[0001] La présente invention a pour objet un spiral plat de résonateur balancier-spiral obtenu par un procédé de fabrication permettant d'améliorer l'isochronisme en agissant d'une part sur des paramètres de construction du spiral en tant que tel, d'autre part sur un mode de fixation sur l'axe de balancier permettant de réduire l'écart géométrique inhérent aux modes de fixation usuels entre le point d'origine de la spirale d'Archimède et l'axe de rotation du balancier. Dans la description qui suit, on entend par isochronisme, les écarts de marche en fonction des variations d'amplitude d'oscillation du balancier, ainsi que les écarts de marche entre la position horizontale et les positions verticales de la montre.
[0002] De façon connue un spiral, ayant des spires de section et de pas uniformes, permet, par une conformation particulière de la courbe à l'intérieur et de la courbe à l'extérieur dans le plan du spiral ou le plus souvent dans des plans différents, d'obtenir un développement concentrique du spiral et d'avoir un déplacement du centre de masse du spiral et une variation de l'inertie du spiral au cours du développement minimisant les perturbations de marche en fonction de l'amplitude et des positions du spiral par rapport au vecteur gravité. Outre le fait que la réalisation d'un tel spiral exige une grande habilité, l'encombrement en hauteur constitue un inconvénient certain pour son utilisation dans des montres bracelets devant avoir, pour des raisons évidentes d'esthétique, une épaisseur la moins grande possible.
[0003] Pour cette raison on préfère encore utiliser un spiral plat, tel que celui représenté à la fig. 1. Un tel spiral est fabriqué de façon connue par estrapadage à partir d'un fil ou d'une bande métallique de section constante sur toute sa longueur, et possède au repos un pas constant entre les spires. Comme on le voit sur la fig. 1, la courbe à l'intérieur est fixée, par exemple par soudure laser, sur une virole 20, chassée sur l'axe 9 d'un balancier 8.
[0004] Par rapport à cet état de la technique, en ce qui concerne le pas entre les spires, il convient toutefois de mentionner le brevet CH 465 537, déposé en 1966, dans lequel est décrit un procédé permettant de fabriquer à partir d'une bande ou d'un fil métallique de section constante, enroulé dans le sillon d'une matrice, puis recuit et trempé, des spiraux ayant une configuration quelconque, en particulier avec un pas variable. A la meilleure connaissance de la demanderesse, aucun produit de ce type n'a été mis sur le marché, ce qui permet de supposer que le procédé de fabrication n'était, techniquement ou économiquement, pas satisfaisant.
[0005] En ce qui concerne la variation de l'épaisseur d'une bande métallique enroulée, on peut mentionner le brevet GB 1 020 456 qui décrit la fabrication d'un ressort de barillet par soudures bout à bout de lames ayant des sections croissantes depuis le centre jusqu'à la périphérie. Un tel ressort est conçu, à encombrement égal, pour augmenter la réserve de marche, mais il est bien évident qu'en appliquant ce procédé de fabrication à un spiral, la présence de soudures ne permettrait pas d'avoir un développement concentrique et d'obtenir un isochronisme reproductible d'un spiral à l'autre.
[0006] Ce même principe avait d'ailleurs déjà été proposé dans un brevet US 209 642 de 1878 pour améliorer l'isochronisme d'un spiral construit avec une spire à l'intérieur de plus faible section. Comme on le verra dans la description détaillée, l'expérience contredit cette affirmation.
[0007] L'invention a donc pour objet un spiral plat et des procédés de fabrication par micro-usinage ou croissance galvanique, permettant de choisir de façon commode les paramètres de construction les plus favorables en vue d'améliorer l'isochronisme par la forme du spiral ainsi que par les moyens de fixation.
[0008] A cet effet l'invention concerne un spiral selon la revendication 1 du brevet.
[0009] Comme cela sera expliqué plus loin dans la description détaillée, le procédé de fabrication fait appel aux micro-techniques, tel que la photolithographie et l'électrodéposition d'un métal ou d'un alliage, ou le micro-usinage d'une plaquette d'épaisseur "h" réalisé en un matériau amorphe ou cristallin tel que du silicium sous forme monocristalline ou polycristalline.
[0010] Selon un premier mode de réalisation, la section "s" des spires augmente progressivement depuis la courbe à l'extérieur jusqu'à la courbe à l'intérieur.
[0011] Selon un deuxième mode de réalisation, qui peut être combiné avec le premier mode de réalisation, le pas "p" entre les spires diminue régulièrement depuis la courbe à l'extérieur jusqu'à la courbe à l'intérieur.
[0012] Selon encore un autre mode de réalisation, il est possible de sélectionner une portion de spire déterminée et de faire localement varier la largeur de lame pour agir sur d'autres paramètres favorables à l'isochronisme. Cette augmentation peut être réalisée par exemple sur la courbe à l'intérieur, sur la courbe à l'extérieur ou en même temps sur les deux courbes, ou en de multiples autres endroits sur d'autres portions du spiral.
[0013] Il est également possible d'obtenir un spiral ayant une portion de spire s'écartant de la courbe d'une spirale parfaite, en ayant par exemple une courbe à l'intérieur de type Grossmann.
[0014] L'invention offre en outre l'avantage de pouvoir, en même temps que le spiral en tant que tel, fabriquer le moyen de fixation sur l'axe de balancier, ce moyen de fixation étant formé par une rondelle autoblocante ayant au centre, par exemple, un contour en étoile et comportant des évidements dans son pourtour pour lui conférer une élasticité suffisante au montage et éviter un écart entre le point d'origine de la spirale d'Archimède et l'axe de rotation du balancier.
[0015] Pour un spiral en métal ou alliage, le procédé de fabrication consiste fondamentalement à appliquer la technique LIGA pour former un moule correspondant au profil souhaité par le spiral. Compte-tenu des propriétés des photorésists actuellement disponibles sur le marché, il est possible d'ajuster l'épaisseur de la couche de photorésist pour obtenir toute la gamme des spiraux avec des hauteurs de lame allant jusqu'à quelques dixièmes de millimètre.
[0016] Pour un spiral en un matériau amorphe ou cristallin, le procédé consiste fondamentalement à effectuer une gravure d'une plaquette dudit matériau à travers des masques.
[0017] D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention apparaîtront dans la description de différents exemples de réalisation donnés à titre illustratif et non limitatif en référence aux dessins annexés dans lesquels:
<tb>la fig. 1<sep>représente un balancier-spiral de l'art antérieur;
<tb>la fig. 2<sep>est une représentation agrandie du spiral de la fig. 1;
<tb>la fig. 3A<sep>correspond à un diagramme d'isochronisme obtenu avec le spiral représenté à la fig. 2;
<tb>la fig. 3B<sep>correspond à un diagramme d'isochronisme obtenu avec un autre spiral de l'art antérieur;
<tb>la fig. 4<sep>représente un premier mode de réalisation d'un spiral selon l'invention;
<tb>la fig. 5<sep>correspond à un diagramme d'isochronisme obtenu avec le spiral de la fig. 4;
<tb>la fig. 6<sep>représente un deuxième mode de réalisation d'un spiral selon l'invention;
<tb>la fig. 7<sep>correspond à un diagramme d'isochronisme obtenu avec le spiral de la fig. 6;
<tb>la fig. 8<sep>représente un troisième mode de réalisation d'un spiral selon l'invention;
<tb>la fig. 9<sep>correspond à un diagramme d'isochronisme obtenu avec le spiral de la fig. 8;
<tb>la fig. 10<sep>représente un mode de fixation d'un spiral selon l'invention, et
<tb>les fig. 10A à 10E<sep>représentent d'autres formes de fixation au centre.
[0018] La fig. 1, partiellement arrachée, représente un balancier-spiral de l'art antérieur évoqué en préambule. Ses caractéristiques serviront de référence pour montrer les progrès significatifs apportés par l'invention au niveau de l'isochronisme. Le spiral 10 a l'extrémité de sa courbe au centre 11 fixée de façon classique sur une virole 20 chassée sur l'axe 9 du balancier 8 pivoté entre la platine 7 et le coq 6. Le dispositif réglant comporte en outre de façon connue un porte-piton 5 permettant de fixer la courbe à l'extérieur 14 du spiral 10 et éventuellement une raquette 4 pourvue de goupilles 3 et d'une queue de raquette 2 en regard d'une graduation 1.
Sur la fig. 2, qui est une représentation agrandie du spiral 10 seul, on voit que ledit spiral est formé de 14 spires ayant une section rectangulaire uniforme, par exemple de 0,05 * 0,30 mm depuis la courbe au centre 11 jusqu'à la courbe à l'extérieur 14, et que les spires présentent entre elles un pas constant p. Le point de fixation de la courbe au centre 11 est situé à une distance r du centre de pivotement du spiral, et celui de la courbe à l'extérieur 14, à une distance R, avant le coude 16. Dans cet exemple, r et R ont respectivement pour valeurs 0,57 mm et 2,46 mm. Ces valeurs de r et R, ainsi que nombre de spires, seront les mêmes dans la suite de la description, sauf indications contraires.
[0019] En se référant maintenant à la fig. 3Aon a représenté le diagramme d'isochronisme d'un spiral ayant les caractéristiques sus-indiquées. On a porté en abscisses l'amplitude d'oscillation du balancier exprimée en degrés par rapport à sa position d'équilibre. En ordonnées on a reporté l'écart de marche exprimé en seconde par jour. Ce diagramme comporte cinq courbes correspondant aux positions usuelles de mesures avec le balancier-spiral, horizontal (courbe 1), puis vertical (courbes 2 à 5, par rotation de 90[deg.] d'une courbe à l'autre). Le tracé en pointillés correspond à l'enveloppe de toutes les positions les plus défavorables. L'appréciation de l'écart de marche s'effectue traditionnellement en prenant en considération l'écart maximum de l'enveloppe pour une amplitude comprise entre 200[deg.] et 300[deg.].
Sur le diagramme de la fig. 3A, on observe que cet écart maximum, avec ce spiral de référence de l'art antérieur, est de 4,7 s/j pour une amplitude de 236[deg.].
[0020] A la fig. 3B on a représenté le diagramme obtenu avec un spiral (non représenté) ayant les caractéristiques mentionnées dans le brevet US 209 642 cité en préambule, à savoir avec une épaisseur de lame variant entre 0,046 mm pour la courbe à l'extérieur 14 et 0,036 mm pour la courbe à l'intérieur 11. Contrairement à ce qu'on peut attendre d'après l'enseignement dudit brevet on observera que l'écart maximum a augmenté jusqu'à 7,7 s/j pour une amplitude de 230[deg.].
[0021] En se référant maintenant aux fig. 4et 5on décrit ci-après un premier mode de réalisation d'un spiral dont la fabrication par micro-usinage (photolithographie et croissance galvanique, ou gravure d'un matériau amorphe ou cristallin permet d'obtenir une géométrie favorable à l'isochronisme. Comme on peut le voir, le pas p entre une spire et la suivante diminue au fur et à mesure qu'on se rapproche du centre du spiral. Inversement, la section augmente depuis la courbe à l'extérieur 14 jusqu'à la courbe à l'intérieur 11. Etant donné que les procédés de fabrication confèrent à la lame une hauteur constante, la variation de section correspond en fait à une variante de l'épaisseur qui passe de 0,036 mm pour la courbe à l'extérieur 14 à 0,046 mm pour la courbe à l'intérieur 11.
[0022] Sur le diagramme représenté à la fig. 5, on voit que l'écart maximum est abaissé à 2,8 s/j pour une amplitude de 242[deg.]. On obtiendrait encore un résultat favorable sur cet écart maximum en agissant uniquement, soit sur le pas p., soit sur l'épaisseur e de la lame.
[0023] Les fig. 6 et 7 correspondent à une deuxième mode de réalisation de type "Michel" pour la courbe à l'extérieur 14 et pour la courbe à l'intérieur 11. Les spires ont entre elles un pas constant et une section constante correspondant à une épaisseur constante de 0,042 mm, à l'exception de deux portions de spires pour lesquelles l'épaisseur est portée à 0,056 mm:
une portion 12 de la courbe à l'intérieur 11 sur un secteur angulaire d'environ 80[deg.] dont la partie médiane se trouve sensiblement à -110[deg.] d'un axe de référence Ox, et
une portion 15 de la courbe à l'extérieur 14 sur un secteur angulaire d'environ 20[deg.] dont la partie médiane se trouve sensiblement à +115[deg.] de l'axe de référence Ox.
[0024] Sur le diagramme représenté à la fig. 7on voit que l'écart maximum n'est plus que de 1,8 s/j. La valeur de la surépaisseur et les positionnements sur les spires ne sont donnés ci-dessus qu'à titre illustratif, et il est bien évident que l'homme de métier peut choisir d'avoir un plus grand nombre de zones de surépaisseur en différents endroits.
[0025] Les fig. 8 et 9 correspondent à un troisième mode de réalisation dans lequel la courbe à l'intérieur 11 est de type Grossmann 13, c'est-à-dire en ayant une géométrie telle que celle décrite dans l'ouvrage "Théorie générale de l'horlogerie" de L. Defossez. Une telle géométrie est très délicate à obtenir par déformation d'une lame métallique. Le procédé de fabrication selon l'invention permet par contre d'obtenir très facilement une telle configuration sans l'intervention d'un personnel hautement qualifié. Le diagramme représenté à la fig. 9montre que l'écart maximum à 300[deg.] n'est que de 2,1 s/j.
[0026] Bien évidemment, compte tenu de la liberté de configuration que donnent les procédés de fabrication selon l'invention, il est possible de combiner les modes de réalisations précédemment décrits pour obtenir un spiral selon l'invention ayant un isochronisme amélioré.
[0027] A la fig. 10 on a représenté un spiral correspondant au premier mode de réalisation (fig. 4) dans lequel la virole 20 est remplacée par une rondelle autobloquante 17 formée en même temps que le spiral 10. Cette rondelle 17 présente en son centre un contour 19 tel qu'il permet de bloquer sans jeu l'axe 9 du balancier 8 en ayant une certaine élasticité procurée par des lumières 18 réparties autour du contour de blocage 19 représenté en étoile à la fig. 10. Les fig. 10A à 10Emontrent d'autres conformations possibles de la rondelle autobloquante 17 avec un contour de blocage 19 en triangle, en carré, hexagonal, circulaire ou en ogive.
Lorsqu'on réalise l'ensemble spiral-rondelle autobloquante par photolithographie et croissance galvanique on peut avantageusement, au moyen d'une étape supplémentaire, réaliser ladite rondelle autobloquante 17 avec une épaisseur supérieure à la hauteur de la lame pour obtenir une meilleure tenue du spiral 10 sur l'axe 9 du balancier.
[0028] Un spiral selon l'invention en un matériau amorphe ou cristallin tel que du silicium peut être fabriqué en adaptant les procédés de micro-usinage déjà utilisés par exemple pour la fabrication de circuits intégrés ou d'accéléromètres à partir d'une plaquette de silicium. On peut notamment se référer aux procédés décrits dans les brevets US 4 571 661 et US 5 576 250 concernant des accéléromètres. Le procédé consiste fondamentalement en les étapes suivantes:
appliquer une plaquette de silicium sur un substrat en créant une interface en SiO2 isolante;
amincir la plaquette jusqu'à la hauteur "h" de lame désirée selon la méthode décrite par C. Harendt et al.
("Wafer bonding and its application to silicon-on-insulator fabrication" Technical Digest MNE'90, 2nd Workshop, Berlin, November 90, p. 81-86);
former par photolithographie un masquage correspondant au contour de spiral désiré;
effectuer la gravure de la plaquette de silicium jusqu'au substrat, selon des procédés connus, telle qu'une attaque chimique par voie humide, un usinage à sec par plasma, ou une combinaison des deux; et
séparer le spiral du substrat.
[0029] Compte-tenu des très petites dimensions d'un spiral, il est évidemment possible et avantageux de les fabriquer par lot à partir d'une unique plaquette de silicium.
[0030] Pour fabriquer un spiral selon l'invention en métal ou en alliage, on fait appel à la technique LIGA connue depuis le milieu des années 70. Dans une première étape le procédé consiste fondamentalement à étaler sur un substrat préalablement revêtu d'une couche sacrificielle un photorésist positif ou négatif sur une épaisseur correspondant à la hauteur "h" de lame désirée et former au moyen d'un masque par photolithographie et attaque chimique une structure en creux correspondant au contour désiré pour le spiral. Dans une deuxième étape, on remplit ladite structure en creux d'un métal ou d'un alliage métallique soit par électrodéposition comme indiqué par exemple dans le brevet US 4 661 212, soit par compression et frittage de nanoparticules, comme indiqué par exemple dans la demande de brevet US 2001/0 038 803.
[0031] Dans une dernière étape on libère le spiral du substrat par élimination de la couche sacrificielle.
The present invention relates to a spiral spring balance spring spiral obtained by a manufacturing method for improving the isochronism by acting on the one hand on the construction parameters of the spiral as such, d ' on the other hand, on a method of attachment to the balance shaft, making it possible to reduce the geometric difference inherent in the usual fastening modes between the point of origin of the Archimedes spiral and the axis of rotation of the balance. In the following description, isochronism is understood to mean the gait variations as a function of the oscillation amplitude variations of the balance wheel, as well as the gait deviations between the horizontal position and the vertical positions of the watch.
Known manner a spiral, having turns of uniform section and pitch, allows, by a particular conformation of the curve inside and the outside curve in the plane of the spiral or more often in different planes, to obtain a concentric development of the hairspring and to have a displacement of the center of mass of the hairspring and a variation of the spiral inertia during the development, minimizing the gait disturbances as a function of the amplitude and the positions of the spiral relative to the gravity vector. In addition to the fact that the realization of such a spiral requires great skill, height congestion is a drawback for its use in wristwatches should have, for obvious reasons of aesthetics, as small a thickness as possible.
For this reason it is still preferred to use a flat hairspring, such as that shown in FIG. 1. Such a hairspring is manufactured in known manner by strapping from a wire or a metal strip of constant section over its entire length, and has at rest a constant pitch between the turns. As seen in fig. 1, the curve inside is fixed, for example by laser welding, on a shell 20, driven on the axis 9 of a balance 8.
Compared to this state of the art, as regards the pitch between the turns, it is however worth mentioning patent CH 465 537, filed in 1966, which describes a method for manufacturing from a strip or wire of constant section, wound in the groove of a matrix, then annealed and tempered, spirals having any configuration, in particular with a variable pitch. To the best knowledge of the applicant, no product of this type has been placed on the market, which suggests that the manufacturing process was technically or economically unsatisfactory.
As regards the variation of the thickness of a wound metal strip, it is possible to mention patent GB 1 020 456 which describes the manufacture of a barrel spring by butt welds of blades having increasing sections. from the center to the periphery. Such a spring is designed, with equal space, to increase the power reserve, but it is obvious that by applying this manufacturing method to a hairspring, the presence of welds would not allow to have a concentric development and obtain reproducible isochronism from one spiral to the other.
This same principle had already been proposed in a US patent 209 642 of 1878 to improve the isochronism of a spiral built with a turn inside smaller section. As will be seen in the detailed description, the experiment contradicts this statement.
The invention therefore relates to a flat hairspring and manufacturing processes by micro-machining or galvanic growth, to conveniently choose the most favorable construction parameters to improve the isochronism by the shape spiral as well as by the fastening means.
For this purpose the invention relates to a hairspring according to claim 1 of the patent.
As will be explained later in the detailed description, the manufacturing process uses micro-techniques, such as photolithography and electrodeposition of a metal or an alloy, or micro-machining. a wafer of thickness "h" made of an amorphous or crystalline material such as silicon in monocrystalline or polycrystalline form.
According to a first embodiment, the section "s" of the turns increases progressively from the curve outside to the curve inside.
According to a second embodiment, which can be combined with the first embodiment, the pitch "p" between the turns decreases steadily from the curve outside to the curve inside.
According to yet another embodiment, it is possible to select a specific turn portion and to locally vary the blade width to act on other parameters favorable to isochronism. This increase can be made for example on the curve inside, on the curve outside or at the same time on the two curves, or in many other places on other portions of the spiral.
It is also possible to obtain a hairspring having a turn portion deviating from the curve of a perfect spiral, for example having a Grossmann-type inside curve.
The invention also offers the advantage of being able, at the same time as the hairspring itself, to manufacture the fixing means on the balance shaft, this fixing means being formed by a self-locking washer having center, for example, a star shape and having recesses in its periphery to give it sufficient elasticity to mount and avoid a gap between the point of origin of the Archimedes spiral and the axis of rotation of the balance.
For a metal spiral or alloy, the manufacturing process basically consists of applying the LIGA technique to form a mold corresponding to the profile desired by the spiral. Given the properties of photoresists currently available on the market, it is possible to adjust the thickness of the photoresist layer to obtain the full range of spirals with blade heights of up to a few tenths of a millimeter.
For a hairspring in an amorphous or crystalline material, the method basically consists in etching a wafer of said material through masks.
Other features and advantages of the present invention will appear in the description of various exemplary embodiments given for illustrative and non-limiting purposes with reference to the accompanying drawings in which:
<tb> fig. 1 <sep> represents a sprung balance of the prior art;
<tb> fig. 2 <sep> is an enlarged representation of the hairspring of FIG. 1;
<tb> fig. 3A <sep> corresponds to an isochronism diagram obtained with the spiral represented in FIG. 2;
<tb> fig. 3B <sep> corresponds to an isochronism diagram obtained with another spiral of the prior art;
<tb> fig. 4 <sep> represents a first embodiment of a spiral according to the invention;
<tb> fig. <Sep> corresponds to an isochronism diagram obtained with the hairspring of FIG. 4;
<tb> fig. 6 <sep> represents a second embodiment of a hairspring according to the invention;
<tb> fig. 7 <sep> corresponds to an isochronism diagram obtained with the spiral of fig. 6;
<tb> fig. 8 <sep> represents a third embodiment of a spiral according to the invention;
<tb> fig. 9 <sep> corresponds to an isochronism diagram obtained with the spiral of FIG. 8;
<tb> fig. <Sep> represents a method of fixing a hairspring according to the invention, and
<tb> figs. 10A to 10E <sep> represent other forms of attachment in the center.
FIG. 1, partly broken away, represents a sprung balance of the prior art mentioned in the preamble. Its characteristics will serve as a reference to show the significant progress made by the invention at the level of isochronism. The hairspring 10 has the end of its curve in the center 11 fixed in a conventional manner on a shell 20 driven on the axis 9 of the balance 8 pivoted between the plate 7 and the cock 6. The regulating device further comprises, in a known manner, a peg holder 5 for fixing the curve to the outside 14 of the hairspring 10 and possibly a racket 4 provided with pins 3 and a racket tail 2 facing a graduation 1.
In fig. 2, which is an enlarged representation of the hairspring 10 alone, it will be seen that said hairspring is formed of 14 turns having a uniform rectangular cross-section, for example 0.05 * 0.30 mm from the curve in the center 11 to the curve outside 14, and that the turns have between them a constant pitch p. The point of attachment of the curve to the center 11 is situated at a distance r from the center of pivoting of the spiral, and that of the curve to the outside 14, at a distance R, before the bend 16. In this example, r and R are respectively 0.57 mm and 2.46 mm. These values of r and R, as well as number of turns, will be the same in the remainder of the description, unless otherwise indicated.
Referring now to FIG. 3A is the isochronism diagram of a hairspring having the above-mentioned characteristics. The amplitude of oscillation of the pendulum expressed in degrees with respect to its equilibrium position has been plotted on the abscissa. On the ordinate, the difference in walking expressed in seconds per day has been reported. This diagram has five curves corresponding to the usual positions of measurements with the spiral balance, horizontal (curve 1), then vertical (curves 2 to 5, by rotation of 90 [deg.] From one curve to another). The dotted line corresponds to the envelope of all the most unfavorable positions. The appreciation of the deviation of operation is carried out traditionally by taking into consideration the maximum deviation of the envelope for an amplitude between 200 [deg.] And 300 [deg.].
In the diagram of FIG. 3A, it is observed that this maximum difference, with this reference spring of the prior art, is 4.7 s / d for an amplitude of 236 [deg.].
In FIG. 3B shows the diagram obtained with a spiral (not shown) having the characteristics mentioned in US Patent 209,642 cited in the preamble, namely with a blade thickness of between 0.046 mm for the outside curve 14 and 0.036 mm for the curve inside 11. Contrary to what can be expected from the teaching of said patent, it will be observed that the maximum deviation has increased to 7.7 s / d for an amplitude of 230 [deg. .].
Referring now to FIGS. 4et 5on described below a first embodiment of a spiral whose manufacture by micromachining (photolithography and galvanic growth, or etching an amorphous or crystalline material provides a geometry favorable to isochronism. as can be seen, the pitch p between one turn and the next decreases as one approaches the center of the hairspring.Inversely, the section increases from the curve to the outside 14 to the curve to the Since the manufacturing processes give the blade a constant height, the section variation corresponds in fact to a variant of the thickness which goes from 0.036 mm for the outside curve 14 to 0.046 mm for the curve inside 11.
In the diagram shown in FIG. 5, we see that the maximum deviation is lowered to 2.8 s / d for an amplitude of 242 [deg.]. One would still obtain a favorable result on this maximum difference by acting solely, either on the pitch p., Or on the thickness e of the blade.
Figs. 6 and 7 correspond to a second embodiment of type "Michel" for the curve outside 14 and for the curve inside 11. The turns have between them a constant pitch and a constant section corresponding to a constant thickness 0.042 mm, with the exception of two portions of turns for which the thickness is increased to 0,056 mm:
a portion 12 of the curve inside 11 on an angular sector of about 80 [deg.] whose middle portion is substantially at -110 [deg.] of a reference axis Ox, and
a portion 15 of the curve outside 14 on an angular sector of about 20 [deg.] whose middle portion is substantially at +115 [deg.] of the reference axis Ox.
In the diagram shown in FIG. We see that the maximum difference is only 1.8 s / d. The value of the overthickness and the positions on the turns are given above for illustrative purposes, and it is obvious that the skilled person can choose to have a greater number of zones of extra thickness in different places. .
Figs. 8 and 9 correspond to a third embodiment in which the curve inside 11 is of Grossmann type 13, that is to say having a geometry such as that described in the book "General theory of the watchmaking "by L. Defossez. Such a geometry is very delicate to obtain by deformation of a metal blade. The manufacturing method according to the invention makes it possible to very easily obtain such a configuration without the intervention of highly qualified personnel. The diagram shown in FIG. 9 shows that the maximum deviation at 300 [deg.] Is only 2.1 s / d.
Of course, given the freedom of configuration that give the manufacturing methods according to the invention, it is possible to combine the previously described embodiments to obtain a spiral according to the invention having improved isochronism.
In FIG. A spiral corresponding to the first embodiment (FIG 4) is shown in which the ferrule 20 is replaced by a self-locking washer 17 formed at the same time as the spiral 10. This washer 17 has in its center an outline 19 such that it allows to block without play the axis 9 of the balance 8 having a certain elasticity provided by lights 18 distributed around the locking contour 19 shown in a star in FIG. 10. Figs. 10A to 10E show other possible conformations of the self-locking washer 17 with a locking contour 19 in a triangle, square, hexagonal, circular or ogive.
When the self-locking spiral washer is produced by photolithography and galvanic growth, it is advantageous, by means of an additional step, to make said self-locking washer 17 with a thickness greater than the height of the blade to obtain a better holding of the hairspring. 10 on the axis 9 of the balance.
A spiral according to the invention in an amorphous or crystalline material such as silicon may be manufactured by adapting the micro-machining processes already used for example for the manufacture of integrated circuits or accelerometers from a wafer of silicon. In particular, it is possible to refer to the processes described in US Pat. Nos. 4,571,661 and US 5,576,250 for accelerometers. The process basically consists of the following steps:
applying a silicon wafer to a substrate by creating an insulating SiO2 interface;
thin the wafer to the desired blade height "h" according to the method described by C. Harendt et al.
("Wafer bonding and its application to silicon-on-insulator manufacturing" Technical Digest MNE'90, 2nd Workshop, Berlin, November 90, pp. 81-86);
forming by photolithography a masking corresponding to the desired spiral contour;
etching the silicon wafer to the substrate, according to known methods, such as wet chemical etching, plasma dry machining, or a combination of both; and
separate the hairspring from the substrate.
Given the very small dimensions of a spiral, it is obviously possible and advantageous to batch them from a single silicon wafer.
To manufacture a spiral according to the invention of metal or alloy, it uses the known LIGA technique since the mid-70s. In a first step the method basically consists of spreading on a substrate previously coated with a sacrificial layer a positive or negative photoresist on a thickness corresponding to the desired height "h" of the blade and forming by means of a mask by photolithography and etching a hollow structure corresponding to the desired contour for the hairspring. In a second step, said hollow structure is filled with a metal or a metal alloy either by electrodeposition as indicated, for example, in US Pat. No. 4,661,212, or by compression and sintering of nanoparticles, as indicated, for example, in FIG. patent application US 2001/0 038 803.
In a final step the spiral is released from the substrate by elimination of the sacrificial layer.