CH230291A - Direktzeigendes Ionisationsvakuummeter. - Google Patents

Description

  Direktzeigendes     lonisationsvakuummeter.       Die bisher üblichen Methoden zur Mes  sung höchster Vakua zeigen Nachteile, wel  che sie für die Anwendung im Betrieb und  in der Fabrikation von Verstärker-,     Sende-          und        Gleichrichterrühren    als ungeeignet er  scheinen lassen. Der Hauptnachteil     ist    die  grosse Erschütterungsempfindlichkeit. Die  gebräuchlichste Methode zur Kontrolle hoher  Vakua während des     Pumpprozesses        stüytzt     sich auf das     sogena.nnte    Hangphänomen im       MeLeodsehen    Manometer.

   Man versteht dar  unter das Hängenbleiben des Quecksilber  fadens in der Kompressionskapillare bei  Drucken unter     10-6        Torr.    Die Länge des  hängenbleibenden Fadens ist ein Mass für den  Druck. Man gewinnt damit allerdings nur  eine qualitative Druckangabe, zum Beispiel  ob ein bestimmter Minimaldruck schon unter  schritten ist. Die Angaben verschiedener In  strumente (selbst bei gleicher     Dimensionie-          rung)    lassen sich nicht miteinander verglei  chen. Rasch verlaufende     Druckänderungen,     wie sie bei Gasausbrüchen im Rezipienten oft    vorkommen, lassen sich mit dieser Methode  nicht erfassen.  



  Das     Ienisationsmanometer    erlaubt Drucke  bis zu 10-7     Torr    zu messen. Hohe Ansprüche  an     Isolationsgüte    und     Verwendung    emp  findlichster Spiegelgalvanometer machen die  Brauchbarkeit dieses Instrumentes gering.  



  Das     Knudsenvakuummeter    ist für sehr  kleine Drucke zu erschütterungsempfindlich.  Ferner kann wegen des langsamen Wärme  austausches zwischen Heizfläche und beweg  lichem System nicht     kontinuierlich    über  einen grösseren Zeitraum gemessen werden.  



  Die Reibungsmanometer sind zu erschüt  terungsempfindlich.  



  Gegenstand vorliegender Erfindung ist  ein direktzeigendes     Ionisationsvakuummeter,     welches sich dadurch auszeichnet, dass der  mechanische Impuls der durch ein elektri  sches Feld beschleunigten positiven Ionen zur       Betätigung    eines Anzeigesystems verwendet  wird. Dieses Anzeigesystem kann verhältnis  mässig robuste und erschütterungsunempfind-      lieh ausgeführt und die Beschleunigungs  spannung so gross gemacht werden, dass die  obengenannten Nachteile vermieden werden.  Eine Ausführungsform des Vakuummeters  nach der Erfindung     ist    beispielsweise in bei  liegender schematischer Zeichnung darge  stellt.  



  Von einer Glühkathode K werden die  Elektronen durch eine positive Spannung von  einigen tausend Volt zur Anode     f1    beschleu  nigt. Durch Stoss vermögen sie die Moleküle  des Restgases nach Massgabe der     Ionisierungs-          wahrscheinlichkeit    zu ionisieren. Die so ge  bildeten positiven Träger werden in der dem  Elektronenstrom entgegengesetzten Richtung,  also von der Anode zur Kathode beschleunigt.  Sie fliegen als "Kanalstrahlen" zwischen den  Drähten der,Kathode und durch ein Gitter  G hindurch und geben ihren mechanischen  Impuls an ein bewegliches Anzeigesystem     B     ab, dessen Anschlag auf einer Skala     S    den  Druck anzeigt.

   Der vorhandene Gasdruck ist,       ceteris        paribus,    in weiten Grenzen der Zahl  der gebildeten Ionen proportional. Kathode,  Gitter und Anzeigesystem liegen an gleichem  Potential. Das Gitter hat die Aufgabe, einer  seits einen     Potentialdurchgriff    von der Anode  auf die Anzeigevorrichtung und damit eine  rein elektrostatische Kraftwirkung     zii    ver  hindern, anderseits die     Glühkathode    ther  misch abzuschirmen. Dadurch werden die         Radiometerkräfte        vernachlässigbar    klein.

    Es ist auch möglich, zur Nachbeschleuni  gung der positiven Ionen zwischen Kathode  und Gitter dem Gitter ein     gegenüber    der  Kathode negatives Potential zu erteilen. In  diesem Fall muss, um statische Kräfte auszu  schalten, das Anzeigesystem     B    mit einem       Faradayschen    Schutzkäfig umgeben und mit  diesem an gleiches Potential gelegt werden.  Bei P wird das Instrument an die Pumpe  oder den Rezipienten angeschlossen,     dessen     Hochvakuum zu messen ist.

Claims (1)

1. PATENTANSPRUCH: Direktzeigendes Ionisationsvakuummeter, dadurch gekennzeichnet, dass der mechanische Impuls der durch ein elektrisches Feld be schleunigten positiven Ionen zur Betätigung eines Anzeigesystems verwendet wird. UNTERANSPRüCHE 1. Direktzeigendes Ionisationsvakuum- meter nach Patentanspruch, dadurch gekenn zeichnet, dass die Kathode eine Glühkathode ist. 2. Direktzeigendes lonisationsvakuum- meter nach Patentanspruch und Unteran spruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die positiven Ionen zwischen der Kathode und einem Gitter eine Nachbeschleunigung er fahren.