CH359218A - Verfahren zum Kompensieren des Astigmatismus von Elektronenlinsen und Vorrichtung zur Ausführung dieses verfahrens - Google Patents

Verfahren zum Kompensieren des Astigmatismus von Elektronenlinsen und Vorrichtung zur Ausführung dieses verfahrens

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CH359218A
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    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
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    • HELECTRICITY
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    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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