CN100371675C - 干涉仪装置的被检透镜载置台 - Google Patents

Abstract

一种干涉仪装置的被检透镜载置台，该干涉仪装置用于检查球面透镜等的被检透镜的表面状态，能够稳定地保持被检透镜、且为小型而紧凑的构成，能够测定各种类型的被检透镜。透镜座(20)由在上端面上设置3处钢球(23)的透镜载置筒(21)和设置4根外周限制杆(26)的台座部(22)构成，被检透镜(7)在钢球(23)上滑动时，与相邻接的两根外周限制杆(26)抵接而保持稳定，该状态也为被检透镜(7)的外周边缘部被保持为相对于台座部(22)为非接触状态。

Description

干涉仪装置的被检透镜载置台

技术领域

本发明涉及用于使用激光干涉仪检查球面透镜等的表面状态的干涉仪装置，特别是涉及将被检透镜保持为稳定状态，从而能够进行其被检面的测定·检查的干涉仪装置的被检透镜载置台。

背景技术

为了进行透镜的精加工精度的检查等的、测定被检透镜的表面状态时使用干涉仪装置。作为干涉仪装置的基本构成，包括：发射可干涉光的激光光源、用于将从该激光光源射出的光变成规定直径的平行光束的准直透镜、具有被检透镜的被检面的基准形状的基准透镜。基准透镜的与入射来自准直透镜的平行光束的一侧相反的一侧的面，即与被检透镜的面相面对的基准面，其表面形状成为与被检透镜的被检面相同或相似的形状。而且，来自激光光源的激光一部分由该基准透镜的基准面反射回准直透镜。另外，由于透过基准面的激光一部分由被检透镜的被检面反射后透过基准透镜而返回到准直透镜，所以通过使这两个反射波面重合而得到两波面间的干涉信息，基于该干涉信息而进行被检透镜的加工面精度等的测定·检查。因此，将来自准直透镜的返回光用分光镜从入射光中分离，再将其导入使用照相机等的观察装置中。

在这里，只要被检透镜为球面透镜，其曲率与基准透镜的曲率一致就不是用来进行测定·检查的必须条件。即，基准透镜的曲率中心位置与被检透镜的曲率中心位置准确一致的话，无论在被检透镜的曲率半径比基准透镜的曲率半径大的场合、还是被检透镜的曲率半径比基准透镜的曲率半径小的场合，都能进行测定。因此，为了测定种种被检透镜，作为可将基准透镜或被检透镜在光轴方向上移动的构成，通过调整这些透镜间的间隔，能够使基准透镜与被检透镜的曲率中心位置一致。

因此，在专利文献日本专利公开公报特开平6-3219号公报中公开了：将构成从激光光源到基准透镜、与从基准透镜到观察装置的光路的各部件组装成为一体而构成干涉仪本体，通过使该干涉仪本体沿光轴方向移动，使用单一的基准透镜测定曲率半径不同的被检透镜时，调整基准透镜与被检透镜之间间隔的构成。另外，被检透镜被设置于透镜座上，该透镜座具有以120°位相配置的球面形状的透镜支承部件，被检透镜由这些透镜支承部件以3点支承其透镜面。

然而，当然有必要使基准透镜与被检透镜的曲率中心位置一致，在测定被检透镜的被检面的整面时，需要对设置被检透镜的透镜座的大小、基准透镜与被检透镜的有效口径的关系加以考虑。即，在被检透镜的外径尺寸比设于透镜座上的透镜支承部件大的场合、及被检透镜的有效口径比来自基准透镜的有效测定光束径大的场合下，虽然能够对自被检透镜的光轴中心起被限定的范围进行测定，但不能测定周边部。因此，在想要用干涉仪装置测定各种有效口径的被检透镜的被检面整体的场合下，也会产生必须要更换基准透镜及透镜座的情况。而且，在被检透镜的外径尺寸较大的场合，有必要采用大型透镜座、及明亮的基准透镜，存在干涉仪装置整体大型化的问题。另外，在测定大型且具有厚度、且曲率半径小的被检透镜等时，将被检透镜设置于透镜座上时，如果不是配置于相对于基准透镜的光轴中心线大致一致的位置上的话，会有由于重力平衡的问题，被检透镜失去稳定性，在透镜支承部件上滑动而从透镜支承部件上脱落的问题点。

发明内容

本发明是鉴于上述各点的构造，其目的在于根据能够稳定地保持被检透镜、且小型而紧凑的构成，能够测定各种类型的被检透镜。

因此，本发明的干涉仪装置，它由基准透镜反射从激光光源照射的激光的一部分，由被检透镜的被检面反射来自该基准透镜的透过光，用观察装置观察产生于这两个反射光之间的干涉条纹，其特征在于，具有配置于上述基准透镜的光轴延长线位置上、且可装卸地设置有上述被检透镜的透镜座，该透镜座具有：将抵接于上述被检透镜的被检面或其相反侧的面上的透镜支承部件设置于前端面上的筒状的透镜载置部、设置于该透镜载置部的下部位置上且由具有至少与上述透镜支承部的内径相同或大于其内径的内径的圆环状部件构成的台座部、立设于该台座部上的至少3根外周限制杆，上述各外周限制杆配置于，在所有的透镜支承部位于上述被检透镜的范围内的状态，该被检透镜的外周部至少可与相邻接的两根外周限制杆相抵接、并且在该状态下保持相对于上述台座部表面为非接触状态的位置上。

在这里，由于透镜座用于载置被检透镜，所以其必须是能够在其与基准透镜之间进行光轴及透镜间间隔的调整的构成。这些调整机构既可保持于基准透镜侧，又可保持于被检透镜侧。另外，也可以使光轴调整机构与透镜间间隔调整机构为分别独立的构成，使其中一个保持于基准透镜侧，另一个保持于被检透镜侧。而且，虽然在进行光轴调整时，必须在与光轴正交的面上进行的XY方向与倾斜方向的调整，但该各调整部可保持于任意一侧。

在透镜座上，且不论是否具有上述调整机构，但至少具有安装透镜支承部件的透镜载置部和设置外周限制杆的台座部。因此，即使进行光轴及透镜间间隔的调整，透镜支承部件和外周限制杆的位置关系也被保持为一定。特别是，以凹透镜的凹球面部作为被检面，使该被检面朝向下方进行测定时，将被检透镜设置于透镜支承部件上之后，其重心位置位于透镜支承部件的上方，而且与透镜支承部件抵接的抵接部成为倾斜的曲面形状。因此，将被检透镜设置于透镜座上时，若不能将被检透镜对中心的话，会有从透镜支承部件上滑落的可能性。然而，在本发明中，即使被设置的被检透镜在透镜支承部件上滑动，也会在抵接于外周限制杆上的位置上停止，而不会滑落到台座部上。因此，能够切实地防止发生由被检透镜的滑落引起的损伤或缺口等事故。此时，被检透镜实质上由相邻接的两根外周限制杆支承，被检透镜以抵接于3个透镜支承部件上的状态被稳定保持。而且，在该透镜支承部件的内部领域中的曲率中心位置被保持为与基准透镜的曲率中心位置一致的状态。

由于被检透镜所抵接的是相邻接的两根外周限制杆，所以相邻接的两根外周限制杆间的间隔必须要比被检透镜的直径窄。因此，外周限制杆的数量至少要设置有3根。虽然从谋求被检透镜的安定方面考虑最好设置3根外周限制杆，但被检透镜滑动时的移动量会变大。另外，若外周限制杆数增多的话，由于由两根外周限制杆的向被检透镜的抵接部的间隔变短，所以被检透镜的稳定性会变差。根据上述，外周限制杆最好设有4根或3根。而且，外周限制杆至少其与被检透镜抵接的部位由弹性构件形成。例如，采用由用橡胶或软性的树脂等制成的弹性构件形成外周限制杆整体、或用橡胶等弹性构件缠绕由硬质部件形成的外周限制杆周围等方法的构成。

设置于透镜座上的被检透镜能够挪到与外周限制杆抵接的位置上，在将被检透镜支承于两根外周限制杆上时，其周边部分与基准透镜相面对。因此，在透过基准透镜的光束照射于被检透镜上时，即使使用只限定于该被检透镜的被检面的一部分的有效测定光束径的小基准透镜，也能够在将被检透镜对中心的位置、即在其光轴中心与基准透镜的光轴中心重合的位置上测定之后，通过使被检透镜向与两根外周限制杆抵接的位置挪动后对其进行测定，从而能够进行被检透镜的周边部分的测定。而且，能够通过在该状态下向回转方向挪动位置的同时进行测定等，对被检透镜的被检面整体进行测定。

透镜支承部件被限制为被测定的最小径的被检透镜。即，即使是最小径的被检透镜，也必须能够切实地与透镜支承部件抵接。另一方面，外周限制杆必须相对于实际被测定的被检透镜的外径尺寸而变化位置。因此，在测定不同的有效口径的被检透镜时，以各外周限制杆相对于基准透镜的光轴中心形成同心圆为条件，能够朝向径向进行位置调整。而且，最大限为，以使被检透镜抵接于3个透镜支承部件上的状态，进行各外周限制杆的位置调整，从而使设置于相邻接的位置上的两处外周限制杆能够抵接于被检透镜的外周边缘上的位置上，或位于其内侧的位置上。其结果为，被检透镜不使其外周边缘与台座部等接触，而且被保持为其曲率中心位置与基准透镜的曲率中心位置一致的状态，在该状态下，能够进行被检透镜的至少一部分的测定。

根据上述构成的本发明，由于在透镜座上设置被检透镜时，无论是被对中心的位置，还是在偏移的位置上都能够稳定地保持，所以能够获得可测定其被检面整体的形状等的效果。

附图说明

图1表示本发明的一实施方式，是表示干涉仪装置的光学构成的整体构成的说明图。

图2是透镜座的俯视图。

图3是图2的X-X截面图。

图4是表示由干涉仪装置测定的被检透镜和其测定范围的说明图。

图5是表示当测定外径大的被检透镜时进行包含其光轴中心部的部位的测定的状态的说明图。

图6是表示当测定外径大的被检透镜时进行其周边部的测定的状态的说明图。

图7是表示透镜座的其他构成例的俯视图。

图8是图7的Y-Y截面图。

图9是图7的侧视图。

具体实施方式

以下基于图面说明本发明的实施方式。首先，图1中表示干涉仪装置的整体构成。在同图中，1表示激光光源，从该激光光源1射出的激光入射到用于扩大该激光光束直径的光束整形透镜2，由该光束整形透镜2一次聚光后使其发散到规定的光束直径为止。然后，在该光束整形透镜2的聚光位置配置光圈3，通过该光圈3的光发散的同时入射到分光束镜4，通过由该分光束镜4反射，光路弯曲90°。然后，分光束镜4处的反射光被准直透镜5平行光束化。

6是基准透镜，7是被检透镜，基准透镜6在其入射面6a侧施加有防止反射涂覆层，其相反面为基准面6b。被检透镜7的被检面7a的表面状态是被检测的对象，基准透镜6的基准面6b和被检透镜7的被检面7a相对配置。然后，由准直透镜5平行光束化的激光被基准透镜6的基准面6b反射一部分，透过该基准透镜6的光的一部分被检透镜7的被检面7a反射。其结果，由基准面6b反射的反射光和由被检面7a反射的反射光之间发生干涉作用。这样具有干涉信息的反射光再次透过准直透镜5，通过透过分光束镜4，与入射光分离。然后，通过干涉条纹成像用透镜8进入摄像机构9。因此，通过将来自摄像机构9的干涉条纹信息反映到监视器，例如基于干涉条纹的条数等测定被检透镜7的被检面7a的表面状态。

干涉仪装置大概是上述构成，在本实施方式中，激光光源1、光束整形透镜2、光圈3、分光束镜4、准直透镜5、干涉条纹成像用透镜8和摄像机构9作为干涉仪本体单元10设置在本体壳体11的内部。在该本体壳体11的顶板部11a上设置有安装基准透镜6的基准透镜单元12和可装卸地安装被检透镜7的被检透镜安装单元13。另外，在顶板部11a上形成导光用的开口14。而且，基准透镜单元12也可以与干涉仪本体单元10形成为一体。

在此，需要在基准透镜6和被检透镜7之间进行光轴调整。即，如图1中光轴中心线C所示，必须以基准透镜6的光轴中心线和被检透镜7的光轴中心线完全一致、不能在与光轴中心线垂直的方向上偏移、且不能在相互的光轴中心线间产生倾斜的方式进行调整。因此，在基准透镜单元12和被检透镜安装单元13的至少一方上必须设置光轴调整机构，例如可以在基准透镜单元12上设置光轴调整机构。另外，基准透镜6的曲率中心位置和被检透镜7的曲率中心位置必须通过光轴调整机构一致地配置于调整后的光轴中心线C上相同的位置0，因此需要调整基准透镜单元12和被检透镜安装单元13之间的间隔。另外，在测定曲率半径不同的被检透镜7时，需要重新调整基准透镜6和被检透镜7之间的间隔。该间隔调整机构如图1中符号15所示，例如可设置于被检透镜安装单元13侧。

另外，在本实施方式中，基准透镜6相对干涉仪本体单元10为独立的构成，也可以在干涉仪本体单元侧安装透镜支架，把基准透镜安装在该透镜支架上。另外，基准透镜6的光轴在XY轴方向和倾斜方向上可调整，但其构成也可以为例如在构成被检透镜安装单元13的固定框架侧、例如在固定框架和间隔调整机构之间设置任何一个调整机构或全部的光轴调整机构。

接下来，图2和图3表示被检透镜安装单元13的透镜座20的构成。在这里，被检透镜安装单元13如上所述，因为是包括间隔调整机构15的部件，所以该透镜座20通过螺纹配合于间隔调整机构15的上部等而被固定。

透镜座20是将透镜载置筒21和台座部22形成为一体的部件，透镜载置筒21由具有规定厚度圆筒状部件构成，其上端面上，接触于被检透镜7的被检面7a上的作为透镜支承部件的钢球23以120°的间隔安装在3个部位。这样，通过以使被检透镜7接触于钢球23的方式安装被检透镜7，被检透镜7平时能3点支承于一定的位置，在提高测定的再现性的同时能以在装卸被检透镜7时不被划伤的方式进行装卸。台座部22为圆环状的部件，为了固定于构成被检透镜安装单元13的间隔调整机构15，螺纹筒24向下方延伸。因此，该透镜座20的内部是中空的，形成使从基准透镜6发散的光通过的导光路25。

台座部22的外径比透镜载置筒21的外径大，在其上面以分别90°的位置关系立设有4根外周限制杆26。外周限制杆26由杆27和固定该杆27的下端部的螺纹座28构成，杆27由金属或塑料等的硬质部件构成，在杆27的立设位置的左右两侧，螺纹座28通过紧固螺钉可拆卸地固定于台座部22的上表面上。另外，杆27从与螺纹座28连结的连结部竖直方向延伸规定高度形成铅直部27a，其前端侧形成径向朝外倾斜的倾斜部27b。另外，在铅直部27a的外周部固定设置由软性树脂等制成的弹性部件构成的缓冲用管29。因此，倾斜部27b作为安装被检透镜7时的导入部而发挥作用，另外在被检透镜7的外周缘部冲撞时，缓冲用管29可以发挥缓冲作用，用于保护被检透镜7，防止发生破裂、缺口等。

构成外周限制杆26的螺纹座28固定于台座部22，因此在台座部22上设置螺纹孔30。螺纹孔30在台座部22的径向以规定的间距设置有多个。这样，外周限制杆26可以从透镜座20的中心位置(光轴中心线C通过的位置)在径向上改变位置而安装。这样，设置4个部位的外周限制杆26可以分别改变固定位置，即使进行了位置调整，在被检透镜7的外形为圆形的场合，可以全部调整为形成以中心位置为中心的同心圆的位置关系。

在这里，把被检透镜7安装于透镜载置筒21上时，如果该被检透镜7的光轴中心位置与透镜座20的中心位置一致，则只由设置在透镜载置筒21上的3个钢球23稳定地支承被检透镜7。但是，当被检透镜7的光轴中心位置从透镜座20的中心位置偏移时，成为球面形状的被检透镜7的被检面7a向相对于钢球23增进偏移的方向滑动。该滑动的结果，被检透镜7接触于外周限制杆26上，当与相邻的2根外周限制杆26接触时，在其位置稳定。另外，即使在该状态下，也必须保持被检透镜7的外周缘部相对台座部22保持非接触状态。因此，从座部22的上表面到安装于透镜载置筒21的钢球23的顶部的高度尺寸参照这一点而设置。

本实施方式为上述构成，在测定被检透镜7的被检面7a的表面状态时，在透镜座20上设置被检透镜7。来自激光光源1的激光通过基准透镜6照射在被检透镜7上。激光在一部分被基准透镜6的基准面6b反射的同时，也由被检透镜7的被检面7a反射，通过这两个反射波面的干涉，该干涉信息被摄像机构9摄像。能基于该干涉条纹信息测定·检查被检透镜7的加工精度。

这里，如图4所示，被检透镜7的可测定范围不会超过透镜座20上的透镜载置筒21的导光路25的投影部分。即，当透过基准透镜6、聚光于其曲率中心位置、且从该曲率中心位置0发散的光束截面比该导光路25的内径大时，光反射到透镜载置筒21的内表面上，所以无法进行被检面7a的测定。另外，当基准透镜6的有效测定光束直径小时，比该导光路25的内径更小的光束(图4中斜线所示范围)照射于被检透镜7上。

现在，如图4所示，在测定小径的被检透镜7S和比其尺寸大的被检透镜7L时，同图中斜线所示范围为可测定范围。在该场合，虽然在被检透镜7S中，可测定其有效直径的大致整面，但对于被检透镜7L只能测定从光轴中心起的极窄的范围。因此，即使如此大径的被检透镜7L，不仅能测定其光轴中心部分，也可以测定周边部分的表面形状。

现在，如图4所示的那样，在测定小直径的被检透镜7S和比它尺寸大的被检透镜7L的场合下，同图中斜线所示的范围为可测定的范围。在这种情况下，虽然在被检透镜7S中，可以测定其有效直径的全部表面，但是在被检透镜7L中，只能测定自其光轴中心的极其狭小的范围。因此，即使是这样的大直径的被检透镜7L，也不仅能测定其光轴中心部分，还能测定周边部分的表面形状。

在这里，被检透镜7L在相对于构成透镜支持部件的3处的钢球23被对中心的状态下，由这些钢球23稳定地保持着。在这些钢球23的外侧的位置上，设有4处外周限制杆26，这些相邻的2根外周限制杆26的间隔小于被检透镜7L的直径尺寸。由此，如图5所示的那样，能使被检透镜7L成为其光轴中心线与基准透镜6的光轴中心线相一致的状态，进行对于其被检测面的区域M1的测定。此后，如图6所示，当该被检透镜7L在前后及左右方向发生错位时，该被检透镜7L的外周缘部与2根外周限制杆26抵接。此时，被检透镜7L被保持于与3处的钢球23相抵接的状态。结果，被检透镜7L的自重几乎全部由2根外周限制杆承受，而由3处的钢球23稳定地保持于规定的位置。此时，可以将被检透镜7L中的被钢球23所围住的圆形的区域M2假想为1个透镜，如图6所示的那样，保持其光轴中心线与基准透镜6的光轴中心线相重合的状态。由此，能进行被检透镜7L的周边部的测定。于是，在使外周缘部抵接于外周限制杆26上的被检透镜7L旋转时，也能进行其它区域的测定，作为整体能顺利地测定被检透镜7L的被检测面。

另外，外周限制杆26起到防止被检透镜7L滑落的作用。也就是说，在以3点支持被检透镜7L的场合下，被检透镜7L的中心，也就是光轴中心位置从连接设在3处的钢球23的圆的中心发生错位后，虽然其位置稳定，但当其光轴中心位置从连接钢球23的圆的中心错位时，被检透镜7L的重量平衡被破坏，向着错位的方向滑动。但是，被检透镜7L抵接于外周限制杆26，当滑动至被2根外周限制杆26所夹住的位置时，停止于该位置，不会发生进行一步的滑动。于是，此时保持于与3个钢球23相抵接的状态，并且不会接触台座部22的表面。由此，不会出现被检透镜7L撞击台座部22而发生破碎、缺损等的损伤的情况。另外，由于在外周限制杆26的杆27上安装有缓冲用管29，即使发生被检透镜7L的撞击，也由缓冲用管29的缓冲作用得到保护，不会出现造成损伤的情况。

这样，在将外周限制杆26用作防止被检透镜7L滑落的情况下，由4根外周限制杆26形成的圆与连接钢球23的圆为同心，为了减小被检透镜7L的滑动量，最好使连接该外周限制杆26的连接圆的尺寸不要过多地大于被检透镜7L的外径。于是，由于外周限制杆26的杆27的前端部成为朝外倾斜的倾斜部27b，该倾斜部27b起到被检透镜7L的导入部的作用，所以不会使被检透镜7L向透镜座20的装卸特别困难。

外周限制杆26的位置能根据被测定的被检透镜的外径尺寸进行变更。由此，根据对被检透镜中的哪个区域进行测定，或者根据具有什么功能，也就是根据测定被检透镜的周边部还是仅仅为了防止滑落等，使螺纹座28从台座部22分离，固定安装于在台座部22的径向形成的螺纹孔30中的任意一个，通过将其配置于所需的位置，能将外周限制杆26配置于所需的位置。例如，在以测定被检透镜的周边部为目的的情况下，与3处的钢球23相抵接，并且在抵接于2根外周限制杆的状态下，被检透镜的有效口径的外周部位于基准透镜6所照射的区域内。另外，在仅以防止被检透镜滑落为目的的情况下，例如图5中双点划线所示的那样，在不干扰被检透镜的拆装的范围内以一定程度缩短外周限制杆26的间隔。这里，对于无论是哪一种情况，在被检透镜7L的外形为圆形的情况下，连接所设置的4根外周限制杆26的圆都必须形成与连接钢球23的圆同心的圆。

在上述实施方式中，构成为使外周限制杆的位置作阶段性变化，也可以如图7至图9中所示的那样，构成为连续地调整位置。

在这些图中，透镜座50由透镜载置筒51和台座部52构成，在透镜载置筒51的上端面上在3处安装有作为透镜支持部件的钢球53，由这3个钢球53支持被检透镜。台座部52由基部件54和罩部件55构成，这些基部件54和罩部件55由紧固螺钉固定成为组装状态。在基部件54的内侧可旋转地安装有转动环57上。于是，在该转动环57的上面上分别安装相互夹角为120℃的位置关系的3个杆58。由于杆58呈大致L字状，在其弯折部的位置上安装固定销59，该固定销59旋转自如地安装于转动环57。另外，在杆58的短边侧的端部连接设置有凸轮从动件60，该凸轮从动件60配合于形成于基部件54的槽凸轮61。另外，在杆58的长边侧的端部立起地设有外周限制杆62。外周限制杆62为从台座部52直至规定高度位置为止向上立起的杆状物，在外周面上安装有橡胶等缓冲部件。

由此，松开紧固螺钉56，使配置于构成台座部52的基部件54和罩部件55之间的转动环57如图7所示那样按规定量进行往复转动，由此，杆58以固定销59为中心，将凸轮从动件引导至槽凸轮61，立设在其长边部的外周限制杆62沿同图中箭头所示方向转动位移。于是，这些外周限制杆62到达所需位置时，通过拧紧紧固螺钉56，罩部件55压接于杆部件58，使杆58被固定。由此，连接设在3处的外周限制杆62的圆以保持与连接构成透镜支持部件的3处的钢球53的圆同心的状态进行连续的缩放。由此，为了操作转动环57，如图9所示那样，在基部件54的周身部形成规定角度量的长孔63，在该长孔63内设有前端螺纹插入转动环57的操作部件64。由此，通过旋转操作该操作部件64，能使连接设在3处的外周限制杆62的圆的直径连续变化。

根据这样的构成，仅通过操作操作部件64，就能使外周限制杆62对应于被检透镜的外径等配置到最合适的位置上。

Claims (3)

1.一种干涉仪装置的被检透镜载置台，由基准透镜反射从激光光源照射的激光的一部分，由被检透镜的被检测面反射来自该基准透镜的透射光，通过观察机构观察产生于这两反射光之间的干涉条纹，其特征在于，

具有配置于上述基准透镜的光轴延长线位置上、且可装卸地设置上述被检透镜的透镜座，

该透镜座具有：将上述被检透镜的被检面或其相反侧的面所抵接的、由3个钢球构成的透镜支承部件设置于前端面上的筒状的透镜载置部；设置于该透镜载置部的下部位置上且由具有至少与上述透镜支承部件的内径相同或大于其内径的内径的圆环状部件构成的台座部；立起地设于该台座部上的至少3根外周限制杆，

上述各外周限制杆被配置于，在所有的透镜支承部件都位于上述被检透镜的范围内的状态下，该被检透镜的外周部至少可与相邻的2根外周限制杆相抵接、并且在该状态下保持相对于上述台座部表面为非接触状态的位置上。

2.如权利要求1所述的干涉仪装置，其特征在于，连接上述各外周限制杆的与上述被检透镜抵接的抵接部的圆形成为以上述基准透镜的光轴中心线为中心的同心圆，而且，上述各外周限制杆可在径向上调整位置。

3.如权利要求1所述的干涉仪装置的被检透镜载置台，其特征在于，上述被检透镜所接触、分离的上述各外周限制杆的周身部由弹性材料形成。

Images