作する。
例えば、制御部30は、計測パーティクル数Pmが閾値SVppt以下の場合に、FFU110を平常運転モードで動作させる。平常運転モードにおいて、制御部30は、予め定められた平常回転数でFFU110を動作させる。また、制御部30は、計測パーティクル数Pmが閾値SVpptを超えた場合に、FFU110を制御運転モードで動作させる。制御運転モードにおいて、制御部30は、後述の制御運転を実行する。そして、制御部30は、計測パーティクル数Pmが閾値SVptmを超えた場合に、強運転モードで動作させる。強運転モードにおいて、制御部30は、予め定められた強回転数でFFU110を動作させる。
図2は、清浄度制御時のタイムチャートの一例を示す。本例の制御装置100は、平常運転モードおよび制御運転モードで動作する。即ち、本例のタイムチャートは、計測パーティクル数Pmが閾値SVptmを超えない場合である。
閾値SVpptは、制御装置100がFFU110の制御を開始するパーティクル数である。閾値SVpptは、要求される消費電力および清浄度に応じて決定されてよい。例えば、制御システム200は、閾値SVpptを高く設定することにより、FFU110の回転数の上昇を遅らせて消費電力を抑制する。一方、制御システム200は、閾値SVpptを低く設定することにより、FFU110の回転数の上昇を優先させて、清浄度を高く維持してもよい。
本例の制御装置100は、監視期間t0、待機時間t1,t2を用いて、FFU110の回転数を制御する。監視期間t0、待機時間t1,t2の大きさは、制御装置100が制御するエリアの大きさ、要求される清浄度や消費電力に応じて変更されてよい。
監視期間t0は、入力信号Sinを監視する期間である。監視期間t0において、算出部20は、FFU制御量Cを算出する。監視期間t0は、待機時間t1および待機時間t2と、次の待機時間t1又は待機時間t2との間に設けられる。なお、図面を簡潔にするため、監視期間t0を省略する場合がある。
待機時間t1は、監視期間t0において、計測パーティクル数Pmが閾値SVpptを超えたと判定してから、FFU110の回転数を実際に上昇させるまでの時間を示す。制御装置100は、待機時間t1の経過後改めて条件を判定し、FFU110の回転数を上げる必要がある場合にFFU110の回転数を上げる。一方、FFU110の回転数を上げる必要がない場合は、FFU110の回転数を上げなくてよい。制御装置100は、待機時間t1を設けることにより、誤って計測パーティクル数Pmが閾値SVpptを超えたと判定した場合であっても誤動作を防止できる。
待機時間t2は、監視期間t0において、計測パーティクル数Pmが閾値SVppt以下であると判定してから、FFU110の回転数を下降させるまでの待機時間を示す。制御装置100は、待機時間t2の経過後改めて条件を判定し、FFU110の回転数を下げる必要がある場合にFFU110の回転数を下げる。一方、FFU110の回転数を下げる必要がない場合は、FFU110の回転数を下げなくてよい。制御装置100は、待機時間t2を設けることにより、誤って計測パーティクル数Pmが閾値SVppt以下であると判定した場合であっても誤動作を防止できる。待機時間t2は、待機時間t1よりも長くてよい。
平常運転モードにおいて、制御装置100は、監視期間t0を繰り返して、計測パーティクル数Pmを監視する。制御装置100は、計測パーティクル数Pmが閾値SVpptを超えた場合に、制御運転モードに切り替える。制御装置100は、閾値SVpptを超えるまでは、平常回転数でFFU110を動作させる。
制御運転モードにおいて、制御部30は、入力信号Sinに応じてFFU110を制御する。制御部30は、監視期間t0において、FFU110の回転数を上げるか否かを判定する。制御部30は、計測パーティクル数Pmが、目標パーティクル数SVpよりも大きい場合に、予め定められた待機時間t1だけ待機した後に、FFU制御量Cpを大きくする。その後、監視期間t0において、改めて、FFU110の回転数を上げるか否かを判定する。
FFU110の回転数を上げる必要がある場合、制御部30は、待機時間t1の経過後にFFU110の回転数を上昇させる。一方、FFU110の回転数を上げる必要がない場合、制御部30は、FFU110の回転数を変化させなくてもよい。また、制御部30は、計測パーティクル数Pmが、目標パーティクル数SVpよりも小さい場合に、予め定められた待機時間t2だけ待機した後に、FFU制御量Cpを小さくする。待機時間t1は、待機時間t2よりも短くてよい。そして、制御装置100は、再び監視期間t0に入り同様の制御を繰り返す。
なお、制御運転モードにおいて、制御装置100は、FFU110の回転数が平常回転数まで下降すると平常運転モードに切り替わる。これにより、制御装置100は、FFU110の制御を停止して、制御間隔t0を繰り返す。そして、制御装置100は、計測パーティクル数Pmが閾値SVpptを超えた場合、再び制御運転モードで動作する。
図3は、清浄度制御時のタイムチャートの一例を示す。本例の制御装置100は、平常運転モード、制御運転モードおよび強運転モードで動作する。本例のタイムチャートは、計測パーティクル数Pmが閾値SVptmを超える場合を示す。
閾値SVptmは、制御装置100が強運転モードに切り替わるパーティクル数である。本例のタイムチャートにおいて、制御装置100は、制御運転モードを経由せずに、平常運転モードから強運転モードに直接切り替える。
強運転モードにおいて、制御装置100は、予め定められた強回転数でFFU110を動作させる。本明細書において、強回転数とは、制御装置100がFFU110を自動制御している場合に設定する最大の回転数を示し、任意の回転数に設定されてよい。強運転モードにおいて、制御装置100は、予め定められた監視周期t'で計測パーティクル数Pmを監視する。制御装置100は、計測パーティクル数Pmが閾値SVptmを超えていると判定し、待機時間t'の経過後も閾値SVptmを超えている場合、FFU110の回転数を強回転に設定する。一例において、監視周期t'は1分であるがこれに限られない。
また、制御部30は、計測パーティクル数Pmが予め定められた閾値SVptmを超えた場合に、監視期間t0を設けずに、予め定められた監視周期t'で計測パーティクル数Pmを監視する。本例の制御装置100は、監視周期t'毎に、計測パーティクル数Pmが閾値SVptmを超えているか否かを判定する。計測パーティクル数Pmが閾値SVptmを超えている場合は、FFU110の回転数を強回転で維持する。一方、計測パーティクル数Pmが閾値SVptmを超えていない場合、FFU110の回転数を変更せずに監視期間t0に入る。計測パーティクル数Pmが閾値SVppt以下の場合、待機時間t2の経過後、FFU110の回転数を下降させる。なお、下降時の制御方法は、本明細書に開示された他の方法を用いてよい。
図4は、清浄度制御時のタイムチャートの一例を示す。本例の制御装置100は、平常運転モード、制御運転モードおよび強運転モードで動作する。本例のタイムチャートは、計測パーティクル数Pmが閾値SVptmを緩やかに超える場合を示す。
本例の制御装置100は、平常運転モードで動作している。計測パーティクル数Pmが閾値SVpptを超えた場合に、制御部30は、平常運転モードから制御運転モードに切り替える。制御装置100は、監視期間t0において、FFU110の回転数を上げるか否かを判定する。監視期間t0において、計測パーティクル数Pmが閾値SVpptよりも大きく、閾値SVptm以下の範囲にある場合、待機時間t1の経過後にFFU110の回転数を上昇させる。
制御部30は、計測パーティクル数Pmが閾値SVptmを超えた場合に、制御運転モードから強運転モードに切り替える。本例の制御部30は、強回転に切り替えた後に予め定められた監視周期t'毎に計測パーティクル数Pmが閾値SVptmを超えているか否かを確認する。計測パーティクル数Pmが閾値SVptmを超えている場合はFFU110の回転数を強回転で維持する。一方、計測パーティクル数Pmが閾値SVptmを超えていない場合、FFU110の回転数を変更せずに、監視期間t0に入る。そして、計測パーティクル数Pmが閾値SVpptを超えている場合は、待機時間t1の経過後にFFU110の回転数を上昇させる。但し、FFU110の回転数が最大回転数である場合は、FFU110の回転数を維持するとしてもよい。一方、計測パーティクル数Pmが閾値SVppt以下の場合、待機時間t2の経過後、FFU110の回転数を下降させる。なお、下降時の制御方法は、本明細書に開示された他の方法を用いてよい。
図5は、温調制御時のタイムチャートの一例を示す。本例の制御装置100は、平常運転モードおよび制御運転モードで動作する。本例のタイムチャートは、バルブ開度MV100%(VFO)の時間が予め定められた待機時間t3を超えない場合を示す。
算出部20は、計測温度Tmと目標温度SVtとの関係に基づいて、冷却部140における冷水コイルバルブのバルブ開度MVを算出する。一例において、算出部20は、計測温度Tmが目標温度SVtよりも大きくなった場合に、バルブ開度MVを大きくする。一方、算出部20は、計測温度Tmが目標温度SVtよりも小さくなった場合に、バルブ開度MVを小さくする。
また、算出部20は、バルブ開度MVの制御に加えて、FFU110の回転数を制御してもよい。算出部20は、計測温度Tmが目標温度SVtよりも大きくなった場合に、FFU制御量Ctを大きくし、且つ、バルブ開度MVを大きくする。一方、算出部20は、計測温度Tmが目標温度SVtよりも小さくなった場合に、FFU制御量Ctを小さくし、且つ、バルブ開度MVを小さくする。
制御部30は、バルブ開度MVに応じて、FFU110の回転数の制御運転を開始するか否かを判断する。制御部30は、バルブ開度MVが、予め定められたバルブ開度MVを待機時間t3超えた場合に、FFU110の制御を開始する。
また、制御部30は、FFU110の回転数の変化量DVが正の場合と負の場合とで異なる制御を行なう。変化量DVが正の場合とは、計測温度Tmが目標温度SVtよりも高い場合である。一方、変化量DVが負の場合とは、計測温度Tmが目標温度SVtより低い場合である。
例えば、変化量DVが正の場合、制御部30は、バルブ開度MV100%が待機時間t3持続している場合、FFU110を変化量DVで制御する。制御部30は、バルブ開度MV100%が待機時間t3を超えて持続していない場合、FFU110の回転数を変化させない。また、制御部30は、変化量DVが正であって、バルブ開度MVが100%未満である場合、FFU110の回転数を変化させない。即ち、変化量DVが正の場合、制御部30は、バルブ開度MV100%である状態が待機時間t3以上持続している場合にのみ、FFU110の回転数を制御する。
一方、変化量DVが負の場合、制御部30は、バルブ開度MVが0よりも大きい場合、清浄度が目標値未満なら変化量DVで制御する。それ以外は、FFU110の回転数の変化量は0である。また、変化量DVが負の場合、バルブ開度MVが0%である場合、清浄度が目標値未満なら変化量DVで制御する。それ以外はFFU110の回転数の変化量は0である。即ち、変化量DVが負の場合、制御部30は、バルブ開度MVの大きさにかかわらず、清浄度が目標値未満なら変化量DVで制御し、それ以外はFFU110の回転数の変化量を0にする。
本例の制御装置100は、計測温度Tmと目標温度SVtとの関係に応じて、バルブ開度MVおよびFFU110の動作を制御する。計測温度Tmが目標温度SVtを超えた場合、制御装置100は、バルブ開度MVを上昇させる。本例の制御装置100は、計測温度Tmの上昇に比例して、バルブ開度MVを大きくする。
制御部30は、バルブ開度MVに応じて、FFU110の回転数の制御運転を開始するか否かを判断する。制御部30は、バルブ開度MVが予め定められた閾値を連続して超える期間が、待機時間t3を超えた場合に、FFU110の制御運転を開始する。本例の待機時間t3は、冷水コイルバルブのバルブ開度MVが全開となってから、FFU110の制御を開始するまでの時間を示す。バルブ開度MVが全開値VFOである期間が待機時間t3を超えない場合、温調制御によるFFU110の制御を行なわない。本例の目標温度SVtは一定である。
図6は、温調制御時のタイムチャートの一例を示す。本例の制御装置100は、平常運転モードおよび制御運転モードで動作する。本例のタイムチャートは、バルブ開度MV100%の時間が待機時間t3を超える場合を示す。本例では、パラメータt0〜t2は、清浄度制御によるFFU110の制御の場合と共通の値を使用する。但し、パラメータt0〜t2は、清浄度制御の場合と温調制御の場合とで異なってよい。
制御部30は、バルブ開度MV100%が待機時間t3以上続いた場合、FFU110の回転数を制御する。例えば、制御部30は、計測温度Tmが目標温度SVtよりも高い場合に、待機時間t1だけ待機した後に、FFU制御量Ctで、FFU110を制御する。また、制御部30は、計測温度Tmが目標温度SVtよりも低い場合に、待機時間t2だけ待機した後に、FFU制御量Ctで、FFU110を制御する。温調制御における待機時間t1は、待機時間t2よりも長くてよい。
本例の制御部30は、監視期間t0において、バルブ開度MVが全開値VFOを下回っていない場合、待機時間t1の経過後、FFU110の回転数を上昇させる。次に、監視期間t0において、バルブ開度MVが全開値VFOを下回った場合、制御装置100は、何もせずに監視期間t0に入る。また、制御装置100は、監視期間t0において、バルブ開度MVが0%で、且つ、計測温度Tmが目標温度SVt以下になった場合、待機時間t2の経過後、FFU110の回転数を下降させる。また、制御装置100は、監視期間t0ののち、バルブ開度MVが0%〜全開値VFO未満で、且つ、計測温度Tmが目標温度SVtを超えている場合、省エネのため、そのまま再び監視期間t0に入る。
図7は、温調制御時および清浄度制御時のタイムチャートの一例を示す。本例の制御装置100は、温調制御から清浄度制御に切り替える。即ち、制御装置100は、清浄度制御および温調制御を組み合わせて使用している。この場合、清浄度制御と温調制御の両方の判定および制御が並行して行われている。
制御部30は、温調制御でのFFU制御量Ctと清浄度でのFFU制御量Cpとのうち、大きい方のFFU制御量CでFFU110を制御する。即ち、制御部30は、FFU110の回転数がより高くなるように、FFU制御量CtおよびFFU制御量Cpのいずれかを選択する。また、制御部30は、FFU110の回転数を上昇させる場合も、FFU110の回転数を下降させる場合も、FFU110の回転数が高くなるように、FFU制御量CtおよびFFU制御量Cpのいずれかを選択することが好ましい。これにより、制御装置100は、清浄度のレベルを維持できる。
時刻T1において、本例の制御装置100は、温調制御から清浄度制御に切り替える。即ち、時刻T1において、FFU制御量CtがFFU制御量Cpよりも上回る。制御部30は、FFU制御量CtからFFU制御量Cpに切り替えてFFU110を制御する。時刻T2に関しても同様である。
図8は、温調制御時および清浄度制御時のタイムチャートの一例を示す。本例の制御装置100は、清浄度制御から温調制御に切り替える。
本例のタイムチャートでは、待機時間t3の経過前に計測パーティクル数Pmが閾値SVpptを超えている。そのため、制御部30は、温調制御の前に清浄度制御を開始する。制御部30は、計測パーティクル数Pmが閾値SVpptを超えると、待機時間t1の経過後にFFU110の回転数を上昇させる。FFU110を清浄度制御している状態では、FFU制御量CpがFFU制御量Ctを上回っている。
時刻T3において、FFU制御量CpがFFU制御量Ctよりも上回る。また、バルブ開度MV100%が待機時間t3を超えている。制御部30は、監視期間t0を経過したときに、FFU制御量CtがFFU制御量Cpを上回った場合、FFU制御量CtによりFFU110を制御する。これにより、制御装置100は、清浄度制御から温調制御に切り替える。その後、FFU110の回転数下降の制御は、本明細書に係る他の制御の方法と同様に行う。
図9は、温調制御時および清浄度制御時のタイムチャートの一例を示す。本例の制御装置100は、清浄度制御と温調制御を同時に開始する。即ち、本例のタイムチャートは、計測パーティクル数Pmが閾値SVpptを超えるタイミングと、待機時間t3を経過するタイミングとが同じ場合を示す。このように、制御装置100は、FFU110の清浄度制御と温調制御を同時に行おうとする場合、いずれの制御量が大きくなるかを判定し、FFU110の回転数が大きくなる方のFFU制御量Cを用いてFFU110を制御する。本例の制御装置100は、本明細書に係る他の制御運転モードと同様の方法によりFFU110の動作を制御してよい。
[実施例2]
図10は、実施例2に係る制御システム200の構成の一例を示す。本例の制御装置100は、故障判定部40を備える。
図10は、実施例2に係る制御システム200の構成の一例を示す。本例の制御装置100は、故障判定部40を備える。
故障判定部40は、入力部10に入力された計測パーティクル数Pmおよび計測温度Tmに基づいて、パーティクルカウンタ120および温度センサ130が故障している否かを判定する。例えば、故障判定部40は、予め定められた期間、入力部10に計測パーティクル数Pmが入力されなくなった場合にパーティクルカウンタ120が故障したと判定する。また、故障判定部40は、計測パーティクル数Pmが異常値を検出した場合にパーティクルカウンタ120が故障したと判定してもよい。なお、故障判定部40は、パーティクルカウンタ120および温度センサ130から信号が入力されなくなった場合に、通信エラーが生じていると判定してもよい。
制御部30は、故障判定部40が故障有と判定している間、予め定められた故障時回転数FVでFFU110を動作させる。制御部30は、故障判定部40が故障から復帰したと判定した場合、入力部10に入力された計測パーティクル数Pmおよび計測温度Tmに基づいて、FFU110の回転数を制御する。
図11は、清浄度制御時のタイムチャートの一例を示す。本例のタイムチャートは、清浄度制御時に、パーティクルカウンタ120が故障した場合を示す。本例の制御装置100は、パーティクルカウンタ120の故障等により計測パーティクル数Pmが得られない場合であっても清浄度を予め定められたレベルに維持する。
パーティクルカウンタ120の故障発生時、制御部30は、予め定められた故障時回転数FVでFFU110を制御する。制御部30は、故障発生時であることを判定したら即座にFFU110を故障時回転数FVで制御することが好ましい。また、制御部30は、故障発生時であることを判定したら、現在のFFU110の回転数から故障時回転数FVへと徐々に近づけていってもよい。故障時回転数FVは、少なくとも要求されるレベルの清浄度を保つことのできる回転数以上に設定される。これにより、制御装置100は、クリーンルーム内の清浄度が保てなくなる危険性を回避する。故障時回転数FVは、FFU110の最大回転数であってもよい。
パーティクルカウンタ120の故障復帰時、制御装置100は、制御運転モードに復帰して動作する。制御装置100は、故障復帰時であることを判定したら即座に制御運転モードに切り替えてよい。この場合、制御装置100は、計測パーティクル数Pmを取得し、その結果に応じて待機時間t1又は待機時間t2に入る。その後の制御は、本明細書に開示されたその他の制御方法と同様であってよい。
図12は、温調制御時のタイムチャートの一例を示す。本例のタイムチャートは、温調制御時に、温度センサ130が故障した場合を示す。本例の制御装置100は、温度センサ130の故障等により計測温度Tmが得られない場合であっても清浄度を予め定められたレベルに維持する。
温度センサ130の故障発生時、制御部30は、予め定められた故障時回転数FVでFFU110を制御する。故障時回転数FVは、少なくとも要求されるレベルの清浄度を保つことのできる回転数以上に設定される。これにより、制御装置100は、クリーンルーム内の清浄度が保てなくなる危険性を回避する。故障時回転数FVは、FFU110の最大回転数であってもよい。また、温度センサ130が故障した場合の故障時回転数FVは、パーティクルカウンタ120が故障した場合の故障時回転数FVと同一であっても異なっていてもよい。即ち、故障時回転数FVは、少なくとも清浄度が保たれる回転数であればよい。
温度センサ130の故障復帰時、制御装置100は、制御運転モードに復帰して動作する。制御装置100は、故障復帰時であることを判定したら即座に制御運転モードに切り替えてよい。この場合、制御装置100は、計測温度Tmを取得し、その結果に応じて待機時間t1又は待機時間t2に入る。その後の制御は、本明細書に開示されたその他の制御方法と同様であってよい。
図13は、温調制御時および清浄度制御時のタイムチャートの一例を示す。本例のタイムチャートは、清浄度制御および温調制御の有効時に、パーティクルカウンタ120又は温度センサ130が故障した場合を示す。
温調制御の有効時、温度センサ130が故障すると、制御部30は、FFU110を故障時回転数FVで制御する。その後、温度センサ130が故障から復帰すると、制御装置100は、計測温度Tmおよびバルブ開度MVを取得する。これにより、制御装置100は、温調制御を続行する。
清浄度制御の有効時、パーティクルカウンタ120が故障すると、制御部30は、FFU110を故障時回転数FVで制御する。その後、パーティクルカウンタ120が故障から復帰した場合、制御装置100は、即座に計測パーティクル数Pmを取得する。これにより、制御装置100は、清浄度制御を続行する。
なお、温調制御の有効時、パーティクルカウンタ120が故障した場合、制御装置100は、通常の温調制御を続行してもよい。また、清浄度制御の有効時、温度センサ130が故障した場合、制御装置100は、通常の清浄度制御を続行してもよい。但し、制御装置100は、清浄度制御および温調制御のいずれが有効であるかにかかわらず、故障判定部40が故障有と判定した場合に、故障時回転数FVでFFU110を動作させてもよい。
[実施例3]
図14は、実施例3に係る制御システム200の構成の一例を示す。本例の制御装置100は、記憶部50を備える。
図14は、実施例3に係る制御システム200の構成の一例を示す。本例の制御装置100は、記憶部50を備える。
記憶部50は、過去の制御システム200の動作履歴を記憶する。記憶部50は、入力信号Sinと、入力信号Sinに応じたFFU110の制御量を記憶する。例えば、記憶部50は、入力部10に入力された計測パーティクル数Pmおよび計測温度Tmを記憶する。また、記憶部50は、計測パーティクル数Pmおよび計測温度Tmに応じて算出部20が算出したFFU制御量Cを記憶してもよい。更に、記憶部50は、設備の稼働状況、作業者の人数、日時等に関する情報を記憶してよい。
制御部30は、記憶部50に記憶された情報に対応する信号が入力部10に入力された場合に、記憶部50に記憶された情報から算出された最低回転数以上で、FFU110を動作させる。これにより、制御装置100は、FFU110の急激な回転数の上昇を抑え、FFU110の動作効率を上昇させる。
図15は、制御システム200のより詳細な構成の一例を示す。本例の制御システム200は、複数のFFU110を備える。また、制御システム200は、クリーンルーム300に配置されている。
複数のFFU110は、クリーンルーム300の天井側に配置されている。FFU110は、HEPAフィルタにより清浄化された空気をクリーンルーム300の部屋に向けて吐き出す。部屋を通過した空気は冷却部140を通して温度制御された後に再びFFU110に入る。このように、温度制御された清浄な空気を循環することにより、クリーンルーム300の清浄度が保たれる。
制御装置100は、デスクトップパソコンで構成されている。また、制御装置100は、クリーンルーム300内の一室に配置されている。制御装置100は、パーティクルカウンタ120および温度センサ130の計測結果に応じて電源111を制御する。これにより、制御装置100は、FFU110の回転数を制御する。本例の制御装置100は、複数のFFU110の全てを一律に制御している。但し、制御装置100は、クリーンルーム300のエリアごとにFFU110の回転数を調整してもよい。クリーンルーム300のエリアは、壁により仕切られた部屋であってもよいし、任意の空間を指してもよい。
パーティクルカウンタ120は、クリーンルーム300の任意の位置に設けられる。一例において、制御システム200は、複数のパーティクルカウンタ120を備える。この場合、入力部10には、複数のパーティクルカウンタ120により計測された複数の計測パーティクル数Pmに応じた信号が入力される。制御部30は、複数の計測パーティクル数Pmから算出されたFFU制御量Cpの内、最も大きいFFU制御量Cpを選択して、FFU110を制御してよい。複数のパーティクルカウンタ120は、エリアごとに設けられてもよいし、複数のエリアで共通に用いられてもよい。
温度センサ130は、クリーンルーム300の任意の位置に設けられる。一例において、制御システム200は、複数の温度センサ130を備える。この場合、入力部10には、複数の温度センサ130により計測された複数の計測温度Tmに応じた信号が入力される。制御部30は、複数の計測温度Tmから算出されたFFU制御量Ctの内、最も大きいFFU制御量Ctを選択して、FFU110を制御してよい。複数の温度センサ130は、エリアごとに設けられてもよいし、複数のエリアで共通に用いられてもよい。
冷却部140は、冷水コイルバルブ142のバルブ開度MVに応じて、クリーンルーム300の空気を冷却する。バルブ開度MVは、制御装置100により調整されてよい。
図16は、本明細書に係る制御システム200を用いた検証結果の一例を示す。縦軸は計測パーティクル数Pm[個]およびFFU110の回転数[rpm]を示す。横軸は、時刻[時]を示す。
計測パーティクル数Pmは、日中に上昇し、夜間は上昇しない。比較例に係る方法では、FFU110の回転数を一定にするため、常に計測パーティクル数Pmが上昇した場合に対応できる回転数でFFU110を動作させている。一方、本明細書に係る制御システム200は、FFU回転数の自動制御により、計測パーティクル数Pmが低い場合は、FFU110の回転数を落として省エネ動作する。よって、回転数一定の場合と比較して、制御システム200は、消費電力を低減できる。
本明細書に係る制御装置100は、計測パーティクル数Pmに応じた入力信号Sinおよび計測温度Tmに応じた入力信号Sinに基づいて、FFU110の回転数を制御する。これにより、制御装置100は、計測パーティクル数Pmに応じた入力信号Sinのみや、計測温度Tmに応じた入力信号Sinのみに基づいて、FFU110の回転数を制御する場合よりも、さらに消費電力を低減できる。また、制御装置100は、複数の入力信号Sinから優先度の高い信号に基づいて最適な回転数を維持するので、信頼性が高い。
図17は、本実施形態に係るコンピュータ1900のハードウェア構成の一例を示す。本実施形態に係るコンピュータ1900は、ホスト・コントローラ2082により相互に接続されるCPU2000、RAM2020、グラフィック・コントローラ2075、及び表示装置2080を有するCPU周辺部と、入出力コントローラ2084によりホスト・コントローラ2082に接続される通信インターフェイス2030、ハードディスクドライブ2040、及びCD−ROMドライブ2060を有する入出力部と、入出力コントローラ2084に接続されるROM2010、フレキシブルディスク・ドライブ2050、及び入出力チップ2070を有するレガシー入出力部とを備える。
ホスト・コントローラ2082は、RAM2020と、高い転送レートでRAM2020をアクセスするCPU2000及びグラフィック・コントローラ2075とを接続する。CPU2000は、ROM2010及びRAM2020に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。グラフィック・コントローラ2075は、CPU2000等がRAM2020内に設けたフレーム・バッファ上に生成する画像データを取得し、表示装置2080上に表示させる。これに代えて、グラフィック・コントローラ2075は、CPU2000等が生成する画像データを格納するフレーム・バッファを、内部に含んでもよい。
入出力コントローラ2084は、ホスト・コントローラ2082と、比較的高速な入出力装置である通信インターフェイス2030、ハードディスクドライブ2040、CD−ROMドライブ2060を接続する。通信インターフェイス2030は、ネットワークを介して他の装置と通信する。ハードディスクドライブ2040は、コンピュータ1900内のCPU2000が使用するプログラム及びデータを格納する。CD−ROMドライブ2060は、CD−ROM2095からプログラム又はデータを読み取り、RAM2020を介してハードディスクドライブ2040に提供する。
また、入出力コントローラ2084には、ROM2010と、フレキシブルディスク・ドライブ2050、及び入出力チップ2070の比較的低速な入出力装置とが接続される。ROM2010は、コンピュータ1900が起動時に実行するブート・プログラム、及び/又は、コンピュータ1900のハードウェアに依存するプログラム等を格納する。フレキシブルディスク・ドライブ2050は、フレキシブルディスク2090からプログラム又はデータを読み取り、RAM2020を介してハードディスクドライブ2040に提供する。入出力チップ2070は、フレキシブルディスク・ドライブ2050を入出力コントローラ2084へと接続すると共に、例えばパラレル・ポート、シリアル・ポート、キーボード・ポート、マウス・ポート等を介して各種の入出力装置を入出力コントローラ2084へと接続する。
RAM2020を介してハードディスクドライブ2040に提供されるプログラムは、フレキシブルディスク2090、CD−ROM2095、又はICカード等の記録媒体に格納されて利用者によって提供される。プログラムは、記録媒体から読み出され、RAM2020を介してコンピュータ1900内のハードディスクドライブ2040にインストールされ、CPU2000において実行される。
コンピュータ1900にインストールされ、コンピュータ1900を制御装置100として機能させるプログラムは、入力モジュール、算出モジュールおよび制御モジュールを備える。これらのプログラム又はモジュールは、CPU2000等に働きかけて、コンピュータ1900を、制御装置としてそれぞれ機能させる。
これらのプログラムに記述された情報処理は、コンピュータ1900に読込まれることにより、ソフトウェアと上述した各種のハードウェア資源とが協働した具体的手段である入力部10、算出部20および制御部30として機能する。そして、これらの具体的手段によって、本実施形態におけるコンピュータ1900の使用目的に応じた情報の演算又は加工を実現することにより、使用目的に応じた特有の制御装置100が構築される。
一例として、コンピュータ1900と外部の装置等との間で通信を行う場合には、CPU2000は、RAM2020上にロードされた通信プログラムを実行し、通信プログラムに記述された処理内容に基づいて、通信インターフェイス2030に対して通信処理を指示する。通信インターフェイス2030は、CPU2000の制御を受けて、RAM2020、ハードディスクドライブ2040、フレキシブルディスク2090、又はCD−ROM2095等の記憶装置上に設けた送信バッファ領域等に記憶された送信データを読み出してネットワークへと送信し、もしくは、ネットワークから受信した受信データを記憶装置上に設けた受信バッファ領域等へと書き込む。このように、通信インターフェイス2030は、DMA(ダイレクト・メモリ・アクセス)方式により記憶装置との間で送受信データを転送してもよく、これに代えて、CPU2000が転送元の記憶装置又は通信インターフェイス2030からデータを読み出し、転送先の通信インターフェイス2030又は記憶装置へとデータを書き込むことにより送受信データを転送してもよい。
また、CPU2000は、ハードディスクドライブ2040、CD−ROMドライブ2060(CD−ROM2095)、フレキシブルディスク・ドライブ2050(フレキシブルディスク2090)等の外部記憶装置に格納されたファイルまたはデータベース等の中から、全部または必要な部分をDMA転送等によりRAM2020へと読み込ませ、RAM2020上のデータに対して各種の処理を行う。そして、CPU2000は、処理を終えたデータを、DMA転送等により外部記憶装置へと書き戻す。このような処理において、RAM2020は、外部記憶装置の内容を一時的に保持するものとみなせるから、本実施形態においてはRAM2020および外部記憶装置等をメモリ、記憶部、または記憶装置等と総称する。本実施形態における各種のプログラム、データ、テーブル、データベース等の各種の情報は、このような記憶装置上に格納されて、情報処理の対象となる。なお、CPU2000は、RAM2020の一部をキャッシュメモリに保持し、キャッシュメモリ上で読み書きを行うこともできる。このような形態においても、キャッシュメモリはRAM2020の機能の一部を担うから、本実施形態においては、区別して示す場合を除き、キャッシュメモリもRAM2020、メモリ、及び/又は記憶装置に含まれるものとする。
また、CPU2000は、RAM2020から読み出したデータに対して、プログラムの命令列により指定された、本実施形態中に記載した各種の演算、情報の加工、条件判断、情報の検索・置換等を含む各種の処理を行い、RAM2020へと書き戻す。例えば、CPU2000は、条件判断を行う場合においては、本実施形態において示した各種の変数が、他の変数または定数と比較して、大きい、小さい、以上、以下、等しい等の条件を満たすかどうかを判断し、条件が成立した場合(又は不成立であった場合)に、異なる命令列へと分岐し、またはサブルーチンを呼び出す。
また、CPU2000は、記憶装置内のファイルまたはデータベース等に格納された情報を検索することができる。例えば、第1属性の属性値に対し第2属性の属性値がそれぞれ対応付けられた複数のエントリが記憶装置に格納されている場合において、CPU2000は、記憶装置に格納されている複数のエントリの中から第1属性の属性値が指定された条件と一致するエントリを検索し、そのエントリに格納されている第2属性の属性値を読み出すことにより、所定の条件を満たす第1属性に対応付けられた第2属性の属性値を得ることができる。
以上に示したプログラム又はモジュールは、外部の記録媒体に格納されてもよい。記録媒体としては、フレキシブルディスク2090、CD−ROM2095の他に、DVD又はCD等の光学記録媒体、MO等の光磁気記録媒体、テープ媒体、ICカード等の半導体メモリ等を用いることができる。また、専用通信ネットワーク又はインターネットに接続されたサーバシステムに設けたハードディスク又はRAM等の記憶装置を記録媒体として使用し、ネットワークを介してプログラムをコンピュータ1900に提供してもよい。
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
10・・・入力部、20・・・算出部、30・・・制御部、40・・・故障判定部、50・・・記憶部、100・・・制御装置、110・・・FFU、111・・・電源、120・・・パーティクルカウンタ、130・・・温度センサ、140・・・冷却部、142・・・冷水コイルバルブ、200・・・制御システム、300・・・クリーンルーム、1900・・・コンピュータ、2000・・・CPU、2010・・・ROM、2020・・・RAM、2030・・・通信インターフェイス、2040・・・ハードディスクドライブ、2050・・・フレキシブルディスク・ドライブ、2060・・・CD−ROMドライブ、2070・・・入出力チップ、2075・・・グラフィック・コントローラ、2080・・・表示装置、2082・・・ホスト・コントローラ、2084・・・入出力コントローラ、2090・・・フレキシブルディスク、2095・・・CD−ROM
Claims (19)
- ファンフィルタユニット(FFU)の動作を制御する制御装置であって、
パーティクルカウンタにより計測された計測パーティクル数に応じた信号および温度センサにより計測された計測温度に応じた信号が入力される入力部と、
前記計測パーティクル数に応じた第1のFFU制御量および前記計測温度に応じた第2のFFU制御量に基づいて、前記FFUの動作を制御する制御部と
前記計測パーティクル数に応じた信号および前記計測温度に応じた信号に基づいて、前記FFUの制御量を算出する算出部と
を備え、
前記算出部は、
前記計測パーティクル数が、予め定められた目標パーティクル数よりも大きくなった場合に、前記第1のFFU制御量を大きくし、
前記計測パーティクル数が、前記目標パーティクル数よりも小さくなった場合に、前記第1のFFU制御量を小さくし、
前記制御部は、
前記計測パーティクル数が、前記目標パーティクル数よりも大きい場合に、予め定められた第1待機時間だけ待機した後、前記計測パーティクル数が、前記目標パーティクル数よりも大きいときに、前記大きくした第1のFFU制御量で、前記FFUを制御し、
前記計測パーティクル数が、前記目標パーティクル数よりも小さい場合に、予め定められた第2待機時間だけ待機した後、前記計測パーティクル数が、前記目標パーティクル数よりも小さいときに、前記小さくした第1のFFU制御量で、前記FFUを制御し、
前記第1待機時間は、前記第2待機時間よりも短い制御装置。 - 前記制御部は、前記第1のFFU制御量および前記第2のFFU制御量のうち、大きい方のFFU制御量を選択して、前記FFUの動作を制御する
請求項1に記載の制御装置。 - 前記算出部は、
前記計測パーティクル数と予め定められた目標パーティクル数との関係に基づいて、前記第1のFFU制御量を算出し、
前記計測温度と予め定められた目標温度との関係に基づいて、前記第2のFFU制御量を算出する
請求項1又は2に記載の制御装置。 - 前記制御部は、前記第1待機時間および前記第2待機時間と、次の第1待機時間又は次の第2待機時間との間に、前記入力部への信号の入力を監視するための監視期間を設ける
請求項3に記載の制御装置。 - 前記制御部は、
前記計測パーティクル数が予め定められた第1の閾値以下の場合に予め定められた第1回転数で前記FFUを動作させ、
前記計測パーティクル数が前記第1の閾値を超えた場合に前記FFUの制御運転を開始し、
前記計測パーティクル数が前記第1の閾値よりも高い第2の閾値を超えた場合に、前記FFUを前記第1回転数よりも大きな第2回転数で動作させる
請求項4に記載の制御装置。 - 前記制御部は、前記計測パーティクル数が前記第2の閾値を超えた場合に、前記監視期間を設けずに、予め定められた監視周期で前記計測パーティクル数を監視する
請求項5に記載の制御装置。 - 前記算出部は、前記目標温度と前記計測温度との関係に基づいて、冷水コイルバルブのバルブ開度を算出し、
前記制御部は、前記バルブ開度に応じて、前記冷水コイルバルブのバルブ開度および前記FFUの動作を制御する
請求項3から6のいずれか一項に記載の制御装置。 - 前記算出部は、
前記計測温度が前記目標温度よりも高くなった場合に、前記第2のFFU制御量を大きくし、且つ、前記バルブ開度を大きくし、
前記計測温度が前記目標温度よりも低くなった場合に、前記第2のFFU制御量を小さくし、且つ、前記バルブ開度を小さくする
請求項7に記載の制御装置。 - 前記制御部は、
前記計測温度が前記目標温度よりも高い場合に、予め定められた第3待機時間だけ待機した後に、前記第2のFFU制御量で、前記FFUを制御し、
前記計測温度が前記目標温度よりも低い場合に、予め定められた第4待機時間だけ待機した後に、前記第2のFFU制御量で、前記FFUを制御し、
前記第3待機時間は、前記第4待機時間よりも長い
請求項8に記載の制御装置。 - 前記制御部は、前記バルブ開度に応じて、前記FFUの回転数の制御運転を開始するか否かを判断する
請求項7から9のいずれか一項に記載の制御装置。 - 前記制御部は、前記バルブ開度が予め定められた第3の閾値を連続して超える期間が、予め定められた第5待機時間を超えた場合に、前記FFUの制御運転を開始する
請求項7から10のいずれか一項に記載の制御装置。 - 前記パーティクルカウンタおよび前記温度センサの故障を判定する故障判定部をさらに備え、
前記制御部は、前記故障判定部が故障有と判定している間、予め定められた故障時用の回転数で前記FFUを動作させる
請求項1から11のいずれか一項に記載の制御装置。 - 前記制御部は、前記故障判定部が故障から復帰したと判定した場合、前記入力部に入力された前記計測パーティクル数および前記計測温度に基づいて、前記FFUの回転数を制御する
請求項12に記載の制御装置。 - 前記入力部には、複数のパーティクルセンサにより計測された複数の計測パーティクル数に応じた信号及び前記温度センサにより計測された前記計測温度に応じた信号が入力され、
前記制御部は、前記複数の計測パーティクル数から算出されたFFU制御量の内、最も大きいFFU制御量を選択して、前記FFUを制御する
請求項1から13のいずれか一項に記載の制御装置。 - 前記入力部に入力された信号と、前記入力された信号に応じた前記FFUの制御量を記憶する記憶部を更に備え、
前記制御部は、前記記憶部に記憶された情報に基づく前記FFUの制御量で、前記FFUの動作を制御する
請求項1から14のいずれか一項に記載の制御装置。 - 前記制御部は、前記記憶部に記憶された情報に対応する信号が前記入力部に入力された場合に、前記記憶部に記憶された情報から算出された最低回転数以上で、前記FFUを動作させる
請求項15に記載の制御装置。 - ファンフィルタユニット(FFU)と、
請求項1から16のいずれか一項に記載の制御装置と
を備える制御システム。 - コンピュータを請求項1から16のいずれか一項に記載の制御装置として動作させるためのプログラム。
- ファンフィルタユニット(FFU)の動作を制御するための制御方法であって、
パーティクルカウンタにより計測された計測パーティクル数に応じた信号および温度センサにより計測された計測温度に応じた信号を取得し、
前記計測パーティクル数に応じた第1のFFU制御量および前記計測温度に応じた第2のFFU制御量に基づいて、前記FFUの動作を制御し、
前記計測パーティクル数が、予め定められた目標パーティクル数よりも大きくなった場合に、前記第1のFFU制御量を大きくし、
前記計測パーティクル数が、前記目標パーティクル数よりも小さくなった場合に、前記第1のFFU制御量を小さくし、
前記計測パーティクル数が、前記目標パーティクル数よりも大きい場合に、予め定められた第1待機時間だけ待機した後、前記計測パーティクル数が、前記目標パーティクル数よりも大きいときに、前記大きくした第1のFFU制御量で、前記FFUを制御し、
前記計測パーティクル数が、前記目標パーティクル数よりも小さい場合に、予め定められた第2待機時間だけ待機した後、前記計測パーティクル数が、前記目標パーティクル数よりも小さいときに、前記小さくした第1のFFU制御量で、前記FFUを制御し、
前記第1待機時間は、前記第2待機時間よりも短い
制御方法。
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JP2000130826A (ja) * | 1998-10-26 | 2000-05-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 空気清浄機の制御装置 |
JP2007298263A (ja) * | 2006-04-28 | 2007-11-15 | Kyodo-Allied Industries Ltd | ファンフィルターユニットを用いて換気設備における空気特性を維持するための方法および装置 |
JP2014240733A (ja) * | 2013-06-12 | 2014-12-25 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 環境判断システム、環境判断プログラム、及び、機器選択装置 |
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2016
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