CH440760A - Verfahren zur Materialanalyse in einem Sekundär-Elektronen-Emissionsmikroskop und Sekundär-Elektronen-Emissionsmikroskop zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents
Verfahren zur Materialanalyse in einem Sekundär-Elektronen-Emissionsmikroskop und Sekundär-Elektronen-Emissionsmikroskop zur Durchführung des VerfahrensInfo
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- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL134392D NL134392C (it) | 1965-09-21 | ||
| CH1305365A CH440760A (de) | 1965-09-21 | 1965-09-21 | Verfahren zur Materialanalyse in einem Sekundär-Elektronen-Emissionsmikroskop und Sekundär-Elektronen-Emissionsmikroskop zur Durchführung des Verfahrens |
| NL6515902A NL6515902A (it) | 1965-09-21 | 1965-12-07 | |
| DE19661598130 DE1598130C3 (de) | 1965-09-21 | 1966-08-19 | Verfahren und Vorrichtung zur Materialanalyse in einem Sekundär-Elektronen-Emissions-Mikroskop |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH1305365A CH440760A (de) | 1965-09-21 | 1965-09-21 | Verfahren zur Materialanalyse in einem Sekundär-Elektronen-Emissionsmikroskop und Sekundär-Elektronen-Emissionsmikroskop zur Durchführung des Verfahrens |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CH440760A true CH440760A (de) | 1967-07-31 |
Family
ID=4388878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CH1305365A CH440760A (de) | 1965-09-21 | 1965-09-21 | Verfahren zur Materialanalyse in einem Sekundär-Elektronen-Emissionsmikroskop und Sekundär-Elektronen-Emissionsmikroskop zur Durchführung des Verfahrens |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| CH (1) | CH440760A (it) |
| DE (1) | DE1598130C3 (it) |
| NL (2) | NL6515902A (it) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3249005T1 (de) * | 1981-09-01 | 1983-11-17 | Commonwealth Scientific And Industrial Research Organization, Campbell | Verfahren und vorrichtung zur bilderzeugung |
| US4843330A (en) * | 1986-10-30 | 1989-06-27 | International Business Machines Corporation | Electron beam contactless testing system with grid bias switching |
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0
- NL NL134392D patent/NL134392C/xx active
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1965
- 1965-09-21 CH CH1305365A patent/CH440760A/de unknown
- 1965-12-07 NL NL6515902A patent/NL6515902A/xx unknown
-
1966
- 1966-08-19 DE DE19661598130 patent/DE1598130C3/de not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3249005T1 (de) * | 1981-09-01 | 1983-11-17 | Commonwealth Scientific And Industrial Research Organization, Campbell | Verfahren und vorrichtung zur bilderzeugung |
| US4843330A (en) * | 1986-10-30 | 1989-06-27 | International Business Machines Corporation | Electron beam contactless testing system with grid bias switching |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE1598130B2 (de) | 1973-07-26 |
| DE1598130A1 (de) | 1971-02-18 |
| NL134392C (it) | |
| NL6515902A (it) | 1967-03-22 |
| DE1598130C3 (de) | 1974-02-21 |
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