CH619335B5

CH619335B5 -

Info

Publication number: CH619335B5
Application number: CH519574A
Authority: CH
Inventors: Kikuo Oguchi; Akio Shimoi; Toshiaki Ogata
Original assignee: Suwa Seikosha Kk
Priority date: 1973-04-16
Filing date: 1974-04-16
Publication date: 1980-09-30
Also published as: US3969641A; CH519574A4; FR2229167B1; JPS5241109B2; GB1460637A; JPS502488A; CH586422B5; CH619574A4; JPS5011393A; GB1460636A; CH742974A4; FR2225880B1; FR2225880A1; GB1460640A; FR2229167A1; CH601945A5; JPS49131088A; GB1460638A; FR2232137A1; FR2232137B1

Description

La présente invention concerne un vibreur à cristal de quartz travaillant à la flexion, pour appareil horométrique.

Récemment, les montres-bracelets électroniques ont subi un , développement remarquable, et, en particulier, les montres-bracelets à cristal de quartz sont rapidement devenues d'un usage courant. Il va sans dire que les montres-bracelets à cristal de quartz possèdent, comme base de temps, des vibreurs à cristal de quartz, lesquels fonctionnent selon un mode de vibration à la flexion et sont du type à barre à extrémités libres ou du type à diapason. Ces vibreurs actuellement utilisés sont réalisés en coupe X+5" ou en coupe NT lorsqu'ils sont découpés dans un cristal naturel. Pour la fabrication du vibreur, on emploie classiquement un usinage mécanique à l'aide d'une meule coupante à diamant, un usinage supersonique ou un procédé du même genre. Récemment, on a également développé un procédé d'usinage chimique dans lequel la forme du vibreur et les électrodes sont formées par une technique d'attaque photochimique, la coupe NT étant dans ce cas utilisée comme cela est décrit dans l'exposé de brevet japonais N° 48-3575. Chacun des vibrateurs fabriqué selon ces différentes méthodes d'usinage présente des avantages et des désavantages quant à ses dimensions, ses performances et sa facilité ou difficulté de fabrication, et l'on peut dire que le type de vibreur à cristal de quartz le plus favorable pour une montre-bracelet n'a pas encore été trouvé.

Certains vibreurs à cristal de quartz, notamment ceux du type à coupe X +5°, ont l'avantage de pouvoir être facilement connectés à un circuit oscillateur du fait de leur faible impédance dynamique, et de pouvoir fournir, lorsqu'ils sont utilisés dans une montre-bracelet, une base de temps de haute précision du fait que le point d'inflexion de leur caractéristique «température-fréquence de résonance», c'est-à-dire le point de la courbe de cette caractéristique où la fréquence ne varie pas ou varie le moins lorsque se produisent de petites variations de température, se situe fort près de la température ambiante normale. Toutefois, ce type de vibreur présente le désavantage de ne pas pouvoir être fabriqué avec une épaisseur aussi faible qu'un demi-millimètre, et de ne pas pouvoir être fabriqué autrement que par une méthode onéreuse, la méthode par attaque photochimique étant notamment exclue pour ce type de vibreur, et les possibilités de miniaturisation des dimensions étant ainsi relativement limitées.

Certains autres vibreurs à cristal de quartz, notamment ceux du type à coupe NT, ont l'avantage de pouvoir être fabriqués par le procédé avantageux de l'attaque photochimique. Ils ont par contre le désavantage de ne pas présenter un très bon rendement, une éventuelle amélioration de ce rendement ne pouvant par ailleurs se faire qu'au détriment des qualités de stabilité de la fréquence en fonction de la température, c'est-à-dire moyennant un déplacement défavorable du point d'inflexion de la caractéristique «température-fréquence de résonance», au sens précédemment défini pour les vibreurs du type à coupe X+5°.

L'état de l'art antérieur peut être illustré par l'exposé de brevet USA N° 3683213 et l'exposé de brevet allemand N° 1247415. La première de ces publications antérieures concerne un vibreur à cristal de quartz pour pièce d'horlogerie, travaillant à la flexion, et ayant la forme d'un diapason avec une épaisseur de moins de 0,5 mm, chaque branche portant trois sections longitudinales, parallèles, d'électrodes qui forment, pour chaque branche, deux sections marginales et une section centrale.

Ce vibreur antérieur ne présente pas toutefois une orientation 1 le rendant apte à fournir des performances meilleures que celles de vibreurs des types généraux précédemment considérés.

L'autre de ces publications antérieures concerne un vibreur à cristal de quartz travaillant à la flexion et réalisé à partir d'une plaque de cristal de quartz dont le plan de coupe est obtenu, par rapport à celui d'une plaque en coupe X, par une première rotation autour de l'axe X d'un angle situé dans le domaine 0° à 8,5°, et par une deuxième rotation autour d'un axe Y' résultant de la première rotation appliquée à l'axe Y, d'un angle de 60°. L'épaisseur du cristal de quartz était de 0,62 mm.

Cet autre vibreur antérieurement connu, même s'il était défini en fonction d'une orientation particulière de son plan de coupe, n'avait pas une orientation et une constitution permettant une amélioration des différents types de vibreurs précédemment considérés d'une façon générale, amélioration que l'on rechercherait dans le sens d'une réunion des particularités avantageuses des différents types de vibreurs considérés. De plus, les flancs du vibreur selon cette publication antérieure allemande n'étaient pas exempts d'électrodes, ce qui excluait naturellement la réalisation du vibreur sous forme d'une mince plaque.

On note enfin qu'aucun des deux exposés antérieurs précédemment cités ne propose une manière d'appliquer le champ qui, tout en rendant superflue la présence d'électrodes sur les flancs du vibreur, permettrait d'obtenir, pour ce dernier, une impédance convenablement faible, avec encore une bonne caractéristique de température, ceci en dépendance de la coupe permettant ce mode particulier d'application du champ électrique.

Le but de la présente invention est de fournir un vibreur à cristal de quartz travaillant à la flexion, destiné à une application horométrique et en particulier à une application dans le circuit oscillateur d'une montre-bracelet électronique à quartz, et ne présentant pas les inconvénients des vibreurs connus précédemment mentionnés, ce vibreur devant avoir notamment un haut rendement, de très petites dimensions et particulièrement une épaisseur très fine, de bonnes aptitudes à être connecté à un circuit oscillateur, et une constitution lui permettant d'être fabriqué par un procédé avantageux.

Le vibreur à cristal de quartz travaillant à la flexion, conforme à la présente invention, destiné à un appareil horométrique, est caractérisé en ce que les électrodes sont réparties sur les parties vibrantes de la plaque en trois bandes, deux bandes d'électrode disposées au bord et une bande d'électrode disposée au milieu, de façon telle que les électrodes d'une seule surface suffisent à créer

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dans chacune de ces parties des champs électriques faisant fléchir cette partie latéralement, dans une direction parallèle au plan même de cette face, et telle que les champs électriques entre ladite bande d'électrode médiane et lesdites bandes d'électrode de bord sont créés dans la direction opposée l'un à l'autre.

Le dessin annexé illustre, comparativement à des vibreurs à cristal de quartz connus, des formes d'exécution de l'objet de l'invention ; dans ce dessin :

la flg. 1 représente une forme d'exécution d'un vibreur à diapason à cristal de quartz connu, du type à coupe X+5°;

la fig. 2 représente schématiquement la configuration des électrodes de la fig. 1 et illustre le mode de fonctionnement de ce vibreur;

la fig. 3 représente une forme d'exécution d'un vibreur à diapason à cristal de quartz connu du type à coupe NT ;

la fìg. 4 représente schématiquement la configuration des électrodes du vibreur de la fig. 3 et illustre le mode de fonctionnement de ce vibreur;

La fig. 5 représente une forme d'exécution d'un vibreur à diapason à cristal de quartz conforme à l'invention;

la fig. 6 représente schématiquement la configuration des électrodes du vibreur de la fig. 5 et illustre le mode de fonctionnement de ce vibreur;

la fig. 7 représente une autre forme d'exécution d'un vibreur à diapason à cristal de quartz conforme à l'invention, et la fig. 8 représente schématiquement la configuration des électrodes du vibreur de la fig. 7 et illustre le mode de fonctionnement de ce vibreur.

On considérera d'abord, en liaison avec ces fig. 1 à 4, un vibreur à diapason à cristal de quartz travaillant à la flexion et ayant une coupe X + 5vibreur qui peut être fabriqué mécaniquement, et ensuite un vibreur à diapason à cristal de quartz travaillant à la flexion et ayant une coupe NT, ce vibreur-là pouvant être, fabriqué par attaque chimique.

La fig. 1 représente une forme d'exécution d'un vibreur à cristal de quartz en forme de diapason, travaillant à la flexion, d'un type connu pouvant être fabriqué mécaniquement. La fig. 2 représente la configuration des électrodes de ce vibreur, l'angle a représenté à la fig. 1 étant admis comme égal à zéro à la fig. 2 pour en simplifier le dessin. Sur ces figures, on voit un vibreur 1 du type à diapason, travaillant à la flexion et ayant une coupe X + 5 , des électrodes 2 et 3, les axes X, Y et Z, respectivement électrique, mécanique et optique du cristal de quartz étant. également représentés à la fig. 1. Le vibreur à cristal de quartz 1 est formé à partir d'une plaque obtenue quant à son plan de coupe par rotation d'une plaque en coupe Z d'un angle a autour de l'axe X, cet angle a étant situé dans le domaine allant de 0" à 10 et étant en général de 5". En admettant que les électrodes 2 et 3 du vibreur reçoivent respectivement des tensions positive et , négative, des champs électriques correspondant à ce que montrent les flèches incurvées de la fig. 2 se trouvent établis dans le cristal de quartz. Les composantes transversales de ces champs, c'est-à-dire les composants de ces champs dans la direction de l'axe électrique X provoquent une contrainte dans le cristal de quartz. Dans une même branche du diapason, les composantes selon l'axe X des champs électriques ont différentes directions du côté droit et du côté gauche de la branche. Il en résulte qu'une contrainte d'expansion est provoquée d'un côté tandis qu'une contrainte de contraction est provoquée de l'autre côté. Ainsi une vibration symétrique de flexion est engendrée dans le vibreur 1 lorsque les électrodes reçoivent un signal de tension alternative. L'avantage de ce type de vibreur réside en ce qu'il peut être aisément connecté à un circuit oscillateur du fait de sa faible impédance dynamique, et en ce qu'il est apte à fournir une base de temps de haute précision lorsqu'il est utilisé dans une montre-bracelet du fait que son point d'inflexion de courbe de température, c'est-à-dire le point de sa caractéristique «température-fréquence de résonance» où la fréquence ne varie pas ou varie le moins pour de petites variations de température, se situe au voisinage de la température ambiante normale. Par contre, ce type dé vibreur présente le désavantage, clairement visible au dessin, de nécessiter des électrodes latérales dont la disposition requiert un processus d'usinage divisé lors de la fabrication. En conséquence, il est impossible de donner au vibreur une épaisseur d'un demi-millimètre ou moins, et, lorsque la plaque fine de cristal de quartz doit être coupée selon une forme de diapason, aucun processus autre qu'un processus mécanique utilisant une meule coupante à diamant, un usinage à ultra-sons ou un autre usinage du même genre ne peut être utilisé, et il est notamment impossible d'appliquer le procédé par attaque photochimique. Une réduction des dimensions de ce type de vibreur se heurte donc à certaines limites.

La fig. 4 représente une forme d'exécution d'un vibreur à cristal de quartz à diapason, travaillant à la flexion et ayant une coupe NT, ce vibreur pouvant être fabriqué par la méthode connue d'attaque photochimique. La fig. 4 montre la configuration des électrodes du vibreur de la fig. 3. Sur la fig. 3, l'épaisseur du diapason est représentée à une mesure plus grande que sa mesure réelle en comparaison avec la largeur des branches du diapason, et par ailleurs, l'angle a visible à la fig. 3 est admis sur la fig. 4 comme étant égal à 0' afin de simplifier l'illustration. Sur ces figures, on voit un vibreur 4 à diapason à cristal de quartz ayant une coupe NT et travaillant à la flexion, une électrode 5 intérieure sur la face supérieure et extérieure sur la face intérieure et une électrode 6 extérieure sur la face supérieure et intérieure sur la face inférieure. Les connexions entre les sections d'électrode situées sur la face supérieure et les sections d'électrode situées sur la face inférieure sont réalisées extérieurement au vibreur, la face inférieure n'étant du reste pas visible sur la fig. 3. On voit également sur cette dernière les axes X, Y et Z, respectivement électrique, mécanique et optique du cristal de quartz. Le vibreur est formé dans une plaque obtenue, quant à son plan de coupe, par rotation d'une plaque en coupe X tout d'abord d'un angle a autour de l'axe X et ensuite d'un angle ß autour d'un axe Y', lequel est un axe imaginaire établi par rotation de l'axe Y de l'angle a autour de l'axe X. L'angle a est choisi dans le domaine allant de O" à 10' et l'angle ß dans le domaine allant de 50 à 70 ou de —50' à —70'. Comme cela est clairement visible au dessin, ce type de vibreur ne comporte pas d'électrodes latérales, de sorte qu'il peut être formé d'une très fine plaque de cristal de quartz. En conséquence, il présente l'avantage qui consiste en ce que sa forme de diapason, de même que la forme des électrodes, peuvent être formées par la méthode de fabrication chimique faisant appel à la technique d'attaque photochimique, chose qui permet de réaliser un vibreur de petites dimensions et surtout un vibreur ultra-fin. Ce vibreur présente par contre certains désavantages, notamment en ce qui concerne son rendement, qui peuvent s'expliquer de la manière suivante : Si l'on admet que les électrodes 5 et 6 reçoivent respectivement une tension positive et une tension négative, on voit que des champs électriques s'établissent à l'intérieur du cristal de quartz, comme le montrent les flèches 7 et 8 sur la fig. 4. Les composantes 9 et 10, dans la direction de l'axe électrique X, provoquent des contraintes dans le cristal de quartz et engendrent une flexion symétrique des branches du diapason qui, comme celui des fig. 1 et 2, se met à vibrer si l'on applique aux électrodes un signal de tension alternative. Toutefois, les champs effectifs 9 et 10 sont extrêmement petits comparativement aux champs 7 et 8 correspondant aux tensions appliquées aux électrodes, les composantes qui sont efficaces pour provoquer la flexion étant égales seulement à la valeur des champs provoqués par l'application de la tension multipliée par le cosinus de l'angle ß. L'impédance dynamique du vibreur se trouve donc élevée. Cette impédance dynamique croît de manière inversement proportionnelle à cos2ß, comme le montrent aussi bien le calcul que l'expérience. L'inverse du carré de ce cosinus est égal approximativement à 8,5 lorsque ß est un angle de 70 par

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rapport à une plaque de coupe X, il devient égal à 15 lorsque cet angle est de 75°, et il prend une valeur infinie lorsque cet angle est de 90°. Etant donné que le point d'inflexion de température de la caractéristique «température-fréquence de résonance» se déplace vers le haut pour une augmentation de l'angle ß et vers le bas pour une diminution de l'angle ß, la position de ce point d'inflexion relativement à la température est cantonnée à une valeur relativement basse puisque l'angle ß est généralement établi à 70° ou moins, afin que l'impédance dynamique ne devienne pas par trop élevée, conformément à ce qui a été précédemment mentionné. Ainsi, bien qu'il soit avantageux du point de vue de la réduction des dimensions et de la production en masse, le vibreur à coupe NT n'est pas adéquat pour des pièces d'horlogerie étant donné qu'il présente une impédance dynamique trop haute tandis que le point d'inflexion de sa caractéristique «température-fréquence de résonance» est défavorablement bas.

De ce qui vient d'être expliqué en détail, on retient que le vibreur connu à coupe X + 5° a l'avantage d'avoir une impédance dynamique basse et un point de relative stabilité de fréquence en fonction de la température suffisamment haut, mais qu'il présente le désavantage d'être difficilement réalisable en dimensions réduites, spécialement sous forme très mince, et de ne pas pouvoir être fabriqué par le processus d'attaque photochimique. On retient par ailleurs que le vibreur connu à coupe NT présente l'avantage de pouvoir être aisément rendu très fin et de pouvoir être fabriqué par le processus d'attaque photochimique, mais qu'il présente le désavantage d'avoir une impédance dynamique élevée et un point de relative stabilité de fréquence en fonction de la température situé à une température trop basse.

Classiquement, les coupes X + 5 et NT étaient considérées comme correspondant à deux méthodes de coupe différentes étant donné que les manières de leur appliquer des champs électriques étaient toujours différentes. Cependant, du point de vue de l'angle de coupe, on peut les considérer comme correspondant à des méthodes de coupe presque équivalentes. A vrai dire, leur différence du point de vue angle n'est rien de plus que le fait que l'angle ß est de 90' pour la coupe X + 5 et de 50' à 70' (ou —50'' à —70 ) pour la coupe NT. Ces deux types de coupe correspondent à une même méthode de coupe en ce qui concerne l'angle de coupe, bien qu'ils soient considérés de manière séparée du fait de la différence des agencements d'entraînement électrique qu'ils utilisent. La conception selon l'invention fait appel à une combinaison de ces deux types de vibreur et elle utilise leurs avantages propres pour établir une nouvelle manière d'appliquer le champ électrique.

La fig. 5 représente une forme d'exécution d'un vibreur selon l'invention et la fig. 6 représente la configuration de ses électrodes. L'angle a représenté à la fig. 5 est admis comme étant égal à 0 sur la fig. 6 afin de simplifier l'illustration. Sur ces figures, on voit un vibreur à cristal de quartz 11 du type particulier correspondant à la conception avantageuse proposée, des électrodes 12 et 13 étant disposées sur une seulement des faces du vibreur. L'autre face (face inférieure) n'est munie d'aucune électrode destinée à entretenir la vibration, bien qu'elle puisse être munie d'un film de métal déposé en vue de la fixation du diapason ou d'un film du même genre. Ainsi, la vibration peut être entretenue, détectée, etc., sur une seule surface. La fig. 5 représente les axes X, Y et Z, respectivement électrique, mécanique et optique du cristal de quartz. Le vibreur à cristal de quartz est formé à partir d'une plaque obtenue quant à son plan de coupe par rotation d'une plaque en coupe X, tout d'abord d'un angle a autour de l'axe X et ensuite d'un angle y autour d'un axe Y' qui est un axe imaginaire résultant de la première rotation de l'axe Y selon l'angle a autour de l'axe X. L'angle a est établi dans un domaine allant de 0' à 10" et l'angle y est établi dans un domaine allant de 70' à 90' ou de —70' à —90', domaine dans lequel une caractéristique de température avantageuse est obtenue, ce qui augmente les avantages du vibreur en question (bien que l'angle y soit susceptible d'être aussi, mais d'une manière moins avantageuse du point de vue température, situé dans le domaine correspondant à la coupe NT).

Si l'on admet que les électrodes 12 et 13 reçoivent respectivement une tension positive et une tension négative, on voit que des champs électriques se trouvent établis à l'intérieur du cristal de quartz de la manière représentée par des flèches incurvées sur la fig. 6. Comme les contraintes engendrées sont de direction inverse dans les branches du diapason au voisinage du bord extérieur et au voisinage du bord inférieur, on aura dans ce cas une flexion symétrique des branches du diapason et celui-ci sera excité en vibration si les électrodes reçoivent un signal de tension alternative. Comme, ainsi que cela est visible à la fig. 6, les champs électriques engendrés ont dans la direction de l'axe X une composante beaucoup plus grande que cela n'était le cas dans la forme d'exécution de la fig. 4, l'impédance dynamique se trouve être notablement plus faible que dans le cas de la coupe NT classique à laquelle correspondait la fig. 4. Par ailleurs, comme le vibreur du type en question (fig. 5 et 6) ne nécessite pas d'électrodes latérales sur le vibreur, la plaque de cristal de quartz peut être aussi fine que 0,5 mm ou moins. Ainsi, le processus de fabrication chimique, utilisant la technique d'attaque photochimique, peut être utilisé pour fabriquer le vibreur lorsque la forme de diapason doit être établie à partir de la fine plaque de quartz, et lorsqu'il s'agit de former les électrodes. Le vibreur peut donc être fabriqué en de très petites dimensions, d'une manière facile, en même temps qu'il atteint des performances électriques des plus intéressantes.

La fig. 7 représente une autre forme d'exécution d'un vibreur du type particulièrement avantageux en question. La partie a de la fig. 7 montre, en perspective, la face supérieure (ou avant) du vibreur, tandis que la partie b de la fig. 7 montre en perspective la face inférieure (ou face arrière) du même vibreur. La fig. 8 montre la configuration (ou disposition) des électrodes du vibreur représenté à la fig. 7. Sur ces figures, on voit un vibreur à cristal de quartz du type à diapason ayant la même direction de coupe que le vibreur de la fig. 5. Les électrodes 15 et 16 sont des électrodes supérieures (ou électrodes de face avant) et les électrodes 17, 18, 19 et 20 sont les électrodes inférieures (ou électrodes de face arrière). Dans cette forme d'exécution, à la différence de ce qu'il en était avec la forme d'exécution de la fig. 5, le cristal de quartz est muni d'électrodes sur ses deux faces, les électrodes arrière (ou inférieures) consistant en quatre électrodes formant deux paires d'électrodes.

Lorsque les électrodes 15, 17 et 20 sont connectées entre elles et que les électrodes 16, 18 et 19 sont également connectées entre elles, si une tension électrique est appliquée entre ces deux groupes d'électrodes, des champs électriques s'établissent à l'intérieur du quartz comme le montrent les flèches incurvées sur la fig. 8, et une flexion symétrique est engendrée dans les branches du diapason. Si la tension appliquée est un signal de tension alternative, le vibreur sera excité en vibration. De plus, étant donné que, chose bien visible à la fig. 8, ces champs électriques ont, dans la direction de l'axe X, des composantes encore plus grandes que dans le cas de la fig. 6, le cristal de quartz sera excité très efficacement et l'impédance dynamique sera encore plus faible que celle que l'on pouvait obtenir avec la forme d'exécution des fig. 5 et 6. Dans la forme d'exécution selon les fig. 7 et 8, les électrodes 17 et 20, d'une part, et 18 et 19, d'autre part, sont interconnectées entre elles et, de plus, connectées avec les électrodes de leur groupe situées sur l'autre face, afin de former un vibreur à cristal de quartz à deux connexions. On peut toutefois également ne pas procéder à ces interconnexions si l'on tient à employer le vibreur en tant que filtre comprenant des électrodes de commande et une paire d'électrodes de détection. Dans ce cas, les électrodes de commande sont formées par les électrodes supérieures (ou électrodes de face avant) 15 et 16, et les électrodes de détection sont formées pour l'une en connectant les électrodes

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On peut également établir un filtre à deux sorties dans lequel les électrodes supérieures forment la paire d'électrodes d'entraînement (ou de commande), les électrodes inférieures 17 et 18 formant une première paire d'électrodes de détection et les électrodes inférieures 19 et 20 formant une seconde paire d'électrodes de détection. On pourrait réaliser aussi un filtre du même genre uniquement avec des électrodes supérieures, c'est-à-dire des électrodes établies sur seulement une face du vibreur, comme le montre la fig. 5.

Il est clair que la conception qui vient d'être décrite peut également être appliquée à un vibreur à cristal de quartz à barreau à extrémités libres, ou à tout autre type de vibreur à cristal de quartz travaillant à la flexion, malgré le fait que l'on a choisi, pour décrire cette conception particulièrement avantageuse, l'exemple d'un vibreur à cristal de quartz travaillant à la flexion du type à diapason.

s Comme on l'a vu, un vibreur selon la conception particulièrement avantageuse en question réunit les avantages à la fois d'un vibreur à coupe classique X + 5 " et d'un vibreur à coupe classique NT, et il se distingue par une impédance dynamique basse et un point d'inflexion de la caractéristique «température-fréquence io de résonancé» situé à une valeur de température suffisamment haute. En outre, le vibreur selon la conception décrite ne nécessite pas d'électrodes latérales, ce dont résulte une aptitude à être fabriqué selon le procédé par attaque photochimique. Ceci convient particulièrement bien pour la production en grandes 15 séries d'un vibreur de petites dimensions et, en particulier, de forme très mince.

2 feuilles dessins

Claims

3 619 335 REVENDICATIONS

1. Vibreur à cristal de quartz travaillant à la flexion pour appareil horométrique, fait d'une fine plaque de cristal de quartz dont le plan de coupe est obtenu, par rapport à celui d'une plaque en coupe X, par une première rotation, faite autour de l'axe X, d'un angle (a) situé dans le domaine de 0° à 10°, puis par une deuxième rotation, faite autour d'un axe Y' résultant de ladite première rotation appliquée à l'axe Y, d'un angle (8) situé dans le domaine de 70° à 90°, cette plaque de cristal de quartz ayant une épaisseur égale ou inférieure à 0,5 mm, de façon à pouvoir être découpée par attaque photochimique, des électrodes étant disposées sur au moins une face de la plaque, caractérisé en ce que tous les flancs de la plaque sont exempts d'électrodes, et en ce que les électrodes sont réparties sur les parties vibrantes de la plaque en trois bandes, deux bandes d'électrode disposées au bord et une bande d'électrode disposée au milieu, de façon telle que les électrodes d'une seule surface suffisent à créer dans chacune de ces parties des champs électriques faisant fléchir cette partie latéralement, dans une direction parallèle au plan même de cette face, et telle que les champs électriques entre ladite bande d'électrode médiane et lesdites bandes d'électrode de bord sont créés dans la direction opposée l'un à l'autre.

2. Vibreur selon la revendication 1, caractérisé en ce que la plaque a la forme d'un diapason dont chaque branche porte sur une seule surface trois sections longitudinales parallèles d'électrode, qui forment pour chaque branche deux sections de bord et une section médiane, les deux sections de bord d'une branche étant reliées entre elles et avec la section médiane de l'autre branche et vice versa.