CN100378508C - 框式两维高精度调整架 - Google Patents

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Abstract

一种框式两维高精度调整架，包括框架和镜框，其特征是在所述的镜框的侧边安装三个钢球，其中第一球在框架的左上方与螺母和球面压圈形成球副；第二球与第一杠杆、槽压板形成槽副；第三球与第二杠杆形成平面副；所述的球副和槽副的延长线垂直于球副和平面副的连线，一俯仰调节丝杆的螺母座固定在框架上，俯仰调节丝杆的丝杆顶在第一杠杆上，所述的螺母座与第一杠杆之间用弹簧拉紧实现俯仰调节复位；一偏摆调节丝杆的丝杆顶在第二杠杆上，偏摆调节丝杆的螺母座固定在框架上，该螺母座与第二杠杆之间用弹簧拉紧实现偏摆调节复位。本发明具有结构简单、加工装配方便、体积小、能克服静态飘移，稳定性好的特点。

Description

框式两维高精度调整架
技术领域
本发明涉及光学精密机械，是一种框式两维高精度调整架，主要应用于精密光学和精密机械的调整机构中。如激光器的谐振腔架、光纤光学的调整架或者反射镜架等。
背景技术
两维角度调整多采用两板机构，固定板与调节板之间用三个运动副关联，通过运动副联接点的空间位置改变实现调节板的姿态调节。该机构特点是：结构简单，占用空间小。调整部件和调整支座之间靠高副连接：球-坑、球-槽、球-平面，两板之间使用弹簧拉紧，静态漂移较大，在实际使用中常常会导致稳定性的下降。
发明内容
本发明的目的是改进上述现有的两板机构的三个运动副连接方式和整体构型，提高其稳定性，提供一种框式两维高精度调整架，该调整架应具有结构简单、加工装配方便、体积小、能克服静态飘移，稳定性好的特点。
本发明的技术解决方案如下：
一种框式两维高精度调整架，包括框架和镜框，其特征是在所述的镜框的侧边安装三个钢球，其中第一球在框架的左上方与螺母和球面压圈形成球副；第二球与第一杠杆、槽压板形成槽副；第三球与第二杠杆形成平面副；所述的球副和槽副的延长线垂直于球副和平面副的连线，一俯仰调节丝杆的螺母座固定在框架上，俯仰调节丝杆的丝杆顶在第一杠杆上，所述的螺母座与第一杠杆之间用弹簧拉紧实现俯仰调节复位；一偏摆调节丝杆的丝杆顶在第二杠杆上，偏摆调节丝杆的螺母座固定在框架上，该螺母座与第二杠杆之间用弹簧拉紧实现偏摆调节复位。
所述的俯仰调节丝杆和偏摆调节丝杆采用杠杆细分结构，该杠杆细分结构为楔形斜面机构。
本发明的技术效果：
1、所述的球副、槽副和平面副在镜框平面内紧包箍三个钢球，增加空间定位刚度，同时镜架整体构型为框式结构，镜架整体稳定性高。球副限制三个自由度，槽副限制两个自由度，平面副限制一个自由度。球副和槽副延长线始终垂直于球副和平面副连线，使两维调节时，两维关联性降低。
2、在狭小空间内使用细分机构，如杠杆机构增加调节精度。细分机构也可采用楔形斜面机构增加调节精度。
3、本发明克服了常规两维调整架的静态漂移，增加了调整架的稳定性，而且调整精度高。因此在诸如光纤光学以及各种小型激光器的谐振腔的腔镜的调节器件中，具有极大的优越性和推广价值。
附图说明
图1为本发明框式两维高精度调整架的结构示意图
图2为本发明中的槽副结构图
图3为本发明中的平面副结构图
具体实施方式
下面结合实施例和附图对本发明作进一步说明。
先请参阅图1，图1为本发明框式两维高精度调整架的结构示意图，由图可见，本发明框式两维高精度调整架，包括框架1和镜框6，在所述的镜框6的侧边安装三个钢球，其中第一球501在框架1的上方与螺母502和球面压圈503形成球副5；第二球201与第一杠杆301、槽压板202形成槽副2，如图2所示；第三球701与第二杠杆302形成平面副7，如图3所示；所述的球副5和槽副2的延长线垂直于球副5和平面副7的连线，一俯仰调节丝杆4的螺母座401固定在框架1上，俯仰调节丝杆4的丝杆顶在第一杠杆301上，所述的螺母座401与第一杠杆301之间用弹簧拉紧实现俯仰调节复位；一偏摆调节丝杆8的丝杆顶在第二杠杆302上，偏摆调节丝杆8的螺母座801固定在框架1上，螺母座801与第二杠杆302之间用弹簧拉紧实现偏摆调节复位。所述的俯仰调节丝杆4和偏摆调节丝杆8采用杠杆细分结构，该杠杆细分结构为楔形斜面机构。
所述的球副5、槽副2、平面副7一起作用限制镜框板的六自由度，确定镜框的空间姿态。球副5固定不动，俯仰调节时，俯仰调节丝杆通过杠杆让槽副中的球绕其余两个球形成的轴线旋转；偏摆调节时，偏摆调节丝杆通过杠杆让平面副中的球绕其余两个球形成的轴线旋转。通过杠杆机构增加调节精度。
将上述图1、图2和图3所示结构的框式两维高精度调整架投入实际使用中，应用于半导体激光器的谐振腔φ50反射镜的调整机构上，使用手动调节丝杆，调节精度为≤5″/步，该调整架稳定性好，实际使用中稳定时间大于48小时，是在先技术稳定时间的5～10倍。且该调整架制造简单，装配方便，具有很高的推广价值和使用价值。

Claims (2)

1.一种框式两维高精度调整架，包括框架(1)和镜框(6)，其特征是在所述的镜框(6)的侧边安装三个钢球，其中第一球(501)在框架(1)的左上方与螺母(502)和球面压圈(503)形成球副(5)；第二球(201)与第一杠杆(301)、槽压板(202)形成槽副(2)；第三球(701)与第二杠杆(302)形成平面副(7)；所述的球副(5)和槽副(2)的延长线垂直于球副(5)和平面副(7)的连线，一俯仰调节丝杆的螺母座(401)固定在框架(1)上，俯仰调节丝杆(4)的丝杆顶在第一杠杆(301)上，所述的俯仰调节丝杆的螺母座(401)与第一杠杆(301)之间用弹簧拉紧实现俯仰调节复位；一偏摆调节丝杆(8)的丝杆顶在第二杠杆(302)上，偏摆调节丝杆的螺母座(801)固定在框架(1)上，该偏摆调节丝杆的螺母座(801)与第二杠杆(302)之间用弹簧拉紧实现偏摆调节复位。
2.根据权利要求1所述的框式两维高精度调整架，其特征是在所述的俯仰调节丝杆(4)和偏摆调节丝杆(8)采用杠杆细分结构，该杠杆细分结构为楔形斜面机构。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102166942B1 (ko) * 2017-02-20 2020-10-16 자화전자(주) 다축 구조의 ois용 반사계 구동장치
CN112259953B (zh) * 2020-10-19 2022-08-26 西安电子工程研究所 天线副反射面多自由度快速调节器

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0158173A2 (en) * 1984-04-09 1985-10-16 The Perkin-Elmer Corporation Assembly for positioning an optical element
US4681408A (en) * 1986-04-28 1987-07-21 The Perkin-Elmer Corporation Adjustable mount for large mirrors
CN2447802Y (zh) * 2000-10-31 2001-09-12 中国科学院上海光学精密机械研究所 大角度万向调节工作平台
CN1547051A (zh) * 2003-12-15 2004-11-17 �й���ѧԺ�Ϻ���ѧ���ܻ�е�о��� 二维连杆式两板结构转动精密调整架
CN1560660A (zh) * 2004-02-16 2005-01-05 �й���ѧԺ�Ϻ���ѧ���ܻ�е�о��� 大口径标准平板精密调整架
CN1186666C (zh) * 2002-12-20 2005-01-26 中国科学院上海光学精密机械研究所 二维转动刚性联接微调精密反射镜架
CN2890962Y (zh) * 2006-04-12 2007-04-18 中国科学院上海光学精密机械研究所 框式两维高精度调整架

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0158173A2 (en) * 1984-04-09 1985-10-16 The Perkin-Elmer Corporation Assembly for positioning an optical element
US4681408A (en) * 1986-04-28 1987-07-21 The Perkin-Elmer Corporation Adjustable mount for large mirrors
CN2447802Y (zh) * 2000-10-31 2001-09-12 中国科学院上海光学精密机械研究所 大角度万向调节工作平台
CN1186666C (zh) * 2002-12-20 2005-01-26 中国科学院上海光学精密机械研究所 二维转动刚性联接微调精密反射镜架
CN1547051A (zh) * 2003-12-15 2004-11-17 �й���ѧԺ�Ϻ���ѧ���ܻ�е�о��� 二维连杆式两板结构转动精密调整架
CN1560660A (zh) * 2004-02-16 2005-01-05 �й���ѧԺ�Ϻ���ѧ���ܻ�е�о��� 大口径标准平板精密调整架
CN2890962Y (zh) * 2006-04-12 2007-04-18 中国科学院上海光学精密机械研究所 框式两维高精度调整架

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