CH683662B5 - Procédé de traitement en continu d'un matériau allongé dans une enceinte de traitement, et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procédé. - Google Patents

Procédé de traitement en continu d'un matériau allongé dans une enceinte de traitement, et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procédé. Download PDF

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CH683662B5
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Jean-Bernard Kureth
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Preci Coat Sa
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    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates

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Description

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CH 683 662G A3
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Description
La présente invention concerne un procédé de traitement en continu d'un matériau allongé dans une enceinte de traitement contenant une atmosphère contrôlée à une pression inférieure à la pression atmosphérique.
Elle concerne également un dispositif de traitement en continu d'un matériau allongé dans une enceinte de traitement contenant une atmosphère contrôlée à une pression inférieure à la pression atmosphérique, pour la mise en œuvre de ce procédé.
On connaît déjà de nombreux procédés et installations destinés à permettre le traitement, et notamment le revêtement sous vide, de matériaux divers et plus particulièrement de matériaux se présentant sous la forme de fils ou de bandes.
Dans les installations travaillant par lots, le revêtement en continu de fils ou de bandes dans des enceintes sous vide ou contenant un gaz sous pression réduite, se heurte au problème du chargement et du déchargement des bobines ou des rouleaux sur lesquels ces fils ou ces bandes sont enroulés. Etant donné que les bobines ou les rouleaux sont introduits entièrement dans l'enceinte à vide, le volume de celle-ci doit être relativement important. Il en résulte de nombreuses fuites virtuelles dans les interstices entre les spires de ces bobines ou de ces rouleaux, ce qui provoque une élévation importante du temps de pompage nécessaire pour amener la pression à l'intérieur de l'enceinte à la valeur voulue.
Pour pallier ces inconvénients, on a proposé de réaliser des installations travaillant en continu, les bobines et les rouleaux étant disposés à l'extérieur de l'enceinte et les matériaux en bandes ou en fils traversant l'enceinte en continu. Dans la plupart des cas, il est impossible d'utiliser des joints fixes entourant le fil ou la bande ou des dispositifs mobiles sous la forme de galets, molettes ou rouleaux pour assurer une étanchéité suffisante de l'enceinte. Cette impossibilité est due notamment à la résistance à la traction du fil ou aux risques de déchirure de la bande. Par ailleurs, pour certains traitements, tous contacts de la surface du fil ou de la bande avec les surfaces d'objets solides tels que les dispositifs mobiles montés à l'entrée et à la sortie de l'enceinte sont exclus en raison de réactions chimiques entre ces surfaces.
La présente invention se propose de remédier aux différents inconvénients mentionnés ci-dessus en fournissant un procédé et en réalisant un dispositif capable de faire entrer ou de sortir un matériau allongé tel qu'un fil ou une bande dans une enceinte maintenue sous vide ou contenant une atmosphère à pression réduite, dans le but de traiter la surface de ces matériaux et ceci sans utiliser de joints fixes ou de pièces mobiles pour assurer l'étanchéité de l'enceinte.
Dans ce but, le procédé selon l'invention est caractérisé en ce que l'on fait pénétrer ce matériau dans l'enceinte, ou on l'en extrait, en le faisant traverser un conduit tubulaire ouvert à ses deux extrémités, la première extrémité étant connectée à ladite enceinte et la seconde extrémité étant ouverte, et en ce que l'on connecte ce conduit d'une part à une pompe à vide au moyen d'un premier embranchement de dérivation disposé entre la première et la seconde extrémité du conduit et d'autre part à une source de gaz neutre au moyen d'un second embranchement de dérivation disposé entre la première extrémité du conduit et ledit premier embranchement de dérivation.
Le dispositif de traitement selon l'invention est caractérisé en ce qu'il comporte un conduit tubulaire ouvert à ses deux extrémités, la première extrémité étant connectée à ladite enceinte et la seconde extrémité étant ouverte, et en ce que ce conduit est raccordé d'une part à une pompe à vide au moyen d'un premier embranchement de dérivation disposé entre la première et la seconde extrémité du conduit, et d'autre part à une source de gaz neutre au moyen d'un second embranchement de dérivation, ce second embranchement de dérivation étant situé entre la première extrémité du conduit et le premier embranchement de dérivation.
La présente invention sera mieux comprise en référence à la description d'un exemple de réalisation et du dessin annexé dans lequel la figure unique représente schématiquement une vue partielle en coupe et en élévation d'un mode de réalisation préféré du dispositif selon l'invention.
En référence à cette figure, le dispositif comporte essentiellement une enceinte de traitement 10, qui est maintenue sous vide ou contient une atmosphère contrôlée d'un gaz à pression sous-atmosphérique, et un conduit tubulaire 11 ouvert à ses deux extrémités 12 et 13. La première extrémité 12 du conduit tubulaire 11 est raccordée à l'enceinte 10. La seconde extrémité 13 du conduit tubulaire 11 est ouverte mais peut éventuellement être connectée à une installation contenant un dispositif (non représenté) assurant l'alimentation du dispositif en fil ou bande 14 à traiter. Ce fil ou cette bande 14 traverse le conduit 11 pour être amené en continu à P intérieur de l'enceinte 10.
Le conduit tubulaire 11 se compose en fait de trois tronçons, respectivement 11a, 11b et 11c, disposés dans le prolongement les uns des autres et séparés par un premier embranchement de dérivation 15 et un deuxième embranchement de dérivation 16. Le premier embranchement de dérivation 15 permet de connecter le conduit 11 à un élément de conduit 17 qui est raccordé, à son autre extrémité, à une pompe à vide (non représentée). Le second embranchement de raccordement 16 est agencé pour connecter le conduit tubulaire 11 à un autre conduit 18 dont l'extrémité libre est raccordée à une source de gaz neutre (non représentée), par exemple un réservoir d'argon, qui peut en partie être utilisé à l'intérieur de l'enceinte de traitement 10 lorsque le traitement consiste à effectuer un dépôt sous vide d'une substance déterminée sur le fil ou la bande 14.
En fonctionnement, lorsque l'on introduit le matériau allongé 14 à l'intérieur de l'enceinte 10, ce matériau traverse le conduit tubulaire 11 en passant successivement par les tronçons 11a, 11b et 11c. Il est bien évident que lorsque ce matériau allongé
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sort de l'enceinte par la même voie, il traverse successivement les tronçons 11c, 11b et 11a. Si le conduit 11 n'était pas raccordé d'une part à une pompe à vide au moyen du conduit 17 et d'autre part à une source de gaz neutre au moyen du conduit 18, l'enceinte 10 étant sous vide ou sous pression réduite, il se produirait une fuite autour du fil ou de la bande 14 à traiter, et de l'air entraîné au travers du conduit 11 pourrait s'introduire à l'intérieur de l'enceinte. L'action combinée de la pompe à vide connectée au conduit 17 et de l'injection de gaz neutre au niveau du second embranchement 16 provoque à l'intérieur du tronçon 11 b un contre-cou-rant matérialisé par les flèches A et B qui a pour effet de contrarier une pénétration substantielle d'air circulant de l'extrémité 13 vers l'extrémité 12 du conduit tubulaire 11. Les débits peuvent être réglés de telle manière qu'une partie du gaz neutre injecté dans le conduit 18 pénètre dans l'enceinte 10 sous la forme d'un courant à faible débit matérialisé par la flèche C. En général, ce gaz est utilisé dans le cadre d'un procédé de traitement sous vide.
Ce procédé et cette installation sont adaptés à toutes sortes de traitements, quelles que soient les formes et les dimensions des sections du matériau allongé 14, à condition bien entendu que la forme et les dimensions de la section du conduit 11 soient convenablement adaptées. On peut envisager de traiter des matériaux métalliques tels que des fils ou des bandes, ou des profilés nécessitant soit un traitement, soit un revêtement sous vide. On peut également traiter des fibres optiques ou des bandes de tissu ou de matière synthétique. Etant donné que le traitement s'effectue en continu, l'installation peut être combinée avec d'autres traitements mécaniques, physiques ou chimiques à ces matériaux.

Claims (6)

Revendications
1. Procédé de traitement en continu d'un matériau allongé dans une enceinte de traitement contenant une atmosphère contrôlée à une pression inférieure à la pression atmosphérique, caractérisé en ce que l'on fait pénétrer ce matériau dans l'enceinte, ou on l'en extrait, en le faisant traverser un conduit tubulaire ouvert à ses deux extrémités, la première extrémité étant connectée à ladite enceinte et la seconde extrémité étant ouverte, et en ce que l'on connecte ce conduit d'une part à une pompe à vide au moyen d'un premier embranchement de dérivation disposé entre la première et la seconde extrémité du conduit et d'autre part à une source de gaz neutre au moyen d'un second embranchement de dérivation disposé entre la première extrémité du conduit et ledit premier embranchement de dérivation.
2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'on injecte de l'argon dans ledit conduit à travers ledit second embranchement de dérivation.
3. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que ledit traitement en continu est un traitement de dépôt sous vide d'une substance sur un matériau en forme de bande ou de fil.
4. Dispositif de traitement en continu d'un matériau allongé dans une enceinte de traitement permettant d'établir le contrôle de l'atmosphère à une pression inférieure à la pression atmosphérique, pour la mise en œuvre du procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte un conduit tubulaire (11) ouvert à ses deux extrémités, la première extrémité (12) étant connectée à ladite enceinte (10) et la seconde extrémité (13) étant ouverte, et en ce que ce conduit (11) est raccordé d'une part à une pompe à vide au moyen d'un premier embranchement de dérivation (15) disposé entre la première et la seconde extrémité du conduit, et d'autre part à une source de gaz neutre au moyen d'un second embranchement de dérivation (16), ce second embranchement de dérivation étant situé entre la première extrémité (12) du conduit (11) et le premier embranchement de dérivation (15).
5. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que la source de gaz neutre est un réservoir d'argon et en ce que l'enceinte de traitement (10) est agencée pour assurer un dépôt sous vide d'une substance sur le matériau allongé (14).
6. Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce que la pompe à vide est agencée pour engendrer un courant circulant dans le conduit (18) du deuxième embranchement de dérivation (16) vers le premier embranchement de dérivation (15), ce courant ayant un débit suffisant pour compenser au moins partiellement un courant de fuite circulant de la seconde extrémité ouverte (13) du conduit (11) vers sa première extrémité (12) connectée à l'enceinte (10).
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CH174090A 1990-05-22 1990-05-22 Procédé de traitement en continu d'un matériau allongé dans une enceinte de traitement, et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procédé. CH683662B5 (fr)

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