BR0307130A - Processo de fabricação de camadas de silìcio poroso por exposição a vapores corrosivos do silìcio - Google Patents

Processo de fabricação de camadas de silìcio poroso por exposição a vapores corrosivos do silìcio

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BR0307130A
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Elder Alpes De Vasconcelos
Berlinck Eneas Correia Santos
Walter Mendes De Azevedo
Eronides Felisberto Da J Silva
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Elder Alpes De Vasconcelos
Berlinck Eneas Correia Santos
Walter Mendes De Azevedo
Eronides Felisberto Da J Silva
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"PROCESSO DE FABRICAçãO DE CAMADAS DE SILìCIO POROSO POR EXPOSIçãO A VAPORES CORROSIVOS DO SILìCIO". A presente invenção refere-se à produção de nanocristais de Si por meio da formação de camadas de silício poroso. O método aqui proposto envolve a utilização de um béquer contendo uma solução de quatro partes de HF e uma parte de HNO3, sobre o qual fica exposto o substrato de silício. Quando são colocados pedaços de Si na solução, gera-se o vapor que origina a camada de Si poroso (fig.1). Tal método proporciona camadas com luminescência na chamada banda S (vermelho-alaranjado) (fig.2) com excelente uniformidade e reprodutibilidade (fig.3).
BR0307130-8A 2003-09-10 2003-09-10 Processo de fabricação de camadas de silìcio poroso por exposição a vapores corrosivos do silìcio BR0307130A (pt)

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