CA2296112A1 - Metal revetu de resine positive photo-definissable pour production de masse de trous d'interconnexion a l'echelle microscopique dans des tableaux de connexions multicouche imprimes - Google Patents

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Chengzeng Xu
James T. Yardley
David Haas
Michael Vallance
Jeffrey Thomas Gotro
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On produit des tableaux de connexions multicouche imprimés composites et de densité élevée par mise en place de trous d'interconnexion au moyen de matériaux diélectriques positifs photo-imageables. On pellicule des tracés électro-conducteurs (6) se trouvant sur un substrat (8) au moyen d'une composition diélectrique positive photosensible (4) sur film électro-conducteur (2). Après formation d'image sur le film électro-conducteur (2), formation d'image et prise de la composition diélectrique photosensible (4), on ménage des trous d'interconnexion (14) aboutissant aux tracés électro-conducteurs (6). Ces tracés électro-conducteurs (6) sont, par la suite, connectés (16) au moyen des trous d'interconnexion (14) au film électro-conducteur (2) qui se trouve alors configuré.
CA002296112A 1997-04-03 1998-04-13 Metal revetu de resine positive photo-definissable pour production de masse de trous d'interconnexion a l'echelle microscopique dans des tableaux de connexions multicouche imprimes Abandoned CA2296112A1 (fr)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016007718A1 (fr) * 2014-07-10 2016-01-14 Isola Usa Corp. Films minces de résine et leur utilisation dans des empilements

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