CN100397139C - 利用受激布里渊散射相位共轭镜进行自相位控制的装置和方法 - Google Patents

Abstract

公开了在分束放大激光器中利用受激布里渊散射相位共轭镜来控制光束的相位以使光束的相对相位为“0”的装置和方法。使从相位共轭镜反射的激光束之间的相位差为“0”的过程包括：第一步骤，将从相位共轭镜反射的激光束(104’、…、114’和124’)通过光路转换器(131和132)输入到光检测器(150)；第二步骤，利用反射激光束之一作为参考激光束(104’)，并且使参考激光束与另一反射激光束(114’)干涉；以及第三步骤，检测干涉结果，并且精细驱动压电元件(109和119)，以控制反射器(108、118和128)的位置，由此使两个激光束(104’和114’)之间的相位差变为“0”。

Description

利用受激布里渊散射相位共轭镜进行自相位控制的装置和方法

技术领域

本发明涉及用于在分束放大激光器中利用受激布里渊散射相位共轭镜(SBS-PCM)来控制光束的相位以使光束的相对相位为“0”的装置和方法。

背景技术

SBS-PCM反射相位共轭波，以补偿在激光放大过程中生成的激光束失真，从而其可以容易地应用于分束高功率激光器。在美国专利US5832020A以及韩国专利No.1003185200000中公开了利用SBS-PCM的分束放大激光器。

图1是在韩国专利申请No.10-1999-0001187中详细公开的分束放大激光器的示意图。图1所示的现有技术分束放大激光器提供了光遮断器，其防止从激光束发生器发射出来并且穿过系统的光学元件的激光束的一部分又输入到激光束发生器中以破坏激光束发生器。图1是用于解释激光束的分束和放大的示意图。参考图1，从激光源5发射的激光束通过光束放大级10、11、12、…被放大。将放大后的激光束13提供给需要该激光束的系统。

如果激光束的一部分被反射并又输入到激光源5，则破坏激光源5。为了防止这种状况，现有技术布置了1/4波片6、SBS-PCM 7和光放大器8，并且利用偏振来阻断输入到光源的光束。

在上述分束放大器中，由每个分束器拆分的激光束从每个SBS-PCM反射，并且如果需要的话重新组合起来。如果重新组合的激光束彼此之间具有180度的相位差，则重新组合的激光束的空间分布中的中心强度变为“0”，这恶化了激光束的空间分布。于是，不能获得高质量激光束。

从相位共轭镜反射的激光束具有不同相位，因为在相位共轭镜的不同位置处发生受激布里渊散射。因此，从不同相位共轭镜反射的激光束具有不同相位，并且当重新组合这些激光束时，重新组合的光束的中心强度与周围强度不同。为了获得组合激光束的空间分布一致的高质量激光束，必须控制根据受激布里渊散射反射的激光束的相位，以使激光束的相对相位为“0”。

为了解决上述问题，已经进行了多种研究。

图2是示出了利用SBS-PCM根据焦点重叠控制激光束相位以锁定相位的方法的示意图。该方法通过透镜24将多个激光束21、22和23聚焦到单个SBS-PCM 20上，从而将多个激光束叠加在一个焦点上。在这种情形中，多个激光束根据散射从相同位置反射，从而它们具有相同的相位。然而，这种方法具有如下问题。

首先，因为必须将多个激光束聚焦到单个相位共轭镜上以便放大该激光束，受激布里渊散射介质在高入射能量情况下丧失其功能或表现出非线性。这显著地减小了反射率和相位共轭度。光束重新组合放大系统用来获得高能量激光束。当入射能量超过相位共轭镜的介质可以稳定反射的能量时，难以使用上述焦点重叠锁相方法。另外，激光束应该被布置为它们的焦点重叠在一个相位共轭镜上。这样，当激光束的数目增加时，激光束变得难以布置。此外，激光束的数目在空间上受到限制。因此，输出能量也受到限制，从而不能获得高功率能量。

图3是用于使拆分激光束之间的相位差为“0”的另一方法。这种方法是利用传统SBS-PCM根据斯托克斯波后向播种(seeding)的锁相技术。这里，斯托克斯波意味着与根据受激布里渊散射所反射的反射波具有相同频率的激光束。这种技术将要反射的激光束输入到相位共轭镜的前端，并且同时，在相位共轭镜后面播种激光束。在这种情形中，输入到相位共轭镜后端的斯托克斯波被放大，从而获得了如同入射光束被反射的效果。

在图3中，当入射激光束38穿过偏振分束器36和法拉第旋光器34时，入射激光束的偏振被旋转45度。然后，当激光束从相位共轭镜30反射并再次穿过法拉第旋光器34时，其相位又被旋转45度。结果，反射激光束32的偏振相对于入射激光束38的偏振旋转了90度。被偏振分束器36反射的激光束40与被相位共轭镜30发射的激光束相同，从而激光束40变为频率比入射激光束38低的斯托克斯波，并且可以用作播种光束。当要反射的激光束45、45’和45”被分别输入到相位共轭镜43、43’和43”的前端，并且同时利用分束器41、41’和41”将播种光束40拆分为光束42、42’和42”，并分别输入到相位共轭镜43、43’和43”的后端时，播种光束42、42’和42”可以用来对放大激光束45、45’和45”进行锁相。这里，通过控制分束器41、41’和41”的位置，可以使播种光束42、42’和42”之间的相位差变为“0”，以便使反射激光束45、45’和45”之间的相位差为“0”。

当相同的斯托克斯波被播种到受激布里渊散射介质中时，相同的斯托克斯波被放大，从而从SBS-PCM反射的光束的相位被锁定。然而，根据斯托克斯波后向播种的锁相技术具有如下问题。首先，用于实现这种技术的结构布置是复杂的，因为应该生成后向播种斯托克斯波，并使它们穿过焦点。也就是说，从SBS-PCM反射的光束应该是后向播种的，并且当存在许多拆分光束时，所有拆分光束都需要后向播种。为了避免这种情况，只有入射光束的一部分被后向播种。然而，在这种情形中，入射光束必须具有宽频带，并且包括斯托克斯波的频率。然而，考虑到受激布里渊散射恰好在频宽小时发生这一事实，这可能恶化反射光束的质量和性能。即使在这种情形中，随着拆分光束的数目增加，结构布置也变复杂和困难。

发明内容

因此，本发明提供了用于控制SBS-PCM中通过散射而反射的光束的相位的方法和装置。

根据本发明的一个方面，提供了一种用于在具有受激布里渊散射相位共轭镜的放大器中进行自相位控制的装置，包括：位于所述受激布里渊散射相位共轭镜之后任意位置处的反射器；以及用于精细驱动所述反射器的精细驱动器，其中所述精细驱动器被操作来控制所述反射器与所述相位共轭镜之间的距离，从而控制所述受激布里渊散射相位共轭镜中发生受激布里渊散射的位置，由此控制输入到所述受激布里渊散射相位共轭镜并根据受激布里渊散射而反射的激光束的相位。

根据本发明的另一方面，提供了一种用于在具有受激布里渊散射相位共轭镜的放大器中进行自相位控制的装置，包括：分束器，用于将激光束拆分为至少两个激光束；受激布里渊散射相位共轭镜，用于根据受激布里渊散射，将从所述分束器输入的激光束沿着与输入的激光束的方向相反的方向反射；反射器，它们分别位于所述相位共轭镜之后，并且将已经穿过所述相位共轭镜的光束再次输入到所述相位共轭镜；以及精细驱动器，用于分别精细驱动所述反射器，其中所述精细驱动器被操作来控制所述反射器与相位共轭镜之间各自的距离，从而控制所述相位共轭镜中发生受激布里渊散射的位置，由此使通过散射而反射的激光束之间的相位差为0。

根据本发明的另一方面，提供了一种用于在具有受激布里渊散射相位共轭镜的放大器中进行自相位控制的装置，包括：激光束发生器，用于向所述放大器提供激光束；多个相位共轭镜光放大器，用于放大激光束；以及多个光遮断器，它们分别与所述光放大器成对，并且遮断由所述光放大器放大并向所述激光束发生器反射的光束；其中所述光放大器和光遮断器将激光束拆分为至少两个光束，并且放大或遮断光束，所述光放大器和光遮断器中每一个包括：分束器，用于将激光束拆分为至少两个激光束；受激布里渊散射相位共轭镜，用于根据受激布里渊散射，将从所述分束器输入的激光束沿着与输入的激光束的方向相反的方向反射；反射器，它们分别位于所述相位共轭镜之后，并且将已经穿过所述相位共轭镜的光束再次输入到所述相位共轭镜；以及精细驱动器，用于分别精细驱动所述反射器，并且所述精细驱动器被操作来控制所述反射器与相位共轭镜之间各自的距离，从而控制所述相位共轭镜中发生受激布里渊散射的位置，由此使通过散射而反射的激光束之间的相位差为0。

根据本发明的另一方面，提供了一种用于在具有受激布里渊散射相位共轭镜的放大器中进行自相位控制的装置，其包括用于将激光束拆分为多个光束的分束器、多个拆分光束所输入到的受激布里渊散射相位共轭镜、位于所述受激布里渊散射相位共轭镜之后的反射器、以及用于精细控制所述反射器的精细驱动器，并且使在所述受激布里渊散射相位共轭镜中被散射并从中反射的激光束之间的相位差变为0，所述装置包括：光路转换器，用于改变反射激光束的路径；光干涉装置，用于使已经由所述光路转换器改变了路径的激光束彼此干涉；光检测器，用于检测干涉光束；以及中央控制器，用于分析所述光检测器所检测到的结果并且驱动所述精细驱动器，其中确认从所述光检测器输入的信号，以通过所述中央控制器来控制所述精细驱动器，由此使通过散射而反射的激光束之间的相位差为0。

根据本发明的另一方面，提供了一种用于在具有受激布里渊散射相位共轭镜的放大器中进行自相位控制的方法，其中利用位于所述相位共轭镜之后的反射器以及用于精细控制所述反射器的精细驱动器来使从所述相位共轭镜反射的激光束之间的相位差为0的过程包括：第一步骤：将从所述相位共轭镜反射的激光束通过光路转换器输入到光检测器；第二步骤：利用反射激光束之一作为参考激光束，并且使所述参考激光束与另一反射激光束干涉；第三步骤：检测干涉结果，并且精细驱动压电元件，以控制所述反射器的位置，由此使两个激光束之间的相位差变为0；第四步骤：使所述参考激光束与另一反射激光束干涉，并且通过中央控制器精细驱动压电元件，以控制所述反射器的位置，由此使两个反射激光束之间的相位差变为0；第五步骤：使所述参考激光束与尚未和所述参考激光束干涉的另一反射激光束干涉，并且控制所述反射器的位置，以使这两个激光束之间的相位差变为0；第六步骤：重复第五步骤，以依次使所述参考激光束与剩余反射激光束干涉，由此使干涉激光束之间的相位差变为0。

该方法控制相位共轭镜中发生散射的位置，从而控制光束的相位。为此，本发明在SBS-PCM之后提供了反射器和精细位移控制器，并通过反射器将已经穿过相位共轭镜的激光束反射，以将反射激光束再次输入到相位共轭镜，由此控制发生散射的位置。

附图说明

结合附图，从下面的详细描述中，将更加充分地理解本发明的更多目的和优点，其中：

图1是利用SBS-PCM的传统分束放大系统的示意图；

图2是示出了利用SBS-PCM根据焦点重叠的传统锁相方法的示意图；

图3是示出了利用SBS-PCM根据斯托克斯波后向播种的传统锁相方法的示意图；

图4是示出了其中将确定反射激光束相位的系统应用于分束放大器的实施例的示意图；

图5是示出了根据本发明通过受激布里渊散射和反射装置控制激光束相位的实施例的示意图；

图6是示出了通过从相位共轭镜反射的激光束的干涉来控制压电元件的过程的示意图；

图7是示出了根据本发明通过受激布里渊散射和反射装置控制激光束相位的另一实施例的示意图；

图8是示出了分束放大器中相位控制器的布置的示意图。

具体实施方式

现在将参考附图，结合优选实施例详细描述本发明。作为参考，在所有附图中相同的标号表示相应的部件。

首先，解释在SBS-PCM中散射生成的过程和位置。

当反射器位于相位共轭镜之后，并且激光束输入到相位共轭镜的前端时，在受激布里渊散射发生之前输入到相位共轭镜的光束穿过相位共轭镜，并且然后从反射器反射以输入到相位共轭镜。因此，激光束被输入到相位共轭镜两端。这里，输入到相位共轭镜两端的激光束具有相同的频率，但是它们沿着彼此相反的方向传播。于是，激光束在相位共轭镜中的任意位置处相遇，从而生成空间固定驻波。由于驻波，相位共轭镜的内部密度具有这样的形式：在预定的部分中密度周期性地为高或低。内部密度的形式也是空间固定的，类似于驻波。因为受激布里渊散射发生在高密度的点处，所以可以控制驻波的生成位置，来控制相位共轭镜中根据受激布里渊散射所反射的激光束的相位。如上所述，驻波的生成位置受到根据反射器输入到相位共轭镜的光束的影响。因此，通过调节相位共轭镜和反射器之间的相对距离，可以控制驻波的生成位置，并且因此可以控制反射激光束的相位。

参考图4至8解释向分束放大器应用改变相位共轭镜与反射器之间的相对距离以确定反射激光束相位的系统的过程。

图4是示出了其中确定反射激光束相位的系统应用于分束放大器的实施例的示意图。参考图4，为了放大激光束60，将激光束60拆分为两个输入激光束62和72，并且拆分激光束62和72分别输入到相位共轭镜63和73。入射激光束62和72分别在相位共轭镜中发生散射的点64和74处反射，以生成传播方向与输入激光束的方向相反的反射激光束68和78。这里，虽然两个反射激光束68和78的相位没有改变而是被锁定，但是彼此相位不相同，因为反射激光束68和78是分别从相位共轭镜反射的。于是，两个反射激光束之间的相位差不是“0”。因此，当重新组合反射激光束时，由于相位差，会出现相消干涉或相长干涉。如果出现相消干涉，就不能获得高质量激光束。

图5是示出根据本发明的通过反射器和精细驱动器控制从相位共轭镜反射的激光束的相位的实施例的示意图。一种用于控制反射激光束相位的装置包括聚焦透镜、SBS-PCM、反射器以及充当精细驱动器的压电元件。聚焦透镜用来将入射激光束聚焦到相位共轭镜上。使用凹面镜作为聚焦透镜来将反射到反射器的激光束聚焦到每个相位共轭镜的特定点。

下面解释控制反射激光束相位的过程。

为了拆分并放大单个激光束，将单个激光束拆分为多个输入激光束101、…、111和121。通过聚焦透镜105、…、115和125将入射激光束分别聚焦到相位共轭镜100、…、110和120上。这里，在散射发生之前输入的激光束穿过相位共轭镜，然后从反射凹面镜108、…、118和128反射。这些反射激光束103、…、113和123被分别聚焦到相位共轭镜中的任意点上。当由聚焦透镜聚焦的入射激光束与通过反射凹透镜聚焦的激光束在任意点102、…、112和122处相遇时，如上所述，在这些位置处生成驻波。生成驻波的位置固定在相位共轭镜100、…、110和120中的任意点，从而反射激光束104、…、114和124被锁定。然而，在相位共轭镜中根据受激布里渊散射所反射的激光束104、…、114和124不具有相同的相位，因为相位共轭镜中驻波的位置不相同。为了控制反射激光束以具有相同的相位，在利用压电元件精细移动反射凹面镜108、…、118和128的同时，控制从反射凹面镜108、…、118和128反射的激光束103、…、113和123所聚焦到的点。

图6是示出了一种用于精细驱动压电元件以控制反射凹面镜的位置由此改变反射激光束104、…、114和124的相位的装置的示意图。该装置包括光路转换器、光检测器、包括压电驱动器的中央控制器、充当精细驱动器的压电元件、以及充当反射器的反射凹面镜。光检测器采用CCD摄像机或者线摄像机。

下面解释精细驱动压电元件以控制反射凹面镜的位置由此改变反射激光束的相位的过程。

在第一步骤中，分别从相位共轭镜100、…、110和120反射的激光束104’、…、114’和124’分别通过光路转换器131、…、132和133输入到光检测器150。在第二步骤中，作为参考激光束的反射激光束之一104’与另一反射激光束114’干涉。在第三步骤中，检测干涉结果，并且精细驱动压电元件109、…、119和129，以控制反射器108、…、118和128的位置。在第四步骤中，参考激光束104’与另一反射激光束124’干涉，然后通过中央控制器160精细驱动压电元件109、…、119和129，以控制反射器108、…、118和128的位置，以便使两个反射激光束104’和124’之间的相位差变为“0”。在第五步骤中，参考激光束与尚未与该参考激光束干涉过的另一反射激光束干涉，并且控制反射凹面镜的位置，以使进行干涉的激光束之间的相位差变为“0”。在第六步骤中，重复第五步骤，以允许参考激光束依次与剩余的反射激光束干扰，以使干涉的激光束之间的相位差变为“0”。

图7是示出了控制激光束相位的另一实施例的示意图。图7所示的装置具有与图5的装置相同的配置，除了其不具有聚焦透镜105、…、115和125。

参考图7，单个激光束被拆分为多个入射激光束171、…、181和191。入射激光束在相位共轭镜170、…、180和190中不散射，而是分别透射过它们，因为入射激光束没有聚焦。透射过相位共轭镜的激光束从反射凹面镜178、…、188和198反射，以便被分别聚焦到相位共轭镜中的任意点172、…、182和192上。如上所述，在反射激光束所聚焦到的点172、…、182和192处生成驻波，以导致受激布里渊散射。根据受激布里渊散射所反射的激光束174、…、184和194传播到反射凹面镜，并且变为从反射凹面镜178、…、188和198反射的激光束175、…、185和195。控制反射激光束相位的过程与图6所示的过程相同。

图8示出了分束放大器中控制从相位共轭镜反射的激光束的相位的一部分。

参考图8，第一放大级200的第一光遮断器210和第一相位共轭镜放大器220以及第二放大级230的第二光遮断器240不需要控制反射激光束的相位，因为它们不拆分激光束。然而，第二放大级230的第二相位共轭镜放大器250以及第三放大级290的第三光遮断器300将激光束拆分为两个光束，并且第三放大级290的第三相位共轭镜放大器350将激光束拆分为四个光束。于是，它们需要控制反射激光束的相位。因此，在第二放大级的第二相位共轭镜放大器250之后布置反射凹面镜269和270以及充当精细驱动器的压电元件261和271。在第三放大级290的第三光遮断器300之后放置反射凹面镜310和320以及充当精细驱动器的压电元件311和321。另外，在第三放大级的第三相位共轭镜放大器350之后布置反射凹面镜360和390以及充当精细驱动器的压电元件361和391。利用这种布置，控制了反射激光束的相位。

工业适用性

根据本发明所提出的相位控制方法，在介质中传播的激光束被反射并被再次输入到介质中。于是，对能量没有限制，这与传统的聚焦重叠不同。另外，不需要单独生成斯托克斯波，与传统的斯托克斯波后向播种技术不同。因此，本发明适于利用SBS-PCM的分束激光放大器，因为本发明的装置具有简单的结构，并且对拆分激光束的数目没有限制。

另外，本发明的相位控制方法控制分束放大激光器中激光束的相位，以使激光束之间的相位差为“0”。这样，即使是拆分的激光束也可以作为单个激光束来处理，从而可以有效地获得高能量的激光束。

虽然已经参考特定的说明性实施例描述了本发明，但是本发明并不受限于这些实施例，而是仅由所附权利要求限定。应该认识到，本领域的技术人员在不脱离本发明的范围和精神的前提下可以改变或修改这些实施例。

Claims (11)

1.一种用于在具有受激布里渊散射相位共轭镜的放大器中进行自相位控制的装置，包括：

位于所述受激布里渊散射相位共轭镜之后任意位置处的反射器；以及

用于精细驱动所述反射器的精细驱动器，

其中所述精细驱动器被操作来控制所述反射器与所述相位共轭镜之间的距离，从而控制所述受激布里渊散射相位共轭镜中发生受激布里渊散射的位置，由此控制输入到所述受激布里渊散射相位共轭镜并根据受激布里渊散射而反射的激光束的相位。

2.如权利要求1所述的装置，还包括位于所述受激布里渊散射相位共轭镜之前任意位置处的聚焦透镜，以将激光束聚焦到所述受激布里渊散射相位共轭镜中的任意点上。

3.如权利要求1所述的装置，其中所述反射器是凹面镜，并且所述精细驱动器是压电元件。

4.一种用于在具有受激布里渊散射相位共轭镜的放大器中进行自相位控制的装置，包括：

分束器(61)，用于将激光束拆分为至少两个激光束；

受激布里渊散射相位共轭镜(63和73)，用于根据受激布里渊散射，将从所述分束器输入的激光束沿着与输入的激光束的方向相反的方向反射；

反射器(82和92)，它们分别位于所述相位共轭镜之后，并且将已经穿过所述相位共轭镜的光束再次输入到所述相位共轭镜；以及

精细驱动器(84和94)，用于分别精细驱动所述反射器，

其中所述精细驱动器被操作来控制所述反射器与相位共轭镜之间各自的距离(66和76)，从而控制所述相位共轭镜中发生受激布里渊散射的位置，由此使通过散射而反射的激光束之间的相位差为0。

5.一种用于在具有受激布里渊散射相位共轭镜的放大器中进行自相位控制的装置，包括：

激光束发生器，用于向所述放大器提供激光束；

多个相位共轭镜光放大器(220、250和350)，用于放大激光束；以及

多个光遮断器(210、240和300)，它们分别与所述光放大器成对，并且遮断由所述光放大器放大并向所述激光束发生器反射的光束；

其中所述光放大器(250和350)和光遮断器(300)将激光束拆分为至少两个光束，并且放大或遮断光束，所述光放大器(250和350)和光遮断器(300)中每一个包括：分束器，用于将激光束拆分为至少两个激光束；受激布里渊散射相位共轭镜，用于根据受激布里渊散射，将从所述分束器输入的激光束沿着与输入的激光束的方向相反的方向反射；反射器(261、271、310和320)，它们分别位于所述相位共轭镜之后，并且将已经穿过所述相位共轭镜的光束再次输入到所述相位共轭镜；以及精细驱动器(260、270、311和321)，用于分别精细驱动所述反射器，并且所述精细驱动器被操作来控制所述反射器与相位共轭镜之间各自的距离，从而控制所述相位共轭镜中发生受激布里渊散射的位置，由此使通过散射而反射的激光束之间的相位差为0。

6.如权利要求4或5所述的装置，还包括位于每个受激布里渊散射相位共轭镜之前任意位置处的聚焦透镜，以将入射激光束聚焦到每个受激布里渊散射相位共轭镜中的任意点上，由此使通过散射而反射的激光束之间的相位差为0。

7.如权利要求4或5所述的装置，其中所述反射器使用凹面镜，并且所述精细驱动器使用压电元件，以使通过散射而反射的激光束之间的相位差为0。

8.一种用于在具有受激布里渊散射相位共轭镜的放大器中进行自相位控制的装置，其包括用于将激光束拆分为多个光束的分束器、多个拆分光束所输入到的受激布里渊散射相位共轭镜、位于所述受激布里渊散射相位共轭镜之后的反射器、以及用于精细控制所述反射器的精细驱动器，并且使在所述受激布里渊散射相位共轭镜中被散射并从中反射的激光束之间的相位差变为0，所述装置包括：

光路转换器(131、132和133)，用于改变反射激光束(104、114和124)的路径；

光干涉装置(134、135和136)，用于使已经由所述光路转换器改变了路径的激光束(104’、114’和124’)彼此干涉；

光检测器(150)，用于检测干涉光束；以及

中央控制器(160)，用于分析所述光检测器所检测到的结果并且驱动所述精细驱动器，

其中确认从所述光检测器输入的信号，以通过所述中央控制器来控制所述精细驱动器，由此使通过散射而反射的激光束之间的相位差为0。

9.如权利要求8所述的装置，其中所述反射器使用凹面镜，并且所述精细驱动器使用压电元件，以使通过散射而反射的激光束之间的相位差为0。

10.如权利要求8所述的装置，其中所述光检测器使用CCD摄像机，并且中央控制器包括压电元件驱动器，以使通过散射而反射的激光束之间的相位差为0。

11.一种用于在具有受激布里渊散射相位共轭镜的放大器中进行自相位控制的方法，其中利用位于所述相位共轭镜之后的反射器以及用于精细控制所述反射器的精细驱动器来使从所述相位共轭镜反射的激光束之间的相位差为0的过程包括：

第一步骤：将从所述相位共轭镜反射的激光束(104’、114’和124’)通过光路转换器(131和132)输入到光检测器(150)；

第二步骤：利用反射激光束之一作为参考激光束(104’)，并且使所述参考激光束与另一反射激光束(114’)干涉；

第三步骤：检测干涉结果，并且精细驱动压电元件(109和119)，以控制所述反射器(108、118和128)的位置，由此使两个激光束(104’和114’)之间的相位差变为0；

第四步骤：使所述参考激光束与另一反射激光束(124’)干涉，并且通过中央控制器(160)精细驱动压电元件(109和129)，以控制所述反射器(108、118和120)的位置，由此使两个反射激光束(104’和124’)之间的相位差变为0；

第五步骤：使所述参考激光束与尚未和所述参考激光束干涉的另一反射激光束干涉，并且控制所述反射器的位置，以使这两个激光束之间的相位差变为0；

第六步骤：重复第五步骤，以依次使所述参考激光束与剩余反射激光束干涉，由此使干涉激光束之间的相位差变为0。

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