CH475559A - Procédé de mesure de la vitesse d'évaporation sous vide, jauge pour la mise en oeuvre de ce procédé et application de ce procédé - Google Patents

Procédé de mesure de la vitesse d'évaporation sous vide, jauge pour la mise en oeuvre de ce procédé et application de ce procédé

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CH475559A
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gauge
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measuring
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under vacuum
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CH576267A
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Zega Bodgan
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Battelle Development Corp
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3734620A (en) * 1971-04-01 1973-05-22 Ibm Multiple band atomic absorption apparatus for simultaneously measuring different physical parameters of a material
US4036167A (en) * 1976-01-30 1977-07-19 Inficon Leybold-Heraeus Inc. Apparatus for monitoring vacuum deposition processes
US6513451B2 (en) * 2001-04-20 2003-02-04 Eastman Kodak Company Controlling the thickness of an organic layer in an organic light-emiting device
US6558735B2 (en) * 2001-04-20 2003-05-06 Eastman Kodak Company Reusable mass-sensor in manufacture of organic light-emitting devices

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116988014A (zh) * 2023-09-27 2023-11-03 中国科学技术大学 一种组合集中真空互联系统装置
CN116988014B (zh) * 2023-09-27 2023-12-22 中国科学技术大学 一种组合集中真空互联系统装置

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