CH440760A - Verfahren zur Materialanalyse in einem Sekundär-Elektronen-Emissionsmikroskop und Sekundär-Elektronen-Emissionsmikroskop zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents

Verfahren zur Materialanalyse in einem Sekundär-Elektronen-Emissionsmikroskop und Sekundär-Elektronen-Emissionsmikroskop zur Durchführung des Verfahrens

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CH440760A
CH440760A CH1305365A CH1305365A CH440760A CH 440760 A CH440760 A CH 440760A CH 1305365 A CH1305365 A CH 1305365A CH 1305365 A CH1305365 A CH 1305365A CH 440760 A CH440760 A CH 440760A
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CH
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electron emission
secondary electron
emission microscope
carrying
material analysis
Prior art date
Application number
CH1305365A
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Moellenstedt Gottfried Dr Prof
Helmut Dr Seiler
Wodsak Wilfried
Original Assignee
Balzers Patent Beteilig Ag
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/252Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers

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CH1305365A 1965-09-21 1965-09-21 Verfahren zur Materialanalyse in einem Sekundär-Elektronen-Emissionsmikroskop und Sekundär-Elektronen-Emissionsmikroskop zur Durchführung des Verfahrens CH440760A (de)

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DE (1) DE1598130C3 (de)
NL (2) NL6515902A (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3249005T1 (de) * 1981-09-01 1983-11-17 Commonwealth Scientific And Industrial Research Organization, Campbell Verfahren und vorrichtung zur bilderzeugung
US4843330A (en) * 1986-10-30 1989-06-27 International Business Machines Corporation Electron beam contactless testing system with grid bias switching

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US4843330A (en) * 1986-10-30 1989-06-27 International Business Machines Corporation Electron beam contactless testing system with grid bias switching

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DE1598130B2 (de) 1973-07-26
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DE1598130C3 (de) 1974-02-21
NL134392C (de)
DE1598130A1 (de) 1971-02-18

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