CN100435309C - 高温烘烤晶舟 - Google Patents

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CN100435309C CNB2005101163986A CN200510116398A CN100435309C CN 100435309 C CN100435309 C CN 100435309C CN B2005101163986 A CNB2005101163986 A CN B2005101163986A CN 200510116398 A CN200510116398 A CN 200510116398A CN 100435309 C CN100435309 C CN 100435309C
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Abstract

本发明揭露一种高温烘烤晶舟，其中高温烘烤晶舟包含一前端构件、二片侧壁板、一后端构件、复数个固定槽、二片弹片挡板及二支支撑杆。使用此种高温烘烤晶舟可将晶圆受损的机会减至最低。

Description

高温烘烤晶舟
技术领域
本发明有关于一种晶舟，特别是有关于一种高温烘烤晶舟。
背景技术
在半导体制造产业中，从晶圆制成集成电路晶片时通常包括对晶圆一再处理的几个步骤，测试、存放及搬运。由于晶圆的易碎性质及其贵重价格，必须在制造过程中适当地保护，而晶舟的目的即为提供这种保护措施。
在高温烘烤过程中，金属制成的晶舟可用在高于摄氏三百度的温度中。然而在烘烤过程中，晶圆因运输时，其边缘与晶舟相碰撞，而使晶圆的边缘造成一些损伤或是晶圆破裂。
如图1显示根据先前技术实施例的晶舟的透视图，一晶舟100用于搬运及存放晶圆，晶舟100包括一前端构件110、二侧壁板120、一后端构件130、复数个固定槽140、二圆柱玻璃棒150及二支撑杆160，侧壁板120分别固定于前端构件110及后端构件130之间，复数个固定槽140设置于各个侧壁板120上，二圆柱玻璃棒150分别位于各侧壁板的下方，而支撑杆160固定于侧壁板120及圆柱玻璃棒150之间。
前端构件110及后端构件130用于保护晶圆，复数个固定槽140则是用于容纳晶圆，石英制成的圆柱玻璃棒150用于支撑晶圆。而因为圆柱玻璃棒150与晶圆的接触面积太小，当圆柱玻璃棒150与晶圆接触时难以减少缓冲而使晶圆容易在其边缘处有一些损伤或是损坏晶圆。
发明内容
本发明的目的是提供防止晶圆产生碰撞的晶舟结构。本发明的另一目的为基座的材料必须能承受至少摄氏三百度的温度，因为此类晶舟须使用于高温烘烤。
根据前述本发明的目的，提供一高温烘烤晶舟改良构造，其包括一弹片挡板以减少碰撞的程度，降低晶圆受损的可能性。
为达上述目的，本发明采用的技术特征如下：
一种高温烘烤晶舟，该高温烘烤晶舟包含：
一前端构件；
二侧壁板相对地设置于该前端构件的两端；
一后端构件位于该二侧壁板之间；
二弯曲的弹片挡板相对地设置于该二侧壁板的下方；及
二支撑杆分别固定于该二侧壁板及该二弯曲之弹片挡板之间。
附图说明
图1为现有技术实施例的晶舟的透视图。
图2为本发明实施例的晶舟的透视图。
图中符号说明
100晶舟
110前端构件
120侧壁板
130后端构件
140固定槽
150圆柱玻璃棒
160支撑杆
200晶舟
210前端构件
220侧壁板
230后端构件
240固定槽
250弹片挡板
260支撑杆
具体实施方式
本发明一些实施例在此会做更详细的描述，然而，本发明可以广泛地在其它的实施例施行，而本发明的范围不受已提出的专利申请范围的限制。其中本发明所描述的附图只是范例，在本发明的精神中这些附图有多种的变化，不应有限定的认知，所有的变化被认为是申请专利范围的部份。
当晶圆经过测试后，必须将晶圆放入炉中将油墨烘干，而油墨是为了标记不良的晶片。然而，由于运送过程中间的颠簸，晶圆容易在运输的过程中，其边缘因与晶舟相碰撞，而使晶圆的边缘造成一些损伤或是晶圆破裂，本发明因而提供一种高温烘烤晶舟的改良结构。
图2显示根据本发明实施例的晶舟的的透视图。一用于搬运及存放晶圆的晶舟200，晶舟200包括一前端构件210、二侧壁板220、一后端构件230、复数个固定槽240、二弹片挡板250及二支撑杆260，侧壁板220分别固定于前端构件210及后端构件230两端之间，复数个固定槽240设置于各个侧壁板220上，二弹片挡板250分别位于各侧壁板的下方，而支撑杆260固定于侧壁板220及弹片挡板250之间。
如图2所示，弹片挡板250在本发明中用于保护晶圆，该弹片挡板由金属制成且能承受高于摄氏三百度的温度。应注意弹片挡板的材质不可为电镀否则将会污染晶圆。此外，挡板也可为其它能承受高于摄氏三百度而不熔化的材料。弹片挡板具有一斜面以增加与晶圆的接触面积及当弹片挡板与晶圆接触时可形成缓冲。
弹片挡板250为具弹性的材质，其可有其它不同形状，用以避免与高温烘烤的晶圆产生碰撞。晶圆边缘与弹片挡板直接地接触，由于有更多的面积与弹片挡板直接地接触，晶圆受到损伤的机会就会降低。
虽然本发明的实施例在上述有详细的描述说明，其目的在使熟悉此技艺的人士能了解本发明的内容并加以实施，当不能以的限定本发明专利范围，即凡其它未脱离本发明所揭示的精神所完成的等效的各种变化或修改都涵盖在本发明所揭露的范围内，均应包含在所述的申请专利范围内。

Claims (8)

1.一种高温烘烤晶舟，该高温烘烤晶舟包含：
一前端构件；
二侧壁板相对地设置于该前端构件的两端；
一后端构件位于该二侧壁板之间；
二弯曲的弹片挡板相对地设置于该二侧壁板的下方；及
二支撑杆分别固定于该二侧壁板及该二弯曲的弹片挡板之间。
2.如权利要求1所述的高温烘烤晶舟，其中各个该侧壁板具有复数个纵向沟槽。
3.如权利要求1所述的高温烘烤晶舟，其中该弹片挡板位于该侧壁板的下方。
4.如权利要求1所述的高温烘烤晶舟，其中该侧壁板包含复数个固定槽。
5.如权利要求4所述的高温烘烤晶舟，其中该固定槽用于放置晶圆。
6.如权利要求1所述的高温烘烤晶舟，其中该弹片挡板由金属制成。
7.如权利要求6所述的高温烘烤晶舟，其中弹片挡板可承受高于摄氏三百度的温度。
8.如权利要求1所述的高温烘烤晶舟，其中该弹片挡板具有一斜面以增加与晶圆的接触面积。
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