CH522221A - Verfahren zur Analyse von Festkörperoberflächen mit Hilfe von Sekundärionenmassenspektrometrie - Google Patents

Verfahren zur Analyse von Festkörperoberflächen mit Hilfe von Sekundärionenmassenspektrometrie

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CH522221A
CH522221A CH1527070A CH1527070A CH522221A CH 522221 A CH522221 A CH 522221A CH 1527070 A CH1527070 A CH 1527070A CH 1527070 A CH1527070 A CH 1527070A CH 522221 A CH522221 A CH 522221A
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secondary ion
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CH1527070A
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Alfred Dr Benninghoven
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Bayer Ag
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02—Details
    • H01J49/10—Ion sources; Ion guns
    • H01J49/14—Ion sources; Ion guns using particle bombardment, e.g. ionisation chambers
    • H01J49/142—Ion sources; Ion guns using particle bombardment, e.g. ionisation chambers using a solid target which is not previously vapourised

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CH1527070A 1969-11-14 1970-10-15 Verfahren zur Analyse von Festkörperoberflächen mit Hilfe von Sekundärionenmassenspektrometrie CH522221A (de)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5812978B2 (ja) * 1976-11-19 1983-03-11 株式会社日立製作所 イオン線装置
DE3128814A1 (de) * 1981-07-21 1983-02-10 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Elektrisch leitende probenhalterung fuer die analysentechnik der sekundaerionen-massenspektrometrie
JPS6044A (ja) * 1983-06-16 1985-01-05 Hitachi Ltd 二次イオン化質量分析装置
JPH05251039A (ja) * 1992-03-04 1993-09-28 Ebara Corp 二次イオン質量分析計
GB2269934B (en) * 1992-08-19 1996-03-27 Toshiba Cambridge Res Center Spectrometer
KR100217325B1 (ko) * 1996-07-02 1999-10-01 윤종용 반도체장치의 제조공정 분석방법
DE19641981C2 (de) * 1996-10-11 2000-12-07 A Benninghoven Verfahren zur Bestimmung von Tiefenprofilen im Dünnschichtbereich
DE19642261A1 (de) * 1996-10-11 1998-04-16 Hoechst Ag Verfahren und Vorrichtung zum Erkennen der katalytischen Aktivität von Feststoffen

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2772363A (en) * 1952-03-21 1956-11-27 Cons Electrodynamics Corp Method and apparatus for ionization of solids
US3517191A (en) * 1965-10-11 1970-06-23 Helmut J Liebl Scanning ion microscope with magnetic sector lens to purify the primary ion beam

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