CH443044A - Lapping device - Google Patents

Lapping device

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Publication number
CH443044A
CH443044A CH1687465A CH1687465A CH443044A CH 443044 A CH443044 A CH 443044A CH 1687465 A CH1687465 A CH 1687465A CH 1687465 A CH1687465 A CH 1687465A CH 443044 A CH443044 A CH 443044A
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
lapping
dressing
dependent
lapping device
stop
Prior art date
Application number
CH1687465A
Other languages
German (de)
Inventor
A Boettcher Stephen
N Farley James
Original Assignee
Speedfam Corp
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Publication date
Application filed by Speedfam Corp filed Critical Speedfam Corp
Publication of CH443044A publication Critical patent/CH443044A/en

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B24B37/07Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
    • B24B37/10Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for single side lapping
    • B24B37/102Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for single side lapping the workpieces or work carriers being able to rotate freely due to a frictional contact with the lapping tool

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)

Description

       

      Läppvorrichtung       Die Erfindung betrifft eine     Läppvorrichtung,    die in  Verbindung mit einer     Planläppmaschine    verwendbar ist,  mit zumindest einem auf der sich drehenden     Läppscheibe     der Maschine frei drehbar ruhenden     Abricht-    und  Haltering, in welchem die Werkstücke unter einer auf  diese einwirkenden,     vertikalbeweglichen    Druckplatte  angeordnet sind.  



  Bei den bisher verwendeten Vorrichtungen war  während des     Läppvorgangs    eine ständige Überprüfung  der Werkstücke erforderlich, da es keine Vorrichtung  gab, welche den     Läppvorgang    bei erreichtem Sollmass  der Werkstücke selbsttätig unterbrach. Auch war es  schwierig, eine gleichmässige     Masshaltigkeit    vieler Werk  stücke zu erzielen. Bei Benutzung mehrerer Halteringe  mussten die Werkstücke in den einzelnen Ringen genau  überwacht werden, da nicht alle Werkstücke in allen  Ringen gleichzeitig     fertiggeläppt    waren.

   Da die Halterin  ge für die Werkstücke selbst der Abnutzung an der auf  der     Läppscheibe    ruhenden Fläche unterlagen, konnte  man auch nicht eine     Bezugsmessfläche    an den Halterin  gen anbringen.  



  Mit der Erfindung soll nun eine Vorrichtung geschaf  fen werden, mit welcher die Mängel der bisher benutzten       Läppvorrichtungen    in überraschend einfacher Weise  beseitigt werden können. Die Vorrichtung gemäss der  Erfindung soll den     Läppvorgang    selbsttätig auch bei  weiterlaufender     Läppscheibe    unterbrechen, so dass der  bisher für die Überwachung des     Läppvorgangs    erforderli  che Aufwand in Fortfall kommt. Ferner soll ein  Haltering geschaffen werden, dessen untere Stirnfläche  keiner nennenswerten Abnutzung unterliegt und dabei  eine Abziehwirkung auf die     Läppscheibe    ausübt, um  diese ständig plan zu halten.  



  Gemäss der Erfindung wird die vorstehende Aufga  benstellung dadurch gelöst, dass zwischen dem     Abricht-          und    Haltering und der Druckplatte eine die Abwärtsbe  wegung der     Druckplatte    begrenzende Anschlagvorrich  tung wirksam ist.  



  Die     erfindungsgemäss    ausgebildete Vorrichtung hat  den grossen Vorteil, dass bei Verwendung mehrerer         Abzieh-    und Halteringe in Zusammenwirkung mit einer       Läppscheibe    jede Vorrichtung für sich den     Läppvorgang     bei weiterlaufender     Läppscheibe    unterbricht, wenn die  Werkstücke ihr zuvor eingestelltes Sollmass erreicht  haben, wobei dies bei den Werkstücken in den verschie  denen Halteringen zu unterschiedlichen Zeitpunkten der  Fall sein kann.  



  Einzelheiten werden im Verlauf der Beschreibung  ersichtlich.  



  Um die mit der Materie vertrauten Fachleute mit der  Konstruktion und der Verwendungsart der     Abricht-    und  Halteringe sowie der     Läppbegrenzungsvorrichtung        ge-          mäss    der Erfindung vertraut zu machen, sollen nunmehr  mehrere bevorzugte Ausführungsbeispiele des Gegen  standes der Erfindung beschrieben werden.  



  Es zeigt:       Fig.    1 eine perspektivische Ansicht einer     Läppma-          schine,    bei der die Vorrichtungen gemäss der Erfindung  verwendbar sind;       Fig.2    einen     Vertikalteilschnitt    in vergrössertem  Massstab, im wesentlichen nach Linie 2-2 der     Fig.    1 in  Richtung der Pfeile gesehen, wobei ein Ausführungsbei  spiel eines     Abricht-    und Halteringes mit der zugeordne  ten Vorrichtung gemäss der Erfindung in Arbeitsstellung  auf der     Läppscheibe    angeordnet gezeigt ist;

         Fig.3    eine in vergrössertem Massstab dargestellte  Ansicht von unten des     Abricht-    und Halteringes und der  in     Fig.    2 gezeigten     Läppbegrenzungsvorrichtung;          Fig.4    eine Teilansicht, teilweise im Schnitt und  teilweise in Ansicht einer abgeänderten Ausführungsform  der     Läppbegrenzungsvorrichtung    gemäss der Erfin  dung;       Fig.5    eine Teilansicht, teilweise geschnitten und  teilweise in Ansicht einer weiter abgeänderten Ausfüh  rungsform der     Läppbegrenzungsvorrichtung    gemäss der  Erfindung;

         Fig.    6 eine Draufsicht auf ein anderes Ausführungs  beispiel des     Abricht-    und Halteringes, welcher drehbare,  in der Wandung desselben angeordnete Anschläge  aufweist;           Fig.    7 einen vertikalen     mittleren    Teilschnitt des in       Fig.6    gezeigten     Abrichtringes    mit einer zugeordneten  Platte in Arbeitsstellung auf einer     Läppscheibe;          Fig.8    einen vergrösserten Teilschnitt des in     Fig.7     gezeigten     Abrichtringes    und des drehbaren Anschlags;

         Fig.    9 eine vergrösserte Ansicht des in     Fig.    8 gezeig  ten drehbaren Anschlags;       Fig.    10 einen vertikalen mittleren Schnitt einer abge  änderten Ausführungsform des     Abricht-    und Halteringes  mit     vertikal    verstellbaren Anschlägen in den Wänden  desselben; und       Fig.    11 einen horizontalen Teilschnitt, im wesentli  chen nach Linie 11-11 der     Fig.    10 in Richtung der Pfeile  gesehen.  



  In der     Fig.    1 ist eine typische     Läppmaschine,    bei der  die Vorrichtungen gemäss der Erfindung zur Anwendung  kommen können, mit 10 bezeichnet. Die     Läppmaschine     10 weist einen Rahmen mit einem     rohrförmigen    Fuss  oder Gehäuse 12 auf, welches eine Abstützung für eine  horizontale     Läppscheibe    14 bildet, die aus mehreren  Segmenten 15 besteht, welche an einem     Läpprad    16       (Fig.2)    befestigt sind.

   Ein Abstelltisch 17 umgibt die       Läppscheibe.    Eine wahlweise Drehung der     Läppscheibe     14 um eine vertikale Achse wird durch eine innerhalb des  Gehäuses 12 angeordnete Antriebsvorrichtung (nicht  gezeigt) bewirkt. Die unteren Enden vertikaler Säulen 18  sind in geeigneter Weise an den gegenüberliegenden  Seiten des Gehäuses 12 befestigt.  



  Zwischen den oberen Enden der Säulen 18 erstreckt  sich über der     Läppscheibe    14 eine horizontale Brücke 20  mit Querarmen 22, wobei bei dieser besonderen     Läppma-          schine    vier Arme verwendet sind. Am äusseren Ende  eines jeden Querarms 22 ist eine vertikale, pneumatische  Kolben- und Zylinderanordnung angeordnet, die im gan  zen mit 24 bezeichnet ist. Jede der pneumatischen  Anordnungen 24 weist einen Zylinder 26 und eine  Kolbenstange 28 auf.  



  Jeder Kolbenstange 28 ist eine     Läppbegrenzungsvor-          richtung    30 zugeordnet, wie am besten aus den     Fig.    2 und  3 ersichtlich ist, welche eine horizontale Druckplatte 32  aufweist, die in geeigneter Weise mit dem unteren Ende  der zugeordneten Kolbenstange 28 verbunden ist. Von  der Platte 32 erstrecken sich mehrere, nahe dem Umfang  derselben in Umfangsteilung daran befestigte Halter 34  aufwärts und zwar vorzugsweise drei Stück. Die Halter  34 haben radial nach aussen vorstehende Arme 36,  welche in einer Gewindebohrung vertikal verstellbare  Anschlagschrauben 38 aufnehmen, die durch     Sicherungs-          muttern    40 in vorbestimmten Stellungen     verriegelbar     sind.

   Die     Läppbegrenzungsvorrichtungen    30 sind mit den  Kolbenstangen 28 vertikal beweglich. Das Anheben der       Läppbegrenzungsvorrichtungen    30 wird dadurch bewirkt,  dass Druckluft in das untere Ende der Zylinder 26  eingelassen wird, während das Absenken der Vorrichtung  30 dadurch bewirkt wird, dass die Druckluft aus den  unteren Enden dieser Zylinder abgelassen und Druckluft  in die oberen Enden eingeführt wird.  



  Die Druckplatte 32 einer jeden Vorrichtung 30 passt  mit geringem Spiel in einen     Abricht-    und Haltering 42.  Der in den     Fig.    2 und 3 gezeigte Haltering 42 besteht aus  einem ringförmigen Körper 44 mit einer oberen und einer  unteren Stirnfläche 46 bzw. 48. In der unteren Stirnfläche  48 ist eine ringförmige     Ausnehmung    50 vorgesehen, in  welcher mittels     Epoxyharz    mehrere in Umfangsteilung  angeordnete, rechteckige Einsätze 52 angeordnet sind.

    Die Einsätze 52 müssen aus einem Material hergestellt  sein, welches einen grösseren     Abriebswiderstand    auf-    weist, als das     Material   <I>der</I>     Läppscheibe   <I>14.</I> Sie sind  vorzugsweise aus einem Material mit hohem Abnut  zungswiderstand hergestellt, wie beispielsweise     Borkar-          bid.    Die untere Stirnfläche 48 des Ringes 42 und die  unteren, in der gleichen Ebene liegenden     Flächen    der  Einsätze 52 können mit der     Läppfläche    der     Läppscheibe     14 in Eingriff gebracht worden,

   während die obere  Stirnfläche 46 des Ringes 42 unter den Armabschnitten  36 der Halter 34 liegt und mit den unteren Enden der       Verstellschrauben    38 zusammenwirkt.  



  Nachdem die     Verstellschrauben    38 vertikal eingestellt  und verriegelt sind, werden Werkstücke 54 innerhalb des       Abricht-    und Halteringes 42 in Stellung unter die  Druckplatte 32 gebracht. Wenn die Druckplatte 32 an  den Werkstücken angreift, haben die unteren Enden der       Verstellschrauben    38 anfänglich einen Abstand gegen  über der oberen Stirnfläche 46 des Ringes 42. Die  Materialmenge, die von den Werkstücken entfernt wird,  wird durch den anfänglichen Abstand zwischen den  unteren Enden der     Verstellschrauben    38 und der oberen  Stirnfläche 46 des Ringes 42 bestimmt.

   Dementsprechend  wird das fertige Vertikalmass der Werkstücke 54 durch  den Unterschied zwischen der Höhe des Ringes 42 und  des vorher eingestellten vertikalen Abstands von der  Ebene der unteren Enden der     Verstellschrauben    38 zur  Ebene der unteren Stirnfläche der Druckplatte 32  bestimmt.  



  Bei sich drehender     Läppscheibe    14 wird eine     freiflies-          sende    Mischung aus Schleifpartikeln und einem Ölträger  durch die     Austragrohre    56     (Fig.    1) auf die     Läppscheibe     14 ausgetragen. Ein dünner Film 58 dieser Schleifmi  schung (die Dicke desselben ist in     Fig.    2 zum Zwecke der  Verdeutlichung übertrieben dargestellt) bedeckt die Flä  che der     Läppscheibe    14, wobei während des     Läppvor-          gangs    der     Abricht-    und Haltering 42 und die Werkstücke  54 auf dem Film 58 gleiten.

   Während des     Läppvorgangs     wird weiterhin Druckluft in das obere Ende des  entsprechenden Zylinders 26 eingeführt, um über die  Kolbenstange 28 einen     abwärtsgerichteten    Druck auf die  Druckplatte 32 und damit auf die Werkstücke 54  auszuüben, um die     Läppgeschwindigkeit    der Werkstücke  zu erhöhen. Hierbei dreht sich der Ring 42 relativ zu der  Druckplatte 32, um die durch die Kolbenstange 28  bestimmte Achse, so dass die Einsätze 52 die     Läppschei-          be    14 abziehen, um sie     in    ebenem Zustand zu halten.

   Bei  fortschreitendem     Läppen    der Werkstücke bewegen sich  die unteren Enden der     Verstellschrauben    38 zur oberen  Stirnfläche 46 des Ringes 42 hin.  



  Wenn die unteren Enden der     Verstellschrauben    38 an  der oberen Stirnfläche 46 des Ringes 42 angreifen, wird  die Abwärtsbewegung der Druckplatte 32 angehalten, so  dass das     Läppen    der Werkstücke 54 automatisch aufhört,  obwohl die     Läppmaschine    weiterläuft. Infolge der Vorse  hung der hochabriebfesten Einsätze 52 ist die untere  Stirnfläche des zum Abziehen der     Läppscheibe    14  dienenden     Abricht-    und Halteringes 42 keiner Abnutzung  ausgesetzt. Die Höhe des Ringes 42 bleibt daher  konstant, und die obere Stirnfläche 46 dient als genaue  Bezugsfläche für die     Läppbegrenzungsvorrichtung    30.

    Alle vier Vorrichtungen 30 und Halteringe 42 sind gleich  ausgebildet und arbeiten in derselben Weise.  



  In     Fig.    4 ist eine abgeänderte Ausführungsform der       Läppbegrenzungsvorrichtung    gemäss der Erfindung im  ganzen mit 30a     bezeichnet.    Die Vorrichtung 30a ist in  ihrem Aufbau und ihrer Wirkungsweise gleich der  Vorrichtung 30, abgesehen davon, dass die Verstell  schrauben 38 und die Sicherungsmuttern 40 an den drei      Haltern 34 durch vertikal angeordnete Mikrometer  schrauben 60 ersetzt sind. Jede der     Mikrometerschrauben     60 weist eine mit einer Skala versehene Hülse 62 auf, die  an dem Arm 36 des Halters 34 befestigt ist, wobei sich  eine Spindel 64 durch den Arm 36 erstreckt und an der  oberen Stirnfläche 46 des     Abricht-    und Halteringes 42  angreift, um die Abwärtsbewegung der Platte 32 anzuhal  ten.

   Mit einem drehbar angeordneten     Griff    66 kann die  Vertikalstellung der Spindel 64 vorgenommen werden.  



       In        Fig.5    ist eine weitere abgeänderte Ausführungs  form der     Läppbegrenzungsvorrichtung    gemäss der Erfin  dung mit 30b bezeichnet. Die Vorrichtung 30b, die im  übrigen gleich den Vorrichtungen 30 oder 30a ist, weist  einen zusätzlichen Halter 34' mit einem Arm 36' auf, an  welchem eine Messuhr 68 befestigt ist. Der Fühler 70 der  Messuhr 68 erstreckt sich durch den Arm 36' und greift  an der oberen Stirnfläche 46 des     Abricht-    und Halterin  ges 42 an, um die Stellung der Druckplatte 32 gegenüber  dem Ring 42 und damit die Dicke des verbleibenden und  vom Werkstück 54 noch während des     Läppvorgangs    zu  entfernenden Materials anzuzeigen.  



  In den     Fig.    6-9 ist eine weitere Ausführungsform des       Abricht-    und Halteringes gemäss der Erfindung im  ganzen mit 72 bezeichnet. Der     Abricht-    und Haltering 72  weist einen ringförmigen Körper 74 mit drei in Umfangs  teilung angeordneten Reihen radialer zylindrischer Öff  nungen     76a-f,        77a-f    und     78a-f    auf, wobei jede Reihe in  schraubenlinienförmigem Abstand angeordnet ist. Ent  sprechende Öffnungen der drei Reihen, beispielsweise die       Öffnungen    76a, 77a und 78a liegen in derselben Ebene  und sind 120  gegeneinander versetzt.  



  In einer Öffnung einer jeden Reihe von Öffnungen       76a-f,        77a-f    und     78a-f    ist ein im wesentlichen zylindri  scher, radial     aufweitbarer    Anschlag 80 vorgesehen. Jeder  Anschlag 80 weist einen exzentrischen Ansatz 82 auf, der  sich radial einwärts in den     ringförmigen    Körper 74  erstreckt. Der Anschlag 80 weist eine längsgerichtete,  konische Gewindebohrung 84 auf, in welche Schlitze 86  einmünden, um eine radiale     Aufweitung    des Anschlags  zu gestatten, wobei ferner eine     Ausnehmung    88 vorgese  hen ist.

   In jede konische Gewindebohrung 84 ist ein  konischer Gewindebolzen 90 mit einer     Ausnehmung    92  eingeschraubt. Die     Ausnehmungen    88 und 92 können  eine     Sechskantform    aufweisen und zur Aufnahme eines  Schlüssels oder dgl. dienen.  



  In der unteren Stirnfläche 94 des ringförmigen  Körpers 74 ist eine ringförmige     Ausnehmung    96 vorgese  hen, in welcher mittels     Epoxyharz    mehrere in Umfangs  teilung angeordnete, rechteckige Einsätze 98 befestigt  sind. Die Einsätze 98 müssen ebenso wie die Einsätze 52  aus einem Material hergestellt sein, welches einen  grösseren     Abriebwiderstand    als das Material der     Läpp-          scheibe    14 aufweist und sind vorzugsweise aus einem  hochabriebfesten Material, beispielsweise     Borkarbid    her  gestellt.

   Die untere Stirnfläche 94 des Ringes 72 und die  in der gleichen Ebene     liegenden    unteren Flächen der  Einsätze 68 greifen an der horizontalen     Läppfläche    der  ringförmigen     Läppscheibe    14 einer üblichen     Läppma-          schine    an. Die     Läppscheibe    besteht aus Segmenten 15,  die an einem     Läpprad    16 befestigt sind.  



  Wenn der     Abrichtring    72 verwendet wird, werden  zunächst die drei Anschläge 80 in einem Satz entspre  chender Öffnungen in einer gemeinsamen Ebene, bei  spielsweise in den Öffnungen 76a, 77a und 78a angeord  net, wobei die exzentrischen Ansätze 82 in etwa auf die  gewünschte Höhe eingestellt werden.

   Dann werden die  Anschläge 80 mittels eines in die     Ausnehmung    88    eingeführten Steckschlüssels drehbar verstellt, bis der  exzentrische Ansatz 82 die genaue, gewünschte Höhe  einnimmt.     Schliesslich    werden die konischen Schrauben  90 in die konischen Gewindebohrungen 84 mittels eines  in die     Ausnehmung    92 eingeführten Steckschlüssels  eingeschraubt, um die Anschläge 80 radial     aufzuweiten     und dabei in der vorgewählten Winkelstellung innerhalb  der Öffnung 76a, 77a bzw. 78a zu verriegeln.  



  Nachdem die Ansätze 82 der Anschläge 80 genau  eingestellt und     in        ihrer    Stellung verriegelt sind, werden  Werkstücke 100 im     Abricht-    und Haltering 72 unter der  Druckplatte 32 angeordnet, welche in üblicher Weise mit  einer pneumatisch oder hydraulisch betätigten Kolben  stange 28 verbunden ist. Wenn die Druckplatte 32 an den  Werkstücken angreift, weist die untere Fläche der  Druckplatte anfänglich einen Abstand von den nach oben  gerichteten Flächen der     Exzenteransätze    82 der Anschlä  ge 80 auf. Die Menge des von den Werkstücken 100  entfernten Materials wird durch den anfänglichen Ab  stand zwischen der unteren Fläche der Druckplatte 32  und den Ansätzen 82 bestimmt.

   Dementsprechend wird  die fertige, vertikale Abmessung der Werkstücke<B>100</B>  durch den Abstand zwischen der Ebene der aufwärts  gerichteten Flächen der Ansätze 82 und der     Läppfläche     der     Läppscheibe    14 bestimmt. Während die     Läppscheibe     14 sich dreht, wird eine freifliessende Mischung aus  Schleifpartikeln und einem Ölträger der     Läppscheibe    14  zugeführt.

   Ein dünner Film 106 dieser Schleifmi  schung (die Dicke derselben ist in     Fig.    7 zum Zwecke  der Verdeutlichung übertrieben dargestellt) bedeckt die       Läppfläche    der     Läppscheibe    14, wobei während des       Läppvorgangs    der     Abricht-und    Haltering 72 und die  Werkstücke 100 über den Film 106 gleiten.

   Während des       Läppvorgangs    kann weiterhin ein abwärts gerichteter  Druck über die Kolbenstange 28 auf die Druckplatte 32  und damit auf die Werkstücke 100 ausgeübt werden, um  die Geschwindigkeit des     Läppens    der Werkstücke zu  erhöhen, wobei sich der Ring 72 relativ zur Druckplatte  32 um die durch die Kolbenstange 28 bestimmte Achse  dreht, so dass die Einsätze 98 die     Läppscheibe    14  abziehen, um sie plan zu halten. Bei fortschreitendem       Läppvorgang    der Werkstücke bewegt sich die untere  Fläche der Druckplatte 32 näher an die Anschlagansätze  82.  



  Wenn die untere Fläche der Druckplatte 32 an den  Anschlagansätzen 32 angreift, wird die Abwärtsbewe  gung der Platte 32 angehalten und das     Läppen    der  Werkstücke<B>100</B> wird automatisch eingestellt, obwohl die       Läppmaschine    weiterläuft. Da die abriebfesten Einsätze  98 vorgesehen sind, wird die untere Fläche des Ringes 72  keiner Abnutzung ausgesetzt, da letztere zum Abziehen  der     Läppscheibe    14 dient. Der Abstand zwischen den  Anschlagansätzen 82 und der unteren Stirnfläche des  Ringes 72 bleibt daher konstant, wobei die Anschlagan  sätze 82 eine genaue     Läppbegrenzung    für die Druckplatte  32 bilden.

   Verstellungen in der vertikalen Höhe der  Anschlagansätze 82 können durch Umsetzen der An  schläge 80 aus einem Satz der entsprechenden Öffnungen       76a-f,        77a-f    und     78a-f    aus einer Ebene in einen  satzentsprechende Öffnungen in einer anderen Ebene  oder durch Drehung der Anschläge 80 innerhalb der  Öffnungen bei einer gegebenen Ebene vorgenommen  werden oder durch eine Kombination beider Möglichkei  ten. Ein mit einer     Läppbegrenzungsvorrichtung    kombi  nierter     Abrichtring    kann an einer oder mehreren       Läppstationen    in Umfangsteilung um die     Läppscheibe    14  verwendet werden.

        In den     Fig.    10 und 11 ist eine abgeänderte Ausfüh  rungsform des     Abricht-    und Halterings nach der Erfin  dung im ganzen mit 108 bezeichnet. Der Ring 108 weist  einen ringförmigen Körper 110 mit drei vertikalen  Schlitzen 112 auf, die in der Innenwand desselben unter  120  Teilung angeordnet sind. In jedem der Schlitze 112  ist ein Anschlag 114 gleitend angeordnet, welcher eine  Nase 116 aufweist, die radial einwärts in den Ringkörper  110 vorsteht, wobei jeder Anschlag einen Schlitz 118 mit  einer durch eine     Ausnehmung    gebildeten Schulter<B>119</B>  aufweist.

   Durch den     Schlitz    118 eines jeden Anschlags  114 erstreckt sich eine in eine     Gewindebohrung    120 des  ringförmigen Körpers 110 eingeschraubte Schraube 122,  die einen Kopf aufweist, der an der Schulter 119 des  Schlitzes angreift. Die Schlitze 118 gestatten eine  vertikale Gleitbewegung der Anschläge 114 relativ zu den  Schrauben 122, so dass die Anschläge durch Lösen der  Schrauben 122 und Bewegen der Anschläge in die  gewünschten entsprechenden Stellungen und Anziehen  der Schrauben vertikal verstellbar sind. Die untere  Stirnfläche 124 des Ringes 110 ist mit einer ringförmigen       Ausnehmung   <B>126</B> versehen, in welcher mehrere in  Umfangsteilung angeordnete rechteckige Einsätze 128  befestigt sind.

   Die Einsätze 128 bestehen aus gleichem  Material und sind in gleicher Weise wie die Einsätze 98  des     Abricht-    und Halteringes 72 angeordnet und befe  stigt. Der beschriebene     Abrichtring    und die     Läppbegren-          zungsvorrichtung    108 wird in gleicher Weise wie der       Abrichtring    und die     Läppbegrenzungsvorrichtung    72  verwendet, wobei die Nasen 116 den gleichen Zweck wie  die Anschlagansätze 82 haben, nämlich die Abwärtsbe  wegung der Druckplatte 32 zu begrenzen.  



  Während bevorzugte     Ausführungsformen    des     Erfin-          gungsgegenstandes    dargestellt und beschrieben worden  sind, ist es für die mit der Materie vertrauten Fachleute  offensichtlich dass Änderungen, ohne vom Erfindungs  gegenstand abzuweichen, vorgenommen werden kön  nen.



      Lapping device The invention relates to a lapping device which can be used in connection with a face lapping machine, with at least one dressing and holding ring resting freely on the rotating lapping disc of the machine, in which the workpieces are arranged under a vertically movable pressure plate acting on them.



  In the devices used up to now, constant checking of the workpieces was necessary during the lapping process, since there was no device which automatically interrupted the lapping process when the desired dimension of the workpieces was reached. It was also difficult to achieve uniform dimensional accuracy for many workpieces. When using several retaining rings, the workpieces in the individual rings had to be closely monitored, since not all workpieces in all rings were lapped at the same time.

   Since the holding rings for the workpieces themselves were subject to wear on the surface resting on the lapping disc, it was also not possible to attach a reference measuring surface to the holding rings.



  With the invention, a device is to be created with which the shortcomings of the lapping devices previously used can be eliminated in a surprisingly simple manner. The device according to the invention is intended to automatically interrupt the lapping process even if the lapping disc continues to run, so that the effort previously required for monitoring the lapping process is no longer necessary. Furthermore, a retaining ring is to be created, the lower end face of which is not subject to any significant wear and tear and thereby exerts a pulling effect on the lapping disk in order to keep it constantly flat.



  According to the invention, the above task is achieved in that a stop device limiting the downward movement of the pressure plate is effective between the dressing and holding ring and the pressure plate.



  The device designed according to the invention has the great advantage that when using several puller and retaining rings in cooperation with a lapping disc, each device interrupts the lapping process when the lapping disc continues to run when the workpieces have reached their previously set target dimensions, this being the case for the workpieces in the different retaining rings may be the case at different times.



  Details will become apparent in the course of the description.



  In order to familiarize those skilled in the art with the design and type of use of the dressing and retaining rings and the lapping limiting device according to the invention, several preferred exemplary embodiments of the subject matter of the invention will now be described.



  1 shows a perspective view of a lapping machine in which the devices according to the invention can be used; 2 is a partial vertical section on an enlarged scale, seen essentially along line 2-2 of FIG. 1 in the direction of the arrows, with an exemplary embodiment of a dressing and holding ring with the associated device according to the invention being shown in the working position on the lapping disc is;

         3 shows an enlarged view from below of the dressing and holding ring and the lapping limiting device shown in FIG. 2; 4 shows a partial view, partly in section and partly in view of a modified embodiment of the lapping limiting device according to the invention; 5 shows a partial view, partly in section and partly in view of a further modified Ausfüh approximately form of the lapping limiting device according to the invention;

         6 shows a plan view of another embodiment example of the dressing and holding ring, which has rotatable stops arranged in the wall thereof; FIG. 7 shows a vertical central partial section of the dressing ring shown in FIG. 6 with an associated plate in the working position on a lapping disk; FIG. 8 shows an enlarged partial section of the dressing ring shown in FIG. 7 and of the rotatable stop;

         FIG. 9 is an enlarged view of the rotatable stop shown in FIG. 8; Fig. 10 is a vertical central section of an abge modified embodiment of the dressing and retaining ring with vertically adjustable stops in the walls of the same; and FIG. 11 is a horizontal partial section, seen in the wesentli Chen along line 11-11 of FIG. 10 in the direction of the arrows.



  In FIG. 1, a typical lapping machine in which the devices according to the invention can be used is denoted by 10. The lapping machine 10 has a frame with a tubular foot or housing 12, which forms a support for a horizontal lapping disk 14, which consists of several segments 15 which are attached to a lapping wheel 16 (FIG. 2).

   A storage table 17 surrounds the lapping disc. An optional rotation of the lapping disk 14 about a vertical axis is brought about by a drive device (not shown) arranged within the housing 12. The lower ends of vertical columns 18 are suitably attached to opposite sides of the housing 12.



  A horizontal bridge 20 with transverse arms 22 extends over the lapping disk 14 between the upper ends of the columns 18, with four arms being used in this particular lapping machine. At the outer end of each transverse arm 22, a vertical, pneumatic piston and cylinder arrangement is arranged, which is denoted by 24 in its entirety. Each of the pneumatic assemblies 24 has a cylinder 26 and a piston rod 28.



  Each piston rod 28 is assigned a lapping limiting device 30, as can best be seen from FIGS. 2 and 3, which has a horizontal pressure plate 32 which is connected in a suitable manner to the lower end of the assigned piston rod 28. From the plate 32 a plurality of holders 34 attached thereto in circumferential spacing near the circumference thereof extend upwards, preferably three pieces. The holders 34 have arms 36 which project radially outward and which receive vertically adjustable stop screws 38 in a threaded bore, which can be locked in predetermined positions by means of locking nuts 40.

   The lapping limiting devices 30 are vertically movable with the piston rods 28. The raising of the lapping restrictors 30 is effected by admitting compressed air into the lower end of the cylinders 26, while the lowering of the device 30 is effected by venting the compressed air from the lower ends of these cylinders and introducing compressed air into the upper ends.



  The pressure plate 32 of each device 30 fits with little play in a dressing and holding ring 42. The holding ring 42 shown in FIGS. 2 and 3 consists of an annular body 44 with an upper and a lower end face 46 and 48, respectively An annular recess 50 is provided on the lower end face 48, in which a plurality of rectangular inserts 52 arranged in circumferential spacing are arranged by means of epoxy resin.

    The inserts 52 must be made of a material that has a greater abrasion resistance than the material of the lapping disk 14. They are preferably made of a material with high abrasion resistance such as boron carbide. The lower end surface 48 of the ring 42 and the lower, coplanar surfaces of the inserts 52 can be brought into engagement with the lapping surface of the lapping disc 14,

   while the upper end face 46 of the ring 42 lies under the arm sections 36 of the holder 34 and cooperates with the lower ends of the adjusting screws 38.



  After the adjusting screws 38 have been set vertically and locked, workpieces 54 are brought into position under the pressure plate 32 within the dressing and holding ring 42. When the pressure plate 32 engages the workpieces, the lower ends of the set screws 38 are initially spaced from the upper face 46 of the ring 42. The amount of material removed from the workpieces is determined by the initial clearance between the lower ends of the set screws 38 and the upper end face 46 of the ring 42 is determined.

   Accordingly, the finished vertical dimension of the workpieces 54 is determined by the difference between the height of the ring 42 and the previously set vertical distance from the plane of the lower ends of the adjusting screws 38 to the plane of the lower end face of the pressure plate 32.



  As the lapping disk 14 rotates, a free-flowing mixture of abrasive particles and an oil carrier is discharged through the discharge tubes 56 (FIG. 1) onto the lapping disk 14. A thin film 58 of this abrasive compound (the thickness of which is exaggerated in FIG. 2 for the sake of clarity) covers the surface of the lapping disc 14, the dressing and retaining ring 42 and the workpieces 54 on the film during the lapping process 58 slide.

   During the lapping process, compressed air continues to be introduced into the upper end of the corresponding cylinder 26 in order to exert a downward pressure on the pressure plate 32 and thus on the workpieces 54 via the piston rod 28 in order to increase the lapping speed of the workpieces. Here, the ring 42 rotates relative to the pressure plate 32 about the axis determined by the piston rod 28, so that the inserts 52 pull off the lapping disk 14 in order to keep it in a flat state.

   As the lapping of the workpieces progresses, the lower ends of the adjusting screws 38 move towards the upper end face 46 of the ring 42.



  When the lower ends of the adjusting screws 38 engage the upper end face 46 of the ring 42, the downward movement of the pressure plate 32 is stopped so that the lapping of the workpieces 54 automatically stops, although the lapping machine continues to run. As a result of the provision of the highly abrasion-resistant inserts 52, the lower end face of the dressing and retaining ring 42 used to pull off the lapping disk 14 is not exposed to any wear. The height of the ring 42 therefore remains constant, and the upper face 46 serves as an accurate reference surface for the lapping limiter 30.

    All four devices 30 and retaining rings 42 are designed the same and work in the same way.



  In FIG. 4, a modified embodiment of the lapping limiting device according to the invention is designated as a whole by 30a. The device 30a is identical to the device 30 in its structure and mode of operation, except that the adjusting screws 38 and the locking nuts 40 on the three holders 34 are replaced by vertically arranged micrometer screws 60. Each of the micrometer screws 60 has a graduated sleeve 62 attached to the arm 36 of the holder 34, with a spindle 64 extending through the arm 36 and engaging the upper face 46 of the dressing and retaining ring 42 stop the downward movement of the plate 32.

   The vertical position of the spindle 64 can be carried out with a rotatably arranged handle 66.



       In Figure 5, a further modified embodiment of the lapping limiting device according to the invention is denoted by 30b. The device 30b, which is otherwise identical to the devices 30 or 30a, has an additional holder 34 'with an arm 36' to which a dial indicator 68 is attached. The feeler 70 of the dial indicator 68 extends through the arm 36 'and engages the upper end face 46 of the dressing and holding device 42 to determine the position of the pressure plate 32 relative to the ring 42 and thus the thickness of the remaining workpiece 54 indicate material to be removed during lapping.



  6-9, a further embodiment of the dressing and holding ring according to the invention is designated as a whole by 72. The dressing and holding ring 72 has an annular body 74 with three circumferentially spaced rows of radial cylindrical Publ openings 76a-f, 77a-f and 78a-f, each row being arranged at a helical distance. Corresponding openings of the three rows, for example the openings 76a, 77a and 78a lie in the same plane and are 120 offset from one another.



  In one opening of each row of openings 76a-f, 77a-f and 78a-f, a substantially cylindri-shear, radially expandable stop 80 is provided. Each stop 80 has an eccentric boss 82 that extends radially inward into the annular body 74. The stop 80 has a longitudinally directed, conical threaded bore 84 into which slots 86 open in order to allow a radial expansion of the stop, with a recess 88 also being provided.

   A conical threaded bolt 90 with a recess 92 is screwed into each conical threaded bore 84. The recesses 88 and 92 can have a hexagonal shape and serve to receive a key or the like.



  In the lower end face 94 of the annular body 74, an annular recess 96 is vorgese hen, in which a plurality of circumferentially divided, rectangular inserts 98 are attached by means of epoxy resin. The inserts 98, like the inserts 52, must be made of a material which has greater abrasion resistance than the material of the lapping disk 14 and are preferably made of a highly abrasion-resistant material, for example boron carbide.

   The lower end face 94 of the ring 72 and the lower surfaces of the inserts 68 lying in the same plane engage the horizontal lapping surface of the annular lapping disk 14 of a conventional lapping machine. The lapping disk consists of segments 15 which are attached to a lapping wheel 16.



  If the dressing ring 72 is used, the three stops 80 are first arranged in a set of corresponding openings in a common plane, for example in the openings 76a, 77a and 78a, the eccentric lugs 82 being adjusted approximately to the desired height .

   Then the stops 80 are rotatably adjusted by means of a socket wrench inserted into the recess 88 until the eccentric projection 82 assumes the exact, desired height. Finally, the conical screws 90 are screwed into the conical threaded bores 84 by means of a socket wrench inserted into the recess 92 in order to radially expand the stops 80 and thereby lock them in the preselected angular position within the opening 76a, 77a or 78a.



  After the lugs 82 of the stops 80 are precisely set and locked in their position, workpieces 100 are arranged in the dressing and holding ring 72 under the pressure plate 32, which is connected to a pneumatically or hydraulically operated piston rod 28 in the usual manner. When the pressure plate 32 engages the workpieces, the lower surface of the pressure plate is initially at a distance from the upwardly directed surfaces of the eccentric lugs 82 of the stops 80. The amount of material removed from the workpieces 100 is determined by the initial stand between the lower surface of the pressure plate 32 and the lugs 82.

   Accordingly, the finished, vertical dimension of the workpieces 100 is determined by the distance between the plane of the upwardly directed surfaces of the lugs 82 and the lapping surface of the lapping disc 14. As the lapping disk 14 rotates, a free-flowing mixture of abrasive particles and an oil carrier is fed to the lapping disk 14.

   A thin film 106 of this abrasive compound (the thickness of which is exaggerated in FIG. 7 for the sake of clarity) covers the lapping surface of the lapping disk 14, the dressing and retaining ring 72 and the workpieces 100 sliding over the film 106 during the lapping process.

   During the lapping process, a downward pressure can also be exerted via the piston rod 28 on the pressure plate 32 and thus on the workpieces 100 in order to increase the speed of the lapping of the workpieces, the ring 72 moving relative to the pressure plate 32 by the piston rod 28 rotates certain axis, so that the inserts 98 pull off the lapping disk 14 to keep it flat. As the work piece lapping continues, the lower surface of the pressure plate 32 moves closer to the stop lugs 82.



  When the lower surface of the pressure plate 32 engages the stop lugs 32, the downward movement of the plate 32 is stopped and the lapping of the workpieces 100 is automatically stopped even though the lapping machine continues to run. Since the abrasion-resistant inserts 98 are provided, the lower surface of the ring 72 is not exposed to wear, since the latter serves to pull off the lapping disk 14. The distance between the stop lugs 82 and the lower end face of the ring 72 therefore remains constant, the stop lugs 82 forming a precise lapping limit for the pressure plate 32.

   Adjustments in the vertical height of the stop lugs 82 can be made by converting the stops 80 from a set of the corresponding openings 76a-f, 77a-f and 78a-f from one level into a set of openings in another plane or by rotating the stops 80 within of the openings can be made at a given plane or by a combination of both possibilities. A dressing ring combined with a lapping limiting device can be used at one or more lapping stations in circumferential division around the lapping disc 14.

        10 and 11, a modified Ausfüh is approximately the form of the dressing and retaining ring according to the inven tion designated as a whole by 108. The ring 108 has an annular body 110 with three vertical slots 112 which are arranged in the inner wall of the same at 120 pitches. A stop 114 is slidably disposed in each of the slots 112 and has a nose 116 which projects radially inward into the ring body 110, each stop having a slot 118 with a shoulder 119 formed by a recess.

   A screw 122 which is screwed into a threaded bore 120 of the annular body 110 and has a head which engages the shoulder 119 of the slot extends through the slot 118 of each stop 114. The slots 118 permit vertical sliding movement of the stops 114 relative to the screws 122 so that the stops are vertically adjustable by loosening the screws 122 and moving the stops to the desired appropriate positions and tightening the screws. The lower end face 124 of the ring 110 is provided with an annular recess 126, in which a plurality of rectangular inserts 128 arranged in a circumferential division are fastened.

   The inserts 128 are made of the same material and are arranged in the same way as the inserts 98 of the dressing and retaining ring 72 and BEFE Stigt. The described dressing ring and the lapping limiting device 108 is used in the same way as the dressing ring and the lapping limiting device 72, the lugs 116 having the same purpose as the stop lugs 82, namely to limit the downward movement of the pressure plate 32.



  While preferred embodiments of the subject matter of the invention have been shown and described, it will be apparent to those skilled in the art that changes may be made without departing from the subject matter of the invention.


    

Claims (1)

PATENTANSPRUCH Läppvorrichtung, die in Verbindung mit einer Plan- läppmaschine verwendbar ist, mit zumindest einem auf der sich drehenden Läppscheibe der Maschine frei drehbar ruhenden Abricht- und Haltering, in welchem die Werkstücke unter einer auf diese einwirkenden, vertikal beweglichen Druckplatte angeordnet sind, da durch gekennzeichnet, dass zwischen dem Abricht- und Haltering (42, 72,<B>108)</B> und der Druckplatte (32) eine die Abwärtsbewegung der Druckplatte begrenzende An schlagvorrichtung (30, 30a, 80, 114) wirksam ist. PATENT CLAIM Lapping device, which can be used in connection with a face lapping machine, with at least one dressing and holding ring which is freely rotatably resting on the rotating lapping disk of the machine and in which the workpieces are arranged under a vertically movable pressure plate acting on them characterized in that a stop device (30, 30a, 80, 114) limiting the downward movement of the pressure plate is effective between the dressing and holding ring (42, 72, 108) and the pressure plate (32). UNTERANSPRÜCHE 1. Läppvorrichtung nach Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Anschlagvorrichtung (30, 30a) an der Druckplatte (32) angeordnet ist und an der oberen Stirnfläche (46) des Abricht- und Halteringes (42) an greift. 2. Läppvorrichtung nach Patentanspruch oder Unter anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Anschlag vorrichtung (30, 30a) einen an der Druckplatte (32) angebrachten, sich aufwärts erstreckenden, die obere Stirnfläche (46) des Abricht- und Halteringes (42) mit einem radial vorstehenden Arm (36) übergreifenden Halter (34, 36, 34', 36') aufweist, welcher ein verstellbares Anschlagelement (38, 60, 68) trägt. SUBClaims 1. Lapping device according to claim, characterized in that the stop device (30, 30a) is arranged on the pressure plate (32) and engages on the upper end face (46) of the dressing and holding ring (42). 2. Lapping device according to claim or sub-claim 1, characterized in that the stop device (30, 30a) attached to the pressure plate (32), upwardly extending, the upper end surface (46) of the dressing and holding ring (42) a holder (34, 36, 34 ', 36') which extends over a radially projecting arm (36) and which carries an adjustable stop element (38, 60, 68). 3. Läppvorrichtung nach Unteranspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das verstellbare Anschlagelement eine den radial vorstehenden Arm (36) durchgreifende, durch eine Sicherungsmutter (40) feststellbare Stell schraube (38) ist. 4. Läppvorrichtung nach Unteranspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das verstellbare Anschlagelement eine in dem radial vorstehenden Arm (36) befestigte Mikrometerschraube (60) ist. 5. Läppvorrichtung nach Unteranspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das verstellbare Anschlagelement eine in dem radial vorstehenden Arm (36) befestigte Messuhr (68) ist. 3. Lapping device according to dependent claim 2, characterized in that the adjustable stop element is a radially projecting arm (36) penetrating through a locking nut (40) lockable adjusting screw (38). 4. Lapping device according to dependent claim 2, characterized in that the adjustable stop element is a micrometer screw (60) fastened in the radially projecting arm (36). 5. Lapping device according to dependent claim 2, characterized in that the adjustable stop element is a dial gauge (68) fastened in the radially projecting arm (36). 6. Läppvorrichtung nach Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Anschlagvorrichtung (80, 114) an dem Abricht- und Haltering (72, 108) angeordnet ist und ein radial einwärts vorstehendes, an der unteren Stirnfläche der Druckplatte (32) angreifendes Anschlag element (82, 116) aufweist. 7. Läppvorrichtung nach Unteranspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das radial einwärts vorstehende Anschlagelement (82, 116) gegenüber dem Abricht- und Haltering (72, 108) axial verstell- und feststellbar ist. 6. Lapping device according to claim, characterized in that the stop device (80, 114) is arranged on the dressing and holding ring (72, 108) and a radially inwardly protruding stop element (82) engaging on the lower end face of the pressure plate (32) , 116). 7. Lapping device according to dependent claim 6, characterized in that the radially inwardly projecting stop element (82, 116) relative to the dressing and retaining ring (72, 108) is axially adjustable and lockable. B. Läppvorrichtung nach Unteranspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Abricht- und Haltering (72, 108) wenigstens drei in einer Ebene und in gleichen Winkelteilungen angeordnete, ihn radial durchgreifende Öffnungen (76a-f, 77a-f, 78a-f) aufweist, in welchen die Anschlagvorrichtungen (80) mit verstellbaren Anschlag elementen (82) angeordnet sind. B. lapping device according to dependent claim 6 or 7, characterized in that the dressing and holding ring (72, 108) at least three arranged in a plane and in equal angular pitches, radially penetrating openings (76a-f, 77a-f, 78a-f ), in which the stop devices (80) with adjustable stop elements (82) are arranged. 9. Läppvorrichtung nach Unteranspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Öffnungen (76a-f, 78a-f) zylin- drich ausgebildet sind und einen zylindrischen, radial aufweitbaren und in einer gewünschten Winkelstellung festklemmbaren Teil der Anschlagvorrichtung (80) auf nehmen, von dem sich ein exzentrisch angeordneter, das Anschlagelement bildender Ansatz (82) radial einwärts vorerstreckt. 10. 9. Lapping device according to dependent claim 8, characterized in that the openings (76a-f, 78a-f) are cylindrical and receive a cylindrical, radially expandable part of the stop device (80) that can be clamped in a desired angular position an eccentrically arranged projection (82) forming the stop element extends radially inward. 10. Läppvorrichtung nach Unteranspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der in den Öffnungen (76a-f, 77a-f, 78a-f) aufgenommene Teil der Anschlagvorrichtung eine dem Exzenteransatz (82) diametral gegenüberliegend angeordnete, konische Gewindebohrung (84) aufweist, von welcher sich mehrere Schlitze (86) radial erstrecken und welche eine ein entsprechendes konisches Gewinde aufweisende Spannschraube (90) aufnimmt. Lapping device according to dependent claim 9, characterized in that the part of the stop device accommodated in the openings (76a-f, 77a-f, 78a-f) has a conical threaded bore (84) arranged diametrically opposite the eccentric attachment (82), from which several slots (86) extend radially and which receive a clamping screw (90) having a corresponding conical thread. 11. Läppvorrichtung nach Unteranspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass eine Vielzahl von Öffnun gen (76a-f, 77a-f, 78a-f) auf drei in gleichen Umfangsab ständen verlaufenden Schraubenlinien angeordnet sind, von denen jeweils drei Öffnungen (76a, 77a, 78a, 76b, 77b, 78b usw.) in einer Ebene liegen. 12. Läppvorrichtung nach Unteranspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenwand des Ab- richt- und Halteringes (108) vorzugsweise drei sich axial erstreckende Nuten (112) aufweist, in welchen die Anschlagvorrichtungen (114) verstell- und feststellbar angeordnet sind. 11. Lapping device according to dependent claim 6 or 7, characterized in that a plurality of openings (76a-f, 77a-f, 78a-f) are arranged on three helical lines running in the same circumferential distance, each of which has three openings (76a, 77a, 78a, 76b, 77b, 78b etc.) lie in one plane. 12. Lapping device according to dependent claim 6 or 7, characterized in that the inner wall of the dressing and holding ring (108) preferably has three axially extending grooves (112) in which the stop devices (114) are adjustable and lockable. 13. Läppvorrichtung nach Unteranspruch 12, da durch gekennzeichnet, dass die Anschlagvorrichtung (114) ein langgestreckter Körper ist, welcher durch eine ein Langloch (118) der Anschlagvorrichtung durchgrei fende, in eine im Abricht- und Haltering vorgesehenen Gewindebohrung (120) eingeschraubte Klemmschraube (122) in einer gewünschten Stellung feststellbar ist, und dass das radial einwärts vorstehende Anschlagelement eine am unteren Ende des Körpers angebrachte Nase (116) ist. 13. Lapping device according to dependent claim 12, characterized in that the stop device (114) is an elongated body which through a slot (118) of the stop device durchgrei fende, in a provided in the dressing and retaining ring threaded hole (120) screwed clamping screw ( 122) can be locked in a desired position, and that the radially inwardly protruding stop element is a nose (116) attached to the lower end of the body. 14. Läppvorrichtung nach Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die untere Stirnfläche (48, 94 ,124) des Abricht- und Halteringes (42, 72, 108) mit Einsätzen (52, 98, 128) versehen ist, die aus einem einen grösseren Abnutzungswiderstand als das Material der Läppscheibe (14) aufweisenden Material hergestellt sind. 15. Läppvorrichtung nach Unteranspruch 14, da durch gekennzeichnet, dass in der unteren Stirnfläche (48, 94, 124) des Abricht- und Halteringes (42, 72, 108) eine Ringnut (50, 96,<B>126)</B> vorgesehen ist, in welcher die an der Läppscheibe angreifenden Einsätze (52, 98, 128) angeordnet sind. 14. Lapping device according to claim, characterized in that the lower end face (48, 94, 124) of the dressing and retaining ring (42, 72, 108) is provided with inserts (52, 98, 128) which consist of a greater wear resistance as the material of the lapping disc (14) comprising material. 15. Lapping device according to dependent claim 14, characterized in that in the lower end face (48, 94, 124) of the dressing and holding ring (42, 72, 108) an annular groove (50, 96, <B> 126) </ B > is provided in which the inserts (52, 98, 128) engaging the lapping disk are arranged. 16. Läppvorrichtung nach Unteranspruch 14, da durch gekennzeichnet, dass die Einsätze aus Borkarbid hergestellt sind, eine rechteckige Form aufweisen und mittels Epoxyharz in der Ringnut (50, 96, 126) befestigt sind. 16. Lapping device according to dependent claim 14, characterized in that the inserts are made of boron carbide, have a rectangular shape and are fastened in the annular groove (50, 96, 126) by means of epoxy resin.
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