BE849065A - Procede pour realiser des angles de talus determines pour des bords de structures realisees par attaque chimique - Google Patents

Procede pour realiser des angles de talus determines pour des bords de structures realisees par attaque chimique

Info

Publication number
BE849065A
BE849065A BE172972A BE172972A BE849065A BE 849065 A BE849065 A BE 849065A BE 172972 A BE172972 A BE 172972A BE 172972 A BE172972 A BE 172972A BE 849065 A BE849065 A BE 849065A
Authority
BE
Belgium
Prior art keywords
edges
chemical attack
slope angles
determined slope
structures achieved
Prior art date
Application number
BE172972A
Other languages
English (en)
French (fr)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Publication of BE849065A publication Critical patent/BE849065A/xx

Links

Classifications

    • H10P70/273—
    • H10P50/268—
    • H10P50/283—
    • H10P50/667—
    • H10W20/082—
BE172972A 1975-12-04 1976-12-03 Procede pour realiser des angles de talus determines pour des bords de structures realisees par attaque chimique BE849065A (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19752554638 DE2554638A1 (de) 1975-12-04 1975-12-04 Verfahren zur erzeugung definierter boeschungswinkel bei einer aetzkante

Publications (1)

Publication Number Publication Date
BE849065A true BE849065A (fr) 1977-04-01

Family

ID=5963486

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
BE172972A BE849065A (fr) 1975-12-04 1976-12-03 Procede pour realiser des angles de talus determines pour des bords de structures realisees par attaque chimique

Country Status (7)

Country Link
JP (1) JPS5269576A (index.php)
BE (1) BE849065A (index.php)
DE (1) DE2554638A1 (index.php)
FR (1) FR2334199A1 (index.php)
GB (1) GB1551290A (index.php)
IT (1) IT1065165B (index.php)
NL (1) NL7613275A (index.php)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DD136670A1 (de) * 1976-02-04 1979-07-18 Rudolf Sacher Verfahren und vorrichtung zur herstellung von halbleiterstrukturen
DE2754549A1 (de) * 1977-12-07 1979-06-13 Siemens Ag Optoelektronischer sensor nach dem prinzip der ladungsinjektion
DE2837485A1 (de) * 1978-08-28 1980-04-17 Siemens Ag Verfahren zur herstellung einer ladungsgekoppelten anordnung fuer sensoren und speicher
JPS55157234A (en) * 1979-05-25 1980-12-06 Chiyou Lsi Gijutsu Kenkyu Kumiai Manufacture of semiconductor device
JPS60128622A (ja) * 1983-12-16 1985-07-09 Hitachi Ltd エツチング法
GB2165692B (en) * 1984-08-25 1989-05-04 Ricoh Kk Manufacture of interconnection patterns
DE68925774T2 (de) * 1988-10-02 1996-08-08 Canon Kk Feinbearbeitungsmethode für kristallines Material
DE4140330C1 (index.php) * 1991-12-06 1993-03-18 Texas Instruments Deutschland Gmbh, 8050 Freising, De
DE19837395C2 (de) * 1998-08-18 2001-07-19 Infineon Technologies Ag Verfahren zur Herstellung eines eine strukturierte Isolationsschicht enthaltenden Halbleiterbauelements
US6352934B1 (en) * 1999-08-26 2002-03-05 Infineon Technologies Ag Sidewall oxide process for improved shallow junction formation in support region
US20060175670A1 (en) * 2005-02-10 2006-08-10 Nec Compound Semiconductor Device, Ltd. Field effect transistor and method of manufacturing a field effect transistor
JP2011243657A (ja) * 2010-05-14 2011-12-01 Mitsumi Electric Co Ltd 半導体装置の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
FR2334199B1 (index.php) 1979-04-06
GB1551290A (en) 1979-08-30
IT1065165B (it) 1985-02-25
DE2554638A1 (de) 1977-06-16
NL7613275A (nl) 1977-06-07
FR2334199A1 (fr) 1977-07-01
JPS5269576A (en) 1977-06-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RO75757A (ro) Procedeu de purificare a compusilor vinilaromatici
BE846555A (fr) Procede pour la preparation de polyurethannes
BE838754A (fr) Procede ameliore pour la preparation de dimethylol-2, 2-alcanals
BE849065A (fr) Procede pour realiser des angles de talus determines pour des bords de structures realisees par attaque chimique
RO70581A (ro) Procedeu de preparare a unor amidoxime
BE844787A (fr) Procede pour la chloration dirigee des alcoylbenzenes
BE825861A (fr) Procede pour isoler des tuyaux
RO69367A (ro) Procedeu de indepartare a mercurului metalic din ape reziduale
BE842584A (fr) Procede pour la preparation de dihalogenures gemines
BE827021A (fr) Procede pour la fabrication de tubes cathodiques
PT64718B (fr) Procede pour la preparation de phenyalcoylamines
FR2313380A1 (fr) Procede pour la preparation de methacrylate de glycidyle
RO69403A2 (ro) Procedeu de purificare a extractelor continind substante de evacuare a uterului
BE849717A (fr) Procede pour rendre hydrophobes des materiaux de construction
FR2334623A1 (fr) Procede pour la preparation du soufre
FR2322133A1 (fr) Procede pour produire des acyl-taurides
BE838200A (fr) Procede pour la preparation de chlorures de chloroalcoylbenzene
PT64699A (fr) Procede pour eviter l incrustation des reacteurs de polimerisation
FR2312776A1 (fr) Procede pour la realisation d'une electrode selective d'ions
RO72558A (ro) Procedeu pentru prepararea unor cicloalcanpirazoli
BE839877A (fr) Procede d'inhibition du retrait d'une composition de ciment
RO72510A (ro) Procedeu de preparare a unor fenilpirazine
FR2300676A1 (fr) Procede pour
BE841905A (fr) Procede de preparation de chloranthraquinones a partir de nitroanthraquinones
FR2348174A1 (fr) Procede pour la preparation de dihalogenures gemines