CH391912A - Verfahren zur Sichtbarmachung und Aufnahme von elektronenoptischen Bildern - Google Patents

Verfahren zur Sichtbarmachung und Aufnahme von elektronenoptischen Bildern

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CH391912A
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CH1300961A
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Moellenstedt Gottfried P Habil
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Trueb Taeuber & Co Ag
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/285Emission microscopes, e.g. field-emission microscopes
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B44DECORATIVE ARTS
    • B44FSPECIAL DESIGNS OR PICTURES
    • B44F11/00Designs imitating artistic work
    • B44F11/04Imitation of mosaic or tarsia-work patterns

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  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH455959A (de) * 1965-11-25 1968-05-15 Balzers Patent Beteilig Ag Elektronenemissionsmikroskop
US3479505A (en) * 1966-06-30 1969-11-18 Applied Res Lab Method of operating an ion microprobe using secondary elections
GB1194355A (en) * 1967-10-25 1970-06-10 Standard Telephones Cables Ltd Improvements in or relating to Scanning Electron Microscopes.
US3930155A (en) * 1973-01-19 1975-12-30 Hitachi Ltd Ion microprobe analyser
US3878392A (en) * 1973-12-17 1975-04-15 Etec Corp Specimen analysis with ion and electrom beams
US4249077A (en) * 1978-08-04 1981-02-03 Crawford Charles K Ion charge neutralization for electron beam devices
GB2111299B (en) * 1981-11-30 1986-07-09 Thermo Electron Corp High current density photoelectron generators
US4460831A (en) * 1981-11-30 1984-07-17 Thermo Electron Corporation Laser stimulated high current density photoelectron generator and method of manufacture
DE3403254A1 (de) * 1984-01-31 1985-08-01 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren und vorrichtung zur kompensation von aufladungen bei der sekundaerionen-massenspektrometrie (sims) elektrisch schlecht leitender proben
JP2811073B2 (ja) * 1988-11-01 1998-10-15 セイコーインスツルメンツ株式会社 断面加工観察装置
JPH09320505A (ja) * 1996-03-29 1997-12-12 Hitachi Ltd 電子線式検査方法及びその装置並びに半導体の製造方法及びその製造ライン
US7660687B1 (en) * 2006-05-25 2010-02-09 Kla-Tencor Corporation Robust measurement of parameters

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2356633A (en) * 1939-10-19 1944-08-22 Ardenne Manfred Von Electronic microscope
US2281325A (en) * 1941-08-20 1942-04-28 Gen Electric Electron microscope
NL71103C (de) * 1946-08-30
DE1006983B (de) * 1955-02-01 1957-04-25 Leitz Ernst Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur uebermikroskopischen Abbildung mittels eines Jonenmikroskops
DE1133841B (de) * 1957-09-11 1962-07-26 Leitz Ernst Gmbh Elektronenmikroskop zur direkten Abbildung von Oberflaechen durch Sekundaerelektronen, Verfahren zur Untersuchung von Nichtleitern oder Halbleitern und Anordnung zur Durchfuehrung des Verfahrens

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