CN100569042C - 一种等离子淋浴器的灯丝引线机构 - Google Patents
一种等离子淋浴器的灯丝引线机构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN100569042C CN100569042C CNB2006100655831A CN200610065583A CN100569042C CN 100569042 C CN100569042 C CN 100569042C CN B2006100655831 A CNB2006100655831 A CN B2006100655831A CN 200610065583 A CN200610065583 A CN 200610065583A CN 100569042 C CN100569042 C CN 100569042C
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- lead
- cooled
- lead terminal
- female
- water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
- Massaging Devices (AREA)
Abstract
本发明等离子淋浴器灯丝引线机构，采用一公一母的快插式连接结构，装拆便捷，并且导通电流大，灯丝连接端设计柔性连接件，适应能力强。
Description
技术领域
本发明是一种等离子淋浴器的灯丝引线结构，用于等离子淋浴器的灯丝引线。属于半导体设备领域。
技术背景
在100nm或更高水平的离子注入工艺中，通常都应用等离子淋浴技术，消除晶片表面的静电积累，提高注入工艺性能。等离子淋浴用的等离子淋浴灯丝通过的电流大，需定期更换灯丝，因此灯丝引线结构应具有电流流通能力强，拆装方便的特点。本发明具有了以上特点，完全适应等离子淋浴灯丝的使用要求。
发明内容
本发明等离子淋浴器引线机构采用一公一母的快插式连接结构，装拆便捷，且能导通大电流。灯丝连接端设计柔性连接件，适应能力强。
该机构由以下部件构成：灯丝装夹机构1，第一铜连接条2，第二铜连接条3，第一导线条4，第二导线条5，两螺母6，两绝缘套7，公水冷引线端子8，母引线头9，公引线头10，母水冷引线端子11，四个压片12。如图1所示。
所述的灯丝装夹机构1上装夹灯丝。
所述的第一铜连接条2一端用螺钉连接在第一导线条4上，其中一节弯成圆弧状，能增大连接弹性，使连接更可靠。
同样，所述第二铜连接条3一端为使用螺钉连接在第二导线条5上，其中一节弯成圆弧状，以增大连接弹性，使得连接更为可靠。
所述的第一导线条4一端与第一铜连接条2相连，另一端卡在公水冷引线端子8的槽内，起中间导电作用。
所述第二导线条5一端与第二铜连接条3相连，另一端则是卡在母水冷引线端子11的槽内，起中间导电作用。
一个所述螺母6与公水冷引线端子8螺纹端连接，和其中两个所述压片12一块把所述第一导线条4锁紧在所述公水冷引线端子8的槽内；另一个所述螺母6与母水冷引线端子11螺纹端连接，和另外两个所述压片12一块把所述第二导线条5锁紧在所述母水冷引线端子11的槽内。
一个所述绝缘套7套在公水冷引线端子8外，起绝缘作用；另一个所述绝缘套7套在母水冷引线端子11外，起绝缘作用。
所述的公水冷引线端子8与母引线头9对接配合，所述的母引线头9内孔卡装公水冷引线端子8。
所述的公引线头10与母水冷引线端子11配装。
其中两个所述压片12分别压在所述第一导线条4上下，与螺母6接触，因此可防止拧螺母6时带动第一导线条4转动而使其方向错位；另外两个所述压片12分别压在所述第二导线条5上下，与螺母6接触，因此可防止拧螺母6时带动第二导线条5转动而使其方向错位。
附图说明
图1为等离子淋浴器灯丝引线机构的结构示意图。
图2为等离子淋浴器灯丝引线机构的三维造型图。
图1中，灯丝装夹机构1，第一铜连接条2，第二铜连接条3，第一导线条4，第二导线条5，螺母6，绝缘套7，公水冷引线端子8，母引线头9，公引线头10，母水冷引线端子11，压片12。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步介绍，但不作为对发明的限定。
如图1和图2，一种新型的等离子淋浴器的灯丝引线机构，由灯丝装夹机构1，第一铜连接条2，第二铜连接条3，第一导线条4，第二导线条5，两螺母6，两绝缘套7，公水冷引线端子8，母引线头9，公引线头10，母水冷引线端子11，四个压片12组成。
灯丝装夹机构1上装灯丝，第一铜连接条2的一段做成圆弧型以及第二铜连接条3的一段做成圆弧型，以增大连接柔性；第一导线条4和第二导线条5均采用卡入式螺母锁紧连接，使连接更可靠；绝缘套7采用有机玻璃材质，既有好的绝缘性，又能观察调节位置。母引线头9和公水冷引线端子8以及公引线头10和母水冷引线端子11都设计成一公一母快插入式，使装拆方便，所用材料为锡青铜，既耐磨导电能力又强。
Claims (1)
1.一种等离子淋浴器的灯丝引线机构，其特征在于，该机构由下列部件构成：灯丝装夹机构(1)，第一铜连接条(2)，第二铜连接条(3)，第一导线条(4)，第二导线条(5)，两螺母(6)，两绝缘套(7)，公水冷引线端子(8)，母引线头(9)，公引线头(10)，母水冷引线端子(11)，四个压片(12)；
所述的灯丝装夹机构(1)上装夹灯丝；所述的第一铜连接条(2)一端为用螺钉连接在第一导线条(4)上，其中一节弯成圆弧状；所述第二铜连接条(3)一端为用螺钉连接在第二导线条(5)，其中一节弯成圆弧状；所述的第一导线条(4)一端与第一铜连接条(2)相连，另一端卡在公水冷引线端子(8)的槽内，起中间导电作用；所述第二导线条(5)一端与第二铜连接条(3)相连，另一端卡在母水冷引线端子(11)的槽内，起中间导电作用；一个所述螺母(6)与公水冷引线端子(8)螺纹端连接，和其中两个所述压片(12)一块把所述第一导线条(4)锁紧在所述公水冷引线端子(8)的槽内；另一个所述螺母(6)与母水冷引线端子(11)螺纹端连接，和另外两个所述压片(12)一块把所述第二导线条(5)锁紧在所述母水冷引线端子(11)的槽内；一个所述绝缘套(7)套在公水冷引线端子(8)外，起绝缘作用；另一个所述绝缘套(7)套在母水冷引线端子(11)外，起绝缘作用；所述的公水冷引线端子(8)与母引线头(9)对接配合，所述的公引线头(10)与母水冷引线端子(11)配装；其中两个所述压片(12)分别压在所述第一导线条(4)上下，另外两个所述压片(12)分别压在所述第二导线条(5)上下。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNB2006100655831A CN100569042C (zh) | 2006-03-22 | 2006-03-22 | 一种等离子淋浴器的灯丝引线机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNB2006100655831A CN100569042C (zh) | 2006-03-22 | 2006-03-22 | 一种等离子淋浴器的灯丝引线机构 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101043785A CN101043785A (zh) | 2007-09-26 |
| CN100569042C true CN100569042C (zh) | 2009-12-09 |
Family
ID=38808898
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNB2006100655831A Expired - Fee Related CN100569042C (zh) | 2006-03-22 | 2006-03-22 | 一种等离子淋浴器的灯丝引线机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN100569042C (zh) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102446689A (zh) * | 2010-10-13 | 2012-05-09 | 北京中科信电子装备有限公司 | 一种真空中电极引入装置 |
| CN102867718B (zh) * | 2011-07-05 | 2016-03-16 | 北京中科信电子装备有限公司 | 一种用于离子淋浴器的灯丝装夹和供电结构 |
| CN103794453A (zh) * | 2013-07-18 | 2014-05-14 | 北京中科信电子装备有限公司 | 一种双灯丝等离子淋浴装置 |
-
2006
- 2006-03-22 CN CNB2006100655831A patent/CN100569042C/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN101043785A (zh) | 2007-09-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN201741937U (zh) | 电连接器 | |
| WO2007115070A8 (en) | Sealed eurytopic make-break connector utilizing a conductive elastomer contact | |
| CN100569042C (zh) | 一种等离子淋浴器的灯丝引线机构 | |
| CN104143716A (zh) | 多点接触低阻抗插拔式电连接器 | |
| CN103939859A (zh) | Led灯的组装方法 | |
| CN2809973Y (zh) | 电源连接器 | |
| CN2829168Y (zh) | 母线槽连接装置 | |
| US7488217B2 (en) | Electric power connector | |
| JP2010153389A (ja) | 気中遮断機のフィンガーモジュール | |
| CN111009758B (zh) | 一种大容差浮动连接器及连接器组件 | |
| CA2577212A1 (en) | Electrical track and connector assembly | |
| CN209071244U (zh) | 一种断路器固定端用小型连接器 | |
| CN203868761U (zh) | 易组装的led灯 | |
| CN104319513B (zh) | 一种便于内锥电缆插拔的连接装置及其与电缆的连接方法 | |
| CN208142397U (zh) | 一种开关插座 | |
| CN203119147U (zh) | 一种单插口多路输出高压连接器 | |
| CN105337101A (zh) | 一种板对板连接器 | |
| CN201829438U (zh) | 一种断路器静触头机构 | |
| KR200183936Y1 (ko) | 전기기구용 콘센트 | |
| CN202977187U (zh) | 自动转换开关的触头机构 | |
| CN109038010A (zh) | 具有两个弹性插针的电源连接器 | |
| CN203721940U (zh) | 一种改进型电连接器 | |
| CN2814725Y (zh) | 多功能插座转换器 | |
| CN215896733U (zh) | 2极27mm模数终端电器专用转接端子及模数终端电器 | |
| CN201075416Y (zh) | 一种电子线路板用短接插结构 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20091209 Termination date: 20200322 |