CN100385285C - 多光束多面镜扫描系统 - Google Patents

Abstract

提供一种多面镜扫描系统和方法，其中，两束或多束光束以不同入射角，照射多面镜的侧面，并在多面镜旋转时，相继地用于扫描基片的表面。实施例包括的一种系统，包括：有反射侧面的多面镜、用于旋转多面镜的旋转机构、和光源，该光源用于引导多束光束照射在侧面上，使每一光束以不同的入射角照射在侧面上。当旋转机构旋转多面镜时，每一光束在各自的时间区间，被侧面反射，扫描基片表面的特定部分。多束光束的每一束，用侧面表面的各自部分，反射到基片表面，使用于反射该光束的侧面表面各个部分的和，是总表面面积非常大的百分比。因此，该系统有接近百分之100的占空因数以及高的数据速率。

Description

多光束多面镜扫描系统

技术领域

本发明涉及多面镜光学扫描系统。本发明特别适合用于激光印刷、印刷电路板检查、晶片检查、掩模版检查、和光刻技术。

背景技术

在常规的多面镜扫描系统中，引导一束光，例如来自激光光源或灯的光，照射旋转的多面镜反射侧面的一点，一般多面镜有许多这样的反射侧面。从侧面反射的光束，通常通过用于放大和/或会聚的光学系统，然后照射在物体表面上，例如涂敷光刻胶的半导体晶片表面上，或激光打印机的打印鼓表面上。随着多面镜的旋转，被反射的光束在该物体表面扫描。

用常规多面镜扫描系统能达到的数据速率，除了别的因素外，依赖于多面镜的旋转速度、多面镜的侧面数、和多面镜的“占空因数”。占空因数可以定义为每一侧面用于扫描的面积部分。常规系统的占空因数通常小于“1”，因为作为多面镜旋转的结果，当入射光束从照射第一个侧面过渡到照射相邻的第二个侧面时，不能实施扫描。在该过渡当中，光束的一部分被(第一侧面)偏转至一个方向，同时光束的另一部分被(第二侧面)偏转至另一个方向，从而妨碍基片表面被光束扫描。

另一种影响多面镜扫描系统数据速率的因数，是沿扫描线的可保留的点(亦称“像素”)数，可保留点数可以表示为“扫描角”θ_sl，或侧面反射的光束的总角度，除以因光束的有限直径产生的衍射角θ_d：

(1)扫描线上的点数＝θ_sl/θ_d，这里

(2)θ_sl＝4∏/侧面数，和

(3)θ_d＝光束的波长/光束直径。

如上述方程式1-3指出，在现有技术的多面镜扫描系统中，存在两个冲突的条件。为增加点数以改进系统性能，必须增加光束直径(从而减少衍射)。但是，增加光束直径将降低占空因数，因为当光束从一个侧面过渡到另一个侧面时，有更大的侧面面积重叠，从而降低效率。这种本性上的矛盾，限制了常规系统能达到的像素速率。

现有技术增加像素速率的尝试，取得有限的成功，且与照明方法有关，如修改光束入射角、和侧面的形状和/或数量。例如，增加侧面数，但导致占空因数的下降。或者，增加光束直径，使光斑覆盖整个侧面(亦称“过满”)，但如果使激光束足够大，过量充满侧面，又有合适的强度和均匀性，则它通常有低的效率，浪费相当大的能量。再者，增大侧面的长度，导致较少的侧面数，每一侧面扫描更大的角范围。但是，这种θ_sl的增加只被有限地利用，因为从侧面反射的光，通常被引导通过光学系统(即透镜)，而该系统没有大的例如约10度到20度的角度范围。

因此，对多面镜扫描系统，存在着增加占空因数和数据速率的需求，以便增加效率和系统的处理量。

发明内容

本发明提供一种多面镜扫描系统，包括：多面镜，具有反射侧面，该反射侧面具有前边缘和后边缘；旋转机构，用于使多面镜每转一圈，从反射侧面的前边缘到后边缘旋转多面镜；第一光源，用于引导第一光束以第一入射角照射在该侧面上，使当旋转机构在多面镜的第一转中在反射侧面的前边缘和后边缘之间旋转多面镜时，该第一光束在第一时间区间，被该侧面反射，以扫描基片表面的第一部分；和第二光源，用于引导第二光束以第二入射角照射在该侧面上，使当旋转机构在多面镜的第一转中从反射侧面的前边缘到反射侧面的后边缘旋转多面镜时，该第二光束在第一时间区间随后的第二时间区间，被该侧面反射，以扫描基片表面的第二部分。

本发明提供一种方法，包括：多面镜每转一圈，从反射侧面的前边缘到后边缘旋转具有反射表面的多面镜；引导第一光束以第一入射角，照射在侧面上的一个入射位置上，使当在多面镜的第一转中，在反射侧面的前边缘和后边缘之间旋转多面镜时，第一光束在第一时间区间，被侧面反射，以扫描基片表面的第一部分；和引导第二光束以第二入射角，基本上以该入射位置照射在侧面上，使当在多面镜的第一转中，从反射侧面的前边缘到反射侧面的后边缘旋转多面镜时，第二光束在第一时间区间随后的第二时间区间，被侧面反射，以扫描基片表面的第二部分。

本发明的一个方面，是一种多面镜扫描系统，它使数据速率最大化的同时，增加它的占空因数，从而显著改进系统的效率。

按照本发明，前述的及其他的方面，部分地是通过如下多面镜扫描系统获得的，该系统包括：有反射侧面的多面镜、用于旋转该多面镜的旋转机构、和光源，该光源用于引导多束光束照射在侧面上，使每一光束以不同的入射角照射在侧面上。当旋转机构旋转多面镜时，每一光束在各自的时间区间，被侧面反射，扫描基片表面的特定部分。多束光束的每一束，用侧面表面的各自部分，反射到基片表面，使用于反射该光束的侧面表面各个部分的和，是总表面面积非常大的百分比。因此，该系统有接近百分之100的占空因数以及高的数据速率。

本发明的另一个方面，是一种方法，包括：旋转有反射侧面的多面镜；引导第一光束以第一入射角，照射在侧面上，使当多面镜旋转时，第一光束在第一时间区间，被侧面反射，扫描基片表面的第一部分；和引导第二光束以第二入射角，照射在侧面上，使当多面镜旋转时，第二光束在第一时间区间随后的第二时间区间，被侧面反射，扫描基片表面的第二部分。

本发明提供一种多面镜扫描系统，包括：多面镜，具有反射侧面；旋转机构，用于旋转多面镜；和用于引导多束光束照射在侧面上的光源，使每一光束以不同于其他光束入射角的入射角，以基本相同的入射位置，照射在侧面上，且当旋转机构旋转多面镜时，每一光束在各自的时间区间，被侧面反射，以扫描基片表面各自的部分；其中的侧面有总的表面面积，而多束光束的每一束，用侧面表面的各自部分，反射到基片表面上；其中，用于反射光束的侧面表面的各个部分之和，大于总表面面积的百分之九十。

本发明提供一种方法，包括：旋转有反射侧面的多面镜；和引导多束光束以基本相同的入射位置照射在侧面上，使每一光束以不同于其他光束入射角的入射角，照射在侧面上，且当多面镜旋转时，每一光束在各自的时间区间，被该侧面反射，以扫描基片表面各自的部分；其中的侧面有总的表面面积，而多束光束的每一束，用侧面表面的各自部分，反射到基片表面上；其中，用于反射光束的侧面表面的各个部分之和，大于总表面面积的百分之九十。

本发明的另外方面，本领域熟练人员可从下面的详细说明和所附的权利要求书容易看出，说明中只举出并说明本发明的优选实施例，简单地表明实现本发明的最佳模式。显然，本发明还有其他的和不同的实施例，且本发明的若干细节可以在各个显著方面修改，所有这一切都不偏离本发明。因此，图和说明应当认为是示例性的，而不是限制性的。

附图说明

现在参考附图，其中，有相同参考数字标记的单元，自始至终表示相同的单元，其中：

图1a-1d按照本发明的一个实施例，示意画出多面镜扫描系统。

图2-4按照本发明另外的实施例，示意画出多面镜扫描系统。

具体实施方式

常规多面镜扫描系统的数据速率是受限制的，因为随着多面镜的侧面数和/或入射光束直径的增加，占空因数(即系统的效率)下降。本发明克服常规多面镜扫描系统中，源于占空因数和数据速率之间矛盾的本性的限制。

按照本发明的方法，两束或更多的光束以不同的入射角照射多面镜的侧面，且在多面镜旋转时，相继地用于扫描基片表面。本发明的每一侧面多光束技术，能通过增加侧面数来增加整个数据速率(像素/秒)，同时补偿导致的占空因数降低。按照本发明的一种优化的系统，是如下的一种系统，其中入射光束数m乘每一光束的占空因数μ几乎为1，于是总的扫描时间几乎为100％。

现在参照图1a-1d，说明本发明的一个实施例。如图1a所示，按照本发明该实施例的多面镜扫描系统，包括有多个侧面的常规多面镜100，其中包括侧面100a。多面镜100由常规的旋转机构110沿箭头A的方向旋转。光源120、130分别产生光束LB1和LB2，且光源的排列可使光束LB1、LB2分别以两个不同的入射角α₁、α₂，例如15°和22°，照射多面镜100的侧面100a。为方便起见，光束LB2以虚线画出。光源120、130可以是激光光源，各提供相同波长的光，也可以各提供不同波长的光。另外，光源120、130可以是灯。

包括一个或多个透镜的常规的光学系统140，会聚并引导光束LB1和LB2扫描基片150的表面。角θ_s1是光束LB1扫描的全角范围，而角θ_s2是光束LB2扫描的全角范围。不过，只当每一光束在角度范围θ_a时，才用该光束扫描基片150，角度范围θ_a通常称为光学系统140的接收角。常规的可移动台160提供对基片150的支承，并相对于多面镜100移动基片150。

本发明一个实施例的工作原理，画在图1b-1d。现在参照图1b，在开始时刻t₀，被反射的光束LB1进入光学系统140，并随着多面镜100沿箭头A的方向旋转，扫描基片150表面的第一部分。在时刻t₁，如图1c所示，光束LB1已经越过接收角θ_a，并结束它有用的扫描范围。从t₀到t₁，被反射的光束LB2尚不在接收范围，因而与扫描操作不相干。但是，在时刻t₁，随着被反射的光束LB1离开光学系统140，被反射的光束LB2进入光学系统140，并如图1d所示，从t₁到t₂，随着多面镜100继续沿箭头A方向旋转，被反射的光束LB2扫描基片150表面的第二部分。从t₁到t₂，被反射的光束LB1与扫描操作不相干。当多面镜100的下一个侧面位于对着光源120、130的位置时，重复同样的过程。

在多面镜100旋转的同时，可以用可移动台150移动基片150，使被LB1扫描的基片150表面的第一部分，不同于被LB2扫描的第二部分。如果基片150不被台160相对于多面镜100移动，那么光束LB1、LB2将扫描基片150表面的相同部分。换句话说，基片150表面的第一部分和第二部分是相同的。

在本发明另外的实施例中，代替两个或更多个分离的光源，是把单一的入射光束分解，提供必要的光束数，照射在多面镜的侧面上。有两种分解入射光束的方法，可以在该配置中实施：被动的和动态的分解。

在图2和3所示本发明的实施例中，用常规的光束分束器或衍射光栅，实施被动的光束分解。现在参照图2，如同图1a-1d的实施例，提供了有侧面200a的多面镜200、旋转机构210、和光学系统220。光源230，例如锁模激光器或CW激光器，产生单一的入射光束IB，经引导通过光束分来器240。光束分束器240可以是常规的立方或平板光束分束器，以便把入射光束IB分解，使50％的光通过它，形成光束LB1，而有50％的光形成光束LB2。光束LB1以入射角α₁直接照射在侧面200a上，而光束LB2被常规的反射镜250反射，以入射角α₂照射在侧面200a上。另外，可以使用按相等强度衍射适当级数的常规衍射光栅(如Damman光栅)，作为光束分束器240。该种光栅紧凑和便宜。图2的设备有助于基片260表面的扫描，该基片260由可移动台270支承并在扫描时按需要由可移动台270相对于多面镜200移动，图2的设备按照上面参照图1a-1d说明的方式，扫描基片260表面的相继部分。

现在参照图3，在本发明的又一个实施例中，如图1a-1d的实施例一样，提供了有侧面300a的常规多面镜300、旋转机构310、和光学系统320。光源330，例如锁模激光器或CW激光器，产生单一的入射光束IB，经引导通过第一光束分束器340。光束分束器340可以是常规的立方或平板光束分束器，以便把入射光束IB分解，使33％的光通过它，形成光束LB1，而有66％的光(作为中间光束ILB画出)传送至第二光束分束器350，光束分束器350也是常规的立方或平板光束分束器。第二光束分束器350接收中间光束ILB，并把接收的光束分解，使ILB的50％形成光束LB2，而ILB的50％形成光束LB3。光束LB1和LB2分别以入射角α₁、α₂照射在侧面300a上，而光束LB3被常规的反射镜360反射，以入射角α₃照射在侧面300a上。另外，可以使用按相等强度衍射适当级数的常规衍射光栅(如Damman光栅)，作为光束分束器340、350。该种光栅紧凑和便宜。图3的设备有助于基片370表面的扫描，该基片370由可移动台380支承并在需要时由可移动台380相对于多面镜300移动，图3的设备按照上面参照图1a-1d说明的方式，扫描基片370表面的相继部分。

在图4所示本发明的实施例中，用常规的声光偏转器(“AOD”)作为光束偏转器，实施主动的光束分解。在典型的AOD中，有压电谐振腔，用于调制对晶体的压力，在晶体内产生声波。诱发的声波在晶体内传播，产生有特定折射率的光栅。当光，例如从本发明扫描系统的光源产生的激光，被引导通过该晶体时，光按照光栅的周期被偏转。在本发明的本实施例中，向AOD相继地提供不同调制的信号，如不同频率的正弦射频(RF)信号，以便在不同的相继的时间周期(如上面讨论的时间区间t₀到t₁和t₁到t₂)产生不同的光栅。这种技术是实用的，因为AOD改变光束的偏转所必需的时间，在实施本发明时是可以忽略的。例如，声波在AOD中的速度，通常约6000m/sec，实施本发明使用的光束直径，一般是1mm。因此，在1mm/(6000m/sec)，或0.166微秒的周期中，可以完成光束偏转的变化。此外，还可以通过控制AOD的RF功率，用AOD来补偿侧面到侧面间反射率的差异。

现在参照图4，如图1a-1d的实施例一样，提供了有侧面400a的常规多面镜400、旋转机构410、和光学系统420。光源430，例如锁模激光器或CW激光器，产生单一的入射光束IB，经引导通过AOD440。AOD 440偏转入射光束IB，使光束IB分别在上述时间区间t₀到t₁和t₁到t₂形成光束LB1和LB2。光束LB1以入射角α₁照射在侧面400a上，而光束LB2以入射角α₂照射在侧面400a上。图4的设备有助于扫描基片450表面，该基片450由可移动台460支承并在需要时由可移动台460移动，图4的设备按照上面参照图1a-1d说明的方式，扫描基片450表面的相继部分。

本领域熟练人员显然清楚，常规的光束分解和/或AOD光束偏转技术，可以用于从单一光束产生多于上述参照图3和4说明的两束或三束光束，以便实施本发明。原始的光束，能够衍射或偏转为N束光束，以N个入射角照射在多面镜侧面300a、400a上，使当多面镜300、400旋转时，第N束光束在第N个时间区间，被侧面反射，扫描基片370、450表面的第N部分。当然，可移动台380、460可以相对于多面镜300、400移动基片370、450，使基片370、450表面的N个部分彼此不同。

现在给出本发明多面镜扫描系统的具体例子，以表明本发明系统的性能，并把它们与单光束的现有技术系统比较。在举例前，简要列出多面镜扫描系统熟知的性能参数。

定义：

n_s-多面镜侧面数

D-光束光斑直径(1/e²)

R-多面镜半径(中心到侧面)

LL-侧面长度

ε-总侧面边缘

L＝LL-ε-有效侧面长度

α-入射角

RPM-多面镜每分钟转数

NL-每线有效像素数

-有效占空因数

μ-名义占空因数

θd-衍射角

θsl-名义扫描线的角度

-有效扫描角

θo-进入光学系统的可接收入射角

PR-总有效像素速率(像素/秒)

由于有限光束直径的衍射角，表示为：

${\mathrm{\θ}}_d=2K\frac{\mathrm{\λ}}{D}$

这里K是截断系数。

名义扫描角是

${\mathrm{\θ}}_{\mathrm{sl}}=2\frac{2\mathrm{\π}}{n_s},$

和有效扫描角是

${\widetilde{\mathrm{\θ}}}_{\mathrm{sl}}=2\frac{2\mathrm{\π}}{n_s}\widetilde{\mathrm{\μ}}.$

该扫描角还进一步受进入光学系统的接收角限制，在大多数情形下，接收角比扫描角小。因此，有效占空因数可以定义为

$\widetilde{\mathrm{\μ}}=\frac{{\mathrm{\θ}}_o}{{\mathrm{\θ}}_{\mathrm{sl}}}.$

有效侧面长度是几何侧面长度减去ε，因此

$L=2\mathrm{Tan}\left[\frac{\mathrm{\π}}{n_s}\right]r-\mathrm{\ϵ}$

名义占空因数μ是能用于扫描的侧面相对有效面积：

$\mathrm{\μ}=\frac{L-D/2\cos (\mathrm{\α}+{\widetilde{\mathrm{\θ}}}_{\mathrm{sl}}/4)-D/2\cos (\mathrm{\α}-{\widetilde{\mathrm{\θ}}}_{\mathrm{sl}}/4)}{L+\mathrm{\ϵ}}$

对相对小的扫描角θ_sl，我们可以近似为

$\mathrm{\μ}\≈\frac{L-D/\cos \left(a\right)}{L+\mathrm{\ϵ}}$

通常为了使用光学系统全部孔径，取 $\mathrm{\μ}\≥\widetilde{\mathrm{\μ}.}$

每线的像素数是：

$\mathrm{NL}\≈k\frac{{\mathrm{\θ}}_o}{{\mathrm{\θ}}_d}=k\frac{{\mathrm{\θ}}_{\mathrm{sl}}}{{\mathrm{\θ}}_d}\widetilde{\mathrm{\μ}}$

平均像素速率PR是：

本发明两种多光束多面镜扫描系统，与现有技术单光束系统的系统参数例子，总结成下表。计算这些参数时，是使光束直径优化，以获得最大的平均点速率。计算是假定入射光束波长为500nm进行的。

旋转速

多面

侧

光束

占空

光束

假定占

实际占

光束入

扫

每线

度(RPM)	镜直径(mm)	面数	直径(mm)	因数(每光束)	数	空因数为1的瞬时点速率(每秒点数)	空因数下的平均点速率(每秒点数)	射角	描角(度)	点数
											30000	100	40	4.2	0.32	3	55	54	18°，15°，12°	6	874
30000	100	24	5.7	0.48	2	74	70	22°，15°	14	2930
											30000	100	18	7.5	0.50	1	97	49	15°	20	5440

对本表底部一行的现有技术单光束扫描系统，可以看到，虽然光束直径非常大，可得大的瞬时点速率和每线点数，但占空因数只有50％，导致相对低的平均点速率。这一点表明本性上限制现有技术系统的矛盾。相反，本发明的系统的占空因数，非常接近于1(3×0.32＝0.96；2×0.48＝0.96)，使本发明的系统在用更多侧面的多面镜上占有优势，可以产生比现有技术系统显著更高的平均点速率。本发明的系统在各方面都更有效，结果呈现增强的性能。

本发明的多面镜扫描系统，能用于许多扫描系统。例如，它可以用作采用激光点扫描表面的检查工具，如半导体晶片表面、光刻技术中的掩模版表面、印刷电路板表面等缺陷的检查。本发明还能用于写入系统，如在纸上印刷的激光打印机、光刻技术的曝光系统、印刷电路板和掩模版等等的写入工具。

本发明能采用常规的材料、方法、和设备实施。因此，这些材料、设备、和方法的细节，本文没有详细说明。在前面的说明中，为了提供对本发明的完整的了解，说明了许多特定的细节，如特定的材料、结构、化学、过程，等等。但是，应当看到，本发明的实施可以不依靠特别说明的细节。在其他的例子中，为了避免不必要的妨碍本发明的说明，没有详细说明熟知的处理结构。

在本发明公开的内容中，只出示和说明本发明的优选实施例及其通用性的少数例子。显而易见，本发明能用于各种其他的组合和环境，还能在本文阐明的创造性观念范围内改变和修改。

Claims (33)

1.一种多面镜扫描系统，包括：

多面镜，具有反射侧面，该反射侧面具有前边缘和后边缘；

旋转机构，用于使多面镜每转一圈，从反射侧面的前边缘到后边缘旋转多面镜；

第一光源，用于引导第一光束以第一入射角照射在该侧面上，使当旋转机构在多面镜的第一转中从反射侧面的前边缘到后边缘旋转多面镜时，该第一光束在第一时间区间，被该侧面反射，以扫描基片表面的第一部分；和

第二光源，用于引导第二光束以第二入射角照射在该侧面上，使当旋转机构在多面镜的第一转中从反射侧面的前边缘到反射侧面的后边缘旋转多面镜时，该第二光束在第一时间区间随后的第二时间区间，被该侧面反射，以扫描基片表面的第二部分。

2.按照权利要求1的系统，其中的第一和第二光源，包括用于产生原始光束的单一的光束发生器，和用于把原始光束分解为第一和第二光束的第一光束分束器。

3.按照权利要求2的系统，包括用于引导第二光束照射在该侧面上的反射镜。

4.按照权利要求2的系统，包括第二光束分束器，用于把原始光束分解为第三光束，以第三入射角照射在该侧面上，使当旋转机构旋转多面镜时，该第三光束在第二时间区间随后的第三时间区间，被该侧面反射，以扫描基片表面的第三部分。

5.按照权利要求4的系统，包括用于引导第三光束照射在该侧面上的反射镜。

6.按照权利要求1的系统，其中的第一和第二光源，包括用于产生原始光束的单一的光束发生器，和用于把原始光束衍射为第一和第二光束的衍射光栅。

7.按照权利要求6的系统，其中的衍射光栅用于把原始光束衍射为包括第一和第二光束的N束光束，以第N个入射角照射在该侧面上，使当旋转机构旋转多面镜时，该第N束光束在第N个时间区间，被该侧面反射，扫描基片表面的第N部分。

8.按照权利要求1的系统，其中的第一和第二光源，包括用于产生原始光束的单一的光束发生器和声光偏转器，该声光偏转器使原始光束分别在第一和第二时间区间偏转，以第一和第二入射角，照射在该侧面上。

9.按照权利要求8的系统，其中的多面镜包括多个侧面，且其中的声光偏转器用于补偿多个侧面间反射率的差异。

10.按照权利要求1的系统，还包括一光学系统，位于侧面与基片之间，用于会聚第一和第二光束。

11.按照权利要求1的系统，其中的第一和第二光源，提供的是激光。

12.按照权利要求1的系统，其中的原始光源是激光光源。

13.按照权利要求11的系统，其中的第一光源用于提供第一波长的激光，而第二光源用于提供与第一波长不同的第二波长的激光。

14.按照权利要求1的系统，其中的第一和第二光源是灯。

15.一种多面镜扫描系统，包括：

多面镜，具有反射侧面；

旋转机构，用于旋转多面镜；和

用于引导多束光束照射在侧面上的光源，使每一光束以不同于其他光束入射角的入射角，以基本相同的入射位置，照射在侧面上，且当旋转机构旋转多面镜时，每一光束在各自的时间区间，被侧面反射，以扫描基片表面各自的部分；

其中的侧面有总的表面面积，而多束光束的每一束，用侧面表面的各自部分，反射到基片表面上；

其中，用于反射光束的侧面表面的各个部分之和，大于总表面面积的百分之九十。

16.一种方法，包括：

多面镜每转一圈，从反射侧面的前边缘到后边缘旋转具有反射表面的多面镜；

引导第一光束以第一入射角，照射在侧面上的一个入射位置上，使当在多面镜的第一转中，从反射侧面的前边缘到后边缘旋转多面镜时，第一光束在第一时间区间，被侧面反射，以扫描基片表面的第一部分；和

引导第二光束以第二入射角，基本上以该入射位置照射在侧面上，使当在多面镜的第一转中，从反射侧面的前边缘到反射侧面的后边缘旋转多面镜时，第二光束在第一时间区间随后的第二时间区间，被侧面反射，以扫描基片表面的第二部分。

17.按照权利要求16的方法，包括产生单一的原始光束并把该原始光束分解为第一和第二光束。

18.按照权利要求17的方法，包括把原始光束分解为第三光束，以第三入射角照射在侧面上，使当多面镜旋转时，第三光束在第二时间区间随后的第三时间区间，被侧面反射，以扫描基片表面的第三部分。

19.按照权利要求16的方法，包括产生单一的原始光束并把该原始光束衍射为第一和第二光束。

20.按照权利要求19的方法，包括把原始光束衍射为包括第一和第二光束的N束光束，以第N个入射角照射在该侧面上，使当多面镜旋转时，该第N束光束在第N个时间区间，被该侧面反射，以扫描基片表面的第N部分。

21.按照权利要求16的方法，包括使侧面与基片之间的第一和第二光束会聚。

22.一种方法，包括：

旋转有反射侧面的多面镜；和

引导多束光束以基本相同的入射位置照射在侧面上，使每一光束以不同于其他光束入射角的入射角，照射在侧面上，且当多面镜旋转时，每一光束在各自的时间区间，被该侧面反射，以扫描基片表面各自的部分；

其中的侧面有总的表面面积，而多束光束的每一束，用侧面表面的各自部分，反射到基片表面上；

其中，用于反射光束的侧面表面的各个部分之和，大于总表面面积的百分之九十。

23.按照权利要求1的系统，其中基片表面的第一部分，与基片表面的第二部分相同。

24.按照权利要求1的系统，还包括可移动的台，用于支承基片和相对于多面镜移动基片。

25.按照权利要求24的系统，其中的台，用于移动基片，使基片表面的第一部分不同于基片表面的第二部分。

26.按照权利要求4的系统，还包括可移动的台，用于支承基片和相对于多面镜移动基片，使基片表面的第一、第二、和第三部分彼此不同。

27.按照权利要求7的系统，还包括可移动的台，用于支承基片和相对于多面镜移动基片，使基片表面的N个部分彼此不同。

28.按照权利要求15的系统，还包括可移动的台，用于支承基片和相对于多面镜移动基片，使基片表面的各个部分彼此不同。

29.按照权利要求16的方法，包括移动基片，使基片表面的第一部分不同于基片表面的第二部分。

30.按照权利要求18的方法，还包括相对于多面镜移动基片，使基片表面的第一、第二、和第三部分彼此不同。

31.按照权利要求20的方法，还包括相对于多面镜移动基片，使基片表面的N个部分彼此不同。

32.按照权利要求22的方法，包括相对于多面镜移动基片，使基片表面的各个部分彼此不同。

33.按照权利要求16的方法，包括产生单一的原始光束，并使该原始光束分别在第一和第二时间区间偏转，以第一和第二入射角，照射在侧面上。

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