CH679878A5

CH679878A5 - Electronic components mounting device for lead frame strips

Info

Publication number: CH679878A5
Application number: CH72388A
Authority: CH
Inventors: Martin Imlig
Original assignee: Esec Sa
Priority date: 1988-02-26
Filing date: 1988-02-26
Publication date: 1992-04-30

Description

Die Erfindung betrifft eine Klemmvorrichtung mit einem Klemmelement für flächige, metallene Werkstücke, wobei das Klemmelement zwei Gehäuseteile sowie einen dazwischen angeordneten Klemmkörper umfasst und wobei das eine Gehäuseteil sowie der Klemmkörper an dem einen Ende mit im Abstand und korrespondierend zueinander angeordneten Klemmflächen versehen sind, welche Klemmflächen zum Halten des einzelnen zu einer Bearbeitungsstation zu transportierenden Werkstücks zusammenpressbar und wieder lösbar sind.

Bei der Automatisierung von Bewegungs- und Bearbeitungsabläufen, insbesondere in Verbindung mit einer Zuführvorrichtung zum Transport relativ dünner (Grössenordnung 0,1 bis 2,0 mm), streifenartiger, metallener Systemträger, sind entsprechend ausgebildete Klemmelemente erforderlich, welche auch bei verhältnismässig hoher Geschwindigkeit eine taktweise, exakt ausgerichtete und lagestabile Zuführbewegung des einzelnen Systemträgers zu einer Bearbeitungs- oder Bondstation gewährleisten. Die bisher bekannt gewordenen Klemmelemente entsprechen nicht den im Zusammenhang mit derartigen Zuführvorrichtungen gestellten Anforderungen. Die Aufgabe der Erfindung ist daher im wesentlichen in der Schaffung eines den vorstehenden Anforderungen entsprechenden Klemmelements zu sehen.

Gemäss der Erfindung wird diese Aufgabe dadurch gelöst, dass an dem anderen Ende die beiden Gehäuseteile unter Lagerungsaufnahme eines den Klemmkörper federelastisch haltenden Federelements miteinander wirkverbunden sind und dass zwischen den beiden Gehäuseteilen und dem Klemmkörper elektromagnetisch, pneumatisch oder hydraulisch betätigbare Druckelemente angeordnet sind, mittels welcher gegen die federelastische Rückstellkraft des Federelements eine auf die Klemmflächen wirkende Klemmkraft erzeugbar ist.

Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung in Verbindung mit der Zeichnung und den Patentansprüchen.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachstehend anhand der Zeichnung beschrieben. Es zeigt:

Fig. 1 ein schematisch und in perspektivischer Ansicht dargestelltes Teilstück einer mit mehreren Klemmelementen versehenen Vorrichtung zum Transportieren flächiger Werkstücke,
Fig. 2 ein erstes, in Ansicht dargestelltes Ausführungsbeispiel eines Klemmelements,
Fig. 3 ein zweites, in Ansicht dargestelltes Ausführungsbeispiel des Klemmelements,
Fig. 4 einen in Schnittansicht dargestellten Ausschnitt des durch einen Kreis A bezeichneten vorderen Bereichs des zweiten Klemmelements gemäss Fig. 3,
Fig. 5 das in grösserem Massstab und in Schnittansicht dargestellte Klemmelement gemäss Fig. 2,
Fig. 6 eine in Schnittansicht dargestellte, dem feststehenden Klemmelement entsprechend zugeordnete Positioniervorrichtung,
Fig. 7 die gemäss Pfeilrichtung B in Fig.

6 in Ansicht dargestellte Positioniervorrichtung mit dem Klemmelement gemäss Fig. 2 und 5,
Fig. 8 die gemäss Fig. 7 in Draufsicht und in kleinerem Massstab dargestellte Positioniervorrichtung und
Fig. 9 eine in Stirnansicht gemäss Pfeilrichtung C in Fig. 5 dargestellte Ausführungsvariante der zueinander angeordneten Klemmflächen für eines der Klemmelemente gemäss Fig. 2 oder 3.

In Fig. 1 ist zur Verdeutlichung der Erfindung als allgemeine Übersicht und in perspektivischer Ansicht eine in der Gesamtheit mit 50 bezeichnete Zuführvorrichtung schematisch dargestellt, welche zum Transport streifenartig ausgebildeter Werkstücke zu einer Bearbeitungsstation ausgebildet ist. Bei dem schematisch dargestellten Werkstück handelt es sich beispielsweise um einen sogenannten, an sich bekannten metallenen Systemträger 1 (leadframe strips), welcher zum Bestücken mit nicht dargestellten, elektronischen Komponenten oder zur Bildung (BONDEN) von entsprechenden Schaltungen exakt ausgerichtet der Bearbeitungsstation, beispielsweise einer nicht näher dargestellten Bondstation zugeführt wird.

Die Vorrichtung 50 umfasst im wesentlichen einen aus einer Grundplatte 46 und einem senkrecht darauf angeordneten und befestigten Steg 47 gebildeten Hauptträger 45, einen elektromotorischen Antrieb 8, eine Führungseinheit 9, ein Trägerglied 48, ein Auflageteil 49 sowie eine Anzahl im Abstand zueinander angeordnete Klemmelemente. Die Klemmelemente sind insbesondere zum Erfassen, Halten und Transportieren des Systemträgers 1 bei der Zuführbewegung zur Bondstation ausgebildet, wobei die Zuführbewegung etwa der im Koordinatensystem K (Fig. 1) mit Pfeilrichtung X min angegebenen Richtung erfolgt. Die in Pfeilrichtung X min orientierte Zuführbewegung weicht in der Seite und Ebene unter einem extrem spitzen Winkel alpha gegenüber der mit Pfeilrichtung X bezeichneten Koordinate ab.

Die im Abstand zueinander angeordneten Klemmelemente unterscheiden sich im wesentlichen durch eine Anzahl mit dem in Pfeilrichtung X min verstell- oder verschiebbaren Trägerglied 48 in Wirkverbindung stehende Klemmelemente 2, 4 und 6 usw. sowie durch eine Anzahl am Steg 47 befestigte, feststehende Klemmelemente 3, 5 und 7 usw., wobei die in Pfeilrichtung X min verstell- oder verschiebbaren Klemmelemente 2, 4, 6 usw. eine erste Gruppe und die feststehenden Klemmelemente 3, 5, 7 usw. eine zweite Gruppe Klemmelemente bilden. Die einzelnen Klemmelemente der ersten und zweiten Gruppe sind über ein nicht dargestelltes Leitungssystem mit einer Druck- oder Energiequelle wirkverbunden. In Fig. 2 ist als Ausführungsbeispiel eine mit Leitungen 61, 62 am Klemmelement 3 angeschlossene Druck- oder Energiequelle 60 schematisch dargestellt.

Der spezielle, konstruktive Aufbau der Klemmelement-Ausführungsbeispiele wird nachstehend anhand der Fig. 2 bis 7 beschrieben:

Fig. 2 zeigt als Ausführungsbeispiel das in Ansicht dargestellte und in seiner Gesamtheit mit 3 bezeichnete Klemmelement der zweiten Gruppe, und man erkennt ein erstes Gehäuseteil 10, ein zweites Gehäuseteil 20 sowie einen zwischen den beiden Gehäuseteilen 10, 20 angeordneten Klemmkörper 30. Das Klemmelement 3 ist mit nicht dargestellten Mitteln, vorzugsweise durch eine Schraubverbindung lösbar auf dem Steg 47 des Hauptträgers 45 befestigt.

In Fig. 5 ist das Klemmelement 3 in grösserem Massstab und in Schnittansicht dargestellt, und man erkennt das erste Gehäuseteil 10, welches eine Gehäusewand 13 aufweist, in welcher auf der dem Klemmkörper 30 zugewandten Innenseite eine im wesentlichen taschenartig ausgebildete Vertiefung 12 für ein Zwischenstück 15 vorgesehen ist. An dem einen Ende des Gehäuseteils 10 ist zum Anschliessen der Medium-Leitung 62 (Fig. 2) eine entsprechend ausgebildete \ffnung 11 vorgesehen.

Das in der Vertiefung 12 des Gehäuseteils 10 angeordnete Zwischenstück 15 hat eine das Zwischenstück 15 durchdringende Bohrung 16 min sowie einen Kanal 16, welcher über eine im Gehäuseteil 10 vorgesehene Bohrung 11 min mit der \ffnung 11 in Verbindung steht. Auf der dem Klemmkörper 30 zugewandten Seite ist an dem Zwischenstück 15 ein erstes Membranteil 18 angeordnet. Das Membranteil 18 ist in einer nicht bezeichneten, im Zwischenstück 15 vorgesehenen Ausnehmung oder Vertiefung angeordnet und mit nicht dargestellten Mitteln gehalten.

Das zweite Gehäuseteil 20 hat einen Boden 20 min , in welchem eine erste Ausnehmung oder Vertiefung 23 sowie eine zweite Ausnehmung oder Vertiefung 22 angeordnet ist. In der zweiten, taschenartig ausgebildeten Vertiefung 22 ist ein zweites, mit einem Kanal 26 und Bohrung 26 min versehenes Zwischenstück 25 angeordnet. Der Kanal 26 steht über eine auf der einen Seite im Gehäuseteil 20 vorgesehene Bohrung 21 min mit einer entsprechend zugeordneten \ffnung 21 in Verbindung. Die \ffnung 21 ist ebenfalls wie die \ffnung 11 im Gehäuseteil 10 zum Anschliessen der Medium-Leitung 61 (Fig. 2) ausgebildet. Auf der anderen, der \ffnung 21 gegenüberliegenden Seite des Gehäuseteils 20 ist ein Steg 24 vorgesehen, welcher auf der dem Klemmkörper 30 zugewandten Seite als erste, hier nicht näher dargestellte Klemmfläche 24 min ausgebildet ist.

An der dem Klemmkörper 30 zugewandten Seite ist dem Zwischenstück 25 ein zweites Membranteil 19 zugeordnet. Das Membranteil 19 ist ebenfalls in einer nicht bezeichneten, im Zwischenstück 25 vorgesehenen Ausnehmung oder Vertiefung angeordnet und mit nicht dargestellten Mitteln gehalten.

Der zwischen den beiden Gehäuseteilen 10 und 20 angeordnete Klemmkörper 30 hat einen auf der Oberfläche 23 min des Bodens 20 min aufliegenden ersten Schenkel 28, einen an dem einen Ende des Schenkels 28 angeformten, etwa senkrechten Steg 29 sowie einen am Steg 29 angeformten zweiten Schenkel 28 min min . Der zweite Schenkel 28 min min ist im vorderen Bereich mit einer hier nicht näher dargestellten zweiten Klemmfläche 28 min versehen, welche mit der am Steg 24 des Gehäuseteils 20 angeordneten ersten Klemmfläche 24 min korrespondiert. Am anderen Ende des Schenkels 28 ist ein Federelement 27, beispielsweise ein federelastisch wirkender Blechstreifen oder dergleichen angeordnet und in nicht näher dargestellter Weise am Schenkel 28 befestigt.

Das Federelement 27 liegt mit dem freien Ende auf einem Teilstück 20 min min des Gehäuseteils 20 und ist durch Zuordnung eines entsprechend ausgebildeten Klemmteils 14 zwischen den beiden, durch eine nicht dargestellte Schraubverbindung miteinander fest verbundenen Gehäuseteilen 10 und 20 eingeklemmt.

Unter Verwendung geeigneter Mittel, beispielsweise durch die membranartig ausgebildeten Teile 18, 19 (Fig. 4, 5) oder durch nicht dargestellte, balgartig ausgebildete Druckmittel ist der Klemmkörper 30 gegen die Rückstellkraft des Federelements 27 zwischen den beiden im vorderen Bereich durch einen spaltartigen Raum S im Abstand zueinander angeordneten Gehäuseteilen 10 und 20 entsprechend dem Raum S in Richtung der Klemmbewegung frei anhebbar beweglich, so dass die beiden Klemmflächen 24 min und 28 min durch eine entsprechende pneumatische oder hydraulische Betätigung des Klemmkörpers 30 zum Halten des metallenen Systemträgers zusammengepresst oder aber zur Freigabe des Systemträgers 1 auseinander gedrückt werden können.

Fig. 3 zeigt als Ausführungsbeispiel der ersten Gruppe das in Ansicht dargestellte Klemmelement 2, und man erkennt ein mit 110 bezeichnetes erstes Gehäuseteil, ein mit 120 bezeichnetes zweites Gehäuseteil sowie einen Klemmkörper 130. Das Klemmelement 2 ist abweichend von dem Klemmelement 3 gemäss Fig. 2 mit nicht dargestellten Mitteln lösbar auf dem in Pfeilrichtung X min verschiebbaren Trägerglied 48 befestigt.

Der konstruktive Aufbau des Klemmelements 2 gemäss Fig. 3 entspricht im wesentlichen dem konstruktiven Aufbau des vorstehend anhand von Fig. 5 im einzelnen beschriebenen Klemmelements 3, so dass an dieser Stelle lediglich die konstruktiven Abweichungen im vorderen Bereich des Klemmelements 2 in bezug zu dem Klemmelement 3 beschrieben werden.

In Fig. 4 ist der vordere, in Fig. 3 durch einen Kreis A bezeichnete Bereich des Klemmelements 2 in Schnittansicht und in grösserem Massstab dargestellt, und man erkennt das erste Gehäuseteil 110 mit dem darin angeordneten Zwischenstück 15 und zugeordnetem Membranteil 18, das zweite Gehäuseteil 120 mit dem darin angeordneten Zwischenstück 25 und zugeordnetem Membranteil 19 sowie den zwischen den beiden durch eine nicht dargestellte Schraubverbindung miteinander verbundenen Gehäuseteilen 110, 120 angeordneten Klemmkörper 130. Abweichend von dem Klemmelement 3 ist bei diesem Ausführungsbeispiel der Schenkel 128 min min des Klemmkörpers 130 und entsprechend der Boden 120 min des Gehäuseteils 120 kürzer ausgebildet.

Weiterhin erkennt man in Fig. 4 den Steg 124 mit der Klemmfläche 124 min des Gehäuseteils 120 sowie die korrespondierend dazu am Schenkel 128 min min des Klemmkörpers 130 angeordnete Klemmfläche 128 min .

Der im wesentlichen auf der Arbeits- und Wirkungsweise basierende, im vorderen Bereich vorgesehene Ausgestaltungs-Unterschied der ersten Gruppe Klemmelemente 2, 4, 6 usw. in bezug zu der zweiten Gruppe Klemmelemente 3, 5, 7 ist darin zu sehen, dass den feststehenden Klemmelementen 3, 5, 7 usw. der Systemträger 1 von den mobilen Klemmelementen 2, 4, 6 usw. bewusst und beabsichtigt in einer geringen, in der Seite und Ebene unter dem im mu -Bereich liegenden Winkel alpha versetzten Schräglage gemäss Pfeilrichtung X min zugeführt wird und mittels einer, jeweils den feststehenden Klemmelementen 3, 5, 7 usw. entsprechend zugeordneten und ausgebildeten Positioniervorrichtung ausgerichtet werden müssen.

Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist den feststehenden Klemmelementen 3, 5, 7 usw. jeweils eine in der Gesamtheit mit 100 bezeichnete Positioniervorrichtung zugeordnet, welche nachstehend anhand der Fig. 6, 7 und 8 beschrieben wird:

In Fig. 6 ist in Schnittansicht die Positioniervorrichtung 100 dargestellt, und man erkennt das mit nicht dargestellten Mitteln auf dem Steg 47 des Hauptträgers 45 lösbar befestigte Klemmelement 3 mit den beiden teilweise darge stellten Gehäuseteilen 10, 20 und den Klemmkörper 30. Die Positioniervorrichtung 100 umfasst im wesentlichen ein Positionierelement 40, ein Halteteil 55, ein Zwischenstück 35 mit zugeordnetem Membranteil 38, ein Federelement 37 sowie ein Haltestück 33. Das in Fig. 6 membranartig ausgebildete Druckelement 38 kann auch in nicht näher dargestellter Weise balgartig ausgebildet sein.

Das Positionierelement 40 hat ein plattenartig ausgebildetes Teilstück 42, an welchem an dem einen Ende das beispielsweise aus einem federelastisch wirkenden Blechstreifen oder dergleichen bestehende Federelement 37 angeordnet und mit nicht dargestellten Mitteln befestigt ist. Das an einem entsprechend zugeordneten Zwischenstück 34 (Fig. 6) anliegende und mit dem Positionierelement 40 wirkverbundene Federelement 37 ist mittels dem Haltestück 33 und einer nicht näher dargestellten Schraubverbindung lösbar am Steg 47 des Hauptträgers 45 befestigt. An dem anderen Ende des etwa gabelartig ausgebildeten Positionierelements 40 sind zwei im Abstand zueinander angeordnete Schenkel 41, 41 min vorgesehen, zwischen welchen, wie in Fig. 7 dargestellt, das Klemmelement 3 angeordnet ist.

Im oberen Bereich ist an dem Schenkel 41 eine Gleitfläche 39 und an dem Schenkel 41 min eine Gleitfläche 39 min vorgesehen, wobei die beiden Gleitflächen 39, 39 min entsprechend geneigt ausgebildet sind.

Das im Profilquerschnitt und in Draufsicht (Fig. 8) etwa U-förmig ausgebildete Halteteil 55 hat eine Frontplatte 56, zwei im Abstand zueinander angeordnete Stege 58, 58 min sowie eine zwischen den beiden Stegen 58, 58 min vorgesehene Ausnehmung 57. In der in Fig. 7 teilweise aufgebrochen dargestellten Stirnansicht gemäss Pfeilrichtung B in Fig. 6 ist das zwischen den Stegen 58, 58 min in der Ausnehmung 57 angeordnete Teilstück 42 des Positionierelements 40 dargestellt, und man erkennt weiterhin das Federelement 37 sowie das Haltestück 33. An der Innenseite der Frontplatte 56 ist eine Druckfeder 44 angeordnet und mit nicht dargestellten Mitteln gehalten, welche Druckfeder 44 mit dem freien Ende in einer Ausnehmung 43 des Teilstücks 42 angeordnet ist und im wesentlichen auf das Positionierelement 40 wirkt (Fig. 6).

Das Halteteil 55 ist vorzugsweise einstückig ausgebildet und mittels einer nicht näher dargestellten Schraubverbindung an dem Steg 47 des Hauptträgers 45 lösbar befestigt.

In dem Steg 47 ist, wie in Fig. 6 dargestellt, eine taschenartig ausgebildete Ausnehmung 52 vorgesehen, in welche das mit einem Kanal 36 und Bohrung 36 min versehene Zwischenstück 35 angeordnet ist. Der Kanal 36 steht mit einer im Steg 47 vorgesehenen Bohrung 51 in Verbindung, wobei die Bohrung 51 zum Anschliessen einer nicht dargestellten Medium-Leitung ausgebildet ist. Auf der dem Teilstück 42 zugewandten Seite, in einer nicht näher bezeichneten Ausnehmung des Zwischenstücks 35 ist das Membranteil 38 angeordnet und mit nicht dargestellten Mitteln gehalten.

Fig. 7 zeigt die gemäss Pfeilrichtung B (Fig. 6) in Ansicht und teilweise aufgebrochen dargestellte Positioniervorrichtung 100, und man erkennt im wesentlichen das zwischen den beiden Stegen 41, 41 min angeordnete Klemmelement 3, das zwischen den beiden Stegen 58, 58 min des Halteteils 55 in der Ausnehmung 57 angeordnete Teilstück 42 des Positionierelements 40 sowie das mit nicht dargestellten Mitteln am Steg 47 des Hauptträgers 45 (nicht dargestellt) befestigte Haltestück 33.

In Fig. 8 ist die Positioniervorrichtung 100 in kleinerem Massstab und in Draufsicht dargestellt, und man erkennt das Halteteil 55, den Steg 47 mit dem darauf angeordneten Klemmelement 3, welches mit dem Klemmkörper 30 zwischen den beiden kufenartig ausgebildeten Stegen 41, 41 min des Positionierelements 40 angeordnet ist. Die Klemmfläche 28 min des Gehäuseteils 20 sowie die korrespondierende Klemmfläche 24 min haben, wie in Fig. 8 dargestellt, in Transportrichtung X min gesehen etwa die gleiche Breite wie das Aussenmass der beiden im Abstand zueinander angeordneten und mit den Gleitfächen 39, 39 min versehenen Stege 41, 41 min des Positionierelements 40.

Fig. 9 zeigt in Stirnansicht gemäss Pfeilrichtung C in Fig. 5 als Ausführungsvariante die mit beidseitig angeformten Gleitflächen 32, 32 min versehene und am Steg 24 des Gehäuseteils 20 vorgesehene Klemmfläche 24 min sowie die korrespondierende Klemmfläche des Klemmkörpers 30. Die Klemmfläche 28 min des Klemmkörpers 30 ist bei dieser Variante in Transportrichtung gesehen durch eine Ausnehmung 31 min min in zwei Teilstücke 228, 228 min unterteilt und hat beidseitig angeformte, kufenartig ausgebildete Gleitflächen 31, 31 min . Der mit entsprechenden Teilstücken versehene Klemmkörper 130 ist analog dem Klemmkörper 30 ausgebildet.

An dieser Stelle sei darauf hingewiesen, dass die membranartig ausgebildeten und pneumatisch oder hydraulisch ansteuerbaren Druckelemente 18, 19 und 38 der Klemmelemente 2, 4, 6 usw. und 3, 5, 7 usw. sowie der Positioniervorrichtung 100 auch durch elektromagnetische, nicht dargestellte Spulenkörper unter entsprechender Ausgestaltung der Gehäuseteile ersetzt werden können.

Claims

1. Klemmvorrichtung mit einem Klemmelement für flächige, metallene Werkstücke (1), wobei das Klemmelement zwei Gehäuseteile (10, 20; 110, 120) sowie einen dazwischen angeordneten Klemmkörper (30; 130) umfasst und wobei das eine Gehäuseteil sowie der Klemmkörper an dem einen Ende mit im Abstand und korrespondierend zueinander angeordneten Klemmflächen (24 min , 28 min ; 124, 128 min ) versehen sind, welche Klemmflächen zum Halten des einzelnen zu einer Bearbeitungsstation zu transportierenden Werkstücks (1) zusammenpressbar und wieder lösbar sind, dadurch gekennzeichnet, dass an dem anderen Ende die beiden Gehäuseteile (10, 20; 110, 120) unter Lagerungsaufnahme eines den Klemmkörper (30; 130) federelastisch haltenden Federelements (27) miteinander wirkverbunden sind und dass zwischen den beiden Gehäuseteilen (10, 20;

110, 120) und dem Klemmkörper (30, 130) elektromagnetisch, pneumatisch oder hydraulisch betätigbare Druckelemente (18, 19) angeordnet sind, mittels welcher gegen die federelastische Rückstellkraft des Federelements (27) eine auf die Klemmflächen (24 min , 28 min ; 124 min , 128 min ) wirkende Klemmkraft erzeugbar ist.

2. Klemmvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass im Bereich der Klemmflächen (24 min , 124 min ) des Gehäuseteils (20; 120) und der Klemmflächen (28 min , 128 min ) des Klemmkörpers (30; 130) eine Positioniervorrichtung (100) vorgesehen ist, mit welcher eine etwa orthogonal zu der Klemmbewegung orientierte Ausrichtbewegung des zwischen den Klemmflächen (24 min , 28 min ; 124, 128 min ) klemmbaren Werkstücks (1) durchführbar ist.

3.

Klemmvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den Gehäuseteilen (10, 20; 110, 120) ein spaltartiger Raum (S) zur Lagerungsaufnahme des von den Druckelementen (18, 19) betätigbaren Klemmkörpers (30; 130) vorgesehen ist, wobei der spaltartige Raum (S) grösser als die Dicke des Klemmkörper-Schenkels (28) ausgebildet ist.

4. Klemmvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der mit dem Schenkel (28) in dem spaltartigen Raum (S) zwischen den beiden Gehäuseteilen (10, 20; 110, 120) angeordnete Klemmkörper (30; 130) an dem einen Ende mit dem Federelement (27) an einem der beiden oder zwischen den beiden Gehäuseteilen (10, 20; 110; 120) gelagert ist.

5.

Klemmvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Gehäuseteile (10, 20; 110, 120) an eine Druckquelle (60) angeschlossen sind, mittels welcher die mit dem Klemmkörper (30; 130) in Wirkverbindung stehenden Druckelemente (18, 19) betätigbar sind.

6. Klemmvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die jeweils auf den Schenkel (28) des Klemmkörpers (30, 130) wirkenden Druckelemente (18, 19) als Membrane oder als Balgkörper ausgebildet und über ein in den Gehäuseteilen (10, 20; 110, 120) angeordnetes Kanalsystem (11, 11 min , 16, 16 min ; 21, 21 min , 26, 26 min ) mit der pneumatischen oder hydraulischen Druckquelle (60) wirkverbunden sind.

7.

Klemmvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem einen Gehäuseteil (10; 110) und dem Klemmkörper (30; 130) oder zwischen dem anderen Gehäuseteil (20; 120) und dem Klemmkörper (30; 130) ein zur Durchführung der Klemm- oder \ffnungsbewegung ausgebildeter elektromagnetischer Spulenkörper angeordnet ist.

8. Klemmvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die am Klemmkörper (30) vorgesehene Klemmfläche (28 min ) durch eine Ausnehmung (31 min min ) in zwei Klemmflächen-Teilstücke (228, 228 min ) unterteilt und diese Teilstücke jeweils mit dazu geneigten Gleitflächen (31, 31 min ) versehen sind, wobei die korrespondierende Klemmfläche (24 min ) des zweiten Gehäuseteils (20) als ebene Fläche mit dazu geneigten, seitlichen Gleitflächen (32, 32 min ) versehen ist.

9.

Klemmvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Positioniervorrichtung (100) ein Positionierelement (40) aufweist, welches gegen die Rückstellkraft eines weiteren, an dem einen Ende angeordneten und gehaltenen Federelements (37) quer zur Klemmbewegung bewegbar ist, und dass das Positionierelement (40) zwei im Abstand zueinander angeordnete Schenkel (41, 41 min ) aufweist, welche im Bereich der Klemmflächen (24 min , 28 min ; 124 min , 128 min ) des Gehäuseteils (20; 120) und Klemmkörpers (30, 130) angeordnet und mit in Transportrichtung des Werkstücks (1) orientierten und geneigt ausgebildeten Gleitflächen (39, 39 min ) versehen sind.

10.

Klemmvorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass dem Positionierelement (40) mindestens ein als Membrane oder Balgkörper ausgebildetes und über ein Kanalsystem (51, 36, 36 min ) mit der Druckquelle (60) wirkverbundenes sowie gegen die Rückstellkraft des Federelements (37) betätigbares Druckelement (38) zugeordnet ist.