CH553259A - Vorrichtung zum beschichten von substraten durch katodenzerstaeubung und zum reinigen durch ionenaetzen im gleichen vakuumgefaess. - Google Patents

Vorrichtung zum beschichten von substraten durch katodenzerstaeubung und zum reinigen durch ionenaetzen im gleichen vakuumgefaess.

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CH553259A
CH553259A CH853472A CH853472A CH553259A CH 553259 A CH553259 A CH 553259A CH 853472 A CH853472 A CH 853472A CH 853472 A CH853472 A CH 853472A CH 553259 A CH553259 A CH 553259A
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    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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