CN101046628A - 用于平面显示面板的柔性模具及其制造方法 - Google Patents

Abstract

披露的是一种用于模制平面显示面板的柔性模具及其制造方法。本发明制造柔性模具的方法包括：第一步，在光学透明柔性薄膜上形成与该隔板相对应的图案；第二步，在该柔性薄膜上在与该隔板相对应的图案之间形成镀敷图案的层，每个该镀敷图案与反转隔板形状相对应；以及第三步，将与该隔板相对应的该图案移除。此处，可以通过刻蚀光敏树脂来执行第一步。本发明的柔性模具包括光学透明材料的柔性薄膜，以及通过镀敷金属材料而在该柔性薄膜上形成的金属镀敷图案的层，其中每个镀敷图案具有反转隔板形状。

Description

用于平面显示面板的柔性模具及其制造方法

发明背景

发明领域

本发明涉及一种平面显示面板，以及，特别是，涉及一种用于形成面板上的隔板的设备和方法，该面板形成平板显示器。

现有技术的描述

近来，平板显示器薄型化并且大尺寸化。这种薄型化并且大尺寸化的平板显示器包括液晶显示器(LCD)、等离子体显示面板(PDP)以及有机电发光显示器(OLED)。

在本说明书中，将等离子体显示面板作为平板显示器的一个实例进行描述。这种等离子体显示面板通过使惰性气体，诸如氖(Ne)、氦(He)、氙(Xe)等，在两相对的面板之间放电，并使放电产生的紫外线激励磷光体来进行图像显示。

图1示出了这种等离子体显示面板的构造。如图中所示，等离子体显示面板包括顶面板10和底面板20。顶面板10和底面板20彼此粘合以分别形成等离子体显示面板的顶表面和底表面。

顶面板10包括顶玻璃11，其中总线电极13形成在顶玻璃11的底表面上。具有总线电极13的顶玻璃11的底表面形成有β(beta)形式的介电层14。介电层14由保护薄膜15保护。也就是说，保护薄膜15涂覆在介电层14的整个表面上。保护薄膜15由氧化镁(MgO)形成。保护薄膜15也作为产生二次电子的源。

底面板20包括底玻璃21，其中寻址电极22形成在底玻璃21的顶表面上。具有寻址电极22的底玻璃21的顶表面也形成有介电层23。在介电层23上，多个线性隔板以预定间距规则地形成。将如图1所示的隔板24的排列，也就是，多个隔板24沿纵向和横向方向彼此呈直角交叉的排列称作封闭型。这种排列也包括条纹型，在该条纹型中，该隔板形成为沿纵向方向线性地限定空间。另外，介电层23的顶表面在由该隔板限定的区域涂覆有磷光体25，其中该磷光体25交替地分为红(R)、绿(G)和蓝(B)色。

如果将如上所述构造的顶面板10和底面板20以其间具有预定间隙地彼此结合，则完成等离子体显示面板。当然，将作为惰性气体的放电气体密封在顶面板10和底面板20之间。

采用如上所述构造的等离子体显示面板，当各单元放电时，涂覆在由隔板24限定的放电空间内的磷光体25被紫外线激励，由此将可见光发射到顶面板外侧。因此，将图像信息显示在等离子体显示面板上。

此处，隔板24可以通过刻蚀过程或模制过程形成在底面板20上。该模制步骤可以利用金属模具或者柔性模具进行。

图2a至2c示出了利用金属模具模制隔板的过程。在底玻璃30的顶表面上涂覆均匀厚度的隔板原料31。另外，将形成有反转隔板形状的金属模具33定位在底玻璃30上方并与其定位。然后，对金属模具33向下施加预定水平的压力，以便进行加压成形。在对隔板原料31加压的条件下，执行固化步骤。当完成固化步骤时，使金属模具33和底玻璃30彼此分离。然后，底玻璃30模制有如图2c所示的隔板。

图3示出了利用柔性模具模制隔板的过程。

如图中所示，将可固化树脂41涂覆在基模40的顶表面上，其中该顶表面形成有隔板形状。然后，通过挤压器45使涂覆在基模40的顶表面上的可固化树脂41填充形成在该基模上的隔板形状。将挤压器45从基模40的一端移动到另一端，以便基模40的隔板形状充满可固化树脂41。通常，将光可固化树脂用于这种可固化树脂41，因为这种光可固化树脂能够在短的时间周期内固化。

如果使形成在基模40上的所有隔板形状都填充可固化树脂41，那么使柔性薄膜47在基模40的顶部定位。如果使柔性薄膜47定位，则使压辊49在柔性薄膜47的顶部定位，然后通过从基模40的一端向另一端移动压辊49来进行加压成形。

然后，如图3c所示，通过使压在可固化树脂41上的柔性薄膜47曝光于UV等来进行固化步骤。在经过预定时长之后，使完成了的柔性模具50从基模40分离。然后，获得如图3e所示的形成有反转隔板形状的柔性模具50。

与利用金属模具模制隔板的传统方法类似，将隔板原料涂覆在通过上述过程或步骤获得的柔性模具50上，并在玻璃的顶表面上加压成形，然后使柔性模具50向上卷起以从该玻璃释放，由此制造底面板20。

然而，上述模制显示面板上的隔板的传统方法存在下面的问题：

首先，对于利用金属模具的模制隔板的方法，有利的是模制过程简单，并且原料利用率高。然而，通过这种方法模制的隔板高度均匀性不足，并且底玻璃30可能由于金属模具33大面积施加的压力而破裂。

另外，在加压成形之后，难以使金属模具33和隔板原料31彼此分离。因此，当将金属模具33从底玻璃30释放时，如显示了局部细节的图2c所示，隔板原料31可能被局部撕下。

对于利用柔性模具模制隔板的方法，与利用金属模具的传统模制方法一样优点是该模制过程简单，并且由于使用柔性模具50，因此在加压成形时玻璃基底不会破裂。然而，由于柔性模具50是由可固化树脂形成，因此模具缺乏耐久性，并且当重复使用时会发生尺寸改变。另外，柔性模具的热膨胀率随着周围环境而改变，并且基模40和可固化树脂41的热膨胀率彼此不同。结果，柔性模具50的隔板并不如示出了局部细节的图3e所示的那样均匀地形成。这一现象使图案的尺寸均匀性劣化，这使作为最终产品的PDP的放电空间的均匀性劣化，由此导致不良的发光。

发明内容

因此，本发明已经解决了现有技术中产生的上述问题，并且本发明的一个目的是提供一种用于制造具有均匀尺寸的隔板的柔性模具，其既使重复使用也不会发生尺寸改变，以及一种制造这种模具的方法。

为了实现上述目的，提供一种制造用于模制平面显示面板的隔板的柔性模具的方法，其包括：第一步，在光学透明柔性薄膜上形成与该隔板相对应的图案；第二步，在该柔性薄膜上形成镀敷图案层，其每一个与该图案之间的反转隔板形状相对应；以及第三步，将该图案移除。

第一步中的图案可以由光敏层形成。此处，用光敏层形成与该隔板相对应的图案的步骤优选包括步骤：在该柔性薄膜的顶表面上形成预定厚度的光敏层；利用曝光掩模对该光敏层选择性地曝光；以及利用蚀刻剂使该光敏层的被选择和曝光部分显影以移除该曝光部分。

根据一实施例，该发明的方法还可以包括步骤：在显影步骤之后将残留在该柔性薄膜顶表面上的蚀刻剂清除；以及在该清除步骤之后使该柔性薄膜干燥。

另外，在第一步中的图案优选以使其每个顶角和底角具有预定曲率半径的方式模制。

优选地，在第一步中的每个图案的横截面为梯形，与其底侧相比，其顶侧相对长。

优选地，在第二步中的该镀敷图案以使其每个顶角和底角具有预定曲率半径的方式模制。另外，每个该镀敷图案的横截面优选具有梯形形状，与其底侧相比，其顶侧相对长。此处，该顶角的曲率半径也优选比该底角的曲率半径大。

根据本发明的另一方面，还提供一种用于模制平面显示面板上的隔板的柔性模具，其包括：光学透明材料的柔性薄膜；以及通过镀敷由金属材料在该柔性薄膜的顶表面上形成的镀敷图案的层，其中每个镀敷图案具有反转隔板形状。

镀敷图案的每个顶角和底角优选具有预定曲率半径。每个镀敷图案的横截面可以具有梯形，其顶侧比其底侧相对更长。更优选地，每个镀敷图案的顶角的半径比底角的半径相对更大。

根据具有上述技术特征的本发明的柔性模具及其制造方法，该柔性模具能够以更精确的尺寸制造并且可以避免由于重复使用而造成的柔性模具的尺寸变化。

以下，将参照附图更详细地描述本发明的柔性模具及其制造方法的若干个优选实施例。

附图简要说明

在阅读了下面结合附图的详细描述之后，本发明的上述和其他目的、特征和优点将更清楚，其中：

图1是示出传统的平面显示面板的构造的分解透视图；

图2a和2b是示出使用模制平面显示面板的传统金属模具来模制隔板的传统方法的横截面视图；

图2c是示出在由图2a和2b所示的方法形成的隔板中的问题的横截面视图；

图3a至3d是示出使用制造平面显示面板的传统柔性模具来模制隔板的传统方法的横截面视图；

图3e是示出在由图3a至3d所示的方法模制的隔板中的问题的横截面视图；

图4a至4f是示出制造用于模制平面显示面板的模具的本发明方法的优选实施例的横截面视图；

图5a至5d是示出利用用于模制平面显示面板的本发明的模具来模制隔板的步骤的横截面视图。

具体实施方式

以下，将参考附图更详细地描述本发明的优选实施例。在下面的描述和图中，使用相同的参考数字表示相同或相似的元件。

参考图4和5描述本发明的柔性模具及其制造方法。

如图4a所示，将用作柔性模具支撑体的柔性薄膜61设置在表面板60上。因为在下面将要描述的实际模制隔板的过程中使用光穿透，因此柔性薄膜61由光学透明材料形成。

当完成柔性薄膜61的定位之后，执行利用涂覆在柔性薄膜61的顶表面上的光敏层63形成与将要被模制的隔板相对应的隔板形状的步骤。为了形成隔板形状，执行形成光敏层63的步骤。光敏层63是其一个或更多个预定部分能够通过曝光或加热处理选择性地移除的层。通过选择性地移除预定部分，能够形成实质上与隔板相对应的图案。

可以利用光敏树脂或光致抗蚀剂薄膜形成光敏层63。将光敏树脂制备为液相并涂覆与将要形成在柔性薄膜的顶表面上的镀敷图案的层高度相对应的厚度。由于用于形成隔板的镀敷图案(此处，可以将该镀敷图案称作反转隔板形状)的高度为大约100至250μm，因此优选将由光敏树脂形成的光敏层63涂覆在100至250μm的范围内。

另外，如果光敏层63可以利用光致抗蚀剂薄膜形成。当然，通过曝光或加热处理将这种光致抗蚀剂薄膜的一个或更多个所需要的部分选择性地移除也是可能的。光致抗蚀剂薄膜具有与将要形成在柔性薄膜61的顶表面上的反转隔板图案的层厚度相对应的厚度。光致抗蚀剂薄膜从柔性薄膜61的一端覆盖到另一端。以这种方式制造的光敏层63形成在柔性薄膜61的顶表面上，使得前者的面积与后者的面积相对应。

在形成光敏层63之后，执行固化步骤。固化步骤在预定温度下进行预定时长。对于液体光敏树脂，固化步骤优选在大约120℃的温度下在十分钟内进行。对于光致抗蚀剂薄膜，固化步骤优选在大约80℃的温度下在十分钟内进行。对于该固化步骤，可以使光敏层63和柔性薄膜61刚性地彼此结合。

当形成光敏层63时，执行利用光敏层形成隔板63a的过程，其包括曝光掩模定位步骤，曝光步骤，显影步骤，清洁步骤和干燥步骤。首先，执行曝光掩模定位步骤，其中如图4b所示使形成有隔板形状的曝光掩模65在形成有光敏层63的柔性薄膜61的顶表面上定位。

然后，利用紫外线等从该定位的曝光掩模65的上侧执行曝光步骤。在该曝光步骤中，使用具有预定能量水平的曝光光源，并且进行预定时长的曝光。在该曝光步骤中，使通过该曝光掩模选择的一个或更多部分曝露于光源。

通过该曝光步骤，将涂覆在柔性薄膜61上的光敏层63分为曝光部分和未曝光部分。根据用作光敏层的光致抗蚀剂的类型，可能选择性地移除该曝光部分或未曝光部分。

当完成该曝光步骤时，执行显影步骤。在该显影步骤中，使用稀释到预定浓度的碱性溶液将该曝光部分或该未曝光部分选择性地移除。如果完成了该显影步骤，那么利用蒸馏水进行清洁步骤，然后在预定温度下进行预定时间周期的使该柔性薄膜干燥的干燥步骤。

通过上述步骤，将隔板63a形成在来自光敏层的柔性薄膜61的顶表面上，如图4c所示。由光敏层63形成的隔板63a将具有与平面显示面板的隔板基本上类似的形状。

此处，优选使由柔性薄膜61的顶表面上的光敏层63形成的每个隔板63a的顶角A和底角B倒圆角，以便使其每一个具有预定曲率半径。当每个顶角和底角具有预定曲率半径时，在最终完成的柔性模具(参见图4f)上的反转隔板形状图案的每个角都具有对应的曲率半径(Rt，Rb)。当该柔性模具上的腔的顶角和底角以这种方式倒圆角时，自然可能使在模制通过该柔性模具模制的平面显示面板的隔板时的产品不合格率最小化，并且可能提高在这种平面显示面板上显示的图像的质量。

为了使由示于图4c中的光敏层63形成的隔板63a的每个顶角A和底角B具有预定的曲率半径，可以考虑各种因素，诸如光致抗蚀剂的材料和敏感性、来自光源的光强和方向以及用显影剂清洁光致抗蚀剂的重复次数，来确定该曲率半径。优选地，使该顶角A的曲率半径小于该底角B的曲率半径。如果底角B的半径小于顶角A的，那么通过本发明的柔性模具模制的该平面显示面板的隔板的底角的曲率半径大于该隔板的顶角的曲率半径。当平面显示面板的隔板的底角的半径大于其顶角的半径时，当使每个单元放电时，涂覆在该隔板之间的磷光体被紫外线激励，由此更有效地发射可见光。

优选地，在刻蚀步骤期间完成的由光敏层63形成的每个隔板63a具有基本上梯形形状而不是矩形形状。也就是说，优选使每个隔板63a具有梯形形状，其顶侧比其底侧(与该柔性薄膜接触的侧)相对更大是优选的。顶侧和底侧之间的长度差优选以使每个隔板的相对侧壁具有相对于垂直平面大约6度或比6度稍大的角度的方式确定。如果每个隔板63a具有如上所述的梯形形状，那么图4f所示的每个镀敷图案70将具有梯形形状，其顶侧比其底侧相对更长。因此，由本发明的柔性模具71形成的平面显示面板的每个隔板形成为梯形形状，其顶侧比其底侧稍长。然而，因为该梯形的顶侧和底侧之间的长度差微小，所以图中将每个隔板以矩形形状示出作为实例。

可以通过各种方法将每个隔板63a形成为梯形。例如，通过重复进行形成光敏层、使该光敏层曝光和显影的步骤来形成梯形形状的每个隔板63a是可能的。可替换地，通过调节曝光的光的强度和方向以及光致抗蚀剂的材料(敏感性)来获得梯形隔板63a也是可能的。

通过上述过程，由柔性薄膜61的顶表面上的光敏层63形成隔板63a，其中该隔板63a可以被认为是基本上与平面显示面板的隔板对应的图案。

然后，在隔板63a之间的柔性薄膜61的顶表面上，通过镀敷执行形成镀敷图案的层的过程。首先，如图4d所示，将具有隔板63a的柔性薄膜61设置在支撑板67的顶表面上。支撑板67具有与柔性薄膜61的整体面积相对应的尺寸。

然后，将被支撑板67支撑的柔性薄膜61移到镀敷室(未示出)内。在该镀敷室(未示出)内进行电镀以在柔性薄膜61的顶表面上形成干燥的镀敷层。这时，通过电镀使金属镀敷图案70的层形成预定厚度，每个该金属镀敷图案70与反转隔板形状相对应，其中该电镀通过使镀敷板69以距柔性薄膜61预定距离与柔性薄膜61相对设置，并在镀敷板69和支撑板67之间施加预定等级的电压来进行镀敷。使镀敷图案70的层形成在显影步骤中被移除了的该曝光部分或未曝光部分的位置处的柔性薄膜60的顶表面上。也就是说，镀敷图案70分别形成在隔板63之间的柔性薄膜61的顶表面上，如图4e所示。

该电镀方法包括通过使将要被沉积的材料化学蒸发、反应、分解等来进行镀敷的方法，以及使在真空环境内的材料直接蒸发以使被蒸发的材料在基材上沉积和固化的方法。可以使用任意这些方法。另外，该电镀方法可以与使用还原反应或置换反应的非电解镀敷方法结合使用。

镀敷图案70的层由合成混合ITO、Ni、Cr、Ag、Au、Pt、Cu等形成的材料制造。镀敷图案70的层的主要金属成分为Ni，并且以预定比例加入其他金属。

优选地，使镀敷图案70的层形成为比将要被模制在玻璃上的该隔板的高度高大约10μm的高度。如果在利用形成有镀敷图案70的柔性模具71来模制隔板的过程中将树脂用作隔板的原料，那么该树脂可能收缩。对此，将镀敷图案层形成为比将要被模制在玻璃上的该隔板的高度高大约10μm。

当完成形成该镀敷图案层的步骤时，将经历了图案形成步骤的光敏层63形成的隔板63a和镀敷图案层70保留在柔性薄膜60的顶表面上。然后，执行将保留在柔性薄膜61上的隔板63a移除的步骤。例如，在镀敷图案层形成步骤之后，将柔性薄膜61移到释放槽(未示出)，在该释放槽内执行使光敏层63形成的隔板63a释放的步骤。在该光敏层移除步骤中，优选利用蚀刻剂将形成在柔性薄膜顶表面上的隔板63a移除。隔板63a为在曝光步骤中结晶化了的曝光部分或未曝光部分，并且优选可以将商业上可提供的溶液用作蚀刻剂。在使用了该蚀刻剂之后，执行清洁步骤，该清洁步骤用于通过利用蒸馏水清洗柔性薄膜来将残留在该表面上的蚀刻剂移除，然后执行使柔性薄膜在预定温度范围内干燥预定时长的步骤。

当完成光致抗蚀剂移除步骤时，将由光敏层形成的隔板63a移除。结果，如图4f所示完成柔性模具71，该柔性模具71包括柔性薄膜61和形成在柔性薄膜61的顶表面上的镀敷图案70。此处，将每个镀敷图案70以实质上反转隔板形状形成。

如在图4f中的放大视图所能够看到的那样，重复地形成镀敷图案70，其每一个具有梯形形状的横截面，其中与其底侧相比，该梯形形状的顶侧相对短，其中该反转隔板形状与将要被模制到平面显示面板上的每个隔板的反转形状相对应。在每个镀敷图案70中，与底角的曲率半径Rb相比，顶角具有相对长的曲率半径Rt。此处，底角的曲率半径Rb由上述隔板63a的底角B的曲率半径确定，而顶角的曲率半径Rt在上述镀敷过程中确定。因此，通过调整隔板63a的底角B的曲率半径Rb，那么以使该梯形形状的顶角的曲率半径Rt大于其底角的曲率半径Rb的方式将每个镀敷图案70形成为梯形形状是可能的。

如上所述，通过使镀敷形状70的梯形形状的顶角和底角倒圆角，每个该镀敷形状70形成为将要被模制在平面显示面板上的该隔板的反转形状，可能避免当利用本发明的柔性面板71制造平面显示面板时该隔板被部分撕开而造成的劣势。另外，还可能制造提供优良显示图像的隔板。

另外，通过形成镀敷图案70，使得与底角的曲率半径Rb相比，每个镀敷图案70的顶角具有相对大的曲率半径Rt，可能在平面显示面板上模制该隔板，以使该模板的底角的曲率半径限定为与其顶角相比相对大。当将平面显示面板的隔板的曲率半径限定为相对较大时，如上所述，当各单元放电时，涂覆在该隔板之间的磷光体被紫外线激励，由此更有效地发射可见光。

应当理解，本发明的柔性模具71将柔性薄膜用作基底，在其顶表面上形成镀敷图案70的层，每一个与反转隔板形状相对应。因为镀敷图案70由金属材料形成，所以其不会由于固化而收缩。另外，其具有优越的对抗由于重复使用而造成的尺寸改变和磨损的特性。

现在，描述利用本发明的柔性模具模制隔板的过程。

如图5a所示，把将要形成有隔板的玻璃设置在具有顶部平坦表面的表面板80上。表面板80已经形成有电极(未示出)。然后，将柔性模具71的一端锚固到表面板80上，并且通过分离装置移动另一端，使得柔性模具71从一端到另一端覆盖玻璃73的顶表面。这时，将隔板的原料75插入在玻璃73和柔性模具71之间。原料75可以由树脂(例如，光可固化树脂)形成。在使柔性模具71覆盖玻璃73的同时，使压辊77在柔性模具71的顶表面上沿预定方向移动，由此将柔性模具71压向玻璃73。

然后，如图5b所示，使用位于柔性模具上方的具有一定能量水平的热源或光源80执行热固化或光固化过程。通过该热固化或光固化过程，使隔板的原料75固化。因为柔性薄膜由光学透明材料形成，所以能够使原料75固化。

如果原料75是树脂，那么其在固化时收缩。然而，由于使柔性模具71上的镀敷图案70的层形成为比将要被模制的隔板的高度高大约10μm，因此即使原料收缩，也可能获得隔板所需要的高度。

当完成原料75的固化时，将柔性模具71的一端卷起，以便使柔性模具71从玻璃73分离。在使柔性模具71从玻璃73分离之后，可以在玻璃73的顶表面上执行预定处理。

通过上述过程，将隔板形状75a形成在平面显示面板的底面板90上。形成在底面板90上的隔板形状的高度为大约100至250μm。当将压力施加到底面板90的相对端时，在曲率半径方面，底面板的弯曲曲率优选不超过1000mm。

如上所述，根据本发明，提供一种形成有镀敷图案的层的柔性模具，该镀敷图案每一个具有反转隔板形状，通过镀敷由沉积在柔软材料的柔性薄膜上的金属材料形成，以及制造这种柔性模具的方法。

根据通过镀敷制造的本发明的柔性模具，由于柔性模具上的镀敷图案由镀敷图案层形成，因此不会由于热膨胀系数的不同而产生尺寸不均匀性。结果，能够提高尺寸的均匀性。另外，由于与普通可固化树脂相比，这种镀敷图案层具有优越的持久性，因此即使重复使用这种柔性模具也能够避免尺寸的变化。

尽管出于说明的目的已经披露了本发明的若干个优选实施例，但是，应当理解，本领域技术人员能够设计许多改进和实施例，其将落入本公开内容的原理的精神和范围。特别是，在所公开的内容、附图以及附加的权利要求的范围内，对主题组合排列的零部件和/或排列的各种改变和改进均是可能的。除了零部件和/或排列的改变和改进之外，可替换的用途对本领域技术人员而言也是明显的。

Claims (20)

1、一种制造用于模制平面显示面板的隔板的柔性模具的方法，其包括：

第一步，在光学透明的柔性薄膜上形成与该隔板相对应的图案；

第二步，在该柔性薄膜上在与该隔板相对应的图案之间形成镀敷图案的层，每个镀敷图案与反转隔板形状相对应；以及

第三步，将与该隔板相对应的该图案移除。

2.权利要求1所述的方法，其中在第一步中的图案由光敏层形成。

3.权利要求2所述的方法，其中所述第一步包含步骤：

在该柔性薄膜的顶表面上形成预定厚度的光敏层；

利用曝光掩模使所述光敏层选择性地曝光；以及

利用蚀刻剂使所述光敏层的被选择且被曝光的部分显影以将该部分移除。

4.权利要求3所述的方法，还包括步骤：

在显影步骤之后将残留在柔性薄膜的顶表面上的蚀刻剂清除；以及

在清除步骤之后使该柔性薄膜干燥。

5.权利要求1所述的方法，其中在第一步中的每个图案具有顶角和底角，其分别具有预定的曲率半径。

6.权利要求5所述的方法，其中在第一步中的每个该图案的横截面为梯形，与其底侧相比，其顶侧相对长。

7.权利要求5或6所述的方法，其中在第二步中每个镀敷图案具有顶角和底角，每个镀敷图案与反转隔板形状相对应，该顶角和底角分别具有预定的曲率半径。

8.权利要求7所述的方法，其中每个镀敷图案的横截面为梯形形状，每个镀敷图案与反转隔板形状相对应，与其底侧相比，该梯形形状的顶侧相对长。

9.权利要求7所述的方法，其中将每个镀敷图案形成为使得顶角的曲率半径比底角的曲率半径相对更大。

10.权利要求9所述的方法，其中镀敷图案的层的高度比该隔板稍大。

11.权利要求2所述的方法，其中在第一步中由光敏层形成的每个图案的顶角和底角分别具有预定的曲率半径。

12.权利要求11所述的方法，其中在第一步中的每个图案的横截面为梯形形状，与其底侧相比，其顶侧相对大。

13.权利要求11或12所述的方法，其中在第二步中的每个镀敷图案的顶角和底角分别具有预定的曲率半径。

14.权利要求13所述的方法，其中每个镀敷图案的顶角比其底角相对更大。

15.权利要求13或14所述的方法，其中镀敷图案的层的高度比隔板的高度稍高。

16.一种用于模制在平面显示面板上的隔板的柔性模具，其包含：

光学透明材料的柔性薄膜；以及

通过镀敷由金属材料在该柔性薄膜的顶表面上形成的镀敷图案的层，其中每个所述镀敷图案具有反转隔板形状。

17.权利要求16所述的柔性模具，其中每个镀敷图案的顶角和底角分别具有预定的曲率半径。

18.权利要求17所述的柔性模具，其中每个镀敷图案的横截面为梯形形状，其顶侧比其底侧相对更大。

19.权利要求16或17所述的柔性模具，其中每个镀敷图案的顶角的曲率半径比该底角的曲率半径相对更大。

20.权利要求16或17所述的柔性模具，其中镀敷图案的层的高度比该隔板的高度稍大。

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