ATE520015T1 - Messkopf für nanoeinschnittvorrichtung und verfahren zur messung damit - Google Patents

Messkopf für nanoeinschnittvorrichtung und verfahren zur messung damit

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ATE520015T1
ATE520015T1 AT05811177T AT05811177T ATE520015T1 AT E520015 T1 ATE520015 T1 AT E520015T1 AT 05811177 T AT05811177 T AT 05811177T AT 05811177 T AT05811177 T AT 05811177T AT E520015 T1 ATE520015 T1 AT E520015T1
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head
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Jacques Woirgard
Bertrand Bellaton
Richard Consiglio
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Csm Instr Sa
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    • G—PHYSICS
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Families Citing this family (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4942579B2 (ja) * 2007-08-13 2012-05-30 株式会社ミツトヨ 押込み試験機における試験管理方法及び押込み試験機
JP5826760B2 (ja) 2009-11-27 2015-12-02 ハイジトロン, インク.Hysitron, Inc. ミクロ電気機械ヒータ
FR2953291B1 (fr) * 2009-11-30 2017-01-20 Univ Rennes Dispositif d'indentation instrumentee portatif
US8631687B2 (en) * 2010-04-19 2014-01-21 Hysitron, Inc. Indenter assembly
EP2780689B1 (de) 2011-11-14 2017-01-04 Hysitron, Inc. Erwärmungsanordnung für eine sondenspitze
WO2013082148A1 (en) 2011-11-28 2013-06-06 Lucas Paul Keranen High temperature heating system
JP2013160589A (ja) * 2012-02-03 2013-08-19 Nitto Denko Corp ナノインデンター用試料固定部材
US9829417B2 (en) * 2012-06-13 2017-11-28 Hysitron, Inc. Environmental conditioning assembly for use in mechanical testing at micron or nano-scales
CN102928306A (zh) * 2012-10-26 2013-02-13 吉林大学 原位微纳米力学测试及刻划加工一体机
EP2816342A1 (de) * 2013-06-17 2014-12-24 CSM Instruments SA Messkopf für Nanoindentationsinstrument und Messverfahren
US10775288B1 (en) 2013-06-21 2020-09-15 Massachusetts Materials Technologies Llc Stylus engagement mechanism for contact mechanics testers
US9933346B2 (en) * 2013-06-21 2018-04-03 Massachusetts Materials Technologies Llc Contact mechanic tests using stylus alignment to probe material properties
CN103537331B (zh) * 2013-10-14 2015-05-20 北京工业大学 高聚物纳米压痕恒温水浴试样台及相关实验方法
CN103575872B (zh) * 2013-10-14 2015-05-20 北京工业大学 一种细胞纳米压痕力学性能测试保湿试样台及实验方法
CN103760916B (zh) * 2013-12-23 2017-02-22 苏州帝尔泰司精密仪器有限公司 一种多移动平台微纳米尺度移动、样品操作装置
EP3015867A1 (de) 2014-11-03 2016-05-04 Anton Paar TriTec SA Oberflächenmesssonde
EP3171153A1 (de) 2015-11-18 2017-05-24 Anton Paar TriTec SA Verfahren zur messung eines topografischen profils einer oberfläche einer probe und/oder eines topografischen bildes
CH711792A2 (de) * 2015-11-18 2017-05-31 Anton Paar Tritec Sa Verfahren zur Vermessung eines topographischen Profils und/oder eines topographischen Bildes einer Oberfläche einer Probe.
CN105510162B (zh) * 2015-11-30 2018-03-16 西南交通大学 一种形状记忆合金奥氏体和马氏体相弹性模量的纳米压痕测试方法
DE202016000231U1 (de) 2016-01-14 2016-02-12 Anton Paar Tritec Sa Vorrichtung zur Vermessung eines topographischen Profils und/oder eines topographischen Bilds
EP3405769B1 (de) 2016-01-19 2020-03-04 Anton Paar TriTec SA Probenhalteranordnung
US10571379B2 (en) 2016-04-04 2020-02-25 Kla-Tencor Corporation Compensated mechanical testing system
DE102017109667A1 (de) * 2017-05-05 2018-11-08 Bareiss Prüfgerätebau GmbH Mehrfachmesskopf zur Bestimmung von Härtewerten an einem Probenkörper
CN107607697A (zh) * 2017-10-25 2018-01-19 西南科技大学 测量玻璃表层水合层厚度方法和确定其演变规律的方法
EP3489654B1 (de) 2017-11-22 2020-07-29 FemtoTools AG Mems-nanoindenter chip mit eindruck-prüfkörpersonde und referenzsonde
JP7009199B2 (ja) * 2017-12-20 2022-01-25 株式会社ミツトヨ 測定装置
CN108414378B (zh) * 2017-12-29 2020-11-24 南方科技大学 生物组织的力学性能的检测系统及方法
US10996152B2 (en) * 2018-01-19 2021-05-04 Kla-Tencor Corporation Apparatus and method for two dimensional nanoindentation
US11860082B1 (en) * 2018-07-18 2024-01-02 Massachusetts Materials Technologies Llc Method of determining an index of quality of a weld in a formed object through mechanical contact testing
JP7103086B2 (ja) * 2018-09-05 2022-07-20 株式会社島津製作所 材料試験機
JP7144267B2 (ja) * 2018-10-03 2022-09-29 株式会社ミツトヨ 硬さ試験機
JP7141296B2 (ja) * 2018-10-03 2022-09-22 株式会社ミツトヨ 硬さ試験機
EP3690423B8 (de) 2019-02-04 2023-11-29 Femtotools AG Mems-basierter nanoindentationskraftsensor mit elektrothermischer spitzenheizung
EP3751251A1 (de) 2019-06-11 2020-12-16 Anton Paar GmbH Probentransfer mit leichter auffindbarkeit eines zielbereichs
RU193857U1 (ru) * 2019-07-23 2019-11-19 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Кузбасский государственный технический университет имени Т.Ф. Горбачева" (КузГТУ) Устройство для закрепления образца при испытании в стабилометре
IT201900018389A1 (it) * 2019-10-10 2021-04-10 Davide Affri Durometro di tipo universale ad architettura perfezionata.
CN111060415A (zh) * 2020-01-09 2020-04-24 吉林大学 考虑力传感器变形的原位压痕测试装置与方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4635471A (en) * 1986-01-16 1987-01-13 Energy Development Corporation Hardness testing device for pipes
US4820051A (en) * 1986-08-21 1989-04-11 Nec Corporation Apparatus for determining microhardness
US4852397A (en) * 1988-01-15 1989-08-01 Haggag Fahmy M Field indentation microprobe for structural integrity evaluation
US5027650A (en) * 1990-05-08 1991-07-02 Gte Laboratories Incorporated Method for characterization of adhesion between hard materials
US5553486A (en) 1993-10-01 1996-09-10 Hysitron Incorporated Apparatus for microindentation hardness testing and surface imaging incorporating a multi-plate capacitor system
US6247356B1 (en) * 1999-03-30 2001-06-19 Instron Corporation Hardness tester
JP3702203B2 (ja) * 2001-01-12 2005-10-05 ドンイル，クォン 連続圧入試験のための圧入試験機、これを用いた物性測定方法及び物性計算方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP1828744A1 (de) 2007-09-05
EP1828744B1 (de) 2011-08-10
US7685868B2 (en) 2010-03-30
US20090260427A1 (en) 2009-10-22
EP1674850A1 (de) 2006-06-28
WO2006069847A1 (fr) 2006-07-06

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