CH672376A5 - - Google Patents

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CH672376A5
CH672376A5 CH279386A CH279386A CH672376A5 CH 672376 A5 CH672376 A5 CH 672376A5 CH 279386 A CH279386 A CH 279386A CH 279386 A CH279386 A CH 279386A CH 672376 A5 CH672376 A5 CH 672376A5
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
projection surface
image
detector
plane
sharpness
Prior art date
Application number
CH279386A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Michael Wessner
Bernhard F Dr Gaechter
Original Assignee
Wild Heerbrugg Ag
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Publication date
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Priority to DE19863634609 priority patent/DE3634609A1/de
Priority to PCT/CH1986/000167 priority patent/WO1988000720A1/de
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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
    • G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
    • G03F9/7003—Alignment type or strategy, e.g. leveling, global alignment
    • G03F9/7023—Aligning or positioning in direction perpendicular to substrate surface
    • G03F9/7026—Focusing

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automatic Focus Adjustment (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
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PCT/CH1986/000167 WO1988000720A1 (en) 1986-07-12 1986-12-01 Process and device for fine focussing an image on a projection surface

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WO1988000720A1 (en) 1988-01-28
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