CN102867718B - 一种用于离子淋浴器的灯丝装夹和供电结构 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种用于离子注入机的离子淋浴器灯丝装夹和通电结构，包括：铜连接片(1)和(2)，用于给灯丝(8)通电，灯丝座压块(3)和(4)，灯丝引线连接块(5)和(6)，灯丝座(7)，灯丝(8)，弧室板(9)，灯丝连接杆(10)和(11)，灯丝压套(12)和(13)，灯丝杆螺母(14)和(15)。其特征在于，灯丝杆螺母(14)和(15)穿过灯丝引线连接块(5)和(6)，通过螺纹与穿过灯丝座(7)的灯丝连接杆(10)和(11)相连，灯丝(8)的两端分别装夹在灯丝连接杆(10)和(11)里，并通过灯丝杆螺母(14)和(15)调节灯丝(8)装夹的位置和松紧度。

Description

一种用于离子淋浴器的灯丝装夹和供电结构
技术领域
本发明涉及一种用于离子注入机的离子淋浴器灯丝装夹和供电结构。更进一步的，本发明涉及一种结构简单可靠的离子淋浴器灯丝装夹通电结构。本发明涉及离子注入机，属于半导体装备制造领域。
背景技术
随着科学技术的发展，离子注入技术得到了越来越广泛的应用，而在离子注入过程中，离子淋浴器作为低能电子发射器，广泛的应用于中和离子注入机中晶片的电荷积累。中和注入过程中晶片上的积累电荷，对于离子注入工艺来说，具有非常重要的作用。
本发明提供了一种用于离子淋浴器的灯丝装夹和通电结构，其结构简单可靠，能有效装夹灯丝并为其供电。
发明内容
本发明涉及一种用于离子淋浴器的灯丝装夹和通电结构。
本发明所涉及的实施例包括以下结构件：铜连接片(1)和(2)，用于给灯丝(8)通电，灯丝座压块(3)和(4)，灯丝引线连接块(5)和(6)，灯丝座(7)，灯丝(8)，弧室板(9)，灯丝连接杆(10)和(11)，灯丝压套(12)和(13)，灯丝杆螺母(14)和(15)
所述铜连接片(1)和(2)，其一端和灯丝引线连接块(5)和(6)相连，另一端连接电源，从而给灯丝(8)的两端供电。
所述灯丝杆螺母(14)和(15)穿过灯丝引线连接块(5)和(6)，通过螺纹与穿过灯丝座(7)的灯丝连接杆(10)和(11)相连，灯丝(8)的两端分别装夹在灯丝连接杆(10)和(11)里，并通过灯丝杆螺母(14)和(15)调节灯丝(8)装夹的位置和松紧度。
所述灯丝座(7)的材料为陶瓷，起到绝缘的作用。
附图说明
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍，但不作为对本发明专利的限定。
图1为灯丝装夹和通电结构的立体图。
图2为灯丝装夹和通电结构的剖面图。
图1和图2中，1和2为铜连接片，用于给灯丝8通电，3和4为灯丝座压块，5和6为灯丝引线连接块，7为灯丝座，8为灯丝，9为弧室板，10和11为灯丝连接杆，12和13为灯丝压套，14和15为灯丝杆螺母。
具体实施方式
如图1和图2所示，本文涉及了一种用于离子淋浴器的灯丝装夹和通电结构。其中，(1)和(2)为铜连接片，其一端和灯丝引线连接块(5)和(6)相连，另一端连接电源，从而给灯丝(8)的两端供电。灯丝(8)的装夹结构由灯丝装夹和通电结构的剖面图图2，可以清楚的看到，灯丝杆螺母(14)和(15)穿过灯丝引线连接块(5)和(6)，通过螺纹与穿过灯丝座(7)的灯丝连接杆(10)和(11)相连，从而将灯丝杆螺母(14)和(15)、灯丝引线连接块(5)和(6)以及灯丝连接杆(10)和(11)固定在灯丝座(7)上。灯丝(8)的两端分别装夹在灯丝连接杆(10)和(11)里，并通过灯丝杆螺母(14)和(15)调节灯丝(8)装夹的位置和松紧度。
由图2可见，灯丝座(7)通过灯丝座压块(3)和(4)压紧在弧室板(9)上面，灯丝连接杆(10)和(11)与灯丝座(7)之间安装了灯丝压套(12)和(13)，减小压紧灯丝(8)时灯丝连接杆(10)和(11)与灯丝座(70之间的压力。其中灯丝座7的材料为陶瓷，起到绝缘的作用。
以上所述已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。

Claims (1)

1.一种用于离子注入机的离子淋浴器灯丝装夹和通电结构，包括：铜连接片（1、2），用于给灯丝（8）通电，灯丝座压块（3、4），灯丝引线连接块（5、6），灯丝座（7），灯丝（8），弧室板（9），灯丝连接杆（10、11），灯丝压套（12、13），灯丝杆螺母（14、15）；所述灯丝杆螺母（14、15）穿过灯丝引线连接块（5、6），通过螺纹与穿过灯丝座（7）的灯丝连接杆（10）和相连，从而将灯丝杆螺母（14、15）、灯丝引线连接块（5、6）以及灯丝连接杆（10、11）固定在灯丝座（7）上；所述灯丝的两端分别装夹在灯丝连接杆（10、11）里，并通过灯丝杆螺母（14、15）调节灯丝装夹的位置和松紧度。
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