BE563662A - - Google Patents
Info
- Publication number
- BE563662A BE563662A BE563662DA BE563662A BE 563662 A BE563662 A BE 563662A BE 563662D A BE563662D A BE 563662DA BE 563662 A BE563662 A BE 563662A
- Authority
- BE
- Belgium
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/153—Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/46—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the ray or beam, e.g. electron-optical arrangement
- H01J29/56—Arrangements for controlling cross-section of ray or beam; Arrangements for correcting aberration of beam, e.g. due to lenses
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Adjustable Resistors (AREA)
- Video Image Reproduction Devices For Color Tv Systems (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL213442 | 1957-01-03 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
BE563662A true BE563662A (it) |
Family
ID=19750825
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
BE563662D BE563662A (it) | 1957-01-03 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US2973433A (it) |
BE (1) | BE563662A (it) |
CH (1) | CH359218A (it) |
DE (1) | DE1180078B (it) |
FR (1) | FR1200134A (it) |
GB (1) | GB869850A (it) |
NL (1) | NL96667C (it) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL269816A (it) * | 1960-10-17 | |||
DE1216455B (de) * | 1964-03-25 | 1966-05-12 | Siemens Ag | Verfahren zum Ausrichten der Feldachse eines elektronenoptischen Linsen, insbesondere in einem Elektronenmikroskop zugeordneten Stigmators und Anordnung zur Durchfuehrung des Verfahrens |
DE1514588C3 (de) * | 1965-09-28 | 1973-11-29 | Siemens Ag, 1000 Berlin U. 8000 Muenchen | Verfahren zur Korrektur des axialen Astigmatismus von korpuskular strahloptischen, insbesondere elektro nenoptischen, Linsen unter Verwendung eines einstellbaren Stigmators und Anordnung zur Durchfuhrung des Ver fahren s |
US3437870A (en) * | 1965-11-03 | 1969-04-08 | Minnesota Mining & Mfg | Scan line masking system |
DE1514706C2 (de) * | 1966-03-15 | 1975-11-06 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Ablenksystem für Korpuskularstrahlgeräte |
DE1564658B2 (de) * | 1966-07-13 | 1971-04-29 | Siemens AG, 1000 Berlin u 8000 München | Verfahren zur fokussierung der objektivlinse eines korpus kularstrahlmikroskops insbesondere eines elektronenmikros kops |
GB1191191A (en) * | 1968-05-08 | 1970-05-06 | Hitachi Ltd | Improvements in Electron Microscopes |
US3748467A (en) * | 1971-09-07 | 1973-07-24 | Nibon Denshi K K | Scanning electron microscope |
JPS5423476A (en) * | 1977-07-25 | 1979-02-22 | Akashi Seisakusho Kk | Composite electron lens |
DE2752598C3 (de) * | 1977-11-25 | 1981-10-15 | Dr.-Ing. Rudolf Hell Gmbh, 2300 Kiel | Verfahren zum Betrieb einer elektromagnetischen fokussierenden elektronen-optischen Linsenanordnung und Linsenanordnung hierfür |
NL7804035A (nl) * | 1978-04-17 | 1979-10-19 | Philips Nv | Elektronenmikroskoop. |
JPS60105149A (ja) * | 1983-11-11 | 1985-06-10 | Jeol Ltd | 電子線装置 |
AT388628B (de) * | 1986-01-31 | 1989-08-10 | Ims Ionen Mikrofab Syst | Einrichtung fuer projektionsgeraete |
AT393925B (de) * | 1987-06-02 | 1992-01-10 | Ims Ionen Mikrofab Syst | Anordnung zur durchfuehrung eines verfahrens zum positionieren der abbildung der auf einer maske befindlichen struktur auf ein substrat, und verfahren zum ausrichten von auf einer maske angeordneten markierungen auf markierungen, die auf einem traeger angeordnet sind |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE735873C (de) * | 1938-12-04 | 1943-05-29 | Aeg | Elektronenoptische Abbildungseinrichtung mit zwei oder mehr Einzellinsen |
CH245208A (de) * | 1942-04-16 | 1946-10-31 | Fides Gmbh | Elektronenoptisches Gerät. |
FR944238A (fr) * | 1947-03-13 | 1949-03-30 | Csf | Méthode de correction des optiques électroniques |
NL163078B (nl) * | 1948-10-02 | Dolby Laboratories Inc | Inrichting voor de verzwakking van audioruis. | |
DE899095C (de) * | 1948-10-15 | 1953-12-07 | Siemens Ag | Anordnung an einem Durchstrahlungs-Elektronenmikroskop |
DE1002094B (de) * | 1953-09-16 | 1957-02-07 | Zeiss Jena Veb Carl | Einrichtung zur Kompensation des Astigmatismus eines elektronenoptischen Linsensystems |
US2802111A (en) * | 1955-05-11 | 1957-08-06 | Rca Corp | Electron microscope alignment device |
-
0
- BE BE563662D patent/BE563662A/xx unknown
- NL NL96667D patent/NL96667C/xx active
-
1957
- 1957-11-25 US US698702A patent/US2973433A/en not_active Expired - Lifetime
- 1957-12-31 CH CH359218D patent/CH359218A/de unknown
- 1957-12-31 DE DEN14509A patent/DE1180078B/de active Pending
-
1958
- 1958-01-02 FR FR1200134D patent/FR1200134A/fr not_active Expired
- 1958-01-03 GB GB315/58A patent/GB869850A/en not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
NL96667C (it) | |
US2973433A (en) | 1961-02-28 |
CH359218A (de) | 1961-12-31 |
FR1200134A (fr) | 1959-12-18 |
GB869850A (en) | 1961-06-07 |
DE1180078B (de) | 1964-10-22 |