CH452731A - Verfahren und Vorrichtung zum Erhitzen eines Stoffes in einem Hochvakuum-Elektronenstrahlgerät - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zum Erhitzen eines Stoffes in einem Hochvakuum-ElektronenstrahlgerätInfo
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- CH452731A CH452731A CH830066A CH830066A CH452731A CH 452731 A CH452731 A CH 452731A CH 830066 A CH830066 A CH 830066A CH 830066 A CH830066 A CH 830066A CH 452731 A CH452731 A CH 452731A
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
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