ATE470942T1 - Elektromechanischer micro-kondensator mit variabler kapazität und verfahren zur herstellung eines solchen kondensators - Google Patents

Elektromechanischer micro-kondensator mit variabler kapazität und verfahren zur herstellung eines solchen kondensators

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ATE470942T1
ATE470942T1 AT06354011T AT06354011T ATE470942T1 AT E470942 T1 ATE470942 T1 AT E470942T1 AT 06354011 T AT06354011 T AT 06354011T AT 06354011 T AT06354011 T AT 06354011T AT E470942 T1 ATE470942 T1 AT E470942T1
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capacitor
electrodes
producing
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integrated
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AT06354011T
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Fabrice Casset
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Commissariat Energie Atomique
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G5/00—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture
    • H01G5/16—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of distance between electrodes
    • H01G5/18—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of distance between electrodes due to change in inclination, e.g. by flexing, by spiral wrapping

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