BE746704A - Inrichting voor het vervaardigen en bewerken van geintegreerde schakelingen en soortgelijke voorwerpen - Google Patents

Inrichting voor het vervaardigen en bewerken van geintegreerde schakelingen en soortgelijke voorwerpen

Info

Publication number
BE746704A
BE746704A BE746704DA BE746704A BE 746704 A BE746704 A BE 746704A BE 746704D A BE746704D A BE 746704DA BE 746704 A BE746704 A BE 746704A
Authority
BE
Belgium
Prior art keywords
editing
manufacture
integrated circuits
similar objects
objects
Prior art date
Application number
Other languages
English (en)
Dutch (nl)
Inventor
Patentverwaltung G.M.B.H. Philips
Original Assignee
Philips Nv
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE19691910546 external-priority patent/DE1910546C/de
Application filed by Philips Nv filed Critical Philips Nv
Publication of BE746704A publication Critical patent/BE746704A/nl

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/067—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multifocusing
    • B23K26/0676—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multifocusing into dependently operating sub-beams, e.g. an array of spots with fixed spatial relationship or for performing simultaneously identical operations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/067—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multifocusing
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
    • H01L21/0271—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers
    • H01L21/0273—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers characterised by the treatment of photoresist layers
    • H01L21/0274—Photolithographic processes
    • H01L21/0275—Photolithographic processes using lasers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
  • Polarising Elements (AREA)
  • Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
BE746704D 1969-03-01 1970-02-27 Inrichting voor het vervaardigen en bewerken van geintegreerde schakelingen en soortgelijke voorwerpen BE746704A (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19691910546 DE1910546C (de) 1969-03-01 Elektro oder magneto optische Anord nung zur Herstellung und Bearbeitung von integrierten Schaltungen und ahnlichen Ob jekten

Publications (1)

Publication Number Publication Date
BE746704A true BE746704A (nl) 1970-08-27

Family

ID=5726854

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
BE746704D BE746704A (nl) 1969-03-01 1970-02-27 Inrichting voor het vervaardigen en bewerken van geintegreerde schakelingen en soortgelijke voorwerpen

Country Status (7)

Country Link
BE (1) BE746704A (cs)
BR (1) BR7017138D0 (cs)
CH (1) CH504784A (cs)
ES (1) ES376993A1 (cs)
FR (1) FR2041059B1 (cs)
GB (1) GB1305605A (cs)
NL (1) NL7002789A (cs)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2441472A1 (de) * 1974-08-29 1976-03-11 Siemens Ag Anordnung zum lichtoptischen rechnergesteuerten zeichnen von masken fuer halbleiter-bauelemente
JPS57198631A (en) * 1981-05-29 1982-12-06 Ibm Exposing method and device
FR2615635B1 (fr) * 1987-05-19 1991-10-11 Thomson Csf Dispositif de controle d'un faisceau lumineux dans un grand champ angulaire et application a un dispositif de detection

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1565007A1 (de) * 1965-05-25 1970-05-21 Philips Patentverwaltung Verfahren und Geraet zur thermischen Materialbearbeitung mittels Laserstrahlen

Also Published As

Publication number Publication date
DE1910546A1 (de) 1970-09-17
ES376993A1 (es) 1972-05-16
GB1305605A (cs) 1973-02-07
DE1910546B2 (de) 1972-04-06
BR7017138D0 (pt) 1973-01-16
FR2041059A1 (cs) 1971-01-29
FR2041059B1 (cs) 1974-05-24
CH504784A (de) 1971-03-15
NL7002789A (cs) 1970-09-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL162791C (nl) Werkwijze voor het samenstellen van een halfge- leiderinrichting en halfgeleiderinrichting vervaardigd volgens deze werkwijze.
BE755347A (fr) Werkwijze voor het vervormen van een kunststofbuis onder aanbrengen vaneen of meer inwendige groeven
NL7713298A (nl) Inrichting voor het orienteren en achtereen- volgend afvoeren van schijfvormige voorwerpen.
NL154868B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van halfgeleiderinrichtingen en halfgeleiderinrichtingen volgens deze werkwijze verkregen.
NL161337C (nl) Inrichting voor het verspreiden van materiaal.
NL6805906A (nl) Werkwijze en inrichting voor het verwerken van informatie
BE771275A (nl) Werkwijze voor het verwerken van verbindingen in fotografische lagen
BE759075R (nl) Inrichting en werkwijze voor het behandelen van magnetisch poeder (
NL156078B (nl) Inrichting voor het onderling evenwijdig richten van in hoofdzaak staafvormige voorwerpen.
BE760340A (nl) Werkwijze en inrichting voor het afschrikken van onstabiel gas
NL164826C (nl) Inrichting voor het richten en afvoeren van gelijk- gerichte deksels.
BE759074A (nl) Inrichting en werkwijze voor het behandelen van magnetisch poeder
NL169307C (nl) Werkwijze voor het bereiden van eventueel gesubstitueerd buteen-2-ol-4 en ethers en esters hiervan.
NL156822B (nl) Werkwijze en inrichting voor het uitvoeren van magnetische metingen.
BE747849A (fr) Werkwijze voor het registreren van informatiegewijze gemoduleerde elektromagnetische straling
BE754789A (nl) Werkwijze voor het verharden van fotografische lagen
NL145796B (nl) Inrichting voor het vervaardigen van rotatiesymmetrische voorwerpen.
NL155574B (nl) Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van schuimvormige kunststofbanen.
BE755901A (nl) Inrichting voor het verspreiden van strooibaar materiaal
BE770972A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van 3-anilino-pyrazolin-5- onen
BE746704A (nl) Inrichting voor het vervaardigen en bewerken van geintegreerde schakelingen en soortgelijke voorwerpen
BE747904A (fr) Inrichting en werkwijze voor het regenereren van metaalhalogenidekatalysatordrab
NL153696B (nl) Inrichting voor het verwerken van munten met verschillende afmetingen.
NL147618B (nl) Werkwijze en inrichting voor het ononderbroken vervaardigen van toffees.
BE748059A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van fotografische beelden