CN100554069C - 振动吸附装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种振动吸附装置，其包括有上吸盘安装板(1)、下吸盘安装板(2)、十二个吸盘组件、放气组件(6)、偏心轮、电机(5)、偏心轮框(7)；十二个吸盘组件分成两组，且通过各自的连接杆分别与上吸盘安装板(1)、下吸盘安装板(2)连接；放气组件(6)通过舵机机座(61)固定在上吸盘安装板(1)的上面板上；电机(5)通过电机安装架(51)固定在上吸盘安装板(1)的上面板上；偏心轮框(7)的底座(72)连接在下吸盘安装板(2)的下面板上，偏心轮框(7)的立板(71)顺次穿过下吸盘安装板(2)的B方孔(207)、上吸盘安装板(1)的A方孔(107)。本发明涉及一种用于爬壁机器人的的振动吸附装置，吸附原理为通过给吸盘施加振动激励使吸盘内腔产生负压进而产生吸附效果，可以实现吸盘的无源吸附。在振动过程吸盘内腔存在正压过程，振动幅度越大，振动频率越高，吸盘内腔平均负压越低。

Description

振动吸附装置

技术领域

本发明涉及一种适用于爬壁机器人的吸附装置，更特别地说，是指一种具有低功耗的、可控的、能在较粗糙表面实现稳定吸附的吸附装置。

背景技术

目前，能够实现在垂直表面稳定吸附的吸附原理多为被动式吸附原理，即使用真空泵来使吸盘内腔产生负压，但是被动式的吸附原理只能在相当光滑的表面上吸附，在较粗糙的表面则需要功耗很高的真空泵来保证吸盘内的真空度。

在自主式的爬壁机器人领域的研究中，为了提高机器人的适应性，在设计机器人的吸附装置时必须使用可靠性高的真空泵吸盘。由于真空泵的体积大、功耗大，导致机器人很难实现完全的自主，从而限制了爬壁机器人技术的发展。

发明内容

为了克服使用真空泵导致的体积增大、功耗增大等局限性，本发明提出了一种全新的主动式振动吸附原理并依据该原理设计了一种结构紧凑、功耗低的振动式吸附装置。该原理实现方法简单、稳定性高，振动吸附装置具有体积小、功耗小、模块化设计的优点，以及和真空泵吸盘相当的控制响应速度。

本发明的振动吸附装置包括有上吸盘安装板1、下吸盘安装板2、十二个吸盘组件、放气组件6、偏心轮、电机5、偏心轮框7；十二个吸盘组件分成两组，且通过各自的连接杆分别与上吸盘安装板1、下吸盘安装板2连接；放气组件6、电机5安装在上吸盘安装板1的上面板上，偏心轮框7的底座72连接在下吸盘安装板2的下面板上，偏心轮框7的立板71顺次穿过下吸盘安装板2的B方孔207、上吸盘安装板1的A方孔107；电机5的输出轴与偏心轮连接。

本发明的振动吸附装置，通过两个相对平行的吸盘安装板，以及十二个真空吸盘，采用吸盘分成两组分别安装在上吸盘安装板1、下吸盘安装板2的下方的方式，使两组吸盘相互间隔。通过在上吸盘安装板1、下吸盘安装板2设置的三个平行的滚珠滑轨相连，保证了上吸盘安装板1、下吸盘安装板2的相对运动只有一个自由度。由与电机输出轴连接的偏心轮、偏心轮框7、三个滚珠滑轨组成的偏心轮滑块机构实现了上吸盘安装板1、下吸盘安装板2的相对振动，相对振动的上吸盘安装板1、下吸盘安装板2使本发明吸附装置不使用真空泵就能实现在较粗糙的表面的稳定吸附，为该类主动式的吸附装置提供了可靠的低能耗解决方案。由舵机61、阀体64和放气阀63组成放气机构，从十二个真空吸盘中引出的导气管接到放气阀63的吸气孔上，通过舵机驱动阀体64完成十二个真空吸盘的放气工作。

附图说明

图1是本发明振动吸附装置的结构图。

图2是本发明振动吸附装置的仰视结构图。

图3是本发明吸盘组件的结构图。

图3A是本发明吸盘组件的连接杆的结构图。

图4是本发明上吸盘安装板与吸盘、滚珠轴承的装配图。

图4A是本发明上吸盘安装板与连接杆、滚珠轴承的装配图。

图5是本发明上吸盘安装板的结构图。

图5A是图5的仰视图。

图6是本发明下吸盘安装板与吸盘的装配图。

图6A是本发明下吸盘安装板与连接杆的装配图。

图7是本发明下吸盘安装板的结构图。

图7A是图7的仰视图。

图8是本发明放气组件的结构图。

图8A是本发明放气组件的爆炸示图。

图9是本发明偏心轮框的结构图。

图中：         1.上吸盘安装板     101.第一组A连接件  102.第一组B连接件103.第一组C连接件  104.第一组D连接件  105.第一组E连接件  106.第一组F连接件107.A方孔          111.A导杆          112.B导杆          113.C导杆2.下吸盘安装板     201.第二组A连接件  202.第二组B连接件  203.第二组C连接件204.第二组D连接件  205.第二组E连接件  206.第二组F连接件  207.B方孔211.A直线导轨      212.B直线导轨      213.C直线导轨      3A.第一组A吸盘3B.第一组B吸盘     3C.第一组C吸盘     3D.第一组D吸盘     3E.第一组E吸盘3F.第一组F吸盘     3a.第一组A连接杆   3b.第一组B连接杆   3c.第一组C连接杆3d.第一组D连接杆   3e.第一组E连接杆   3f.第一组F连接杆   4A.第二组A吸盘4B.第二组B吸盘     4C.第二组C吸盘     4D.第二组D吸盘     4E.第二组E吸盘4F.第二组F吸盘    4a.第二组A连接杆  4b.第二组B连接杆  4c.第二组C连接杆4d.第二组D连接杆  4e.第二组E连接杆  4f.第二组F连接杆  5.电机51.电机安装架   6.放气组件    61.舵机     62.舵机机座   621.底部622.通孔        623.侧板      63.放气阀   631.中心通孔  632.吸气孔64.阀体         641.阀芯      642.阀框    65.A凸轮      66.B凸轮67.C凸轮        7.偏心轮框    71.立板     72.底座       73.方形框8A.A滚珠轴承    8B.B滚珠轴承  8C.C滚珠轴承

具体实施方式

下面将结合附图对本发明做进一步的详细说明。

本发明的振动吸附装置，通过两个相对平行的吸盘安装板(上吸盘安装板1、下吸盘安装板2)，以及十二个真空吸盘，采用吸盘分成两组分别安装在上吸盘安装板1、下吸盘安装板2的下方的方式，使两组吸盘相互间隔。通过在上吸盘安装板1、下吸盘安装板2设置的三个平行的滚珠滑轨(由滚珠轴承、直线导轨、导杆)相连，保证了上吸盘安装板1、下吸盘安装板2的相对运动只有一个自由度。由与电机输出轴连接的偏心轮、偏心轮框7、三个滚珠滑轨组成的偏心轮滑块机构实现了上吸盘安装板1、下吸盘安装板2的相对振动，相对振动的上吸盘安装板1、下吸盘安装板2使本发明吸附装置不使用真空泵就能实现在较粗糙的表面的稳定吸附，为该类主动式的吸附装置提供了可靠的低能耗解决方案。由舵机61、阀体64和放气阀63组成放气机构，从十二个真空吸盘中引出的导气管接到放气阀63的吸气孔上，通过舵机驱动阀体64完成十二个真空吸盘的放气工作。

参见图1所示，振动吸附装置包括有上吸盘安装板1、下吸盘安装板2、十二个吸盘组件、放气组件6、偏心轮、电机5、偏心轮框7；十二个吸盘组件分成两组，且通过各自的连接杆分别与上吸盘安装板1、下吸盘安装板2连接；放气组件6、电机5安装在上吸盘安装板1的上面板上，偏心轮框7的底座72连接在下吸盘安装板2的下面板上，偏心轮框7的立板71顺次穿过下吸盘安装板2的B方孔207、上吸盘安装板1的A方孔107；电机5的输出轴与偏心轮连接。放气组件6通过舵机机座61固定在上吸盘安装板1的上面板上；电机5通过电机安装架51固定在上吸盘安装板1的上面板上。

上吸盘安装板1与下吸盘安装板2平行放置，且相距2～5cm。

所述十二个吸盘组件的结构相同，且分成两组，每组有六个吸盘组件；即第一组吸盘组件、第二组吸盘组件。(参见图3、图3A所示)吸盘组件由吸盘31和连接杆32构成，连接杆32上设有上凸台34、下凸台35，连接杆32的中心开有通气道33，吸盘31安装在连接杆32的一端，连接杆32的另一端与上吸盘安装板1或下吸盘安装板2上的具有内螺纹的连接件连接。在放气组件6的舵机61驱动下，使吸盘31具有负压。连接杆的一端与吸盘连接，连接杆的另一端安装在即第一组A吸盘3A、第一组B吸盘3B、第一组C吸盘3C、第一组D吸盘3D、第一组E吸盘3E、第一组F吸盘3F；第二组A吸盘4A、第二组B吸盘4B、第二组C吸盘4C、第二组D吸盘4D、第二组E吸盘4E、第二组F吸盘4F；第一组吸盘安装在下吸盘安装板2的下方；第二组吸盘的连接杆穿过下吸盘安装板2上的通孔后固定在上吸盘安装板1的下方；

十二个吸盘首先以下吸盘安装板2的圆心为中心点，采用圆心角60度放置一个吸盘在下吸盘安装板2的圆周上，然后以布局在圆周上的每相隔一个吸盘的两个吸盘的盘心线上放置两个吸盘进行布局，从而使吸盘在下吸盘安装板2上呈五边形分布，且每一边分配四个吸盘。参见图2所示，第一组吸盘中有三个吸盘(第一组A吸盘3A、第一组C吸盘3C、第一组E吸盘3E)、第二组吸盘中有三个吸盘(第二组A吸盘4A、第二组C吸盘4C、第二组E吸盘4E)分别以圆心角60度的方式安装在下吸盘安装板2的圆周上，即第一组A吸盘3A、第二组A吸盘4A、第一组C吸盘3C、第二组C吸盘4C、第一组E吸盘3E和第二组E吸盘4E；

在第一组A吸盘3A与第一组C吸盘3C的盘心线AC上顺次放置有第二组B吸盘4B、第一组D吸盘3D；

在第一组A吸盘3A与第一组E吸盘3E的盘心线AE上顺次放置有第一组B吸盘3B、第二组F吸盘4F；

在第一组C吸盘3C与第一组E吸盘3E的盘心线CE上顺次放置有第二组D吸盘4D、第一组F吸盘3F；

在第二组A吸盘4A与第二组C吸盘4C的盘心线A₁C₁上顺次放置有第一组D吸盘3D、第二组D吸盘4D；

在第二组A吸盘4A与第二组E吸盘4E的盘心线A₁E₁上顺次放置有第二组B吸盘4B、第一组B吸盘3B；

在第二组C吸盘4C与第二组E吸盘4E的盘心线C₁E₁上顺次放置有第一组F吸盘3F、第二组F吸盘4F。

参见图4、图4A、图5、图5A所示，上吸盘安装板1的中心开有A方孔107(A方孔107用于偏心轮框7的立板71穿过)，上吸盘安装板1的上面板上设有具有内螺纹的第一组A连接件101、第一组B连接件102、第一组C连接件103、第一组D连接件104、第一组E连接件105和第一组F连接件106，第一组A连接件101、第一组B连接件102、第一组C连接件103、第一组D连接件104、第一组E连接件105和第一组F连接件106上分别螺纹连接有第一组吸盘组件的第一组A连接杆3a、第一组B连接杆3b、第一组C连接杆3c、第一组D连接杆3d、第一组E连接杆3e、第一组F连接杆3f。第一组A连接杆3a、第一组B连接杆3b、第一组C连接杆3c、第一组D连接杆3d、第一组E连接杆3e、第一组F连接杆3f的另一端上分别连接有第一组A吸盘3A、第一组B吸盘3B、第一组C吸盘3C、第一组D吸盘3D、第一组E吸盘3E、第一组F吸盘3F(参见图2所示)。上吸盘安装板1的下面板上设有A导杆111、B导杆112、C导杆113，A导杆111、B导杆112、C导杆113上分别连接有A滚珠轴承8A、B滚珠轴承8B、C滚珠轴承8C。A滚珠轴承8A、B滚珠轴承8B、C滚珠轴承8C分别置于下吸盘安装板2的A直线导轨211、B直线导轨212、C直线导轨213内(参见图7A所示)。

参见图6、图6A、图7、图7A所示，下吸盘安装板2的中心开有B方孔207(B方孔207用于偏心轮框7穿过，且座固定在下吸盘安装板2的下面板上)，下吸盘安装板2的下面板上设有具有内螺纹的第二组A连接件201、第二组B连接件202、第二组C连接件203、第二组D连接件204、第二组E连接件205和第二组F连接件206，第二组A连接件201、第二组B连接件202、第二组C连接件203、第二组D连接件204、第二组E连接件205和第二组F连接件206上分别螺纹连接有第二组吸盘组件的第二组A连接杆4a、第二组B连接杆4b、第二组C连接杆4c、第二组D连接杆4d、第二组E连接杆4e、第二组F连接杆4f。第二组A连接杆4a、第二组B连接杆4b、第二组C连接杆4c、第二组D连接杆4d、第二组E连接杆4e、第二组F连接杆4f的另一端上分别连接有第二组A吸盘4A、第二组B吸盘4B、第二组C吸盘4C、第二组D吸盘4D、第二组E吸盘4E、第二组F吸盘4F(参见图2所示)。下吸盘安装板2的下面板的圆周上设有A直线导轨211、B直线导轨212、C直线导轨213，A直线导轨211、B直线导轨212、C直线导轨213内分别放置有A滚珠轴承8A、B滚珠轴承8B、C滚珠轴承8C。

参见图8、图8A所示，放气组件5由舵机61、舵机机座62、放气阀63、阀体64、A凸轮65、B凸轮66、C凸轮67组成，舵机61安装在舵机机座62的侧板623上，舵机机座62的上板上开有通孔622(通孔622用于阀芯641通过后与放气阀63中的C凸轮67套接)，通孔622处安装有放气阀63，放气阀63的中心有一供C凸轮67放置的中心通孔631，放气阀63的外圆周上设有十二个吸气孔632，该吸气孔632分别插接十二条软管，能够将十二个吸盘中的空气吸走，使吸盘为负气压，从而实现与粗糙表面的附着力。舵机机座62的底部621与上吸盘安装板1固定连接，舵机61输出端与B凸轮66连接，B凸轮66的外部套接有A凸轮65，B凸轮66、A凸轮65套接后放置于阀体64的阀框642中，阀体64的阀芯641穿过通孔622后与C凸轮67套接，且置于放气阀63的中心通孔内。在本发明中，通过控制舵机61的转动带动阀体64在放气阀63中移动实现十二通二位式的控制气路，实现对十二个真空吸盘的放气工作。通过给吸盘施加外部振动激励使吸盘内腔产生负压，由于单个吸盘的振动过程中存在正压过程，需要将吸盘组合成吸盘组，通过吸盘组之间的交替振动产生稳定的吸附力，通过放气组件6实现吸盘的放气工作，从而使吸附装置与接触面脱开。

在本发明中，上吸盘安装板1、下吸盘安装板2通过三个滚珠轴承(A滚珠轴承111、B滚珠轴承112、C滚珠轴承113)与三个直线导轨(A直线导轨211、B直线导轨212、C直线导轨213)的配合导向，确保了振动过程中吸盘运动的稳定性。

参见图9所示，偏心轮框7的立板71上开有方形框73，底座72连接在下吸盘安装板2的下面板上。电机5安装在电机架51上，电机5的输出轴上连接有偏心轮(图中未示出)，且置于方形框73内。电机5带动偏心轮旋转，进而带动偏心轮框7连同下吸盘安装板2和装配在A直线导轨211、B直线导轨212、C直线导轨213中的三个滚珠轴承(A滚珠轴承111、B滚珠轴承112、C滚珠轴承113)作上下往复运动，从而实现两组吸盘(上吸盘安装板1、下吸盘安装板2)的交替振动。

在本发明中，直流伺服电机5、偏心轮(与电机输出轴连接)、偏心轮框7、上吸盘安装板1、下吸盘安装板2、滚珠轴承(A滚珠轴承111、B滚珠轴承112、C滚珠轴承113)、直线导轨(A直线导轨211、B直线导轨212、C直线导轨213)构成振动机构。

在本发明中，上吸盘安装板1、下吸盘安装板2、滚珠轴承(A滚珠轴承111、B滚珠轴承112、C滚珠轴承113)、直线导轨(A直线导轨211、B直线导轨212、C直线导轨213)构成直线导向机构。该直线导向机构使上吸盘安装板1、下吸盘安装板2只能沿导轨轴向这一个自由度运动。

在本发明中，直流伺服电机5、偏心轮、偏心轮框7构成偏心轮驱动机构，通过将偏心轮框7与下吸盘安装板2相连，电机5与上吸盘安装板1相连，偏心轮与电机5的输出轴固定，偏心轮置于偏心轮框7的方形框73内使偏心轮驱动机构带动上吸盘安装板1、下吸盘安装板2沿导轨往复运动。

在本发明中，十二个硅橡胶真空吸盘、与上吸盘安装板1连接的连接杆(第一组A连接杆3a、第一组B连接杆3b、第一组C连接杆3c、第一组D连接杆3d、第一组E连接杆3e、第一组F连接杆3f)、与下吸盘安装板2连接有连接杆构(第二一组A连接杆4a、第二组B连接杆4b、第二组C连接杆4c、第二组D连接杆4d、第二组E连接杆4e、第二组F连接杆4f)构成吸附组件(参见图3、图3A所示)。该吸附组件通过吸盘与被吸附表面之间构成密闭空间所形成的负压实现吸盘的吸附。十二个吸盘被分成两组，互相间隔地分布在下吸盘安装板2的下面板上。

在本发明中，放气阀阀体64、放气阀63、舵机61、A凸轮65、B凸轮66、C凸轮67构成放气机构。该放气机构通过十二根导气管一端分别与放气阀63上的吸气孔连接，另一端分别与第一组A连接杆3a、第一组B连接杆3b、第一组C连接杆3c、第一组D连接杆3d、第一组E连接杆3e、第一组F连接杆3f、第二一组A连接杆4a、第二组B连接杆4b、第二组C连接杆4c、第二组D连接杆4d、第二组E连接杆4e、第二组F连接杆4f的通气道相接，从而实现在舵机61的转动带动B凸轮66驱动阀体64的阀芯641在放气阀63中运动实现放气阀密闭与开放。当吸附装置吸附之后需要其脱离，控制舵机61旋转一定角度即可，从而实现吸附装置的控制。

本发明的振动吸附装置正拉力载荷可达30N，功耗只有2W，自重为350g，所占空间为Φ90×55。其性能与现在的传统的吸附装置相比有着明显的优势。

本发明涉及一种用于爬壁机器人的的振动吸附装置，吸附原理为通过给吸盘施加振动激励使吸盘内腔产生负压进而产生吸附效果，可以实现吸盘的无源吸附。在振动过程吸盘内腔存在正压过程，振动幅度越大，振动频率越高，吸盘内腔平均负压越低。

Claims (7)

1、一种振动吸附装置，其特征在于：包括有上吸盘安装板(1)、下吸盘安装板(2)、十二个吸盘组件、放气组件(6)、偏心轮、电机(5)、偏心轮框(7)；十二个吸盘组件分成两组，且通过各自的连接杆分别与上吸盘安装板(1)、下吸盘安装板(2)连接；放气组件(6)通过舵机机座(61)固定在上吸盘安装板(1)的上面板上；电机(5)通过电机安装架(51)固定在上吸盘安装板(1)的上面板上；偏心轮框(7)的底座(72)连接在下吸盘安装板(2)的下面板上，偏心轮框(7)的立板(71)顺次穿过下吸盘安装板(2)的B方孔(207)、上吸盘安装板(1)的A方孔(107)；

所述十二个吸盘组件的结构相同，且分成两组，每组有六个吸盘组件；吸盘组件由吸盘(31)和连接杆(32)构成，连接杆(32)上设有上凸台(34)、下凸台(35)，连接杆(32)的中心开有通气道(33)，吸盘(31)安装在连接杆(32)的一端，连接杆(32)的另一端与连接件连接；

所述上吸盘安装板(1)的中心开有A方孔(107)，上吸盘安装板(1)的上面板上设有具有内螺纹的A连接件(101)、B连接件(102)、C连接件(103)、D连接件(104)、E连接件(105)和F连接件(106)；A连接件(101)、B连接件(102)、C连接件(103)、D连接件(104)、E连接件(105)和F连接件(106)上分别螺纹连接有第一组吸盘组件的第一组A连接杆(3a)、第一组B连接杆(3b)、第一组C连接杆(3c)、第一组D连接杆(3d)、第一组E连接杆(3e)、第一组F连接杆(3f)；第一组A连接杆(3a)、第一组B连接杆(3b)、第一组C连接杆(3c)、第一组D连接杆(3d)、第一组E连接杆(3e)、第一组F连接杆(3f)的另一端分别连接有第一组A吸盘(3A)、第一组B吸盘(3B)、第一组C吸盘(3C)、第一组D吸盘(3D)、第一组E吸盘(3E)、第一组F吸盘(3F)；

所述下吸盘安装板(2)的中心开有B方孔(207)；下吸盘安装板(2)的下面板的圆周上设有A直线导轨(211)、B直线导轨(212)、C直线导轨(213)，A直线导轨(211)、B直线导轨(212)、C直线导轨(213)内分别放置有A滚珠轴承(8A)、B滚珠轴承(8B)、C滚珠轴承(8C)；下吸盘安装板(2)的下面板上设有具有内螺纹的A连接件(201)、B连接件(202)、C连接件(203)、D连接件(204)、E连接件(205)和F连接件(206)，A连接件(201)、B连接件(202)、C连接件(203)、D连接件(204)、E连接件(205)和F连接件(206)上分别螺纹连接有第二组吸盘组件的第二组A连接杆(4a)、第二组B连接杆(4b)、第二组C连接杆(4c)、第二组D连接杆(4d)、第二组E连接杆(4e)、第二组F连接杆(4f)；第二组A连接杆(4a)、第二组B连接杆(4b)、第二组C连接杆(4c)、第二组D连接杆(4d)、第二组E连接杆(4e)、第二组F连接杆(4f)的另一端上分别连接有第二组A吸盘(4A)、第二组B吸盘(4B)、第二组C吸盘(4C)、第二组D吸盘(4D)、第二组E吸盘(4E)、第二组F吸盘(4F)；

所述放气组件(5)由舵机(61)、舵机机座(62)、放气阀(63)、阀体(64)、A凸轮(65)、B凸轮(66)、C凸轮(67)组成，舵机(61)安装在舵机机座(62)的侧板(623)上，舵机机座(62)的上板上开有通孔(622)，通孔(622)处安装有放气阀(63)，放气阀(63)的中心有一供C凸轮(67)放置的中心通孔(631)，放气阀(63)的外圆周上设有十二个吸气孔(632)，舵机机座(62)的底部(621)与上吸盘安装板(1)固定连接，舵机(61)输出端与B凸轮(66)连接，B凸轮(66)的外部套接有A凸轮(65)，B凸轮(66)、A凸轮(65)套接后放置于阀体(64)的阀框(642)中，阀体(64)的阀芯(641)穿过通孔(622)后与C凸轮(67)套接，且置于放气阀(63)的中心通孔内；

十二根导气管一端分别与放气阀(63)上的吸气孔连接，另一端分别与第一组A连接杆(3a)、第一组B连接杆(3b)、第一组C连接杆(3c)、第一组D连接杆(3d)、第一组E连接杆(3e)、第一组F连接杆(3f)、第二组A连接杆(4a)、第二组B连接杆(4b)、第二组C连接杆(4c)、第二组D连接杆(4d)、第二组E连接杆(4e)、第二组F连接杆(4f)的通气道相接。

2、根据权利要求1所述的振动吸附装置，其特征在于：上吸盘安装板(1)与下吸盘安装板(2)平行放置，且相距2～5cm。

3、根据权利要求1所述的振动吸附装置，其特征在于：所述十二个吸盘组件中的十二个吸盘首先以下吸盘安装板(2)的圆心为中心点，采用圆心角60度放置一个吸盘在下吸盘安装板(2)的圆周上，然后以布局在圆周上的每相隔一个吸盘的两个吸盘的盘心线上放置两个吸盘进行布局，从而使吸盘在下吸盘安装板(2)上呈六边形分布，且每一边分配四个吸盘。

4、根据权利要求1所述的振动吸附装置，其特征在于：电机(5)、偏心轮、偏心轮框(7)、上吸盘安装板(1)、下吸盘安装板(2)、A滚珠轴承(111)、B滚珠轴承(112)、C滚珠轴承(113)、A直线导轨(211)、B直线导轨(212)、C直线导轨(213)构成振动机构。

5、根据权利要求1所述的振动吸附装置，其特征在于：上吸盘安装板(1)、下吸盘安装板(2)、A滚珠轴承(111)、B滚珠轴承(112)、C滚珠轴承(113)、A直线导轨(211)、B直线导轨(212)、C直线导轨(213)构成直线导向机构。

6、根据权利要求1所述的振动吸附装置，其特征在于：电机(5)、偏心轮、偏心轮框(7)构成偏心轮驱动机构。

7、根据权利要求1所述的振动吸附装置，其特征在于：振动吸附装置正拉力载荷可达30N，功耗只有2W，自重为350g。

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