CH273188A

CH273188A - Control valve system in a high vacuum pumping system.

Info

Publication number: CH273188A
Authority: CH
Inventors: Meopta Ver Nationalunternehmen; Blaha Ales Ing Dr; Kadlik Alois
Original assignee: Meopta Vereinigte Werke Fuer F; Blaha Ales Ing Dr; Kadlik Alois
Priority date: 1948-06-22
Filing date: 1949-06-08
Publication date: 1951-01-31

Description

  

      Steuerhahnsystem    in einer     Hochvakuumpumpanlage.       Der Gegenstand der Erfindung betrifft  ein     Steuerhahnsystem    in einer     1-Ioehvak-Li-tim-          pumpanlage,    die aus einer     Rotations-U          vakuumpumpe    und mindestens einer Diffu  sionsvakuumpumpe besteht.  



  Es ist bekannt,     dass    Diffusionsvakuum  pumpen für hohe     resuiltierende        VakLia    von  <B>-10-6</B>     mmlIg    für     ihrC    Tätigkeit ein     Vor-          vakuum    von etwa 10-2     mniHg        erF.ordern,     welches von einer     Rotations-Ölvakuumpumpe     erzeugt -wird. Es ist deshalb erforderlich, in  der     Vakuumpumpanlage    mehrere Hähne zum  Schliessen der einzelnen Rohrleitungen     einzu-          sehalten,    welche die Räume mit verschiede  nem Druck verbinden.

   So ist es insbesondere  erforderlich, einen Hahn zum Einlassen der  atmosphärischen Luft in die Vakuumpumpen  und in den     Hochvakuumraum,    einen zweiten  Hahn in der Saugrohrleitung der     Rotations-          Ölvakuumpumpe,    einen dritten Hahn in der  Rohrleitung des     Vorvakuums    der Diffusions  vakuumpumpe und einen     7-,veiwegigen    Hahn  in der Rohrleitung zu dein Raum des     Hoch.-          vakuums    zu benutzen. Diese an verschiedenen  Stellen in die Rohrleitungen eingeschalteten  Hähne erschwerten die übersieht und Bedie  nung der ganzen     VorrichtLing.     



  Das     Steuerliahnsystem    der Erfindung ist  dadurch gekennzeichnet,     dass    mehrere     Kegel-          bähne    mit den entsprechenden, Räume     ver-          sehiedenen    Druckes verbindenden     Hohlräu-          inen    und Kanälen in einem gemeinsamen,  eine Baueinheit bildenden Körper vereinigt    sind, wobei sämtliche     Hahnküken    dieselbe  Grösse und Form haben.

   Zweckmässig sind die       Axialhöhlräume    der     Hahnküken    stets mit  dem Raum niedrigeren Druckes verbunden,  so     dass    die Küken durch den äussern atmo  sphärischen Druck selbsttätig an ihre Sitze       gepresst    werden. Es ist weiter vorteilhaft,       dass    die obern Stirnflächen der Küken unter  dem Niveau der obern Fläche des gemein  samen Körpers liegen, wodurch     Unebenheiten     der     Dichtungsfläclien    bei fortschreitender<B>Ab-</B>  nutzung der Küken und deren Sitze vorge  beugt wird.  



  Ein Ausführungsbeispiel des     Gegenstan-          des,cler    Erfindung -unter Benutzung einer ein  zigen Diffusionsvakuumpumpe ist in der bei  liegenden Zeichnung dargestellt, wo die       Fig.   <B>1</B> eine Draufsicht des     Steuerhahn-          systems    bei entfernten     Hahnküken,          Fig.    2 einen Längsschnitt des Körpers des       Steuerhahnsystems    gemäss der Ebene     E-F     nach     Fig.   <B>1,

  </B>       Fig.   <B>3</B> einen Querschnitt des Körpers     ge-          mHss    der Ebene     A-B    nach     Fig.   <B>1</B> und       Fig.    4 einen Querschnitt des Körpers ge  <B>mäss</B> der Ebene     C-D    nach     Fig.   <B>1</B> darstellen.  In der     Fig.    2 ist ein Metallkörper<B>1</B> dar  gestellt, in dem Kegelsitze für die gleiche  Form und Grösse     aLifweisenden    Küken der  Hähne 2,<B>3,</B> 4,<B>5, 6</B> ausgebildet sind.

   Der Hahn  2     (Fig.   <B>1</B> und 4) ist zum Einlassen der     atmo-          sphärisehen    Luft mit einer Bohrung<B>7</B>     so-wie     mit einem     Axialhohlraum   <B>8</B> versehen, aus      dem die Luft in einen erweiterten     zylindri-          sehen    Hohlraum<B>9</B> und von hier in einen       durehlalifenden    Kanal<B>10</B> gelangt, aus wel  chem die Luft entweder in die     VakuLimpum-          peu    oder in den     Hochvakuumraum    einge  lassen werden kann.

   Der Hahn<B>3</B> ist durch  einen     Axialkanal   <B>11</B> einerseits an die Saug  rohrleitung der     Rotations-Ölvaktitimpumpe,     anderseits über einen zylindrischen Hohl  raum 12, einen     Axialhohlraum   <B>13,</B> eine     Ra-          dialöffnung    14     (Fig.   <B>3)</B> und einen Kanal<B>15</B>  mit dem     durehlaufenden    Kanal<B>10</B> verbun  den.

   Der Hahn 4 ist durch eine     Radialöffnung     <B>16</B> mit der Rohrleitung des     Vorvak-Li-Luns    der       Di:Husionsvakuumplunpe    und vermittels eines       Axialhohlraumes   <B>17</B> über einen zylindrischen  Hohlraum<B>18</B> mit dem durchlaufenden Kanal  <B>10</B> verbunden.

   Der Hahn<B>5</B> ist über einen       Axialhohlraum   <B>19,</B> einen     Uohlraum    20 -und  eine Bohrung 21 an die Rohrleitung des       HochvakLiums    der     DiffusionsvalcuiumpLimpe     und über eine     Radialöffnung    22 an einen  Kanal<B>23</B> der     Rohrleit-Luig    des     Hochvakuum-          ra-times    angeschlossen.

   Der Hahn<B>6</B> ist über  einen     Axialhohlraum    24 -und durch einen  zylindrischen     Hohlraxim   <B>25</B> mit dem durch  laufenden Kanal<B>10</B> und über eine     Radial-          öfin-umg   <B>26</B> zum Kanal<B>23</B> mit der Rohrleitung  des     Hochvakuumraumes    verbunden.  



  Die Achse des Kanals<B>23</B> liegt etwas näher  der Achse des Hahnes<B>5,</B> wobei auch die       Radialöffnung    22 grösser ist als die     Radial-          öffnung   <B>26</B> des benachbarten Hahnes<B>6,</B> wo  durch in dem Hahn<B>5</B> dem     Durchfluss    der ge  förderten Luft oder dem Gas zweckmässig  ein kleinerer Widerstand geboten wird.  



  Die obern Stirnflächen<B>27</B> der Küken  sämtlicher Hähne 2,<B>3,</B> 4,<B>5, 6</B> liegen unter  dem Niveau der obern Ebene des gemein  samen, metallenen Körpers<B>1,</B> so     dass    durch  die fortschreitende Abnutzung der Sitze     bzw.     Küken keine Unebenheiten entstehen.  



  Das     Steuerhahnsystem    arbeitet wie folgt:  sind nur die Hähne<B>3</B>     und    4 geöffnet und  wird die Ölvakuumpumpe in Tätigkeit ge  setzt, so wird die Rohrleitung des     Vorvakuums     der Diffusionsvakuumpumpe entleert.

   Nach  dem Schliessen des Hahnes 4 Lind dem<B>Öff-</B>         nen    des Hahnes<B>6</B> wird der auf Hochvakuum  zu evakuierende Raum     auf        Vorvakuain        aus-          gepi-unpt.    Darauf wird die Diffusionsvakuum  pumpe in Tätigkeit gesetzt und nach Schaf  fung eines ausreichenden     Vorvakliums    der  Hahn<B>6</B> geschlossen und die Hähne 4,<B>5</B> ge  öffnet, womit die Anlage zur Ausbildung  des Hochvakuums im     aus7-Lipumpenden        Raurn     vorbereitet ist,  Es ist ersichtlich,

       dass    ein solches     Steuer-          hahnsystem    die Nachteile der bisherigen       Steuerhahnsysteine    dieser Art beseitigt, indem  es eine Übersichtlichkeit der ganzen Anlage  schafft, dadurch eine richtige Kontrolle der  Tätigkeit der Vakuumpumpe erleichtert und  ausserdem die Dichtigkeit des     Steuerhahn-          systems    verbessert.

   Die Erfindung kann auch  beim     Anschluss    von mehreren weiteren     Dif-          lusionsvak-Lilunp-Limpen    an die Anlage     ange-          ,A"andt    werden,     und    die Adaption des     Steuer-          hahnsystems    kann durch blosse Steigerung  der Anzahl der Hähne, und zwar stets um  drei Hähne für eine jede weitere Vakuum  pumpe, erfolgen, wobei der Vorteil der zen  tralen Kontrolle des ganzen     Steuersystenis     stets aufrechterhalten bleibt.  



  Das beschriebene Ausführungsbeispiel stellt  selbstverständlich nur eine der vielen     mög-          liehen    Anwendungen der     Erlind-Luig    dar. So  ist es z. B. möglich, das     Steuerhahnsystem     unmittelbar an der Konstruktion der     Diffu-          sionsvak-Liumpumpe    oder an einer Reihe von  Diffusionsvakuumpumpen zu lagern, wobei  die Entfernung der Hähne entsprechend der  Entfernung der     Diff-uisionsvalz-Li-Limpumpen        züi     wählen ist.



      Control valve system in a high vacuum pumping system. The subject of the invention relates to a control valve system in a 1-Ioehvak-Li-tim pump system, which consists of a rotary vacuum pump and at least one diffusion vacuum pump.



  It is known that diffusion vacuum pumps for high resulting vacLia of <B> -10-6 </B> mmlIg require a pre-vacuum of about 10-2 mniHg for their activity, which is generated by a rotary oil vacuum pump . It is therefore necessary to keep several taps in the vacuum pumping system to close the individual pipelines which connect the rooms with different pressures.

   In particular, it is necessary to have a tap to let the atmospheric air into the vacuum pumps and into the high vacuum space, a second tap in the suction pipe of the rotary oil vacuum pump, a third tap in the pipe of the fore-vacuum of the diffusion vacuum pump and a 7-way tap in the pipeline to your high-vacuum room. These taps, which were switched on at various points in the pipes, made it difficult to overlook and operate the entire device.



  The control system of the invention is characterized in that several cone lanes with the corresponding cavities and channels connecting spaces of different pressure are combined in a common body forming a structural unit, with all cock plugs having the same size and shape.

   The axial cavities of the cock plug are expediently always connected to the space of lower pressure, so that the plug is automatically pressed against their seats by the external atmospheric pressure. It is further advantageous that the upper end faces of the chicks are below the level of the upper surface of the common body, which prevents unevenness of the sealing surfaces as the chicks and their seats progressively wear.



  An embodiment of the subject matter of the invention using a single diffusion vacuum pump is shown in the accompanying drawing, where FIG. 1 shows a plan view of the control valve system with the cock plug removed, FIG Longitudinal section of the body of the control valve system according to plane EF according to Fig. <B> 1,

  </B> Fig. 3 </B> shows a cross section of the body according to the plane AB according to FIG. 1 and FIG. 4 shows a cross section of the body according to </ B> represent the plane CD according to FIG. 1. In Fig. 2, a metal body <B> 1 </B> is shown, in which conical seats for the same shape and size aLif-pointing chicks of the taps 2, <B> 3, </B> 4, <B> 5, 6 are formed.

   The tap 2 (FIGS. 1 and 4) is for admitting the atmospheric air with a bore <B> 7 </B> as well as with an axial cavity <B> 8 </B> provided, from which the air enters an enlarged cylindrical cavity <B> 9 </B> and from here into a continuous channel <B> 10 </B>, from which the air either enters the vacuum pump or can be let into the high vacuum chamber.

   The tap <B> 3 </B> is through an axial channel <B> 11 </B> on the one hand to the suction pipe of the rotary oil vactite pump, on the other hand via a cylindrical cavity 12, an axial cavity <B> 13, </B> > a radial opening 14 (Fig. <B> 3) </B> and a channel <B> 15 </B> connected to the continuous channel <B> 10 </B>.

   The valve 4 is connected through a radial opening <B> 16 </B> to the pipeline of the Vorvak-Li-Lun of the Di: Husionsvakuumplunpe and by means of an axial cavity <B> 17 </B> via a cylindrical cavity <B> 18 </ B> connected to the continuous channel <B> 10 </B>.

   The tap <B> 5 </B> is connected via an axial cavity <B> 19, </B> a cavity 20 - and a bore 21 to the pipeline of the high vacuum of the diffusion valcuiumpLimpe and via a radial opening 22 to a channel <B> 23 </B> the pipeline Luig of the high vacuum ra-time connected.

   The cock <B> 6 </B> is surrounded by an axial cavity 24 and a cylindrical hollow axis 25 with the channel 10 running through it and a radial opening <B> 26 </B> connected to channel <B> 23 </B> with the pipeline of the high vacuum space.



  The axis of the channel 23 lies somewhat closer to the axis of the tap 5, the radial opening 22 also being larger than the radial opening 26 of the neighboring one Tap <B> 6 </B> where, in tap <B> 5 </B>, the flow of the conveyed air or gas is expediently offered a smaller resistance.



  The upper end faces <B> 27 </B> of the chicks of all taps 2, <B> 3, </B> 4, <B> 5, 6 </B> are below the level of the upper level of the common metal Body <B> 1, </B> so that no unevenness occurs due to the progressive wear and tear of the seats or chicks.



  The control tap system works as follows: if only taps <B> 3 </B> and 4 are open and the oil vacuum pump is activated, the pipeline of the fore-vacuum of the diffusion vacuum pump is emptied.

   After closing the valve 4 and <B> opening </B> the valve <B> 6 </B>, the space to be evacuated to high vacuum is pi-unpt to pre-vacuum. The diffusion vacuum pump is then put into operation and, after creating a sufficient pre-vacuum, the cock <B> 6 </B> is closed and the cocks 4, <B> 5 </B> are opened, whereby the system for the formation of the high vacuum is opened is prepared from 7-Lipumpenden Raurn, It can be seen

       that such a control valve system eliminates the disadvantages of the previous control valve systems of this type by creating a clear overview of the entire system, thereby facilitating correct control of the operation of the vacuum pump and also improving the tightness of the control valve system.

   The invention can also be applied when connecting several other Diffusion Vac-Lilunp-Limpen to the system, and the adaptation of the control valve system can be achieved by simply increasing the number of valves, always by three valves for every additional vacuum pump, while the advantage of central control of the entire control system is always maintained.



  The embodiment described is of course only one of the many possible borrowed applications of Erlind-Luig. B. possible to store the control valve system directly on the construction of the diffusion vacuum lithium pump or on a number of diffusion vacuum pumps, the distance of the cocks being selected according to the distance of the diffusion valz lithium limpumps.

Claims

PATENT CLAIM: Control valve system in a hoeb vacuum pump system consisting of a rotation oil vacuum, impe and at least one diffusion vacuum pump system, characterized in that several cone valves (2, 3, 4, 5, 6) with the corresponding cavities and channels connecting spaces of different pressure are combined in a common body forming a structural unit (lj,

all cock chicks have the same size - Lind shape. SUBClaims: 1. Control valve system according to patent claim, characterized in that the plug cavities (8, 13, 17, 19, 24) of the cone valves (2, 3, 4, 5, 6) are always connected to a room with lower pressure, so that the cocks' chicks are automatically pressed against their cone seats.

2. Control valve system according to claim and dependent claim 1, characterized in that the upper end faces (27) of the cocks (2, 3, 4, 5, 6) below the level of the upper surface of the common body (1) .

3. Control valve system according to patent claim and dependent claim 1, characterized by a channel (10) provided through the body (1) , which by means of enlarged cylindrical cavities (9, 18, 25) with the axial cavities (8, 17, 24) of at least three taps (2, 4 , 6) is connected.

4. Control valve system according to patent claim and dependent claims 1. and 3, characterized in that the radial openings (22, 26) of two adjacent taps (5, 6) work together with -a common channel (23) for the pipeline leading to the space to be evacuated, the radial opening (22) of the one in the suction The pipe of the diffusion vacuum pump lying tap (5) has a larger cross-section than the radial opening (26) of the adjacent tap (6) .

5. Control valve system according to patent claim and sub-claims 1, 3 and 4, characterized in that the suction pipe line of the rotary oil valve - oil pump and the diff-u- sions vacuum pump to those Wall of the common, whole body (1) are connected, in which the axial hollow spaces (21 to 19, 11 to 13) of the chicks the corresponding taps (3, 5) open.

6. Control valve system according to claim and dependent claims 1, 3 and 4, characterized in that the pipeline to the room to be evacuated and the fore-vacuum pipeline of the diffusion vacuum pump to that wall of the common body (1) are closed, in which the one with the radial openings (22, 26) of the two adjacent cone valves (5,6) cooperating common channel (23) opens.