CN100475366C - 洗净装置 - Google Patents

Abstract

一种洗净装置，包括：利用溶剂对被洗净物、即工件进行洗净的洗净槽；将溶剂加热蒸发的加热器；对蒸发的溶剂的蒸汽进行冷凝回收的冷却器；保持工件并浸渍在洗净槽内的工件搬运装置；使该工件搬运装置和洗净槽中的一方进行相对旋转的旋转驱动装置；使工件搬运装置升降的升降驱动装置，其中，将旋转驱动装置及升降驱动装置中的至少一方配置在洗净槽的上方，同时，将这些旋转驱动装置及升降驱动装置中配置在洗净槽上方的装置做成可相对于洗净槽拆装。因为旋转及升降驱动装置中配置在洗净槽上方的装置做成可相对于洗净槽可拆装，当旋转驱动装置配置在上方的场合，可从洗净槽侧拆卸该旋转驱动装置以进行维护作业，也可进行洗净槽等的洗净等的维护。

Description

洗净装置

技术领域

本发明涉及洗净装置。更详细地说，本发明涉及使用溶剂对被洗净物、即工件进行洗净的洗净装置的结构的改良。

背景技术

作为用于对产品和构件等的机械物品(本说明书中称其为“工件”)进行洗净的装置，已在使用一种具有煮沸洗净槽和超声波洗净槽等各种洗净槽、用于将工件移动的工件搬运装置等，将被洗净物、即工件依次浸渍在各槽内进行自动洗净的洗净装置(比如，参照日本专利文献1、2)。

这样的洗净装置中的重要课题之一是，如何除去溶剂中混入的颗粒并维持高清净度(本说明书中该“颗粒”这个用语是指金属粉、陶瓷的粒子这样的大约0.5～5μm程度大小的微粒子，混入洗净槽中的洗净溶剂中的场合，成为该洗净溶剂的清净度下降的主要因素而使用的)。传统的洗净装置中，也有一种利用泵将溶剂一度输送到装置外，在该处通过过滤器将颗粒除去后再返回洗净槽这样的所谓外部循环型的装置。但是，如果是这样的结构，则外部需要泵等其他装置，对于小型化不利，而且用于溶剂清净的泵本身有产生颗粒的情况等，对洗净装置来说也有不利的一面。

为此，作为不存在这样的问题的洗净装置，比如，利用包含以下构件的洗净装置。即，这些构件为：利用溶剂对工件进行洗净的洗净槽；将溶剂加热蒸发的加热器；对蒸发的溶剂的蒸汽进行回收的比如漏斗状的冷却器；保持工件并浸渍在洗净槽内的工件搬运装置；将该工件搬运装置和洗净槽的一方进行相对旋转的旋转驱动装置；使工件搬运装置升降的升降驱动装置。这样的洗净装置中，通过将已蒸发的溶剂在装置的内部进行冷却蒸馏，不用泵和过滤器就可进行精制，通过将精制后的溶剂返回最终洗净槽，从而维持该最终洗净槽内的溶剂的清净度高的状态。

这样的洗净装置中，也有通过从装置本体的中央下部朝上穿出的旋转轴使工件搬运装置等进行旋转的情况，也有取代这样的穿出的旋转轴，在装置的上部设置电机等驱动装置使旋转轴和工件搬运装置等进行旋转的情况。这类装置中，也有为了使装置本体小型化，将回收后的溶剂沿旋转轴流入最终洗净槽内这样的将该旋转轴作为溶剂的引导装置进行利用的装置。

而且，在将如此已蒸发的溶剂在装置内部进行冷却蒸馏的洗净装置中，也有通过利用绝热材料覆盖冷却器的周围以实现其周围的构件与环境之间绝热的洗净装置。

这样的洗净装置中，洗净用的溶剂要求保持高的清净度。为此，为了对洗净用的溶剂进行清净化，正在使用一种通过将洗净用溶剂一度蒸发后进行冷凝并返回洗净槽、在进行溶剂精制的同时进行的这种称为蒸馏精制型的洗净装置。

另外，这种洗净装置中，也有通过从装置本体中央下部向上穿出的旋转轴使工件搬运装置旋转的结构，但因为在洗净槽下部设有加热器和超声波装置这样的结构上的情况，或为了提高工件移动时的精度和可靠性，需要使用DC齿轮传动电机和同步皮带这样的要求，所以有一种取代这样的穿出的旋转轴，而在装置的上部设置电机等驱动装置，由此使旋转轴和工件搬运装置等进行旋转的结构。

即，当初是因为若电机等驱动装置设置在洗净槽的上部，则有可能受到从洗净槽作为蒸汽上升而来的溶剂的影响，所以为了避免这种影响，才将驱动装置设置在不受溶剂影响的洗净槽的下部的，但实际上发现，利用位于洗净槽上部的冷却管，溶剂的蒸汽的大部分被冷凝，可作为再生液进行回收，即使将驱动装置配置在上部，也不受溶剂的影响或即使受到影响的话影响也很小，这才将驱动装置设置在装置的上部侧。比如，可仅在能将洗净槽相对于固定的槽(废液罐)旋转的上部侧设置驱动装置更能减轻旋转负荷，而且还能得到可固定加热器和超声波振动器的配线的好处。另外，考虑到驱动部上部受溶剂影响的风险，也有利用同步皮带将电机及传感器从冷却管开口部进行偏置安装的情况。

专利文献1：日本专利特开昭60-78679号公报

专利文献2：日本专利特公平7-106345号公报

但是，如此结构的洗净装置中，因为驱动装置配置在洗净槽的上方，因而会发生洗净槽的维护不易或在这样的状态下无法进行维护作业的情况，这样的情况下洗净装置的保养和维护作业变得很烦杂。

另外，通过将洗净溶剂一度蒸发后进行冷凝再返回洗净槽，对溶剂同时进行精制的蒸馏精制型的洗净装置的场合，通过将液化后的溶剂返回最终洗净槽，以实现该最终洗净槽的高清净度，但蒸馏精制时，有时有水混入该最终洗净槽内，不仅使清净度下降，而且有时因为水分粘附在工件上，还存在该工件表面生锈的问题。

而且，这样的蒸馏精制型洗净装置中，也有确保溶剂合适的蒸发量及冷凝量的问题。即，通过适量地重复进行蒸发和冷凝来进行溶剂的精制，但溶剂超过冷却器的冷凝能力进行蒸发的场合，一部分蒸汽得不到回收就直接泄漏到洗净装置外，失去了溶剂精制的回收平衡。另一方面，当蒸发量远小于冷却器的冷凝能力的场合，存在精制量不足的担忧。

蒸馏后的溶剂如上所述沿着旋转轴流入最终洗净槽内的结构的场合，其中尤其是成为流过设置在旋转轴下部的用于传递旋转驱动力的接头等流入最终洗净槽的结构的场合，刚精制好的溶剂在沿旋转轴流动途中有可能混入多余的颗粒，需要采取某种应对的措施。

另外，作为旋转轴的轴承，比如采用杜拉克压铸锌基合金(日文：ジユラコン，参见“Durak”)的轴套的场合，尽管作为轴承得到高的滑动性，但随着旋转轴的旋转有时会产生颗粒。因此，对于随着旋转轴的旋转而产生颗粒、且该颗粒有混入洗净槽内的危险的结构的场合，最好要采取应对这种情况的措施。

而且，作为覆盖冷却器周围的绝热材料，比如有采用海绵的场合，但这样的洗净装置中，海绵产生的颗粒有通过设置在冷却器上的工件通过孔而掉进洗净槽内的危险，如此结构的场合，最好要采取不使颗粒混入洗净槽内的溶剂内的应对措施。

在开头说明的蒸馏精制型的洗净装置的场合，通过将液化后的溶剂返回最终洗净槽，以实现该最终洗净槽的高清净度，但蒸馏精制时，有时有水混入该最终洗净槽内，不仅使清净度下降，而且有时因为水分粘附在工件上，还存在引起该工件表面生锈的问题。

另外，由于环境改善型的氟利昂、被称为新型氟利昂的HFE(醚氟氢，ハイドロフルオロエ一テル)、HFC(碳氟氢，ハイドロフルオロカ一ボン)洗净力弱，故作为弥补它的脱脂洗净法之一，有在前段使用烃系溶剂(烃系洗净剂)对工件上的粘附油等污垢进行洗净、然后利用新型氟利昂将烃系溶剂进行漂洗这样的共存溶剂(日文：コ·ソルベント)洗净法的提案，该洗净工艺中一旦重复洗净，则漂洗槽内从工件除去的烃系溶剂不断积聚，故存在必须经常或间歇地除去烃系溶剂的问题。

此外，如此结构的洗净装置中，因为驱动装置配置在洗净槽的上方，因而会发生洗净槽的维护不易或在这样的状态下无法进行维护作业的情况，这样的情况下洗净装置的保养和维护作业变得很烦杂。

发明内容

为此，本发明的目的在于提供一种能容易地进行洗净槽等的维护作业的洗净装置，而且，本发明的目的在于提供一种能防止水混入洗净槽内的场合产生不良影响的洗净装置、能确保溶剂的合适的蒸发量和冷凝量的洗净装置。

为此，本发明的目的在于提供如下一种结构：在通过在装置内部中对溶剂进行蒸馏而维持该溶剂清净度的洗净装置中，有效防止溶剂混入颗粒。

为此，本发明的目的在于提供一种能防止水混入最终洗净槽内、而且能容易地进行洗净槽等的维护作业的洗净装置。而且，本发明的目的在于提供一种附加了共存溶剂洗净法的场合能减少烃系溶剂进入漂洗槽本体的进入量的洗净装置。

为了达到上述目的，技术方案1所述的洗净装置，包括：利用溶剂对被洗净物、即工件进行洗净的洗净槽；将所述溶剂加热蒸发的加热器；对蒸发的所述溶剂的蒸汽进行冷凝回收的冷却器；保持所述工件并浸渍在洗净槽内的工件搬运装置；使该工件搬运装置和所述洗净槽中的一方进行相对旋转的旋转驱动装置；使所述工件搬运装置升降的升降驱动装置，其特征在于，将所述旋转驱动装置及升降驱动装置中的至少一方配置在所述洗净槽的上方，同时，将这些旋转驱动装置及升降驱动装置中配置在所述洗净槽上方的装置做成可相对于所述洗净槽可拆装。

该洗净装置中，因为旋转驱动装置及升降驱动装置中配置在洗净槽上方的装置做成可相对于洗净槽可拆装，故比如旋转驱动装置配置在上方的场合，可从洗净槽侧拆卸该旋转驱动装置以进行维护作业，在如此拆卸了旋转驱动装置的状态下，也可进行洗净槽等的洗净等的维护。因此，该洗净装置，维修和维护的作业不烦杂。

技术方案2所述的发明，是在技术方案1所述的洗净装置的基础上，其特征在于，在这些洗净槽中进行最终洗净的洗净槽内设置对槽内的溶剂上浮游的水进行分离的水分离机构。该洗净装置通过将洗净溶剂一度蒸发后进行冷凝，然后返回洗净槽，对溶剂同时进行精制的蒸馏精制型洗净装置的场合，即使在水混入液化的溶剂所返回的槽(比如最终洗净槽)内也可由水分离机构将该水从规定的区域(比如工件洗净所需的洗净区域)进行分离。因此，能防止最终洗净槽等的洗净度的下降，进而可防止工件表面生锈。

技术方案3所述的发明，该水分离机构由隔板构成，该隔板将包含洗净槽内的液面的上层部分至少隔开为将所述工件浸渍并进行洗净所需的洗净区域和此外的外部区域，并阻止从槽外流入至该外部区域的水流入所述洗净区域内。利用该隔板，在确保工件洗净所需的洗净区域的同时，通过仅对洗净槽内的上层部分进行隔开这样简单的结构就可阻止水流入洗净区域。

技术方案4所述的发明，是在技术方案1所述的洗净装置的基础上，其特征在于，具有根据冷却器的表面温度对所述溶剂的蒸发量进行检测、同时根据该检测量对所述加热器的温度进行调节的控制装置。在溶剂的蒸发量多的场合，存在溶剂超过冷却器的冷凝能力进行蒸发的情况，另一方面，在蒸发量少的场合，也存在精制量不足、还有能力多余的情况。相比之下，本发明中，根据溶剂的蒸发量的检测结果，对加热器的温度进行控制，其结果，洗净装置中，能改善溶剂超过冷却器的冷凝能力量进行蒸发的情况或与冷凝能力相比只有极少的量进行蒸发的情况，使蒸发量与冷凝量平衡，可保持始终使适量的溶剂被蒸馏·精制的情况。另外，像该洗净装置那样对溶剂进行蒸馏精制的场合，在溶剂的蒸发量多的场合，冷却器的热交换量·液化量随之增加，由冷凝热使冷却器的表面温度上升，另一方面，在溶剂的蒸发量不多的场合，热交换量·液化量增加不多，冷却器的表面温度保持低的温度，故本发明着眼于该现象，根据该表面温度测量值和其变化对溶剂的蒸发量进行检测。

技术方案5所述的洗净装置，包括：利用溶剂对被洗净物、即工件进行洗净的洗净槽；将溶剂加热蒸发的加热器；对蒸发的溶剂的蒸汽进行冷凝回收的冷却器；保持工件并浸渍在洗净槽内的工件搬运装置；使该工件搬运装置和洗净槽中的一方进行相对旋转的旋转驱动装置；使工件搬运装置升降的升降驱动装置，其特征在于，将旋转驱动装置及升降驱动装置中的至少一方配置在洗净槽的上方，同时，将这些旋转驱动装置及升降驱动装置中配置在洗净槽上方的装置做成可相对于洗净槽可拆装，且将与旋转驱动装置及升降驱动装置连接并旋转和升降的轴与洗净槽间的结合部配置在洗净槽的开口缘的下方，并且设有避免沿着轴而向洗净槽流入的溶剂通过滑动部的溶剂承接构件以及将该溶剂导向洗净槽的导向构件，滑动部是指在该轴上部件之间发生摩擦的部分。

技术方案6所述的发明，是在技术方案5所述的洗净装置的基础上，其特征在于，旋转驱动装置上的轴的旋转驱动轴承部由滚动轴承构成并配置在冷却器的上部，将该旋转驱动轴承部的下部做成迷宫结构。

技术方案7所述的发明，是在技术方案5所述的洗净装置的基础上，其特征在于，为了使工件通过而设置于冷却器上的工件通过孔的上侧出入口设有至少比设置在冷却器周围的绝热材料更向上方突出的周缘。

技术方案8所述的发明，是在技术方案5所述的洗净装置的基础上，其特征在于，将旋转驱动装置及升降驱动装置中配置在洗净槽上方的装置做成可相对于洗净槽可拆装，且设置促进已蒸发的溶剂的冷凝量的冷凝量促进构件。

技术方案9所述的发明，是在技术方案5所述的洗净装置的基础上，其特征在于，将旋转驱动装置及升降驱动装置中配置在洗净槽上方的装置做成可相对于洗净槽可拆装，且在这些洗净槽中进行最终洗净的洗净槽的跟前设置将流入该最终洗净槽内的溶剂的颗粒除去的过滤器，并在该最终洗净槽内设置将槽内的溶剂上浮游的水进行分离的水分离机构。

技术方案10所述的发明，是在技术方案9所述的洗净装置的基础上，其特征在于，将过滤器做成筒式。

技术方案11所述的发明，是在技术方案5所述的洗净装置的基础上，其特征在于，将旋转驱动装置及升降驱动装置中配置在洗净槽上方的装置做成可相对于洗净槽可拆装，进一步在冷却器上设置用于从洗净槽内的溶剂中取出确认颗粒用的检体的检体取出孔。

技术方案12所述的洗净装置，包括：利用溶剂对被洗净物、即工件进行洗净的洗净槽；将溶剂加热蒸发的加热器；对蒸发的溶剂的蒸汽进行冷凝回收的冷却器；保持工件并浸渍在洗净槽内的工件搬运装置，配置多个洗净槽，在这些洗净槽中进行最终洗净的洗净槽之前，设置对溶剂上浮游的水进行分离的水分离机构，分离后的溶剂流入进行最终洗净的洗净槽内，分离出的水流入这些洗净槽中最终洗净槽以外的洗净槽内。

技术方案13所述的发明，是在技术方案12所述的洗净装置的基础上，洗净装置，包括：将工件搬运装置和洗净槽的一方进行相对旋转的旋转驱动装置；以及使工件搬运装置进行升降的升降驱动装置，将旋转驱动装置及升降驱动装置中的至少一方配置在洗净槽的上方，同时，将这些旋转驱动装置及升降驱动装置中配置在洗净槽上方的装置做成可相对于洗净槽可拆装。

技术方案14所述的发明，包括：利用氟利昂系溶剂对被洗净物、即工件进行洗净的洗净槽；将溶剂加热蒸发的加热器；对蒸发的溶剂的蒸汽进行冷凝回收的冷却器；以及保持工件并浸渍在洗净槽内的工件搬运装置，还具有利用烃系溶剂对工件的污垢进行洗净的烃系溶剂的洗净槽。

技术方案15所述的发明，是在技术方案14所述的洗净装置的基础上，在该烃系溶剂的洗净槽与洗净槽之间具有用于除去粘附在工件上的烃系溶剂的除去部。

技术方案16所述的发明，是在技术方案14或15所述的洗净装置的基础上，具有对烃系溶剂及氟利昂系溶剂的混合液进行冷却，并对这些溶剂进行分离的混合液分离装置。

技术方案17所述的发明，是在技术方案16所述的洗净装置的基础上，混合液分离装置，由一端与废液罐连通、另一端成为开放的管状构件构成。

技术方案18所述的发明，是在技术方案16或17所述的洗净装置的基础上，是在另一端侧设置冷却装置构成的。

[发明的效果]

技术方案1所述的洗净装置，将旋转驱动装置及升降驱动装置中配置在洗净槽上方的装置做成可相对于洗净槽可拆装，故比如旋转驱动装置配置在上方的场合，可从洗净槽侧拆卸了该旋转驱动装置的状态下进行对洗净槽进行洗净等作业。因此，该洗净装置，维修和维护的作业不烦杂，可容易地进行洗净槽等的维护作业。

另外，具有水分离机构的技术方案2所述的洗净装置，可利用该水分离机构将比如混入最终洗净槽中的水从比如对工件洗净所需的洗净区域进行分离。因此，能防止最终洗净槽等的洗净度的下降，进而可防止工件表面生锈。

技术方案3所述的洗净装置，通过构成水分离机构的隔板，将包含洗净槽内的液面的上层部分至少隔开为将工件浸渍并进行洗净所需的洗净区域和此外的外部区域，能阻止从槽外流入至该外部区域的水流入洗净区域内。该场合，在确保工件洗净所需的洗净区域的同时，通过仅对洗净槽内的上层部分进行隔开这样简单的结构就可阻止水流入洗净区域。

技术方案4所述的洗净装置，对溶剂的蒸发量进行检测，根据该检测量对加热器的温度进行调节，以在溶剂的蒸发量过多的场合，降低加热器的温度，从而抑制蒸发量，另一方面，在蒸发量少的场合，提高加热器温度，从而增加蒸发量。其结果，能防止精制量不足等溶剂精制中失去回收平衡，确保溶剂合适的蒸发量及冷凝量。而且，该洗净装置中，在溶剂的蒸发量多的场合，冷却器表面温度上升，另一方面，在溶剂的蒸发量不多的场合，冷却器的表面温度保持低的温度，故本发明着眼于该现象，根据该表面温度测量值和其变化对溶剂的蒸发量进行检测，并对加热器的温度进行控制。

技术方案5所述的洗净装置，将轴与洗净槽的结合部配置在洗净槽的开口缘的下方，故即使在结合部产生颗粒，也可防止该颗粒从槽开口部掉落洗净槽内。并且沿着轴的溶剂不用通过滑动部就可被导向最终洗净槽等，故能有效地防止粘附在滑动部上或由该滑动部本身产生的颗粒混入溶剂内而降低洗净槽内的清净度。

而且，将旋转驱动装置及升降驱动装置中配置在洗净槽上方的装置做成可相对于洗净槽可拆装，故比如旋转驱动装置配置在上方的场合，可从洗净槽侧拆卸了该旋转驱动装置的状态下进行对洗净槽进行洗净等作业。因此，该洗净装置，维修和维护的作业不烦杂，可容易地进行洗净槽等的维护作业。

另外，旋转驱动轴承部由滚动轴承构成的技术方案6所述的洗净装置，通过抑制轴(旋转轴)旋转时产生颗粒，能有效地防止颗粒混入洗净槽内的溶剂内导致清净度下降。而且，将旋转驱动轴承部的下部做成迷宫结构，故即使发生颗粒的场合，迷宫结构部分能作为承接盘将颗粒暂时进行保留。

另外，在冷却器的工件通过孔的上侧出入口设有朝上方突出的周缘的技术方案7所述的洗净装置，即使从覆盖冷却器周围的绝热材料、即海绵产生颗粒，也可防止该颗粒从工件通过孔掉落至洗净槽内。因此，作为绝热材料，可采用与传统相同的海绵材料，同时又能有效地防止洗净槽内的溶剂的清净度的下降。

而且，技术方案8所述的洗净装置，冷凝量促进构件能将冷却管中的热高效地向大气中进行放热，从而促进冷却管中的溶剂的冷凝量。

具有对流入最终洗净槽内的溶剂的颗粒进行除去的过滤器的技术方案9所述的洗净装置，能有效地防止颗粒流入最终洗净槽内而导致槽内的清净度下降。而且，该洗净装置还具有水分离机构，故即使水混入液化后的溶剂返回的最终洗净槽内，也能将溶剂上浮游的该水从最终洗净槽进行分离，可防止最终洗净槽等的清净度的下降，进而防止工件表面生锈。

该场合，如技术方案10所述，若将过滤器做成筒式，就可简单地更换脏的过滤器，非常简便。

采用在冷却器内设置确认颗粒用的检体取出孔的技术方案11所述的洗净装置，即使不拆除回收板和绝热材料，也可将洗净槽中的溶剂的一部分作为清净度确认用的检体取出，非常简便。因此，对于任意的洗净槽的溶剂的清净度，在洗净装置的使用途中也可容易地进行情况确认。

技术方案12所述的洗净装置中，设置在洗净槽之前的水分离机构对溶剂上浮游的水进行分离后，使该溶剂流向最终洗净槽，另一方面，分离出的水流入最终洗净槽以外的洗净槽内。由此，洗净装置，在将液化后的溶剂返回最终洗净槽内这样的蒸馏精制时、可防止水混入该最终洗净槽内。因此，该洗净装置，可防止最终洗净槽的清净度的下降，可维持高的清净度，进而有效地防止工件表面生锈的现象。

技术方案13所述的洗净装置中，将旋转驱动装置及升降驱动装置中配置在所述洗净槽上方的装置做成可相对于所述洗净槽可拆装，故比如旋转驱动装置配置在上方的场合，可从洗净槽侧拆卸该旋转驱动装置进行维护作业，由此，也可在拆卸了旋转驱动装置的状态下进行对洗净槽等进行洗净等维护作业。因此，该技术方案2所述的洗净装置，维修和维护的作业不烦杂，可容易地进行洗净槽等的维护作业。

技术方案14所述的洗净装置，利用氟利昂系溶剂实施共存溶剂洗净法，因而不需要为了除去烃系溶剂而设置高价的大型的减压干燥装置，可利用干燥性好的氟利昂系溶剂进行。能将洗净装置的溶剂蒸发量抑制在低的水平，使干燥成本低廉。

而且，技术方案15所述的洗净装置，在利用氟利昂系溶剂实施共存溶剂洗净法的场合，除去部对粘附在工件上的烃系溶剂进行除去，故在利用烃系溶剂的洗净转入HFE漂洗的中间过程中，可对粘附在工件上的烃系溶剂进行除去。因此，即使附加了共存溶剂洗净法的场合，也可减少烃系溶剂进入漂洗槽本体的进入量。

因为反复进行洗净，氟利昂溶剂中的烃系溶剂的含有量、即烃系溶剂与氟利昂系溶剂的混合液中的烃系溶剂的含有量就会增加，但技术方案16所述的洗净装置中，通过混合液分离装置，将混合液比如冷却至常温或接近常温，可分离成氟利昂系溶剂与烃系溶剂。因此，可仅丢弃烃系溶剂，对高价的氟利昂系溶剂进行再利用。因此，可抑制洗净成本的增加。

技术方案17所述的洗净装置中，混合液分离装置，由一端与废液罐连通、另一端成为开放的管状构件构成，可从废液罐将混合液导入管状构件内，将在该管状构件内分离后的烃系溶剂从另一端取出丢弃。因此，不必将混合液移入洗净装置外的其他容器内就可进行分离，提高了作业方便性，且可防止作业时溶剂向大气中的蒸发扩散。

而且，技术方案18所述的洗净装置中，在另一端侧设置了冷却装置，故可对管状构件内的混合液强制性地进行冷却。因此，能高效地在短时间内进行烃系溶剂与氟利昂系溶剂的分离。

附图说明

图1是表示本发明的洗净装置的一形态的图，根据实际的视点表示装置整体。

图2是表示洗净装置的轴和旋转洗净槽等的结构的纵向剖视图。

图3是表示旋转洗净槽和设置在该洗净槽内的隔壁的形状例的俯视图。

图4是将使液面逐渐地降低且圆周状地设置的各洗净槽和干燥槽的设置高度展开表示的概要图。

图5是表示冲孔金属板的形状的俯视图。

图6是将设置在曲柄构件上的卡合槽及在该卡合槽中驱动销的运动展开表示的图。

图7是表示连接块的形状及与该连接块可卡合解脱地设置的轴下端的卡合块等的形状的立体图。

图8是从表示构成工件搬运装置的工件保持构件的侧部看到的概要图。

图9是对洗净动作中的工件的各停止位置进行说明的概要图。

图10是对洗净动作中的工件的动作顺序进行说明的概要图。

图11是表示洗净装置中的控制装置的电路结构的一例的图。

图12是表示洗净装置中的旋转驱动装置的结构例的局部纵向剖视图。

图13是表示从洗净槽旋转电机向轴的动力传递系统的俯视图。

图14是表示旋转传感器夹头及旋转传感器的俯视图。

图15是表示旋转洗净槽及其周围的外形的俯视图。

图16是表示图15的XV-XV线的纵向剖视图。

图17是表示从其他角度看到的废液罐液位管的图。

图18是表示工件搬运装置的一部分及升降驱动装置的结构的概要的主视图。

图19是表示图18所示的升降驱动装置中的同步皮带和皮带轮等的结构的图。

图20是表示图18所示的升降驱动装置等的XIX-XIX线的剖视图。

图21是表示图18所示的升降驱动装置等的后视图。

图22是表示图18所示的升降驱动装置等的仰视图。

图23是表示工件供排口盖及定位构件的局部图。

图24是表示洗净装置的俯视图。

图25是表示中央设有磁铁的旋转洗净槽的俯视图。

图26是仅表示设有磁铁的轴和旋转洗净槽的图。

图27是表示本发明的其他实施形态的槽旋转型下部旋转传递式的洗净装置的纵向剖视图。

图28是表示槽旋转型上部下吊型旋转传递式的洗净装置的概要图。

图29是表示槽旋转型下部旋转传递式的洗净装置的概要图。

图30是表示各槽不旋转、而使工件搬运装置进行旋转的槽固定型上部旋转传递式的洗净装置的概要图。

图31是表示洗净装置的一形态的从正面看到的纵向剖视图。

图32是从图31所示的洗净装置的右侧面看到的纵向剖视图。

图33是针对各槽将溶剂承接构件、导向构件、过滤器槽及各洗净槽的结构展开在平面上进行表示的概要图。

图34是表示旋转圆板和各槽的俯视图。

图35是表示溶剂承接构件和导向构件的俯视图。

图36是表示溶剂承接构件、导向构件及它们的下部的滑动部的纵向剖视图。

图37是表示滑动部的钩板的俯视图。

图38是表示图31所示的洗净装置的俯视图。

图39是表示将图32所示的洗净装置的工件通过孔的上侧出入口为中心的局部放大的图。

图40是表示托架等其他形态的侧视图。

图41是表示图40所示的托架等的主视图。

图42是表示工件支架及安装构件的其他形态的侧视图。

图43是表示图42所示的工件支架及安装构件的主视图。

图44是表示洗净槽与其拆装机构的其他形态的图。

图45是表示轴上端部及各凸轮构件的结构的立体图。

图46是表示轴上端部的形状的俯视图。

图47是表示上下的凸轮构件嵌合的状态的侧视图。

图48是表示可反转、容易拆装的过滤器及其周边的结构的图。

图49是表示图48所示的过滤器反转后的状态的图。

图50是表示图48所示的过滤器的俯视图。

图51是表示图49所示的过滤器的俯视图。

图52是表示过滤器、过滤器槽、旋转圆板的结构的一例的图。

图53是表示将上凸轮构件上下倒置地安装在轴的上端部的状态的立体图。

图54是表示中途用隔板隔开的大型洗净槽的一例的俯视图。

图55是表示具有第1槽、第2槽、过滤器槽的SUS一体结构的槽的一例的俯视图。

图56是表示图55所示的SUS一体结构的槽的主视图。

图57是表示玻璃一体结构的槽的一例的俯视图。

图58是表示SUS板与玻璃构件组合的洗净槽等的主视图。

图59是表示图58所示的洗净槽的仰视图。

图60是表示本发明的其他实施形态的洗净装置的整体立体图。

图61是表示洗净装置的纵向剖视图。

图62是表示洗净槽及干燥槽的俯视图。

图63是表示水分离机构的具体结构例的图。

图64是表示槽内溶剂进行循环的模样的概要图。

图65是表示确认窗中使用的玻璃板、为3分割后的状态图。

图66是表示确认窗中使用的玻璃板、1片化后的状态图。

图67是表示确认窗中使用的玻璃板、为圆环状的状态图。

图68是表示各管独立设置的废液排水管和废液罐液位管的概要图。

图69是表示将废液排水管与废液罐液位管一部分共用化的状态的概要图。

图70是表示洗净装置本体和设置在其下侧的控制装置的概要图。

图71是表示洗净装置本体和设置在其侧部的控制装置的概要图。

图72是表示将树脂板作为绝热材料夹入冷却管的上部的状态的概要图。

图73是表示将冷却管的铅垂圆孔及铅垂孔的上部用密封材料进行密封的情况的概要图。

图74是表示在旋转圆板的底部安装有1片冲孔金属板的本实施形态的概要图。

图75是表示在旋转圆板的底部安装有2片冲孔金属板的情况的概要图。

图76是将作为其他形状的卡合槽和在该卡合槽中的驱动销的运动展开表示的图。

图77是表示将超声波漂洗槽的液面与最终洗净槽的液面的高低差增大的一例的概要图。

图78是简单表示将工件1个1个地进行搬运的本实施形态的工件支架的图。

图79是表示大型化后可一次装载多个工件的工件支架的概要图。

图80是表示由钢制的篮子构成的工件支架的概要图。

图81是表示将左右的上下导轴用上下导向轴承部进行引导地做成的双柱结构的概要图。

图82是表示将上下导轴进行单柱支承的结构的概要图。

图83是表示将回收板做成具有传热性的铝制、且与铝制的冷却轴连接的该回收板等的概要图。

图84是表示利用可装脱的连接器将洗净装置的各种装置进行连接的本实施形态的概要的图。

图85是表示利用配线管道将洗净装置的各种装置进行连接的场合的概要图。

图86是表示具有3个种类不同的工件支架且将这些工件支架圆周状地进行配置的工件转动臂和其周边的概要的俯视图。

图87是表示将工件降到超声波漂洗槽和烃系溶剂除去槽内的状态下驱动工件上下电机使工件上下运动的形态的概要图。

图88是表示通过将新型氟利昂系洗净液(比如HFE)与烃系溶剂等的洗净剂组合、能期待大的洗净效果的装置的概要图。

图89是表示HFE中的烃系溶剂的浓度与温度的关系的图。

图90是表示通过将新型氟利昂系洗净液与烃系溶剂等的洗净剂组合、能期待大的洗净效果的实施形态的洗净槽的概要图。

图91是表示不同温度下氟利昂溶剂与烃系溶剂的溶解度的图。

图92是表示烃系溶剂/HFE的溶解度差的表。

图93表示溶剂分离的概念，(A)是表示将HC：10g与HFE(氟利昂洗净剂)：40g进行混合的情况的图，(B)是表示将其放置的情况的图，(C)是表示分离成HFE富有层(リツチ層)和HC富有层的情况的图。

图94是表示HFE和HC的溶解量与温度的关系的图。

图95是表示HC富有层中的HFE、HC含有量与温度的关系的图。

图96是表示HC富有层(废弃HC)中的HC、HFE含有量与温度的关系的图。

图97是表示将洗净用溶剂中含有的烃系溶剂从氟利昂系溶剂中进行分离并废弃的概念的概要结构图。

图98表示本发明的其他实施形态，(A)是表示洗净装置的主要部分的概要结构图，(B)是表示将HC富有层取出的情况的图。

图99是表示本发明的又一实施形态的洗净装置的主要部分的概要结构图。

具体实施方式

(对图1～图26所示的实施例的说明)

以下，根据附图所示的实施形态对本发明的结构进行详细说明。

图1～图26表示本发明的一实施形态。本发明的上述洗净装置1，包括：利用溶剂对被洗净物、即工件2进行洗净(包括脱脂的情况)的洗净槽3～5；将溶剂加热蒸发的加热器7；对蒸发的溶剂的蒸汽进行冷凝回收的冷却器8；保持工件2并浸渍在洗净槽3～5内的工件搬运装置9；将该工件搬运装置9和使洗净槽3～5的一方进行相对旋转的旋转驱动装置10；以及使工件搬运装置9升降的升降驱动装置11，是边对工件2进行洗净、边进行溶剂的蒸发·蒸馏、维持洗净溶剂的清净度的蒸馏一体型的装置，将旋转驱动装置10及升降驱动装置11中的至少一方配置在洗净槽3～5的上方，同时，将这些旋转驱动装置10及升降驱动装置11中配置在洗净槽3～5上方的装置做成可相对于洗净槽3～5可拆装的结构。而且，该洗净装置1，在多个(比如本实施形态中为3个槽)洗净槽3～5中的进行最终洗净的洗净槽(最终洗净槽)5的前面或该洗净槽5的内部设置水分离机构12。

以下，对将旋转驱动装置10及升降驱动装置11双方配置在洗净槽3～5的上方、并且将这些旋转驱动装置10及升降驱动装置11的双方做成可拆装的洗净装置1进行说明。本实施形态中，通过做成如此将旋转驱动装置10及升降驱动装置11的双方配置在洗净槽3～5的上方的蒸馏器一体型结构，可实现抑制装置整体的占有空间的小型的装置。

洗净装置1，具有试管那样的圆底形状的3个洗净槽3～5及同样圆底形状或平底形状的1个干燥槽6，利用干燥槽6对浸渍在各洗净槽3～5内分阶段进行洗净的工件2进行干燥(参照图3)。这4个槽3～6在旋转圆板30上以铅垂旋转轴14、15为中心，圆周状地等间隔配置，在一体化的状态下在废液罐17内形成进行旋转的旋转洗净槽(参照图2)。另外，利用螺钉16b将冲孔金属板16夹着垫块16c固定在旋转圆板30的底部，该冲孔金属板16可防止废液罐17内的溶剂飞散，但可允许溶剂蒸汽通过(参照图2，图16)。在该冲孔金属板16上形成各槽3～6可嵌入且比各槽3～6稍大的凹部16a(参照图5)。一旦使超声波起作用，则废液罐17中的包含油的溶剂起泡变成雾从液面升起，但该冲孔金属板16物理上成为障碍，吸收溶剂蒸汽的物理能量，使多余的溶剂蒸汽不进入各槽3～6内。如金属板上没有小孔的场合，能完全抑制多余的溶剂蒸汽进入各槽3～6所带来的不良影响，但会产生溶剂无法再生这样的问题，故最好在考虑两方面不良影响的情况下，确定冲孔金属板16的小孔的大小、个数、配置等。另外，该冲孔金属板16可以是1片，但是多片的场合，能更可靠地对溶剂蒸汽的能量进行吸收。

这些槽3～6按对工件2进行处理的顺序排列。比如，本实施形态中，将第1洗净槽3、第2洗净槽4、第3洗净槽5、干燥槽6以此顺序顺时针地配置在旋转圆板30上(参照图3)，将旋转圆板30(及冲孔金属板16)朝逆时针方向进行旋转。各槽3～6设置在至少其底部浸渍在废液罐17内的废液中的高度，借助加热的废液进行加温(参照图2)。

另外，3个洗净槽3～5，按第3洗净槽5→第2洗净槽4→第1洗净槽3的顺序使液面逐渐降低地设置，以使从第3洗净槽5溢流出来的溶剂流入第2洗净槽4内，从第2洗净槽4溢流出来的溶剂流入第1洗净槽3内(参照图4)。因此，流入第3洗净槽5内的蒸馏后的溶剂随着从第2洗净槽4→第1洗净槽3的流动，其清净度逐渐下降，因此，洗净槽中的溶剂的清净度，第2洗净槽4比第1洗净槽3的高，第3洗净槽5比第2洗净槽4的高。在第3洗净槽5和第2洗净槽4上设有将溢出的溶剂朝下级洗净槽(第2洗净槽4或第1洗净槽3)引导的流道18、19。在第1洗净槽3上设有将溶剂朝废液罐17进行废弃用的废液口20(参照图3)。

本实施形态中，在工件2最初浸渍的第1洗净槽3中进行工件2的粗洗净，同时对该洗净槽3内的溶剂进行加热，进行煮沸·蒸馏(以下，将具有“超声波+煮沸洗净”这样的主要功能的该第1洗净槽也称为“煮沸洗净槽”)。流入该煮沸洗净槽3内的溶剂由此气化或通过上述废液口20向废液罐17进行废弃。另外，在第2洗净槽4中对粗洗净后的工件2进行超声波洗净(以下，将具有“超声波+漂洗”这样的主要功能的该第2洗净槽也称为“超声波漂洗槽”)。在废液罐17的底部设有产生超声波的超声波振动器21(参照图1等)。尽管在本实施形态中未图示，有时在该煮沸洗净槽3的底部设有将溶剂循环返回原处的循环通道，在该循环通道中设有阀、Y型粗滤器、泵、压力计、过滤器壳体等。而且，在第3洗净槽5中，利用清净度最高的溶剂进行最终洗净(以下，将具有“超声波+最终漂洗”这样的主要功能的该第3洗净槽也称为“最终洗净槽”)。作为用于洗净工件2的洗净用溶剂，比如可使用氟利昂溶剂(HFC、HFE、HCFC)、氯系溶剂、溴系溶剂、乙醇系溶剂或这些溶剂与乙二醇醚和烃系溶剂的混合物等的低沸点溶剂。

最终洗净槽5通过蒸馏后的精制溶剂流入，以维持槽内溶剂的高的清净度。本实施形态中，在旋转圆板30的上侧中央设置液回收盘22，使滴在该盘上的蒸馏溶剂流入最终洗净槽5内(参照图2、图3)。该场合，考虑到流入的溶剂中有时有水分的混入，出于防止工件表面生锈等的观点，最好设置用于将该水进行分离的水分离机构12。本实施形态中，将经过防水处理后的隔板12a设置在包括溶剂的液面的上层部分，将最终洗净槽5内隔开成洗净区域A1和此外的外部区域A2，从而阻止从槽外流入至外部区域A2的水流入洗净区域A1内(参照图3、图4)。该场合的洗净区域A1，具有至少可将工件2连同工件支架46一起下降浸渍在槽内的大小。本实施形态中，作为溶剂使用了比重比水大的液体，故流入最终洗净槽5内的水以浮在溶剂的表层的状态流出槽外。因此，能尽可能地防止水滞留在最终洗净槽5内。另外，通过在最终洗净槽5内设置隔板12a这样简单的结构，就可形成水分离机构12，故与在洗净装置1外另设用于水分离的设备的场合相比，具有装置小型化的优点。

干燥槽6是用于对最终洗净后的工件2的表面进行干燥的槽，作为位于最终洗净槽5后的第4号槽进行配置(参照图3等)。该干燥槽6具有“蒸汽洗净+干燥”这样的主要功能(即，进行蒸汽洗净的功能和进行干燥的功能)。

上述旋转洗净槽中，最好将槽上方的空间、尤其是要求清净度的部分与其他部分隔开。在该场合，能在洗净的终盘或最终的工序中将工件2的氛围保持清净。本实施形态中，设有隔壁29以使干燥槽6及最终洗净槽5的上方空间与煮沸洗净槽3及超声波漂洗槽4的上方空间隔开(参照图3)。该隔壁29，其中央部附近构成V字形弯折的形状，以避免与轴14、15及液回收盘22干涉。

用于使由洗净槽3～5、干燥槽6、旋转圆板30及冲孔金属板16构成的旋转洗净槽进行旋转的旋转驱动装置10，由洗净槽旋转电机23；同步皮带24；皮带轮25、26；轴14、15构成(参照图1、12～14)。本实施形态中，将竖放的DC齿轮传动电机作为洗净槽旋转电机23，通过同步皮带24将动力向轴14、15传递。洗净槽旋转电机23的旋转量，可由安装在洗净槽旋转电机23的旋转轴上并进行同量旋转的旋转传感器夹头27和对该夹头的旋转量进行读取的旋转传感器28进行检测(参照图12、14)。出于避免从冷却管61的上部开口流出的溶剂蒸汽的影响，洗净槽旋转电机23、旋转传感器夹头27及旋转传感器28最好设在该上部开口的前方(或后方)且配置在下方。

轴14、15是用于借助旋转圆板30使洗净槽3～5及干燥槽6一体地进行旋转的双层结构的可相互拆装的铅垂轴(参照图2)。该2轴中的轴14是外周上安装有皮带轮26的中空轴，通过卷挂在皮带轮26上的同步皮带24传递动力进行旋转。另一方面，轴15是比该中空轴14长的实心轴，在中空轴14之中可旋转且朝轴向(即，铅垂方向)可移动(参照图12)。在这些轴14、15上设有可对两轴14、15一体地进行旋转的卡止状态或一体地不进行旋转的非卡止状态中的任何1种状态进行选择的、比如以下的结构的卡合解脱机构31(参照图2，图6)。即，在实心轴15的上侧轴端安装有一体旋转的竹笠状构件32，在竹笠部分设有朝旋转中心突出的驱动销33，而且，在中空轴14中的与该驱动销33相对的部分安装的曲柄构件35上设有曲柄状的卡合槽34。卡合槽34成为，将后述的卡止销38不与连接块36挂钩的位置(驱动部解除位置)、以及卡止销38与连接块36挂钩使两根轴14、15一体地进行旋转的旋转位置、大致打开90度的位置上所具有的曲柄形状(参照图6)。另外，旋转位置和解除位置之间设有台阶，仅该台阶部分的旋转位置成为比解除位置高。故为了将处于解除位置的驱动销33朝旋转位置移动，需要中途越过台阶并进行转动90度的动作。本实施形态中，旋转位置上的驱动销33的高度做成比解除位置上的高度高，旋转时，实心轴15以该高度差向上方移动。在旋转位置设有用于将该驱动销33与曲柄构件35卡合的卡合爪35a(参照图6)。在驱动销33与卡合爪35a卡合的状态时，洗净槽旋转电机23的旋转驱动力按电机23→皮带轮25→同步皮带24→皮带轮26→轴14→曲柄构件35→驱动销33→竹笠状构件32→轴15进行传递。

另外，中空轴14及实心轴15的下端部是相对于旋转圆板30可装脱的结构(参照图2、图7)。比如，本实施形态中，在液回收盘22上设置连接块36，轴14、15的下端相对于该连接块36可装合或脱开。在中空轴14的下端设有具有卡合突起37a的比如四角柱状的卡合块37，在连接块36上形成通过比如图示的四个角上的突起等与卡合块37(及卡合突起37a)嵌合的凹部。在卡合块37(及卡合突起37a)与连接块36的凹部卡合的状态下，旋转圆板30(及各槽3～6)与中空轴14以不可旋转的状态一体地卡合。

而且，在实心轴15的下端附近设有从该轴15水平地突出的卡止销38，另一方面，在连接块36上设有该卡止销36可通过的长孔39(参照图7)。将实心轴15的下端部及卡止销38插入该长孔39内后，连同实心轴15将卡止销38旋转时，则该卡止销38成为卡止的状态，实心轴15无法从连接块36拔出。此时，由于卡合块37已经成为与连接块36嵌合的状态，故中空轴14与连接块36成为一体，成为同量旋转的状态。另外，连同实心轴15旋转卡止销38时，中途通过边超过台阶地提起边转动90度，可将卡止销38与连接块36卡止，同时可将驱动销33与曲柄构件35的旋转位置卡合(参照图6)。由此，中空轴14、实心轴15、连接块36、旋转圆板30等一体化，进行同量旋转。随着将驱动销33提起相应于卡合槽34的曲柄台阶大小，实心轴15、卡止销38、连接块36、旋转圆板30、冲孔金属板16、各槽3～6等也被同量地提起。本实施形态中，至如此提起为止，通过将旋转圆板30与废液罐17的内壁卡止，将各槽3～6保持在不可旋转的状态，同时通过将旋转圆板30提起，解除该卡止状态，使各槽3～6成为可旋转的状态。

下面对本实施形态的洗净装置1的用于洗净用溶剂的液更换·液量确认的结构进行说明。

本实施形态中，用于将废液罐17内滞留的溶剂进行废弃的废液排液管40设置在该废液罐17的外周侧(参照图1、图15、16)。废液排液管40，通过其下部的连通管40a与废液罐17的下部连通，且成为能以其水平的连通管40为中心在铅垂面内可转动的结构。在可转动的管部40b的顶端设有栓40c(参照图1)，但该顶端在排废液时以外始终保持在比废液罐17内的液面高的位置的场合，可省略栓40c。在废液罐17的外周设有用于将该管部40b铅垂地进行保持的保持装置40d(参照图16)。通过将该管部40b倒下，可将废液罐17内的溶剂排出。

而且，在废液罐17的外周设有用于对罐内的废液量进行目视确认的废液罐液位管41(参照图1、图15～图17)。该废液罐液位管41，由设置在废液罐17的上部及下部且与罐内连通的连通管41a、41b；设置在这些连通管41a、41b之间的透明或半透明的管子41c构成。利用该废液罐液位管41，通过对管子41c内的液位高度进行目视确认，就可对废液罐17中的此时的废液高度、即罐内滞留的废液量进行确认。

下面，对工件搬运装置9进行说明。工件搬运装置9是将工件2向洗净装置1供给或将洗净后的工件2从洗净装置1排出的装置(本说明书中将该供给动作和排出动作总称为“供排”)。本实施形态的洗净装置1中，在保持工件2的情况下在其位置多次升降，在该期间内通过将各槽3～6连同旋转圆板30一起旋转，依次实施洗净工序。以下，对该工件搬运装置9的结构进行说明(参照图1、图8、图9、图10、图18～图22等)。不过，图9、图10中所示的“中间位置”是将工件2在洗净槽3～5之间进行移动时、在存在溶剂蒸汽的位置处停止时的其停止位置。另外，“干燥位置”是表示干燥槽6内的工件位置(高度)。

本实施形态中，该工件搬运装置9，由左右一对上下导轴42、43；与该两上下导轴42、43的上端连接的桥杆44；在该桥杆44的中途设置的工件保持构件45等构成，将由工件保持构件45的下端的工件支架46上保持的工件2连同这些上下导轴42、43等一起升降(参照图1)。上下导轴42、43由设置在各槽3～6和废液罐17的上部的上下引导轴承部50进行上下方向的引导。上下导轴42、43的升降量，可由安装在一方的上下导轴(比如上下导轴43)上并进行同量升降的上下传感器夹头51和对该上下传感器夹头51的升降量进行读取的上下传感器52进行检测(参照图1)。

在桥杆44的大致中央悬架有用于保持工件2的工件保持构件45(参照图8等)。在工件保持构件45的上端设有将该工件保持构件45本身可拆装地安装在桥杆44上的安装构件48。将该安装构件48和工件支架46连结的构件，其材质和粗细、形状等并不受特别的限定，但最好是将工件2浸渍时与溶剂接触的表面积尽可能少的结构，如此将表面积减小的场合，可减少每次将工件2进行升降时粘附在该连结构件上的溶剂的量，进而可抑制溶剂的蒸发量。比如，本实施形态中，将2根钢丝47平行地下垂，由其下端对工件支架46进行支承。这里所说的钢丝47也包括所谓的琴钢丝那样的高碳钢等。在作为连结构件要求更高强度的场合，也可采用板金等来代替这样的钢丝47。另外，工件支架46是树脂制，与搬运对象、即工件2的底部形状匹配地形成，但材质、形状、大小等可根据工件类别进行适宜的变更，比如，除了这样的梯形的支架以外，也可采用将工件2收放在篮子中的状态下进行升降的支架、或用金属丝挂钩的状态下将工件2进行升降的支架等(参照图31、图80)。而且，本实施形态中，在2根钢丝47的中途设有工件供排口盖49(参照图1等)。该工件供排口盖49是在将工件2浸渍在洗净槽3～5中的溶剂中的场合或位于干燥槽6内的场合用于将各槽3～6的口(即工件供排口)覆盖的构件，设置为覆盖各槽3～6的大小和高度。比如，利用该工件供排口盖49将洗净中的各洗净槽3～5覆盖遮住的场合，可提高溶剂的回收效率。如上所述，本实施形态的工件搬运装置9中，通过安装构件48可将工件保持构件45可拆装地安装在桥杆44上，故可根据工件2的类别或各槽3～6的深度等条件更换支架形状和高度等规格不同的工件保持构件45。

升降驱动装置11是用于将由这些上下导轴42、43等构成的工件搬运装置9进行升降的装置，由工件上下电机53、同步皮带54等构成(参照图20等)。本实施形态中，将横置于上下引导轴承部50内的齿轮传动电机作为工件上下电机53进行使用。通过将皮带端安装在设置在上下导轴42、43的上端附近及下端附近的上下托架55、56上，使同步皮带54在铅垂方向跨架，其一部分成为卷挂在工件上下电机53的旋转轴的皮带轮57上的状态(参照图19等)。另外，在该皮带轮57的上下设有使同步皮带54拉成V字形且增加对该皮带轮57的卷挂量的辅助皮带轮58、59。根据以上的升降驱动装置11，工件上下电机53的旋转驱动力按电机53→皮带轮57→同步皮带54这样的顺序传递，由此，同步皮带54；托架55、56；桥杆44；上下导轴42、43；工件保持构件45等一体地进行升降动作。

工件供排口盖49的水平位置最好仅在工件上升端时通过定位构件60进行定位(参照图8等)。该场合，能确保在工件2的上升端处的水平方向的定位重复性，并在工件2装脱时，容易进行用于固定工件保持构件45的作业。本实施形态中，在工件供排口盖49的上部设有定位销49a，利用设置在定位构件60上的透孔，对该定位销49a进而对工件供排口盖49的水平位置进行定位(参照图23等)。

下面对冷却器8进行说明。冷却器8是将蒸发的溶剂的蒸汽进行冷凝回收的装置，由冷却管61、回收板62、珀尔帖元件64等构成(参照图2等)。

冷却管61是为了将溶剂蒸汽进行冷却冷凝而设置在槽3～6的上方的管。该冷却管61，出于作为将蒸汽冷却的长时间开放管，最好管子长度长一些，但兼用作工件2的导入管的场合，出于缩短工件移动距离的观点，管子长度最好短一些。为此，本实施形态中，冷却管由大直径短轴的铅垂圆孔(铅垂的工件通过孔)61a和小直径长轴的铅垂孔61b构成，在这些管的内壁上使溶剂蒸汽冷凝(参照图24)。铅垂圆孔(铅垂的工件通过孔)61a形成为上述工件支架46保持工件2的状态下可以通过的大小。本实施形态的冷却管61，在其中央具有轴承孔61c，也发挥中空轴14的径向轴承的功能(参照图2)。另外，本实施形态中，用于冷却该冷却管61的冷却装置由珀尔帖元件64、散热器65、风扇电机66构成(参照图24)。

回收板62是将由冷却管61冷却冷凝后的溶剂集中到一起进行回收的装置，比如，可采用集中于中央的漏斗形状(倒圆锥形)的结构，设置成使溶剂从中央的回收孔62c向配置在其下的液回收盘22流出(参照图2)。在该回收板62的与上述铅垂圆孔(铅垂的工件通过孔)61a、61b重叠的位置设有大致相同直径的通孔62a、62b。在该通孔62a、62b的周围设有堤坝状的缘部62d，其用于防止沿回收板62的斜面向中央流动的溶剂从该通孔62a、62b滴下。回收板62最好由树脂(比如POM)等材质形成，以尽可能地防止与冷却管61之间的传热，由此，可提高冷却管61的绝热性，提高冷却效率。为了进一步提高绝热性，最好在冷却管61与回收板62之间夹设绝热材料63。本实施形态中，在各槽3～6的周壁67的上缘安装有绝热材料63，在该绝热材料63的下部安装回收板62，同时在绝热材料63的上部安装冷却管61，以减少热量(冷热)的损失(参照图2)。作为绝热材料63，可使用具有绝热性且具有耐溶剂性的塑料材料、比如PTFE树脂(聚四氟乙烯)、环氧树脂、POM树脂(聚氧化甲烯)或聚缩醛树脂等。

根据以上结构的冷却器8，在冷却管61的内壁上，被冷却冷凝的溶剂沿该内壁流动，滴在回收板62上，进而沿其斜面流动，从回收孔62c向其下方滴下。该溶剂进一步沿中空轴14、卡合块37、连接块36等的表面流动，由液回收盘22向最终洗净槽5返回(参照图2)。

下面对本实施形态的洗净装置1的控制装置13进行说明。该控制装置13是为了根据冷却器8的表面温度对溶剂的蒸发量进行检测并根据该检测量对加热器7的温度进行调节而设置的。本实施形态中，在冷却管61的表面部分或其附近设置液化部温度传感器70(参照图11)，通过该传感器70，对冷却管61的表面附近的温度进行检测。即，在溶剂的蒸发量多的场合，热交换量·液化量随之增加，表面温度上升，另一方面，在溶剂的蒸发量不多的场合，热交换量·液化量不怎么增加，表面温度保持低的温度，故根据该表面温度测量值及其变化对冷却器8的溶剂的蒸发量进行检测。另外，通过设置在珀尔帖元件64上的冷却器散热部温度传感器71对该珀尔帖元件64的温度进行检测(参照图11)。冷却器散热部温度传感器71也可用作根据该检测到的温度检测出冷却器8的运行不良和故障等的传感器。液化部温度传感器70、冷却器散热部温度传感器71都与CPU72连接(参照图11)。CPU72根据这些传感器70、71检测到的信息，通过加热器温度调节器73和SSR(固体继电器)74对加热器7的温度进行控制。即，在溶剂的蒸发量过多的场合，降低加热器7的温度，以抑制蒸发量，另一方面，在蒸发量少的场合，根据需要提高加热器7的温度，以增加蒸发量。由此进行温度控制，其结果，洗净装置1中，能对超过冷却器8的冷凝能力的量的溶剂蒸发的情况，或与冷凝能力相比只有极少的量蒸发的情况进行改善，使蒸发量与冷凝量取得平衡，可始终维持以适当的量的溶剂进行蒸馏·精制的状况。另外，由此，能将与冷却器8的冷却能力匹配的量的溶剂稳定地进行精制，也有助于洗净装置1整体的节能化。而且，即使是因为超声波振动器21引起的发热和外气温度导致溶剂的蒸发量增加的场合，根据加热器7的表面温度对蒸发量进行检测的本实施形态的洗净装置1，检测灵敏度高，使加热器7停止这样的响应为止的时间短，故可防止溶剂朝外部的流出。

下面，对控制装置13的其他结构及其电路结构进行说明(参照图1，图11)。洗净槽旋转电机23；工件上下电机53的各电机驱动器75、76分别与CPU72连接。另外，构成旋转传感器28的原点传感器28a及分度传感器(日文：インデツクスセンサ)28b；构成上下传感器52的上升端传感器52a、中间位置传感器52b及下降端传感器52c的各传感器与CPU72连接。珀尔帖元件64、风扇电机66分别由脉冲宽度调制后的信号驱动。对废液罐17内的液温进行检测，进而防止罐内空烧的温度传感器77，与上述加热器温度调节器73连接。该温度传感器77和对超声波振动器21发出超声波的超声波振荡器78分别与电源装置79及CPU72连接。此外，CPU72上连接有通信用的接口80、通信HMI(人机接口)81、LED和LCD等显示装置82、固定存储器83。在固定存储器83中储存有动作程序和温度控制值等。

另外，控制装置13可实施以下动作。即，(1)可对各槽浸渍时间、超声波功率、着液速度、提升速度等的洗净工艺(日文：レシピ)进行设定，(2)可将几种洗净工艺进行登记、选择，(3)利用在线对洗净工艺进行设定，即，客户只要选择洗净工艺即可，(4)在线对温度等的记录功能，(5)可更换旋转槽，可自由地进行洗净方法的试验等。

另外，本实施形态中，通过将托架状的框架、板材组合而设置架台84，在架台84上设置洗净装置1，同时将上述各种控制装置配置在该架台84内(参照图1)。具体地说，将加热器温度调节器73、超声波振荡器78甚至开关箱(符号85a为开关)85等配置在架台84的板材上或底部。另外，架台84上设有用于连接洗净装置1的各种装置的可装脱的连接器86。在将洗净装置1的上部侧从下部的控制装置13侧进行脱卸或在控制装置13侧进行安装时将连接器86进行装脱。

下面，针对将洗净装置1的内部一部分做成可视的结构进行说明。本实施形态的洗净装置1中，在周壁67上设置可视窗69，通过该可视窗69可看到装置1的内部进行确认。由此，该洗净装置1中，作业者和管理者，针对工件2保持在工件支架46上的规定位置、各槽3～6以规定的定时各转动90度、工件2浸渍在各槽3～5内、甚至溶剂循环量处于合适的范围内等，可目视确认洗净作业的经过和进展情况。而且，该可视窗69设置在周壁67上，故比例如从冷却管61的上部开口往下看的场合更容易把握旋转洗净槽等的状况。本实施形态中，作为可视窗69使用玻璃板，但也可采用丙烯板等。

而且，在该洗净装置1中，将旋转驱动装置10及升降驱动装置11中的至少一方配置在洗净槽3～5的上方，同时，将这些旋转驱动装置10及升降驱动装置11中配置在洗净槽3～5上方的装置做成可相对于洗净槽3～5可拆装的结构。以下，对如此可拆装的本实施形态的洗净装置1的拆装结构进行说明。

本实施形态中，旋转驱动装置10、升降驱动装置11都配置在洗净槽3～5(及干燥槽6)的上方(参照图1)。这里所说的“配置在上方”不仅包括配置在槽的正上方的场合，而且包括配置在比洗净槽3～5高的位置的场合。本实施形态中，将围绕各槽3～6及废液罐17的周壁分离成上述上侧的周壁67和下侧的周壁87，通过将周壁67以上的部分做成可拆卸，就可使旋转驱动装置10及升降驱动装置11相对于洗净槽3～5(及干燥槽6、废液罐17)可拆装(参照图2)。具体地说，使周壁67与周壁87直径相同，且作成可将废液罐17的上缘夹在两周壁67、87之间的凸缘形状，而且，可利用设置在两个周壁的周围的多个拆装用构件88将这些周壁67、87一体化(参照图15等)。拆装用构件88最好是能将两个周壁67、87可靠地一体化、且拆装操作容易的结构。本实施形态中，将图示的带弹簧的扣环装置用作了拆装用构件88，但也可使用其他的装置比如铁扣、闩锁、软管夹箍等。而且，除了这些机械式的装置以外，也可是利用磁力进行拆装的磁铁式。作为磁铁式的一例，在轴14(或15)的下端和旋转圆板30的中央设置相对的磁铁89，通过两个磁铁89的相互吸引，使洗净装置1的上部与下部一体化(参照图25，图26)。

洗净溶剂具有使表面积小、橡胶制的密封材料膨润或劣变的趋势。周壁67、87的拆装需要兼有不使溶剂向外部泄漏的密封效果，其密封方法需要花一定的功夫。密封材料最好是耐溶剂性的高氟橡胶、使用了EPDM等的O形环和橡胶板、PTFE密封材料等。另外，密封材料的拆装位置，为了不直接与溶剂接触最好在上部，能取得好的密封效果。而O形环那样的成形加工面最好分布在表面全周。另外，PTFE那样的弹性体的场合，最好在与液体接触的一侧进行涂层以使多孔质面的孔堵塞。

如此将旋转驱动装置10及升降驱动装置11做成可拆装的洗净装置1，首先具有各构件维护容易的优点。即，对于旋转驱动装置10或升降驱动装置11，可从装置本体拆卸后进行检修·保养等维护作业，故解体等容易进行，作业的自由度高。另外，如是将周壁67以上的部分拆卸后的状态下，可直接对洗净槽3～5和干燥槽6甚至废液罐17进行洗净，或容易地从架台84上进行拆卸等作业。

上述实施形态是本发明的较佳的实施的一例，但并不局限于此，只要在本发明的宗旨范围内可进行各种变形实施。比如，本实施形态中，对将旋转驱动装置10和升降驱动装置11双方配置在洗净槽3～5的上方，且将两个装置10、11相对于洗净槽3～5可拆装的所谓槽旋转型上部下吊型旋转传递式的洗净装置1进行了说明，但并不局限于该结构，也可将两个装置10、11的至少一方配置在洗净槽3～5的上方，该装置10(或装置11)如是相对于洗净槽3～5可拆装的结构，则维护等作业就变得容易。以下，对仅将其中的升降驱动装置11配置在洗净槽3～5(及干燥槽6)的上方，旋转驱动装置10配置在洗净槽3～5等的下方的槽旋转型下部旋转传递式的洗净装置1进行说明(参照图27)。

图27所示的洗净装置1通过配置在洗净槽3～5等的下方的洗净槽旋转电机23使洗净槽3～5等旋转，故该洗净槽旋转电机23，其旋转轴23a与旋转洗净槽的旋转中心一致地纵向配置。虽然在该图27中没有特别表示，但其中的升降驱动装置11、各槽3～6、加热器7、冷却器8、工件搬运装置9等的各装置的结构与上述的洗净装置1的没有特别的不同。该洗净装置1中，可将包括升降驱动装置11在内的上部侧拆卸，故能容易地对以该升降驱动装置11为主的各装置进行维护。

这里，上述各种类型的洗净装置1的结构用图28、图29所示的概要图来表示。这些洗净装置1都仅在1根铅垂轨道上将工件2进行升降，通过将旋转洗净槽对应于升降动作依次旋转以执行洗净工序，但若要将工件2依次浸渍在各洗净槽3～5(及干燥槽6)内，只要使工件搬运装置9与洗净槽3～5(及干燥槽6)的一方进行相对旋转即可。因此，与本实施形态的洗净装置1相反的结构，即，也可是各槽3～6不旋转，而使工件搬运装置9的工件支架46等进行旋转的结构。比如，图30表示了其概要的洗净装置1，通过由旋转电机23’使工件搬运装置9上的单独或多个工件支架46旋转，从而使各工件2的洗净工序依次进行，如这里的一例所示，其结果，通过使工件搬运装置9与洗净槽3～5(及干燥槽6)中的任何1方作相对旋转，就可进行自动洗净。不过，图28～图30中将洗净槽用符号3，4来表示的，但这只不过是为了方便，并不意味着排除其他洗净槽或干燥槽。

(对图31～图39所示的实施例的说明)

下面，对洗净装置1的又一形态进行说明(参照图31～图39)。以下所示的洗净装置1与上述洗净装置在基本结构上是共同的，但是，上述实施形态中曾经作为干燥槽使用的槽(符号6)不再作为干燥槽，而是作为洗净槽的一部分进行使用这一点成为1个特征。即，与最终洗净槽5邻接的该槽的内部设有过滤器295，将蒸馏后的溶剂首先返回该槽(以下称为“过滤器槽”，用符号6’表示)内，由过滤器295过滤后送往最终洗净槽5，从而可防止颗粒流入最终洗净槽5内，可维持槽内的清净度(参照图33等)。该场合，曾经由干燥槽6进行的蒸汽洗净，比如通过延长槽上部的工件2的停留时间等，可代替其功能。

当然，过滤器槽6’的过滤器295最好能有效地除去颗粒，比如，本实施形态中，做成由玻璃管295a、预过滤器295b、过滤器本体295c、过滤器壳体295d构成的多层结构(参照图32、图33)。玻璃管295a比如是过滤器本体295c的大约一半程度的长度的筒，将流入该过滤器槽6’的蒸馏液(溶剂)导向预过滤器295b(参照图33)。预过滤器295b是将该蒸馏液进行第1次的初步过滤的过滤器，如图所示，设置在玻璃管295a的下部。过滤器本体295c则是用于将通过了预过滤器295b后的蒸馏液进一步进行第2次过滤以除去微小颗粒的，比如，若是本实施形态的场合，使用了有底的圆筒形状的过滤器，但形状等并不受限定，这只不过是一例而已。另外，过滤器壳体295d是将该过滤器本体295c为主、包括预过滤器295b、玻璃管295a进行内置的壳体，尽管未特别图示，但在周面和底面上设有使过滤后的蒸馏液通过的多个小孔。这样的过滤器295如是滤筒式，则过滤器本体295c等变脏后可简便地进行更换等，非常有利。本实施形态中，通过将过滤器壳体295d做成相对过滤器槽6’可拆装的结构，可将整个过滤器295进行更换(参照图33)。在过滤器295的上部设有过滤器用的盖295e。

另外，在该洗净装置1中设有溶剂承接构件290及导向构件291(参照图32～图37)。溶剂承接构件290是为了使沿着轴14、15(更正确地说是轴14的表面)流入最终洗净槽5的溶剂避免通过轴14、15上的滑动部299而设置的构件，而另一方的导向构件291是为了将该溶剂导向最终洗净槽5而设置的构件。这里所说的滑动部299是指在轴14、15上部件之间相互摩擦的部分，比如，以这里正在说明的洗净装置1为例，轴14、15与旋转圆板30的连结部相当于此(参照图36)。该连结部，具体地说，是由设置在轴14、15途中的钩板201、和使该钩板201卡合地设置在旋转圆板30的中央背侧的被卡合部202构成，钩板201是具有以120度间隔配置的3个钩销201a的大致三角形的构件(参照图37)。与其相对，在被卡合部202上设有与各钩销201a对应的卡合孔202a(参照图36)。钩板201固定在实心的轴15的途中，与该轴15一起升降或进行旋转。另外，在旋转圆板30的中央设有该钩板201可通过的大小和形状的钩板插入孔203(参照图34)，将钩板201通过该插入孔203后通过将轴15转动规定角度(比如30度)，可将钩销201a与卡合孔202a的位置对齐。最好将钩板201的3根突出部中的1根做成突出长度不同的形状。这是因为，通过使钩板插入孔203的形状也与其对应，若钩板201不是朝着某一规定的方向的状态，则由于无法通过该插入板203，而在将钩板201与被卡合部202卡合时、导向构件291始终朝向一定方向的缘故。

该场合下的溶剂承接构件290和导向构件291的形状和结构并不受特别的限定，但比如本实施形态中，将有底的圆筒状构件设置在轴14、15的周围，形成杯状的溶剂承接构件290，同时，形成从该溶剂承接构件290向径向延伸的倾斜的导向构件291。导向构件291的前端位于过滤器槽6’的上部，在溶剂承接构件290中，将超过一定水位溢出的溶剂导向过滤器95(参照图33)。采用具有如此结构的溶剂承接构件290及导向构件291的本实施形态的洗净装置1，沿着轴14、15流动的溶剂不用通过滑动部299就可导向最终洗净槽5和过滤器槽6’，故可有效地防止粘附在滑动部299上的和该滑动部299本身产生的颗粒混入溶剂内。

另外，与旋转驱动装置10及升降驱动装置11连接并进行旋转及升降的轴14、15与洗净槽3～5的结合部，配置在洗净槽3～5的开口缘的下方(参照图31、图32)。该场合，在轴14、15与洗净槽3～5的结合部中，即使产生颗粒，也可防止该颗粒从洗净槽3～5的开口部掉下各槽内。这里所说的结合部，具体是指将轴14、15与旋转圆板30进行结合的部分，即，以上述实施形态为例的话，连接块36与此相当(参照图31)。

另外，该洗净装置1中，旋转驱动装置10中的轴14、15的旋转驱动轴承部292由滚动轴承构成，并配置在冷却器8的上部(参照图31等)。由如此的滚动轴承构成旋转驱动轴承部292的场合，与滑动轴承的场合相比，可抑制轴旋转时的颗粒的发生。另外，通过将旋转驱动轴承部292集中在洗净装置1的上部，与旋转驱动轴承部292位于洗净槽3～5附近的场合相比，可抑制颗粒掉入槽内。而且，该旋转驱动轴承部292的下部成为迷宫结构293(参照图31等)。这里所说的迷宫结构293，是指构件间保持非接触状态并刻有槽、以减少通过该处的颗粒的结构，位于其上部的旋转驱动轴承部292中即使产生颗粒，也成为这些颗粒的承接盘，而能暂时进行颗粒的保留。

而且，在为了使工件2通过而在冷却器8上设置的工件通过孔61a的上侧出入口61i设有至少比设置在冷却器8的周围的绝热材料63更朝上方突出的周缘294(参照图31、图37)。由此，即使从覆盖冷却器8的周围的绝热材料63产生颗粒，也可容易地防止该颗粒从工件通过孔61a掉入洗净槽3～5内。因此，作为绝热材料63，比如，采用与传统相同的EPDM海绵材料等，同时又能有效地防止洗净槽3～5内的溶剂的清净度下降。另外，在洗净装置1没有进行使用的场合，最好在该周缘294的上部放上防止颗粒掉下的盖296，关闭上侧出入口61i(参照图37)。在周缘294的周围形成台阶形状，设有提高盖296与周缘294之间的密封性的O形环297。

另外，在洗净装置1中设有冷却构件208、209；绝热板210；绝热分离板211；促进蒸发的溶剂的冷凝量的冷凝量促进构件212(参照图31)。冷凝量促进构件212以从冷却管61分离的状态设置，能更有效地将冷却管61中的热量向大气中散发，由此可促进冷却管61中的溶剂的冷凝量。比如，铜板、即绝热分离板211是从该冷凝量促进构件212接受热量并向大气中散热的构件，通过提高冷凝量，防止其表面的结露，可不用在其表面设置防止结露用的绝热海绵构件。绝热板210是冷却构件208、209与绝热分离板211之间的绝热构件。

另外，在该洗净装置1的冷却器8中设有检体取出孔298(参照图31等)。该检体取出孔298是为了确认洗净槽3～5内的溶剂中是否混入颗粒而取出检体的孔，若利用该检体取出孔298，不用拆卸回收板62和绝热材料63就可取出检体(溶剂)，非常简便。为了取出洗净槽3～5内的检体，比如将检体取出用的管子插入该检体取出孔298内即可，通过该管子可将溶剂的一部分作为检体吸出。由此取出的检体用作确认其中含有多少程度颗粒的试样，由此，即使在洗净装置1的使用途中也可对任意的洗净槽3～5中的清净度的情况进行确认。这样的检体取出孔298也可用作将新的溶剂注入洗净槽3～5时的注入用孔。即，将新的溶剂注入洗净装置1时，此前曾经有过不管是煮沸洗净槽3、还是超声波漂洗槽4或最终洗净槽5、随意地注入的情况，但出于新的溶剂中多少也存在微小的颗粒，最好能尽可能确保最终洗净槽5内的清净度。为此，将该检体取出孔298用作溶剂的注入用孔，若将新的溶剂注入煮沸洗净槽3或上述过滤器槽6’内，则比将新的溶剂直接注入最终洗净槽5内的场合更能确保该最终洗净槽5内的清净度。

而且，本实施形态的洗净装置1中，通过调节冷却空气的风向，使洗净槽3～5的溶剂的清净度不下降。这里所说的冷却空气是指为了将散热器的热量送出洗净装置1的外部、对该散热器等进行冷却而强制性地进行循环的空气，比如从洗净装置1的侧部吸入并从其他部分排出(参照图3 1、图32的粗箭头)。本实施形态中，为了防止如此从洗净装置1排出的冷却空气绕向工件通过孔61a和铅垂孔61b，使过多的颗粒混入溶剂内，通过风向变更板200对冷却空气的风向进行控制。风向变更板200安装在洗净装置1的空气排出部上，比如如图32所示的那样，是下部开口的管道，该风向变更板200可将排出的空气朝下方引导。这里例示了将排出的空气朝下方引导的情况，但这只是一例而已，主要是排出的空气被控制成不绕向洗净槽3～5的开口部、即工件供排口即可，因此，只要满足该条件，不仅是下方，也可控制成将空气导向洗净装置1的后方或下方。

本说明书中对功能等并不作特别详细的说明，上述洗净装置1中的符号204表示盖，205表示废液用带阀联轴器或废液塞，206是绝热材料盖，207是吸尘用接头。

(对图40～59所示的实施例的说明)

以下分别对有关工件搬运装置9、工件支架46、洗净槽3～5等的其他实施形态进行说明。首先，对工件搬运装置9的其他实施形态进行说明(参照图40、图41)。在工件搬运装置9的托架55’上平行地形成比如朝铅垂方向长的2个长孔313。另外，在止脱的状态下55’的上部弯折成水平，该水平部分和上述2根支承销314分别通过这些长孔313，固接在桥杆44上并与桥杆44之间设有将托架55’上推使同步皮带54拉伸地施力的压缩弹簧(以下称为擒纵弹簧(日文：エスケ一プばね))315(参照图40)。另外，在托架55’的水平部分的上部比如设有2个旋钮316。同步皮带54的上端与托架55’的下部连接。在如此结构的工件搬运装置9中，如克服擒纵弹簧315将托架55’往下按压，则同步皮带54松弛。比如，对工件支架46浸渍在洗净槽3～5内的位置进行调节的场合，和为了将搬运时的打包空间减小而想将工件搬运装置9做成下放的状态的场合等，可在该状态下手动将桥杆44朝上下方向移动进行调节。当将托架55’下压使同步皮带54松弛时，则安装在桥杆44的前端的工件支架46和钢丝47这样的洗净夹具容易上下移动。该机构，对洗净夹具和各洗净的该托架55’可升降地支承(参照图40、图41)。具有可手动实施对与托架槽3～5的位置确认、利用手动对洗净后的场合的洗净情况不进行驱动也可确认这样的优点。该结构中，最好具有扭矩限制器功能。桥杆44通过工件上下电机53进行下降期间，假如发生挂钩时，则托架55’被工件上下电机53拉动而下压。该场合，同步皮带54一瞬间松弛，工件上下电机53与同步皮带54之间发生失调，减轻驱动力，可确保安全。

下面，对工件支架的其他形态(以下用符号46’表示)进行说明(参照图42、43)。这里，在安装构件48’的上下2处形成U字形槽317。另外，在安装工件48’的上部设有可上下移动的按压销318。该按压销318被内置在安装构件48’的上部的按压用弹簧319朝下施力。另一方面，在工件支架46’的两侧设有与U字形槽317卡合的卡合销320。当将如此结构的工件支架46’安装在安装构件48’上后，卡合销320与各U字形槽317卡合，且在该状态下通过按压销318将工件支架46’的上部朝下按压，可防止工件支架46’不经意的脱落。另外，将处于如此卡合状态的工件支架46’从安装构件48’上拆卸的场合只要将按压销318拉起即可。如上所述，图42和图43所示的工件支架46’及安装构件48’，使工件支架46’的拆装变得非常简便。

下面，对拆装结构的其他实施形态进行说明(参照图44～图47)。为了打扫和更换槽内的溶液，洗净槽3～5需要可拆装，本实施形态中，旋转驱动装置10及升降驱动装置11中的配置在洗净槽3～5的上方的装置采用可相对于洗净槽3～5可拆装的结构。不过，有的结构，通过在洗净槽3～5附近设置用于拆装的机构，有时不容易知道拆装位置而费时。有鉴于此，图44～图46所示的实施形态中，采取以下的结构。即，首先，将轴14固定在旋转圆板30上，然后将多个洗净槽3～5固接在该旋转圆板30上(参照图44)。而且，由固定用螺钉322、上凸轮构件323、下凸轮构件324等构成的拆装机构(图44中用符号321表示)，比如，通过皮带轮26和旋转驱动轴承部392等配置在上方(参照图44)。因此，具有容易知道拆装位置的优点。而且，如此结构的场合，作为轴14可采用实心的结构，在抑制成本的同时可确保高的强度。另外，拆装机构321处于上方的话可一边目视一边操作，故能可靠、容易地进行洗净槽3～5的定位。

而且，图44～图47所示的实施形态中，由于还采用了将通过上述拆装机构321拆卸后的轴14以没有相位偏差的状态进行安装的机构，故对此进行说明。即，将轴14的上端部的两个肩部切掉，截面呈桅冠(日文：トラツク)形状(参照图45)。此时，将切除位置偏移，使一方的切割面14a的宽度L_a与另一方的切割面14b的宽度L_b具有不同的形状。另外，该上端部拔出插入的上凸轮构件323的桅冠形状的孔323a也是相同的形状(参照图45)。因此，将轴14的上端部安装在拆装机构321的上凸轮构件323上时，在180度反转的相位产生错位的状态下无法进行安装。将轴14的上端部插入上凸轮构件323的孔323a内后，通过将固定用螺钉322拧入轴上端的螺孔14c内可将它们进行固定(参照图45)。而本实施形态中，在上凸轮构件323与轴14之间夹着下凸轮构件324(参照图45)。上凸轮构件323与下凸轮构件324呈相互具有凹部的形状以使相互嵌合的场合大致呈圆柱形状。上凸轮构件323固定于轴14上，起到从下凸轮构件324将电机驱动力向轴14传递的作用。在下凸轮构件324的凹部中设有销324a，在上凸轮构件323的与该销324a对应的部分设有销孔323b，将上凸轮构件323与下凸轮构件324嵌合时不会成为180反转的状态(参照图47)。

下面，对过滤器拆装结构的其他实施形态进行说明(参照图48～图52)。这里，为了打扫等将过滤器395取出时，做成不分离驱动部等就可拆卸，提高使用的方便性。对此进行具体的说明。首先，在旋转圆板30上设置可旋转(自转)的旋转板325(参照图48、图49)。在从该旋转板325的旋转(自转)中心偏移的位置，设有用于安装过滤器395的设置孔325a(参照图50)。另外，将用于引导溶剂而设置的导向构件391’的前端部缩短，使取出或安装过滤器395时不干涉。通过以上结构，在取出过滤器395时将旋转板325旋转180度(半旋转)，可避让至与导向构件391’不干涉的位置(参照图48～图51)。将过滤器395如此移动后，使用铁丝等类的拉起构件327，通过冷却管61、回收板62后将过滤器395的提手326保持并拉起，就可将该过滤器395从过滤器槽6’及旋转圆板30取出(参照图52)。另一方面，将过滤器395再次进行安装时只要按与以往相反顺序进行即可。而符号30a是设置在旋转圆板30上的凹部，可使旋转板325进入。另外，欲使旋转板325旋转，具有比如将拉起构件327插入圆周状地配置在旋转板325上的旋转用孔325b内后进行旋转等的方法。拉起构件327的上端附近是将旋转用孔325b进行旋转的部分，拉起构件327的下端附近的钩状部分是将过滤器395的提手326钩起用的部分(参照图49)。

另外，还采用了用于手动旋转这些旋转槽3～6(干燥槽6至过滤器槽6’、洗净槽3～5)的机构，故对此也进行说明(参照图53)。用手动对槽3～6进行旋转的场合，握住直径小的轴14进行旋转会得不到足够的力矩，难以转动。为此，本实施形态中，可利用上凸轮构件323使轴14旋转。即，将图45所示的上凸轮构件323上下倒置地安装在轴14的上端部，该上凸轮构件323起到了所谓的旋转用的旋钮的功能(参照图53)。

最后，对洗净槽3～5的其他形态进行说明(参照图54～图59)。这里，将洗净槽3～5(有时也包括过滤器槽6’和干燥槽6)的大小根据工件2的大小适宜地进行改变。比如，设置与各洗净槽3～5相连的大型洗净槽，通过中途由隔板328隔开可形成多个洗净槽(参照图54)。该场合，尽管未图示，工件2的投放口的大小也可适宜地进行变更。或，也可将材质与槽的大小一起进行适宜的变更。比如，图55、图56所示的是具有第1槽3’、第2槽4’、过滤器槽6’的SUS一体结构的槽。做成SUS一体结构的场合，由于经过电解研磨而成，故具有几乎不产生颗粒的优点。SUS一体结构的场合，如出于提高超声波的透过性的话，最好将各槽的底板做成薄板(比如0.5mm左右)(参照图56)。另外，也可做成玻璃一体结构，比如，如图57所示，槽可由形状各异的第1槽3’、第2槽4’、主槽5’、过滤器槽6’构成。在利用玻璃的场合，具有比较廉价且超声波的透过性好的优点。或，如图58所示，也可将符号329所示的金属板与符号330所示的玻璃构件组合构成洗净槽等。该场合，具有以下优点，即，事先在玻璃构件330的底面设置凸部33 1，如利用这些凸部33 1进行嵌入地安装金属板329，则旋转方向的对位变得容易(参照图59)。

(对图60～99所示的实施例的说明)

另外，上述实施形态中，作为水分离机构12的一例，对将经防水处理后的隔板12a设置在包含溶剂的液面的上层部分、将最终洗净槽5内分割成洗净区域A1和此外的外部区域A2的结构进行了说明，但这只是水分离机构的一个具体例子而已。如列举其他例子的话，也可将对浮游的水进行分离的水分离机构12设置在最终洗净槽5之前，通过该水分离机构12将分离后的溶剂流向最终洗净槽5，另一方面，使分离后的水流向第1洗净槽(煮沸洗净槽)3。如具体例示的话，将对溶剂和水进行分离并将其分流至煮沸洗净槽3和最终洗净槽5的水分离机构12设置在连接块36的正下方，水流入煮沸洗净槽3，溶剂沿着流道90流向最终洗净槽5(参照图62)。在此场合，在圆周上配置的洗净槽3～5中，溶剂和水流入的部位以液回收盘22等为中心对角配置，故可提高溶剂和水整体的循环。即，如此对角配置时，则各洗净槽3～5的溶剂的流入口与流出口的距离可取得最长，故溶剂和水的循环性得到改善。另外，最好在最终洗净槽5中设置图64所示的朝纵向的对流板91。该场合，由于溶剂沿该对流板91循环至槽底，故也可提高槽内的循环。对水分离机构12的具体结构进行说明，比如，如图63所示，利用水的比重比溶剂轻而浮在上面侧这样的性质，可对该浮游的水和溶剂进行分离。即，在旋转圆板30的中央设有溶剂(包括水分)的储液槽30a，同时储液槽30a的底部隔着水分离板12b与流道90连接。因此，比重比水重的溶剂从储液槽30a的底部经过流道90流入最终洗净槽5(参照图62、图63)。另一方面，处于浮在盛放在储液槽30a内的溶剂表层部分上的状态的水从该储液层30a溢出后直接流入煮沸洗净槽3(参照图62、图63)。因此，这样的结构的水分离机构12，就可利用比重的不同将溶剂与水进行分离。

另外，本实施形态中，将拆装用构件88配置在正好与洗净槽3～5内的液面大致相同的高度，使周壁67、87在该高度可拆装(参照图2)，但该拆装位置可适宜变更。比如，图61所示的洗净装置1中，绝热材料63与周壁67之间可拆装，拆装位置比图2所示的洗净装置1的场合高(参照图61)。在这些绝热构件63与周壁67之间夹着未特别详细图示的防止溶剂蒸发扩散的密封件(比如O形环)。如此将拆装位置提高的图61所示的洗净装置1中，通过改变密封位置，可减少溶剂的蒸发扩散量。即，通过提高密封位置，使密封周边的温度降低，而且能减少密封件与蒸馏的液体的接触，其结果，可抑制从密封部的蒸发扩散量。具体地拿出数值说明的话，比如单位时间的溶剂蒸发扩散量原来为5g，则有时可降低至3g。

另外，有关可视窗69，本实施形态中，对其大小和片数并没有提及，但比如对于图1所示的洗净装置1，根据需要可利用分割(比如3分割)的玻璃板或丙烯板形成多个可视窗69(参照图65)，或利用1片玻璃板或1片丙烯板形成1片状的可视窗69(参照图66)。将可视窗69用1片玻璃板等形成的场合，出于材料和安装方便，有时可降低成本。另外，中途没有接缝，有时能得到宽广的视野角。而且，如图67所示，也可用绕一周的圆周状玻璃等形成1片状的可视窗69。

关于废液排液管40和废液罐液位管41，本实施形态中，各管40、41是独立设置的(参照图68)，但也可将它们的一部分共用化。如具体举例的话，比如，如图69所示，可将废液排液管40的连通管40a与废液罐液位管41的连通管41b共用化。该场合，通过将废液排液管40的下部横向放置，可消除残留液体。即，将废液排液管40的废液接头安装在废液罐17的底面，并将该废液排液管40横向放置，可使废液排液管40的整体配置在废液罐17的底面的下侧，可将废液罐17内的残留液体全部排除。另外，有时可容易地防止共用化后的连通管40a(41b)的松弛。

关于控制装置13，本实施形态中是配置在支承洗净装置本体的架台84上的(参照图1，图70)，当然也可进行其他的配置，比如，也可如图71所示，配置在洗净装置1的本体的后方或侧方。将控制装置13如此配置在洗净装置本体的后方等的场合，整体高度降低控制装置13和架台84的高度大小，故作为装置整体有时可实现小型化。即，将控制装置13配置在洗净装置1的比如本体后方的场合，通过将朝控制装置13的后方突出的量控制在朝珀尔帖元件64的后方凸出的量以内，则作为装置整体的设置宽度保持原状，而降低的高度可使其小型化。

有关冷却管61，本实施形态中仅对管子长度和其铅垂圆孔61a的大小进行了简单的说明，但冷却管61本身的结构或其周边的结构只要在本发明的宗旨范围内可进行各种变更。比如，也可将树脂板(作为一例为POM树脂板)等作为绝热材料92夹在与珀尔帖元件64的接触部(即传热部分)的上部、与铅垂圆孔61a的上端部同一水平面上(参照图72)。通过补充绝热材料92，可提高工件供排口附近的冷却效率。

该场合，尽管未图示，但将该绝热材料92安装在珀尔帖元件64上的安装螺钉93最好也用树脂垫圈等进行绝热。

而且，关于冷却管61，在洗净装置1停止时，最好利用比如由EPDM(乙烯·丙烯橡胶)的板构成的密封材料94和比如由SUS板构成的密封材料95对铅垂圆孔61a及铅垂孔61b的上部进行密封(参照图73)。

另一方面，在洗净装置1运行时，最好利用比如由EPDM(乙烯·丙烯橡胶)的海绵构成的、开设开口部的密封材料94和比如由SUS板构成的、同样开设开口部的密封材料95对铅垂圆孔61a及铅垂孔61b的上部进行密封。由此，尤其在洗净装置1停止时可减少溶剂的蒸发扩散量。具体地拿出数值说明的话，比如1天的溶剂蒸发扩散量原来为10g，则有时可降低至5g。图60所示的洗净装置1的场合，密封材料94、95通过固定螺钉96固定(参照图60)。

关于冷却管61，比如通过将上述EPDM海绵粘贴在该冷却管61的整个面上，可提高冷却管表面的绝热效率。

关于冲孔金属板16，本实施形态中对在旋转圆板30的底部仅安装1片的例子进行了说明(参照图2，图74)，但也可将其设置2片和2片以上(参照图75)。将冲孔金属板16设置2片以上的场合，与仅设置1片的场合相比，能因此而有效地防止废液罐17内的溶剂飞散。

关于卡脱机构31，本实施形态中，如图6所示，对利用了曲柄状的卡合槽34的情况进行了说明，但最好采用图76所示的结构的卡脱机构31。即，通过在驱动部解除位置和旋转位置的双方设置卡合爪35a，可将驱动销33相对于曲柄构件35在两个位置进行卡合。该场合，在各位置都不易产生偏差。另外，比如通过在拆卸位置侧的槽内设置磁铁105，以使驱动销33不易从该槽脱出。

关于3个洗净槽3～5，本实施形态中表示了将液面设置成逐渐降低的形态(参照图4等)，但最好将该场合的煮沸洗净槽3的液面降低等，以增大与超声波漂洗槽4和最终洗净槽5的液面的高低差(参照图77)。该场合，在旋转圆板30进行旋转时，即使液面波动，煮沸洗净槽3内的溶剂的污垢流入超声波漂洗槽4和最终洗净槽5内的担忧也少。图77中，在煮沸洗净槽3的侧面设置排水口97，使煮沸洗净槽3内的液位保持一定。这里对煮沸洗净槽3的液面降低的场合进行了说明，但也可增大超声波漂洗槽4的液面与最终洗净槽5的液面的高低差。

关于工件保持构件45的工件支架46，本实施形态中，如图8所示，对1个1个搬运工件2的结构进行了说明(参照图78)，但也可是一次搬运多个工件2的结构。比如，如图79所示，将工件支架46大型化，做成可载放多个工件2。或如图80所示，做成由钢制的篮子构成的工件支架46。图60表示将工件支架46做成上述形态的洗净装置1的整体图。

关于上下导轴42、43，本实施形态中，对图21所示的利用导向轴承部50对左右两轴进行引导的双柱结构进行了说明(参照图81)，但也可做成单柱结构。比如，图82中，将上下导轴42、43仅配置在单侧，由上下引导轴承部50对它们进行引导的单柱结构。这样的场合，可将使工件支架46进行上下的机构整体小型化。作为单柱引导用的轴承，比如可使用利用滚珠套筒导件(日文：ボ一ルブシユガイド)的轴承。另外，通过将用于上下的驱动部和用于旋转的驱动部一体地进行安装，可作为单元进行组装和更换。即，通过将用于上下的驱动单元和用于旋转的驱动单元一体化，只要将安装有上下引导轴承部50和工件上下电机53等的驱动部安装块107(参照图60)进行拆装，就可容易地进行驱动部整体的安装和更换。另外，上下行程变更、速度变更等，可增加作为单元的动作变动，同时可便于管理。

关于回收板62，本实施形态中，已经说明了最好使用具有绝热性的比如POM等树脂制的，但并不局限于这样的树脂制，比如也可由铝制。这样将回收板62做成具有传热性的铝制的基础上、进一步与铝制的冷却轴98连接的场合，可将该回收板62进行外气冷却(参照图83)。该场合，通过将回收板62本身进行冷却，使蒸馏再生液量增量，故可缩短溶剂的再生循环。

关于洗净装置1的各种装置的连接，本实施形态中使用了可拆装的连接器86(参照图1)，但并不局限于此。即，也可通过使用比如配线管道99(参照图85)来代替使用上述连接器86的结构(参照图84)，不用装脱连接器就可拆装控制装置13(参照图60，图85)。

此外，对本发明的洗净装置1使用共存溶剂洗净法的场合的实施形态进行说明。共存溶剂洗净法，如上所述，是用于对环境改善型的新型氟利昂(比如HFE、HFC)的弱的洗净力进行加强的洗净法，在前段使用烃系溶剂对工件2上的粘附油等污垢进行洗净、在后段利用新型氟利昂将烃系溶剂进行漂洗这样的方法。该共存溶剂洗净法中使用的洗净装置1的结构基本上与上述的是共同的，但使用氟利昂系溶剂之点、具有利用烃系溶剂对工件2上的污垢进行洗净的烃系溶剂的洗净槽之点、在该烃系溶剂的洗净槽与洗净槽之间具有将粘附在工件2上的烃系溶剂进行除去的除去部100之点、具有工件转动臂101之点等是独特的(参照图60)。

图60所示的洗净装置1在进行了利用烃系溶剂的洗净后，在转入由新型氟利昂进行漂洗过程的途中，作为中间过程具有将粘附在工件2上的烃系溶剂这样的污垢进行除去的过程。具体地说，具有利用烃系溶剂将工件2的污垢进行洗净的烃系溶剂的洗净槽(图60中用符号4’表示)、在该烃系溶剂的洗净槽4’与洗净槽之间设置且将粘附在工件2上的烃系溶剂进行除去的除去部100(参照图60)。该洗净装置1，在共存溶剂洗净法中，从利用烃系溶剂的洗净转入漂洗过程的途中除去烃系溶剂，故可减少烃系溶剂带入漂洗槽本体的带入量。

因此，即使重复洗净的场合，烃系溶剂除去槽和漂洗槽内从工件2上除去的烃系溶剂不会积聚，不用经常或间歇地去除烃系溶剂。本实施形态的除去部(烃系溶剂除去槽)100不仅起到烃系溶剂除去槽的功能，而且还起到工件供排部的功能。即，图60所示的除去部(烃系溶剂除去槽)100，在工件转动臂101朝逆时针方向(CCW)转动时，起到对在烃系溶剂洗净槽4’洗净后的工件2上粘附的烃系溶剂进行除去的槽的功能，另一方面，在工件转动臂101朝顺时针方向(CW)转动时，起到工件供排部的功能。在CCW时将除去部100作为烃系溶剂除去槽进行使用，该场合，为了在洗净装置1进行洗净，将工件的供给·排出在烃系溶剂洗净槽4’的上部进行。在CW时，将除去部100作为工件供给·排出部进行使用，将烃系溶剂的除去在烃系溶剂洗净槽4’的上面进行，使粘附在工件上的烃系溶剂掉落在烃系溶剂洗净槽4’内。

在CW时，也可在烃系溶剂洗净槽4’的上部具有送风等，以除去溶剂。

另外，图60所示的洗净装置1中，烃系溶剂洗净槽4’与洗净槽3～5是作为分离的独立的洗净槽形成的。因此，在使用上，在不需要利用烃系溶剂对工件2的污垢进行洗净的场合，可简单地将洗净槽4’拆卸。

也可做成将该烃系溶剂洗净槽4’与洗净槽3～5一体构成的洗净装置。

而且，该洗净装置1，具有3个种类不同的工件支架46，同时具有将这些工件支架46圆周状地配置的工件转动臂101(参照图60)。该工件转动臂101如图所示，可旋转地安装在被单臂支承的桥杆44的前端，通过借助同步皮带106由转动电机102驱动而朝顺时针或逆时针方向转动(参照图60、图86)。工件转动臂101的转动量(转动角度)可通过对转动夹头27的旋转量进行检测的旋转量传感器104进行读取。这样，通过使工件转动臂101各以规定量(比如120度)转动，可将在洗净槽内进行升降的工件2(工件支架46)进行更换。另外，可使工件支架46连同工件转动臂101等进行上下。该洗净装置1中，与上述洗净装置1相同，具有上下导轴42、43；工件上下电机53；同步皮带54等，可将工件支架46连同桥杆44进行升降。比如，将工件2降落在作为超声波漂洗槽4和作为除去部100的烃系溶剂除去槽内的状态下，驱动工件上下电机53，使工件2上下，就可得到更好的洗净效果或烃系溶剂除去效果(参照图87)。该场合，通过进行气流、吸引(真空)、用布消毒等，可在将工件2带入洗净槽内之前可除去多余的烃系溶剂。

在上述说明中虽未涉及，但图中的符号108是设置在周壁87的侧部的驱动部固定臂，109是用于捞起掉下至槽内的工件2等的捞网，110是烃系溶剂除去用的气流用管子，111是除去部(烃系溶剂除去槽)100用的排液管。

另外，通过将新型氟利昂洗净液(比如HFE)与烃系溶剂等的洗净剂组合，可期待获得大的洗净效果(参照图88)。HFE与烃系溶剂具有适度的相溶性，故使用洗净剂后的漂洗特性优良，可进行极少残留的洗净。但是，从图88可见，粘附在工件2上的烃系溶剂带入洗净槽3～5中的HFE中，故HFE中的烃系溶剂浓度逐渐上升。如图89所示，液温逐渐上升。同时，设置在外部的测温体112(参照图90)的温度也上升。这里，比如，当HFE中的烃系溶剂浓度超过10wt％时，进行液更换。此时，将测温体112的阈值设定为37.5℃，利用图90的装置使LED和蜂鸣器等进行报警。即，以温度为媒介对烃系溶剂的含有量进行检测，将规定的事项进行提醒通知。由此，能正确地把握液更换的时期，可进行无残油的洗净。在本实施形态中，作为用于洗净用溶剂的液更换·液量确认的结构的一例表示了可视确认(参照图15～图17)，这里所作的说明那样，如通过利用LED和蜂鸣器的警报，进行液更换·液量确认，则即使不始终对液位进行监视，也能可靠地把握更换等的时期，这点是非常好的。

随着烃系溶剂浓度上升的液更换，也可将洗净用溶剂全部用新的溶剂进行更换，但也可比如将洗净用溶剂中含有的烃系溶剂从氟利昂溶剂中分离取出。该场合，比如如图97所示，可以考虑将废液罐17内的洗净用溶剂，即烃系溶剂(比如HC)与氟利昂系溶剂(比如HFE)的混合液(HFE+带入HC)125在废液罐17内进行冷却。混合液125温度越高越容易蒸发扩散，故通过在废液罐17内将混合液125冷却，可防止溶剂朝外部的蒸发扩散和减量。

在废液罐17内将混合液125冷却至充分的温度比如常温后，移至洗净装置1的外面。并且，将混合液125的上层即HC富有层125a抽出废弃。另一方面，将HC富有层125a下面的HFE富有层125b返回洗净装置1。由此，可使高价的氟利昂系溶剂进行再使用。

另外，如图98(A)所示，也可具有将烃系溶剂与氟利昂系溶剂的混合液125冷却、将这些溶剂进行分离的混合液分离装置121。本实施形态中，混合液分离装置121，一端与废液罐17连通，另一端由开放的管状构件构成。另一端由塞子123堵塞。并且，在另一端侧设有冷却装置122。作为冷却装置122，可以考虑使用比如珀尔帖元件、蓄冷剂、冰、水等制冷剂借助管状构件将混合液125冷却。作为冷却混合液125的温度，越低越好，而比如在5℃以下。如后所述，可将废弃的HC中的HFC含有量减少至1％左右。

在图98(A)的洗净装置1中，将废液罐17内的混合液125导入混合液分离装置121内，通过在这里冷却，将HC从HFE进行分离。并且，比如，如图98(B)所示，拆卸塞子123，使用吸水管等吸入装置126抽取HC富有层125a。在该洗净装置1中，通过将混合液分离装置121内的混合液125冷却，可使混合液125的一部分冷却，与对废液罐17内的混合液125进行冷却的场合相比，可减少冷却所需的能量。另外，也可缩短冷却所需的时间，可有效地进行分离。而且，由于不再需要进行混合液125的转移作业和HFE富有层125b的返回作业等，故作业简单。另外，能进一步防止溶剂向大气中的蒸发扩散。

而且，如图99所示，设有使废液罐17内的混合液125进行循环的循环路124，也可在该循环路124的途中设置混合液分离装置121。该场合也能减少冷却所需的能量，同时能缩短冷却所需的时间，作业也简单。另外，能进一步防止溶剂向大气中的蒸发扩散。在该洗净装置1中，通过混合液分离装置121内的冷却，在循环路124内产生从上面的入口124a流入，从下面的出口124b流出的混合液125的流动。因此，能更高效地利用混合液分离装置121进行分离。不过，最好用绝热材料覆盖循环路124的周围，对向废液罐17内循环的混合液125进行保温。

在图98、图99的洗净装置1中，也可省略冷却装置122，对混合液125进行自然冷却。另外，也可使用水取代上述的HC。

这里，对上述的通过提醒通知把握液更换时期，对带入洗净槽3～5内的烃系溶剂利用温度引起的溶解度差进行分离这样的管理方法进行了验证，以下作为实施例1进行说明。

[实施例1]

使用了带烃系溶剂的洗净槽的洗净装置1。工件2使用了磷青铜轴套/外径10mm-内径3mm、长度14mm、4个/1套，粘附油使用了防绣油。烃系溶剂使用了NS清洁剂200(日矿石油化学公司制)(700ml)。烃系溶剂的洗净，采用50℃×2分钟，HFE洗净(漂洗)时间为1.5分钟。对于带入HFE内的烃系溶剂的带入量，将液更新时烃系溶剂含有量作成20wt％。另外，事先调制烃系溶剂/HFE浓度为20wt％的HFE洗净液，在烃系溶剂洗净罐的油含有量为20wt％的固定浓度下实施了验证。最初将工件2在烃系溶剂槽中进行洗净，将防绣油除去，然后在烃系溶剂/HFE洗净槽中将粘附在工件上的烃系溶剂除去，在HFE槽中进行漂洗。进一步经过HFE蒸汽洗净、干燥工序，结束共存溶剂洗净。然后，为了更新烃系溶剂/HFE洗净槽的液体而使洗净装置1的运行停止。这里，在液温冷却至室温(15℃)后，将分离成2层的上层液抽出。这里，利用了将液体冷却至常温的场合产生分离的性质。接着，补给新的HFE直到可运行的程度，再使洗净装置1运行，继续进行洗净。

通过以上的验证结果，发现了以下事实。即，第1，确认了带入HFE漂洗的蒸馏槽(烃系溶剂/HFE洗净槽)的烃系溶剂，可利用图91及图92所示的烃系溶剂(HC)溶解度差进行分离。该场合，作为粘附在工件上的污垢带入烃系溶剂洗净槽内的油可以认为是烃系溶剂中含有的油。第2，烃系溶剂/HFE洗净槽中分离后的烃系溶剂中含有的HFE被废弃，但发现废弃的HFE的量被抑制成很小。第3，发现烃系溶剂/HFE洗净槽中的烃系溶剂含有量，由于含有量增加与沸点上升成正比，故可检测。第4，利用轴套形状的工件，对洗净后的残油量进行了检测，其结果，当蒸馏槽仅是HFE的时候与更新后的值没有差异，都在检测界限以下(0.5μg/cm²)。

[实施例2]

另外，进行了用于确认利用溶解度差进行分离的有效性的分析。图93表示溶剂分离的概念。HC(日矿石油化学公司制NS清洁剂200)：10g与氟利昂洗净剂(HFE：住友3M公司制HFE7100)：40g混合后，进行放置(图93(A)(B))，对HFE富有层125b与HC富有层125a的分离进行了观察。本发明中，将分离后的HFE富有层125b返回烃系溶剂/HFE洗净槽，将HC富有层125a废弃(图93(C))。

图94表示HFE与HC的溶解量与温度的关系，图95表示HC富有层125a中的HFE/HC含有量与温度的关系。从这些图发现，随着温度的下降，HFE富有层125b与HC富有层125a的分离变得显著，而且，可确认HC富有层125a中的HC的含有率增加、HFE的含有率减少。

另外，对HC富有层(废弃HC)125a中的HC含有量与HFE含有量进行了分析。图96表示废弃HC125a中的HC/HFE含有量(HFE：80wt％、HC：20wt％)与温度的关系。纵轴是HC含有量或HFE含有量(wt％)，横轴是温度(℃)。发现随着温度的下降，废弃HC中的HC含有量增加，HFE含有量减少。即，可确认HFE：80wt％/HC：20wt％时、将HC富有层125a在常温下抽出(更新)、以及HC富有层125a中含有的HFE含有量为3％左右。另外，通过将温度下降至5℃以下，发现HFE含有量可减少到1％左右。HFE与HC相比非常高价(是HC的10～20倍)，将废弃HC中的HFE含有量降至1％左右是非常经济的。

Claims (17)

1.一种洗净装置，包括：利用溶剂对被洗净物、即工件进行洗净的洗净槽；将所述溶剂加热蒸发的加热器；对蒸发的所述溶剂的蒸汽进行冷凝回收的冷却器；保持所述工件并浸渍在洗净槽内的工件搬运装置；使该工件搬运装置和所述洗净槽中的一方进行相对旋转的旋转驱动装置；使所述工件搬运装置升降的升降驱动装置，其特征在于，将所述旋转驱动装置及升降驱动装置中的至少一方配置在所述洗净槽的上方，同时，将所述旋转驱动装置及升降驱动装置中配置在所述洗净槽上方的装置做成可相对于所述洗净槽拆装。

2.如权利要求1所述的洗净装置，其特征在于，在所述洗净槽中进行最终洗净的洗净槽内设置对槽内的溶剂上浮游的水进行分离的水分离机构。

3.如权利要求2所述的洗净装置，其特征在于，所述水分离机构由隔板构成，该隔板将包含所述洗净槽内的液面的上层部分至少隔开为将所述工件浸渍并进行洗净所需的洗净区域和此外的外部区域，并阻止从槽外流入至该外部区域的水流入所述洗净区域内。

4.如权利要求1所述的洗净装置，其特征在于，具有根据所述冷却器的表面温度对所述溶剂的蒸发量进行检测、同时根据该检测量对所述加热器的温度进行调节的控制装置。

5.如权利要求1所述的洗净装置，其特征在于，所述洗净槽包括：利用氟利昂系溶剂对被洗净物、即工件进行洗净的洗净槽；利用烃系溶剂对所述工件的污垢进行洗净的烃系溶剂的洗净槽。

6.如权利要求5所述的洗净装置，其特征在于，在所述烃系溶剂的洗净槽与所述洗净槽之间，具有用于除去粘附在所述工件上的烃系溶剂的除去部。

7.如权利要求5或6所述的洗净装置，其特征在于，具有对所述烃系溶剂及所述氟利昂系溶剂的混合液进行冷却、并对这些溶剂进行分离的混合液分离装置。

8.如权利要求7所述的洗净装置，其特征在于，所述混合液分离装置，由一端与废液罐连通、另一端成为开放的管状构件构成。

9.如权利要求7所述的洗净装置，其特征在于，在所述另一端侧设置冷却装置。

10.如权利要求8所述的洗净装置，其特征在于，在所述另一端侧设置冷却装置。

11.一种洗净装置，包括：利用溶剂对被洗净物、即工件进行洗净的洗净槽；将所述溶剂加热蒸发的加热器；对蒸发的所述溶剂的蒸汽进行冷凝回收的冷却器；保持所述工件并浸渍在洗净槽内的工件搬运装置；使该工件搬运装置和所述洗净槽中的一方进行相对旋转的旋转驱动装置；使所述工件搬运装置升降的升降驱动装置，其特征在于，将所述旋转驱动装置及升降驱动装置中的至少一方配置在所述洗净槽的上方，同时，将所述旋转驱动装置及升降驱动装置中配置在所述洗净槽上方的装置做成可相对于洗净槽拆装，且将与所述旋转驱动装置及升降驱动装置连接并旋转和升降的轴与所述洗净槽间的结合部配置在所述洗净槽的开口缘的下方，并且设有避免沿着所述轴而向所述洗净槽流入的所述溶剂通过滑动部的溶剂承接构件以及将该溶剂导向所述洗净槽的导向构件，所述滑动部指在该轴上部件之间发生摩擦的部分。

12.如权利要求11所述的洗净装置，其特征在于，所述旋转驱动装置上的轴的旋转驱动轴承部由滚动轴承构成并配置在所述冷却器的上部，将该旋转驱动轴承部的下部做成迷宫结构。

13.如权利要求11所述的洗净装置，其特征在于，在为了使所述工件通过而设置于所述冷却器上的工件通过孔的上侧出入口，设有至少比设置在所述冷却器周围的绝热材料更向上方突出的周缘。

14.如权利要求11所述的洗净装置，其特征在于，将所述旋转驱动装置及升降驱动装置中配置在洗净槽上方的装置做成可相对于所述洗净槽拆装，且设置促进已蒸发的所述溶剂的冷凝量的冷凝量促进构件。

15.如权利要求11所述的洗净装置，其特征在于，将所述旋转驱动装置及升降驱动装置中配置在洗净槽上方的装置做成可相对于洗净槽拆装，且在这些洗净槽中进行最终洗净的洗净槽的跟前，设置将流入该最终洗净槽内的所述溶剂的颗粒除去的过滤器，并在该最终洗净槽内设置将槽内的溶剂上浮游的水进行分离的水分离机构。

16.如权利要求15所述的洗净装置，其特征在于，将所述过滤器做成滤筒式。

17.如权利要求11所述的洗净装置，其特征在于，将所述旋转驱动装置及升降驱动装置中配置在所述洗净槽上方的装置做成可相对于所述洗净槽拆装，进一步在所述冷却器上设置用于从所述洗净槽内的溶剂中取出确认颗粒用的检体的检体取出孔。

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