CH698419B1 - Mikroskop mit Fokussiereinrichtung zur Beobachtung von Tiefenstrukturen an Objekten. - Google Patents

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf ein Stereomikroskop vom Teleskoptyp, umfassend<br />- ein Mikroskopobjektiv (1),<br />- in jedem der beiden dem Mikroskopobjektiv (1) nachgeordneten stereoskopischen Abbildungsstrahlengänge ein Tubuslinsensystem,<br />- einen Mikroskopeinblick (2) sowie<br />- Mittel zum Einstellen der Fokusposition durch Verändern des Abstandes z zwischen dem Mikroskopobjektiv (1) und einem zu beobachtenden Objekt (4). Ein Mikroskop der eingangs beschrieben Art ist so ausgebildet, dass während der Veränderung des Abstandes z zwischen dem Mikroskopobjektiv (1) und dem zu beobachtenden Objekt (4) die Abstände zwischen dem Objekt (4), dem Mikroskopeinblick (2) und der Abstand mindestens einer Linse des Tubuslinsensystems zu dem Mikroskopobjektiv (1) oder dem Mikroskopeinblick (2) konstant sind, wobei stets ein reelles Bild an derselben Stelle des Mikroskopeinblicks (2) entworfen wird. Im Gegensatz zum Stand der Technik ist zur Fokuseinstellung nicht mehr die Bewegung der gesamten Masse des Mikroskopaufbaus erforderlich. Deshalb können die zur Fokussierbewegung erforderlichen Führungen und Antriebe kosten- und raumsparend ausgelegt werden.

Description

  [0001]    Die Erfindung bezieht sich auf ein Stereomikroskop vom Teleskoptyp, umfassend ein Mikroskopobjektiv, in jedem der beiden dem Mikroskopobjektiv nachgeordneten stereoskopischen Abbildungsstrahlengänge ein Tubuslinsensystem, einen Mikroskopeinblick sowie Mittel zum Einstellen der Fokusposition durch Verändern des Abstandes z zwischen dem Mikroskopobjektiv und einem zu beobachtenden Objekt.

  

[0002]    Stereomikroskope dieses Typs werden häufig zur Beobachtung von Tiefenstrukturen an Objekten genutzt. Zur Einstellung der Fokusposition auf verschiedene Beobachtungsebenen wird in der Regel der Abstand zwischen dem Mikroskopobjektiv und dem Objekt in Z-Richtung verändert, wobei das Objekt in seiner Position belassen wird, während das Mikroskopobjektiv und mit diesem der gesamte Mikroskopaufbau verschoben wird, einschliesslich Mikroskopeinblick, gegebenenfalls auch einschliesslich aufgesetzter Kamera, koaxialer Auflichtbeleuchtung u.Ä.

  

[0003]    Nachteilig ist hierbei, dass zwecks Fokussierung eine erhebliche Masse in Bewegung zu versetzen ist, so dass zwangsläufig eine technisch aufwendige und kompakte, diese Masse berücksichtigende Dimensionierung von Führungen und Antrieben erforderlich ist, was wiederum verhältnismässig hohe Fertigungskosten zur Folge hat.

  

[0004]    Ausserdem ist die Beobachtung eines Objektes oftmals durch einen Mikroskopeinblick wünschenswert, dessen Höheneinstellung von der Fokussierbewegung unabhängig ist, so dass die Einblickhöhe erhalten bleibt, wenn die Fokusposition verändert wird.

  

[0005]    Daher besteht bei der Weiterentwicklung von derartigen Stereomikroskopen das Bedürfnis, die Höheneinstellung des Einblicks und die Fokussierbewegung voneinander zu entkoppeln und zugleich die bei der Fokussierbewegung zu bewegende Masse möglichst gering zu halten.

  

[0006]    In US 6 339 507 ist ein Stereomikroskop beschrieben, bei dem zur Änderung der Fokusposition der Abstand zwischen dem Mikroskopobjektiv und einem nachgeordneten afokalen Vergrösserungswechsler variabel gestaltet ist. Dabei liegt die Eintrittspupille im Abbildungsstrahlengang im Bereich des afokalen Vergrösserungswechslers. Nachteilig ist hierbei, dass ein variabler Abstand zwischen Mikroskopobjektiv und Vergrösserungswechsler zwangsläufig eine vergrösserte Ausführung des Mikroskopobjektivs erfordert.

  

[0007]    Im Zusammenhang mit Stereomikroskopen des Greenough-Typs ist es bekannt, zur Änderung des Abstandes zwischen Objekt und Okularzwischenbildebene optische Vorsatzsysteme zu verwenden, die gleichzeitig mit der Änderung der Lage der abgebildeten Objektebene auch den Abbildungsmassstab verändern. Dies ist beispielsweise beschrieben in DE 10 038 133 A1. Aber auch damit wird das oben beschriebene Problem nicht gelöst.

  

[0008]    Von diesem Stand der Technik ausgehend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Stereomikroskop der eingangs genannten Art so weiterzubilden, dass die Veränderung der Fokusposition unabhängig von der Höheneinstellung des Mikroskopeinblicks möglich ist.

  

[0009]    Erfindungsgemäss wird die Aufgabe durch die im Anspruch 1 formulierten kennzeichnenden Merkmale gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den abhängigen Ansprüchen 2 bis 6 angegeben.

  

[0010]    Dabei ist das Stereomikroskop der eingangs beschriebenen Art so ausgebildet, dass während der Veränderung des Abstandes z zwischen dem Mikroskopobjektiv und dem zu beobachtenden Objekt die Abstände zwischen dem Objekt, dem Mikroskopeinblick und der Abstand mindestens einer Linse des Tubuslinsensystems zu dem Mikroskopobjektiv oder dem Mikroskopeinblick konstant sind, wobei stets ein reelles Bild an derselben Stelle des Mikroskopeinblicks (2) vorhanden ist.

  

[0011]    Bei einem derart ausgebildeten Mikroskop ist es möglich, die Fokusposition auf unterschiedliche Beobachtungsebenen einzustellen, ohne mit der Bewegung des Mikroskopobjektivs auch den gesamten Mikroskopaufbau bewegen zu müssen.

  

[0012]    Im Gegensatz zum Stand der Technik ist zur Fokuseinstellung nicht mehr die Bewegung der gesamten Masse des Mikroskopaufbaus erforderlich. Deshalb können die zur Fokussierbewegung erforderlichen Führungen und Antriebe kosten- und raumsparend ausgelegt werden.

  

[0013]    Insofern verfügt das erfindungsgemässe Mikroskop über eine Fokussiereinrichtung, die es ermöglicht, die Fokusposition durch Verschieben des Mikroskopobjektivs in Z-Richtung zu variieren, während die Einblickhöhe gleich bleibt.

  

[0014]    In jedem der beiden stereoskopischen Abbildungsstrahlengänge ist zwischen dem Mikroskopobjektiv und dem Tubuslinsensystem ein Vergrösserungswechsler vorhanden, wobei während der Veränderung des Abstandes z der Abstand zwischen dem Mikroskopobjektiv und den Vergrösserungswechslern konstant ist.

  

[0015]    Besonders vorteilhaft ist das erfindungsgemässe Mikroskop so ausgebildet, dass die Schnittweite des Tubuslinsensystems variabel ist, während die Brennweite F im gewählten Beispiel konstant 200 mm beträgt. Das Prinzip der Erfindung ist auf Tubuslinsensysteme variabler Schnittweite mit Brennweiten F im Bereich 100 <= F <= 250 übertragbar.

  

[0016]    Bei einer ersten Ausführungsvariante ist das Mikroskop mit einem aus drei Linsen L1, L2, L3 bestehenden Tubuslinsensystem ausgestattet, wobei die Abstände zwischen dem Mikroskopobjektiv, dem mit diesem gekoppelten Vergrösserungswechsler und zwei Linsen L1 und L3 konstant sind.

  

[0017]    Bei Veränderung des Abstandes z erfolgt um den gleichen Betrag, um den das Mikroskopobjektivs 1 gemeinsam mit den Vergrösserungswechslern in Richtung R verschoben wird, auch eine Verschiebung der Linsen L1 und L3, das heisst die Verschiebung der Linsen L1 und L3 ist direkt an die Verschiebung des Mikroskopobjektivs 1 und der Vergrösserungswechslern gekoppelt.

  

[0018]    Dabei ändert sich die Position der Linsen L1 und L3 relativ zu der Linse L2 und somit die Schnittweite des Tubuslinsensystems. Um zu erreichen, dass trotzdem immer ein reelles Bild an derselben Stelle des Mikroskopeinblicks 2 entworfen und die Schnittweite an diese feste Position innerhalb des Mikroskopeinblicks 2 angepasst wird, ist auch die Linse L2 verschiebbar, wobei die Verschiebung der Linse 2 über ein vorgegebenes Übersetzungsverhältnis mit der Verschiebebewegung des Mikroskopobjektivs 1 gekoppelt ist. Die Verschiebung der Linse 2 ist sozusagen indirekt mit der Verschiebebewegung des Mikroskopobjektivs 1 und der Vergrösserungswechsler gekoppelt.

  

[0019]    Ein konkretes Beispiel für die Ausführung der Linsen L1, L2 und L3 sowie deren Abstände zueinander ist weiter unten angegeben.

  

[0020]    Zur Übertragung der Verschiebebewegung auf die mit dem Mikroskopobjektiv zwangsgekoppelten Linsen können beispielsweise Glieder eines mechanischen Getriebes oder auch elektromotorische, mit einer Ansteuerschaltung in Verbindung stehende Baugruppen dienen, wobei ein auf den jeweils gewünschten Verschiebeweg und die Verschiebegeschwindigkeit bezogenes Übersetzungsverhältnis vorgegeben ist.

  

[0021]    Alternativ zu der ersten vorteilhaften Ausführung kann das Mikroskop mit einem Tubuslinsensystem ausgestattet sein, das aus einem mehrere Linsen umfassenden Kittglied unveränderbarer Schnittweite besteht, wobei während der Veränderung des Abstandes z die Abstände zwischen dem Mikroskopeinblick, dem Objekt und dem Kittglied konstant sind. Auch hierzu ist weiter unten ein Beispiel angegeben.

  

[0022]    Die Erfindung soll nachfolgend anhand zweier Ausführungsbeispiele näher erläutert werden. In den zugehörigen Zeichnungen zeigen:
<tb>Fig. 1<sep>den prinzipiellen Aufbau eines Stereomikroskops vom Teleskoptyp nach Stand der Technik in Seitenansicht,
<tb>Fig. 2<sep>den prinzipiellen Aufbau des erfindungsgemässen Mikroskops, ausgestattet mit einem Tubuslinsensystem mit veränderbarer Schnittweite,


  <tb>Fig. 3<sep>den prinzipiellen Aufbau des erfindungsgemässen Mikroskops, ausgestattet mit einem Tubuslinsensystem mit unveränderbarer Schnittweite,


  <tb>Fig. 4<sep>die Linsen eines Tubuslinsensystems mit veränderbarer Schnittweite zur Verwendung im Mikroskopaufbau nach Fig. 2,


  <tb>Fig. 5<sep>die Linsen eines Tubuslinsensystems mit unveränderlicher Schnittweite zur Verwendung im Mikroskopaufbau nach Fig. 3.

  

[0023]    Fig. 1 zeigt stark vereinfacht den Aufbau eines Stereomikroskops vom Teleskoptyp. Das Mikroskop ist in Seitenansicht dargestellt; dabei liegen die beiden aus dem Mikroskopobjektiv 1 austretenden Abbildungsstrahlengänge in Blickrichtung auf die Zeichenebene hintereinander, so dass lediglich ein Abbildungsstrahlengang sichtbar und der zweite, unter der Zeichenebene liegende Abbildungsstrahlengang verdeckt ist.

  

[0024]    Das Mikroskop weist in beiden Abbildungsstrahlengängen im Bereich T ein Tubuslinsensystem und im Bereich V einen Vergrösserungswechsler auf und ist weiterhin mit einem Mikroskopeinblick 2 ausgestattet. Zwischen dem Tubuslinsensystem und dem Vergrösserungswechsler ist ein optischer Unendlichraum ausgebildet und in Fig. 1symbolisch mit [infinity] gekennzeichnet.

  

[0025]    Auf einem Objekttisch 3 ist ein Objekt 4 abgelegt, dessen Beobachtung durch den Mikroskopeinblick 2 hindurch erfolgt. Mit den Vergrösserungswechslern kann der gewünschte Abbildungsmassstab eingestellt werden. Eine Beleuchtungseinrichtung 5 kann unterhalb des Objekttisches 3 angeordnet sein.

  

[0026]    Um mit einem Mikroskop dieser Art verschiedene, in der Tiefe gestaffelte Ebenen des Objektes 4 beobachten zu können, ist es erforderlich, den Fokus des Mikroskopobjektivs 1 auf die jeweilige Ebene auszurichten. Dies erfolgt durch Veränderung des Abstandes z zwischen dem Mikroskopobjektiv 1 und dem Objekt 4. Zwecks Vergrösserung des Abstandes z wird der gesamte Mikroskopaufbau, der sowohl das Mikroskopobjektiv 1, den Mikroskopeinblick 2, die Tubuslinsensystem, die Vergrösserungswechsler und die sonstigen, nicht im einzelnen bezeichneten Baugruppen des Mikroskopkörpers 6 umfasst, mittels eines entsprechend ausgebildeten Antriebs entlang einer Geradführung 7 relativ zum Mikroskopstativ 8 in der durch Doppelpfeil gekennzeichneten Richtung R verschoben.

  

[0027]    Soll der Abstand z vergrössert werden, erfolgt die Verschiebung entgegengesetzt zur Schwerkraftrichtung. Dazu müssen die Geradführung und der Antrieb, die hier nicht dargestellt sind, bezüglich ihrer Stabilität unter Berücksichtigung der mit der Verschiebung zu bewegenden, nicht unerheblichen Masse ausgeführt sein.

  

[0028]    Um die zu bewegende Masse zu reduzieren, ist erfindungsgemäss ein Mikroskopaufbau vorgesehen, der in einer ersten Ausführungsvariante in Fig. 2dargestellt ist. Der Übersichtlichkeit halber werden in Fig. 2 die Bezugszeichen in ihrer Zuordnung zu den einzelnen Baugruppen wie in Fig.1 beibehalten.

  

[0029]    Im Unterschied zu dem in Fig. 1dargestellten Stand der Technik ist bei der in Fig. 2 gezeigten Mikroskopausführung jedoch nicht der gesamte Mikroskopaufbau, sondern nur das Mikroskopobjektiv 1 und mit diesem die Vergrösserungswechsler in der durch Doppelpfeil gekennzeichneten Richtung R verschiebbar, während der übrige Mikroskopaufbau einschliesslich Mikroskopeinblick 2 an seiner Position verbleibt.

  

[0030]    Um dies zu erreichen, ist ein aus drei Linsen L1, L2, L3 bestehendes Tubuslinsensystem vorgesehen, dessen Schnittweite bei gleichbleibender Brennweite veränderbar ist.

  

[0031]    Bei Veränderung des Abstandes z erfolgt um den gleichen Betrag, um den das Mikroskopobjektivs 1 gemeinsam mit den Vergrösserungswechslern in Richtung R verschoben wird, auch eine Verschiebung der Linsen L1 und L3. Mit anderen Worten: die Verschiebung der Linsen L1 und L3 ist direkt an die Verschiebung des Mikroskopobjektivs 1 und der Vergrösserungswechsler gekoppelt. Dabei ändert sich die Position der Linsen L1 und L3 relativ zu der Linse L2 und somit die Schnittweite des Tubuslinsensystems.

  

[0032]    Um zu erreichen, dass trotzdem immer ein reelles Bild an derselben Stelle des Mikroskopeinblicks 2 entworfen und die Schnittweite an diese feste Position innerhalb des Mikroskopeinblicks 2 angepasst wird, ist auch die Linse L2 verschiebbar, wobei die Verschiebung der Linse 2 über ein vorgegebenes Übersetzungsverhältnis indirekt mit der Verschiebebewegung des Mikroskopobjektivs 1 und der Vergrösserungswechslern gekoppelt ist.

  

[0033]    In der hier gewählten Ausführungsvariante erfolgt die Verschiebung des Mikroskopobjektivs 1 geradlinig entlang einer Geradführung 9. Die direkte Kopplung der Verschiebebewegung des Mikroskopobjektivs 1 mit der Verschiebung der Linsen L1 und L3 ist in Fig. 2 symbolisch durch eine Verbindungslinie K dargestellt. Die Kopplung der Verschiebebewegung des Mikroskopobjektivs 1 mit der Verschiebung der Linse L2 über ein Übersetzungsverhältnis ist zeichnerisch nicht dargestellt.

  

[0034]    Zur Einstellung des Fokus auf unterschiedliche Beobachtungsebenen im Objekt 4 ist zwar nach wie vor die Veränderung des Abstandes z erforderlich, jedoch ist die zu bewegende Masse wesentlich reduziert, und die technischen Mittel zur Realisierung dieser Verschiebebewegung können leichter, mit weniger technischem Aufwand und damit auch kostengünstiger hergestellt werden.

  

[0035]    Die Linsen L1 bis L3 können beispielsweise wie in nachfolgender Tabelle angegeben mit Radien r in mm, Dicken d in mm und Abständen a in mm, Brechzahlen ne bei der Wellenlänge 546,07 nm, Abbezahlen [nu]e, und Brennweiten f ausgeführt sein:
<tb> <sep>Radien
r<sep>Dicken
d<sep>Abstand
a<sep>Brechzahl
ne<sep>Abbezahl
[nu]e<sep>Brennweite
f


  <tb>L1<sep>273,65
-104,52<sep>4,0<sep><sep>1,622470<sep>63,19<sep>122,00


  <tb><sep><sep><sep>a1
=11,0+-9<sep><sep><sep>


  <tb>L2<sep>-272,80
63,18<sep>2,5<sep><sep>1,584820<sep>40,56<sep>-87,48


  <tb><sep><sep><sep>a2
=10,0+-9<sep><sep><sep>


  <tb>L3<sep>81,92
unendlich<sep>4,0<sep><sep>1,622470<sep>63,16<sep>131,00


  <tb><sep><sep><sep>a3 =181,66
+-23,4<sep><sep><sep>

  

[0036]    Die Linse L1 ist dabei objektseitig angeordnet. Die Schnittweite dieses Tubuslinsensystems ist variabel, während die Brennweite F im gewählten Beispiel konstant 200 mm beträgt. Das Prinzip der Erfindung ist auf Tubuslinsensysteme variabler Schnittweite mit Brennweiten F im Bereich 100 <= F <= 250 übertragbar.

  

[0037]    Die Verschiebemechanismen bzw. die zugehörigen Antriebe sind nicht dargestellt. Ihre Ausführung kann jedoch aus dem Fachgebiet der Feingerätetechnik ohne weiteres übernommen werden. So können zur Übertragung der Verschiebebewegung des Mikroskopobjektivs 1 auf die Linse L2 Glieder eines mechanischen Getriebes oder elektromotorische, mit einer Ansteuerschaltung in Verbindung stehende Baugruppen vorgesehen sein.

  

[0038]    In einer zweiten, in Fig. 3dargestellten Ausführungsvariante wird die Aufgabe, die der Erfindung zugrunde liegt, mit einem Tubuslinsensystem gelöst, dessen Schnittweite nicht veränderbar ist. Der Übersichtlichkeit halber werden in Fig. 3wiederum die Bezugszeichen der Zuordnung zu den einzelnen Baugruppen wie in Fig. 1und Fig. 2beibehalten.

  

[0039]    Das Tubuslinsensystem besteht in diesem Fall aus einem zwei Linsen L4 und L5 umfassenden Kittglied. Während der Veränderung des Abstandes z sind die Abstände zwischen dem Mikroskopeinblick 2, dem Objekt 4 und dem Kittglied konstant, das heisst im Gegensatz zu der anhand Fig. 2beschriebenen Ausführungsvariante ist keine der beiden Linsen L4 und L5 des Kittgliedes an die Verschiebebewegung des Mikroskopobjektivs 1 gekoppelt.

  

[0040]    Ein solches Kittglied besteht beispielsweise aus den beiden Linsen L4 und L5, die mit den nachstehend genannten Radien r, Dicken d, Brechzahlen ne bei der Wellenlänge 546,07 nm und den Abbezahlen [nu]e ausgeführt sind, wobei die Linse L4 objektseitig angeordnet ist:
<tb> <sep>Radien
r<sep>Dicken
d<sep>Brechzahl
ne<sep>Abbezahl
[nu]e


  <tb>L4<sep>101,45 
-46,308<sep>5,5<sep>1,622470<sep>63,19


  <tb>L5<sep>-46,308
unendlich<sep>2,4<sep>1,584820<sep>40,56

  

[0041]    Der besondere Vorteil dieser zweiten Ausführungsvariante nach Fig. 3 gegenüber dem ersten Ausführungsvariante nach Fig. 2ergibt sich aus dem Wegfall der mechanischen Einrichtungen zur Übertragung der Verschiebebewegung des Mikroskopobjektivs 1 auf eine oder mehrere Linsen des Tubus, überstreicht allerdings einen geringeren Bereich bezüglich des Abstandes z.

  

[0042]    Mit beiden Ausführungsvarianten wird im Unterschied zu dem in Fig. 1 dargestellten Stand der Technik erreicht, dass zur Einstellung des Fokus auf verschiedene Beobachtungsebenen nicht der gesamte Mikroskopaufbau, sondern nur das Mikroskopobjektiv 1 und die Vergrösserungswechsler in der Richtung R zu verschieben sind, während der übrige Mikroskopaufbau einschliesslich Mikroskopeinblick 2 an seiner Position verbleibt.

  

[0043]    In Fig. 4 sind die Linsen L1, L2 und L3 des Tubuslinsensystems mit veränderlicher Schnittweite und in Fig. 5die Linsen L4 und L5 des Tubuslinsensystems mit unveränderlicher Schnittweite vergrössert dargestellt.

Claims (6)

1. Stereomikroskop vom Teleskoptyp, umfassend

- ein Mikroskopobjektiv (1),

- in jedem der beiden dem Mikroskopobjektiv (1) nachgeordneten stereoskopischen Abbildungsstrahlengänge ein Tubuslinsensystem,

- einen Mikroskopeinblick (2),

- in jedem der beiden stereoskopischen Abbildungsstrahlengänge zwischen dem Mikroskopobjektiv (1) und dem Tubuslinsensystem einen Vergrösserungswechsler, sowie

- Mittel zum Einstellen der Fokusposition durch Verändern des Abstandes z zwischen dem Mikroskopobjektiv (1) und einem zu beobachtenden Objekt (4), dadurch gekennzeichnet, dass

- während der Veränderung des Abstandes z die Abstände zwischen dem Objekt (4) und dem Mikroskopeinblick (2) und zwischen mindestens einer Linse des Tubuslinsensystems und dem Mikroskopobjektiv (1) oder dem Mikroskopeinblick (2) konstant sind,

- wobei stets ein reelles Bild an derselben Stelle des Mikroskopeinblicks (2) vorhanden ist.

2. Stereomikroskop nach Anspruch 1, bei dem die Schnittweiten der Tubuslinsensysteme variabel sind, während die Brennweiten F im gewählten Beispiel konstant 200 mm betragen.

3. Stereomikroskop nach einem der vorgenannten Ansprüche mit einem aus drei Linsen L1, L2, L3 bestehenden Tubuslinsensystem, bei dem die Abstände zwischen dem Mikroskopobjektiv, dem mit diesem gekoppelten Vergrösserungswechsler und zwei Linsen L1 und L3 konstant sind, während die dritte Linse L2 mit der Verschiebung des Mikroskopobjektivs bei Veränderung des Abstandes z zwangsgekoppelt ist, so dass sich mit der Veränderung des Abstandes z die Schnittweite des Tubuslinsensystems ändert und dadurch ein reelles Zwischenbild immer an derselben Stelle im Mikroskopeinblick vorhanden ist.

4. Stereomikroskop nach Anspruch 3, bei dem die Linsen L1, L2 und L3 mit den nachstehend genannten Radien r in mm, Dicken d in mm und Abständen a in mm, Brechzahlen ne bei der Wellenlänge 546,07 nm, den Abbezahlen ve und Brennweiten f ausgeführt sind und die Linse L1 objektseitig angeordnet ist: <tb> <sep>Radien

r<sep>Dicken

d<sep>Abstand

a<sep>Brechzahl

ne<sep>Abbezahl

[nu]e<sep>Brennweite

f

<tb>L1<sep>273,65

- 104,52<sep>4,0<sep><sep>1,622470<sep>63,19<sep>122,00

<tb><sep><sep><sep>a1

=11,0+-9<sep><sep><sep>

<tb>L2<sep>-272,80

63,18<sep>2,5<sep><sep>1,584820<sep>40,56<sep>-87,48

<tb><sep><sep><sep>a2

=10,0+9<sep><sep><sep>

<tb>L3<sep>81,92

unendlich<sep>4,0<sep><sep>1,622470<sep>63,16<sep>131,00

<tb><sep><sep><sep>a3

=181,66

+-23,4<sep><sep><sep>

5. Stereomikroskop nach Anspruch 1, bei dem

- jedes Tubuslinsensystem aus einem mehrere Linsen umfassenden Kittglied besteht und

- während der Veränderung des Abstandes z die Abstände zwischen dem Mikroskopeinblick (2), dem Objekt (4) und dem Kittglied konstant sind.

6. Stereomikroskop nach Anspruch 5, bei dem das Kittglied aus zwei Linsen L4 und L5 besteht, die mit den nachstehend genannten Radien r in mm, Dicken d in mm, Brechzahlen nebei der Wellenlänge 546,07 nm und den Abbezahlen [nu]eausgeführt sind, wobei die Linse L4 objektseitig angeordnet ist: <tb> <sep>Radien

r<sep>Dicken

d<sep>Brechzahl

ne<sep>Abbezahl

[nu]e

<tb>L4<sep>101,45

-46,308<sep>5,5<sep>1,622470<sep>63,19

<tb>L5<sep>-46,308

unendlich<sep>2,4<sep>1,584820<sep>40,56