CN100999306A

CN100999306A - 半导体液态材料的缓冲装瓶装置

Info

Publication number: CN100999306A
Application number: CN 200610002529
Authority: CN
Inventors: 江鸿儒; 简永杰; 许根雄
Original assignee: Chunghwa Picture Tubes Ltd
Current assignee: Chunghwa Picture Tubes Ltd
Priority date: 2006-01-10
Filing date: 2006-01-10
Publication date: 2007-07-18

Abstract

一种缓冲装瓶装置包括：一缓冲槽，含有一注入口用以注入一液态材料以及一连接管路用以馈送其内液态材料；至少一填装瓶，用以存储连接管路所馈送的液态材料；一液重感应装置，用以监测缓冲槽与填装瓶内液态材料的液重；以及一控制装置，用以接收来自液重感应装置所测得缓冲槽内液态材料的一第一液重信号与所测得填装瓶内液态材料的一第二液重信号进行液态材料的一注入控制与一馈送装瓶控制。可借助结合过滤器将过滤器、缓冲槽、外接管路及电子磅秤整合成一台自动化秤重装瓶设备，增加搅拌后液态材料过滤装瓶的便利性。

Description

半导体液态材料的缓冲装瓶装置

技术领域

本发明有关一种液体供给装置，特别是提供一种半导体工艺中的光阻缓冲装填装置。

背景技术

于半导体工艺中，光阻剂为常用的材料，光阻的生产过程可区分为两个阶段，第一阶段为预混(pre-mixing)，主要是将溶剂(solvent)、粉末(powder)与结合剂(binder)等较难溶解的材料先进行搅拌混合后再过滤；第二阶段为混合(mixing)，再添加光阻颜料及较易溶解的材料等进行搅拌混合后进行过滤与装瓶。一般所使用的混合过滤器只是单纯的循环过滤，于装瓶时须于过滤器上外接一条管线连接至洁净室(clean bench)进行装瓶步骤。

然而，光阻混合过滤后，因需外接管路至洁净室进行秤重装瓶，其外接管路有相当长度，管路不易清洗且易造成光阻残留于管壁内导致污染。于进行光阻装瓶的过程中，须由现场操作人员观察填充状况，并于快装满时关闭过滤器电源停止填瓶动作。操作人员需时时注意电子磅秤或填充瓶状况，容易因人为疏失造成光阻溢到瓶外。装瓶时，光阻会在搅拌桶内经由混合过滤器的马达抽取后再流至光阻瓶内。然而，于过滤器中需施加较大压力才能使光阻通过滤心，也因滤心内外压力不同使光阻通过后会产生气泡。另外，管路末端若距瓶底太高亦可能再次产生气泡，导致光阻尚未填满就溢出瓶外。光阻中若含有气泡亦会影响其后的工序，不仅仅是光阻，是凡一般特用化学品都可能出现此种问题。因此，如何解决上述问题对改善工厂内的制造流程与成品的品质是很重要的。

发明内容

为了解决上述问题，本发明目的之一是提供一种缓冲装瓶装置，缓冲槽与装瓶的外接管路是设计成可拆式，故可拆下清洗或更换以减少液态材料的残留与污染。

本发明目的之一是为了避免人为操作的失误，减少液态材料溢出的问题而提供一种缓冲装瓶装置，利用电子磅秤加装定量设定可有效地控制装瓶流量。

本发明目的之一是为了防止液态材料于装瓶时容易产生泡沫的问题而提供一种缓冲装瓶装置，借助缓冲槽的使用可解决产生泡沫的问题。

本发明目的之一是提供一种缓冲装瓶装置，可借助结合过滤器将过滤器、缓冲槽、外接管路及电子磅秤整合成一台自动化秤重装瓶设备，增加搅拌后液态材料过滤装瓶的便利性。

为了达到上述目的，本发明的缓冲装瓶装置包含：一缓冲槽，其含有一注入口用以注入一液态材料以及一连接管路用以馈送其内液态材料；至少一填装瓶，其用以存储连接管路所馈送的液态材料；一液重感应装置，用以监测缓冲槽与填装瓶内液态材料的液重；以及一控制装置，用以接收来自液重感应装置所测得缓冲槽内液态材料的一第一液重信号与所测得填装瓶内液态材料的一第二液重信号，进行液态材料的一注入控制与一馈送装瓶控制。

附图说明

图1所示为根据本发明的一实施例的缓冲装瓶装置的结构示意图。

图2所示为根据本发明的一实施例的过滤装瓶装置的结构示意图。

图3所示为根据本发明一实施例的缓冲装瓶装置中缓冲槽的局部构造示意图。

具体实施方式

图1所示为根据本发明一实施例的缓冲装瓶装置的结构示意图。于本实施例中，一缓冲槽20具有一注入口22用于液态材料的注入30以及一连接管路24用以馈送缓冲槽20内的液态材料。一填装瓶40是用来存储由连接管路24所馈送的液态材料。一液重感应装置包括一第一电子磅秤50与一第二电子磅秤52用来分别监测缓冲槽20与填装瓶40内液态材料的液重。一控制装置60，用来接收来自第一电子磅秤50所测得缓冲槽20内液态材料的一第一液重信号150与第二电子磅秤52所测得填装瓶40内液态材料的一第二液重信号152用以进行液态材料的一注入控制与一馈送装瓶控制。于本发明中，液态材料为光阻液或是只要需要过滤装瓶的液体都可使用。

接续上述说明，于本实施例中，液态材料的注入控制是借助一泵32加以控制。当缓冲装瓶装置启动时，控制装置60会发送注入控制信号132控制泵32的开启进行液态材料的注入30作动。液态材料注入缓冲槽20时，当控制装置60接收到第一液重信号150上升至一起始设定值时即可进行装瓶动作。控制装置60是送出一加压控制信号170与一减压控制信号172，分别利用一惰性气体注入加压70与一惰性气体排出减压72交互控制进行液态材料馈送装瓶控制。其中，惰性气体为氮气及空气之任一。于装瓶进行中，当控制装置60接收到第二液重信号152达到填装瓶40的一填装瓶设定值时，借助压力控制，立刻停止装瓶。另外，于装瓶进行中，当控制装置60接收到第一液重信号150上升至一最高警示设定值时，借助控制泵32的作动，立即停止液态材料的注入30作动。又，于装瓶进行中，当控制装置60接收到第一液重信号150下降至一最低警示设定值时，借助控制泵32的作动，执行液态材料的注入30作动。于本实施例中，亦可使用复数个填装瓶进行液态材料的装填动作，如此需配合使用复数个第二电子磅秤监测装填的状况。

图2所示为根据本发明一实施例的过滤装瓶装置的结构示意图示意图。于本实施例中，此过滤装瓶装置包括一过滤组件10，其具有一注入口12用于液态材料的注入30并加以过滤。一缓冲槽20，其具有一第一连接管路26用以馈入经由过滤组件10过滤后的液态材料与一第二连接管路28用以馈送缓冲槽20内液态材料。一填装瓶40，其用以存储缓冲槽20内由第二连接管路28所馈送的液态材料。一液重感应装置，其包括一第一电子磅秤50与一第二电子磅秤52分别用来监测缓冲槽20与填装瓶40内液态材料液重。一控制装置60，用来接收来自第一电子磅秤50所测得缓冲槽20内液态材料的一第一液重信号150与第二电子磅秤52所测得填装瓶40内液态材料的一第二液重信号152用以进行液态材料的一注入控制与一馈送装瓶控制。接续上述说明，本实施例中，液态材料的装瓶控制是相同于前一实施例的说明，于此不再赘述。

图3所示为根据本发明一实施例的缓冲装瓶装置中缓冲槽的局部构造示意图。于本实施例中，与缓冲槽20连接的第一连接管路26，第二连接管路28，或用于控制压力的气体注入加压的管路74与气体排出减压的管路76都设置于缓冲槽20的一上盖21。上盖21与缓冲槽20是以扣环(图上未示)密合，扣环打开可将缓冲槽20与上盖21分离清洗，可改善以往用大量容液进行回路冲洗的浪费。管路74与管路76上分别有控制阀77，78于其上用以分别接收控制装置所传送的加压控制信号170与减压控制信号172控制缓冲槽20内气体压力进行装瓶。

根据上述，于本发明中，缓冲槽内液态材料的起始设定值、最高警示设定值、最低警示设定值与填装瓶设定值取决于缓冲槽实际的容量与所使用填装瓶的大小。举例来说，一过滤装瓶装置，若缓冲槽的容量为20公斤，其起始设定值为10公斤、最高警示设定值为15公斤、最低警示设定值为3公斤，填装瓶的填装设定值为10公斤。当过滤器启动时，液态材料会流至缓冲槽暂存，等第一电子磅秤测得缓冲槽内的液态材料达始设定值为10公斤，控制装置借助压力控制开始进行装瓶动作。于装瓶中，液态材料可持续注入缓冲槽与装瓶动作同时进行。当第二电子磅秤测得填装瓶内液态材料达填装设定值为10公斤时，控制装置借助压力控制停止装瓶动作。此时，操作人员可更换填装瓶继续装填动作，于换瓶过程中，液态材料持续注入，当第一电子磅秤测得缓冲槽内的液态材料达始最高警示设定值为15公斤时，控制装置会控制停止液态材料的注入，此状况亦可能发生在液态材料注入速率大于填装速率的时候。若液态材料注入速率小于填装速率或是填装中但进料停止时，当第一电子磅秤测得缓冲槽内的液态材料达始最低警示设定值为3公斤时，控制装置会控制停止装瓶动作进行液态材料的注入。另外，或是经由设定将剩下的液态材料填装至填装瓶中，当第一电子磅秤测得缓冲槽内已无液态材料时，控制装置则控制结束装瓶动作。本发明经由设计可同时填充多数个填装瓶，且具有安全警示的自动控制，方便操作人员于洁净室内使用。

综合上述，本发明所使用的缓冲槽与装瓶的外接管路是设计成可拆式，故可拆下清洗或更换以减少液态材料的残留与污染。为了避免人为操作的失误，减少液态材料溢出的问题，利用电子磅秤加装定量设定可有效地控制装瓶流量。借助缓冲槽的使用可防止液态材料于装瓶时容易产生泡沫的问题。将过滤器、缓冲槽、外接管路及电子磅秤整合成一台自动化秤重装瓶设备，增加搅拌后液态材料过滤装瓶的便利性。

以上所述的实施例仅为说明本发明的技术思想及特点，其目的在使熟悉本技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，当不能以其限定本发明的专利保护范围，即凡是依本发明所揭示的精神所作的等效的变化或替换，仍应涵盖在本申请的权利要求的范围内。

Claims

1.一种半导体液态材料的缓冲装瓶装置，包含：

一缓冲槽，其含有一注入口用以注入一液态材料以及一连接管路用以馈送其内该液态材料；

至少一填装瓶，其用以存储该连接管路所馈送的该液态材料；

一液重感应装置，用以监测该缓冲槽与该填装瓶内该液态材料的液重；以及

一控制装置，用以接收来自该液重感应装置所测得该缓冲槽内该液态材料的一第一液重信号与所测得该填装瓶内该液态材料的一第二液重信号，进行该液态材料的一注入控制与一馈送装瓶控制。

2.如权利要求1所述的半导体液态材料的缓冲装瓶装置，其特征在于该控制装置是借助一泵进行该液态材料的该注入控制。

3.如权利要求1所述的半导体液态材料的缓冲装瓶装置，其特征在于该控制装置是借助一惰性气体利用加压减压进行该液态材料的该馈送装瓶控制。

4.如权利要求3所述的半导体液态材料的缓冲装瓶装置，其特征在于该惰性气体为氮气及空气之任一。

5.如权利要求1所述的半导体液态材料的缓冲装瓶装置，其特征在于该液重感应装置包含一第一电子磅秤与至少一第二电子磅秤分别监测该缓冲槽与该填装瓶内该液态材料的液重。

6.如权利要求1所述的半导体液态材料的缓冲装瓶装置，其特征在于该液态材料由注入口注入该缓冲槽时，当该控制装置接收到该第一液重信号上升至一起始设定值时即可进行装瓶。

7.如权利要求6所述的半导体液态材料的缓冲装瓶装置，其特征在于于装瓶时，当该控制装置接收到该第二液重信号达到一填装瓶设定值时即停止装瓶。

8.如权利要求6所述的半导体液态材料的缓冲装瓶装置，其特征在于于装瓶时，当该控制装置接收到该第一液重信号上升至一最高警示设定值时即停止由该注入口注入该液态材料。

9.如权利要求6所述的半导体液态材料的缓冲装瓶装置，其特征在于于装瓶时，当该控制装置接收到该第一液重信号下降至一最低警示设定值时即进行由该注入口注入液态材料。

10.如权利要求1所述的半导体液态材料的缓冲装瓶装置，其特征在于该液态材料为光阻液。

11.一种过滤装瓶装置，包含：

一过滤组件，其具有一注入口用以注入一液态材料并加以过滤；

一缓冲槽，其具有一第一连接管路用以馈入该过滤组件过滤后的该液态材料与一第二连接管路用以馈送该缓冲槽内该液态材料；

至少一填装瓶，其用以存储该缓冲槽内由该第二连接管路所馈送的该液态材料；

12.如权利要求11所述的过滤装瓶装置，其特征在于该控制装置是借助一泵于该过滤组件进行该液态材料的该注入控制。

13.如权利要求11所述的过滤装瓶装置，其特征在于该控制装置是借助一惰性气体利用加压减压于该缓冲槽进行该液态材料的该馈送装瓶控制。

14.如权利要求13所述的过滤装瓶装置，其特征在于该惰性气体为氮气及空气之任一。

15.如权利要求11所述的过滤装瓶装置，其特征在于该液重感应装置包含一第一电子磅秤与至少一第二电子磅秤分别监测该缓冲槽与该填装瓶内该液态材料的液重。

16.如权利要求11所述的过滤装瓶装置，其特征在于该液态材料由注入口注入该缓冲槽时，当该控制装置接收到该第一液重信号上升至一起始设定值时即可进行装瓶。

17.如权利要求16所述的过滤装瓶装置，其特征在于于装瓶时，当该控制装置接收到该第二液重信号达到一填装瓶设定值时即停止装瓶。

18.如权利要求16所述的过滤装瓶装置，其特征在于于装瓶时，当该控制装置接收到该第一液重信号上升至一最高警示设定值时即停止由该注入口注入该液态材料。

19.如权利要求16所述的过滤装瓶装置，其特征在于于装瓶时，当该控制装置接收到该第一液重信号下降至一最低警示设定值时即进行由该注入口注入该液态材料。

20.如权利要求11所述的过滤装瓶装置，其特征在于该液态材料为光阻液。