CH391418A - Verfahren zum Aufbringen von Schichten auf Träger, insbesondere für die elektronenmikroskopische Präparation - Google Patents

Verfahren zum Aufbringen von Schichten auf Träger, insbesondere für die elektronenmikroskopische Präparation

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CH391418A
CH391418A CH1350360A CH1350360A CH391418A CH 391418 A CH391418 A CH 391418A CH 1350360 A CH1350360 A CH 1350360A CH 1350360 A CH1350360 A CH 1350360A CH 391418 A CH391418 A CH 391418A
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CH1350360A
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Fritz Dr Grasenick
Herwig Dr Horn
Jakopic Erich
Otto Dr Reiter
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Fritz Dr Grasenick
Herwig Dr Horn
Jakopic Erich
Otto Dr Reiter
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    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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