CH440760A - Verfahren zur Materialanalyse in einem Sekundär-Elektronen-Emissionsmikroskop und Sekundär-Elektronen-Emissionsmikroskop zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents
Verfahren zur Materialanalyse in einem Sekundär-Elektronen-Emissionsmikroskop und Sekundär-Elektronen-Emissionsmikroskop zur Durchführung des VerfahrensInfo
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- H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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Family
ID=4388878
Family Applications (1)
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NL (2) | NL6515902A (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3249005T1 (de) * | 1981-09-01 | 1983-11-17 | Commonwealth Scientific And Industrial Research Organization, Campbell | Verfahren und vorrichtung zur bilderzeugung |
US4843330A (en) * | 1986-10-30 | 1989-06-27 | International Business Machines Corporation | Electron beam contactless testing system with grid bias switching |
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1966
- 1966-08-19 DE DE19661598130 patent/DE1598130C3/de not_active Expired
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3249005T1 (de) * | 1981-09-01 | 1983-11-17 | Commonwealth Scientific And Industrial Research Organization, Campbell | Verfahren und vorrichtung zur bilderzeugung |
US4843330A (en) * | 1986-10-30 | 1989-06-27 | International Business Machines Corporation | Electron beam contactless testing system with grid bias switching |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE1598130B2 (de) | 1973-07-26 |
NL6515902A (de) | 1967-03-22 |
DE1598130C3 (de) | 1974-02-21 |
NL134392C (de) | |
DE1598130A1 (de) | 1971-02-18 |
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