ATE37449T1 - Vorrichtung zum kontinuierlichen niederschlagen einer schicht aus polykristallinem silizium auf einem kohlenstoffband. - Google Patents

Vorrichtung zum kontinuierlichen niederschlagen einer schicht aus polykristallinem silizium auf einem kohlenstoffband.

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ATE37449T1
ATE37449T1 AT84110062T AT84110062T ATE37449T1 AT E37449 T1 ATE37449 T1 AT E37449T1 AT 84110062 T AT84110062 T AT 84110062T AT 84110062 T AT84110062 T AT 84110062T AT E37449 T1 ATE37449 T1 AT E37449T1
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layer
polycrystalline silicon
carbon ribbon
continuous deposition
deposition
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Application number
AT84110062T
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English (en)
Inventor
Michel Mautref
Christian Belouet
Original Assignee
Comp Generale Electricite
Elf Aquitaine
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AT84110062T 1983-08-29 1984-08-23 Vorrichtung zum kontinuierlichen niederschlagen einer schicht aus polykristallinem silizium auf einem kohlenstoffband. ATE37449T1 (de)

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FR8313834A FR2551233B1 (fr) 1983-08-29 1983-08-29 Dispositif pour deposer en regime continu une couche de silicium polycristallin sur un ruban de carbone
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EP84110062A EP0141114B1 (de) 1983-08-29 1984-08-23 Vorrichtung zum kontinuierlichen Niederschlagen einer Schicht aus polykristallinem Silizium auf einem Kohlenstoffband

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ATE37449T1 true ATE37449T1 (de) 1988-10-15

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