AT7963U1 - Gerät zum detektieren geladener partikel - Google Patents

Abstract

Gerät zum Detektieren geladener Partikel mit einer Kammer zum Aufnehmen dieser Partikel und solcher Ausgestaltung, daß im Betrieb in der Kammer mindestens ein Teilvakuum aufrechterhalten wird, mit einem Aufprallsensor zum Detektieren von auf ihn auftreffenden Partikeln, wobei mindestens der Teil des Sensors, auf den die Partikel auftreffen, in der Kammer angeordnet ist, mit einem Beschleunigungsmittel zum Ausbilden eines elektrischen Feldes in der Kammer zum Beschleunigen geladener Partikel in Richtung auf den Sensor und mit die Kammer in solcher Weise abschließenden, elektrisch leitenden Barrieremitteln, daß das Teilvakuum aufrechterhalten wird, wobei die Barrieremittel ausreichend dünn sind, um den zu detektierenden geladenen Partikeln den Durchtritt durch die Kammer zu ermöglichen, und von der Beschleunigungselektrode elektrisch isoliert sind, so daß sie auf einem anderen Potential als die Beschleunigungselektrode gehalten werden können.

Description

2 AT 007 963 U1

Diese Erfindung bezieht sich auf ein Gerät zum Detektieren von geladenen Partikeln und insbesondere auf ein Gerät zum Detektieren von geladenen Partikeln in einer gasförmigen Umgebung. Die Erfindung bezieht sich auch auf ein dieses Gerät enthaltendes Abtast-Elektronenmikroskop.

Es gibt Gelegenheiten, bei denen während der Bilderzeugung in einem Abtast-Elektronen-mikroskop Proben in einer gasförmigen Umgebung gehalten werden müssen. Beispiele sind das Abbilden von biologischen oder nichtleitenden Proben. Die gasförmige Umgebung verhindert das Verdunsten von Feuchtigkeit aus den biologischen Proben und leitet Oberflächenladungen von den nichtleitenden Proben ab. Diese Ladungen würden sich sonst zum Nachteil der Bildauflösung ansammeln.

Die Verwendung einer gasförmigen Umgebung zum Verstärken eines während der Abbildung einer Probe erzielten sekundären elektrischen Signals wird in dem US-Patent 4 785 182 (Man-cuso und andere), dem europäischen Patent EP 330 310 (Electroscan Corp.) und der PCT-Anmeldung Nr. PCT/GB97/03 136 beschrieben, wobei die als Ergebnis einer Interaktion mit einem abtastenden Elektronenstrahl von der Probe freigegebenen Elektronen durch die gasförmige Umgebung beschleunigt werden. Einige der sekundären Elektronen kollidieren mit den die gasförmige Umgebung bildenden Gasmolekülen. Unter Freigabe weiterer Elektronen ionisieren die Kollisionen die Gasmoleküle. Einige der freigegebenen Elektronen kollidieren mit anderen Gasmolekülen und geben noch weitere Elektronen frei. Die als Ergebnis dieser Kollisionen durch die Ionisation der Gasmoleküle freigegebene Elektronenlawine bewirkt in der Tat die Verstärkung des sekundären Elektronensignals. PCT/GB97/03 136 beschreibt ein Gerät, das das verstärkte sekundäre Elektronensignal unter Verwendung eines Fotodetektors und einer Vervielfacherröhre zum Detektieren der als Ergebnis der Kollisionen der Elektronen mit den Gasmolekülen emittierten Photonen detektiert.

Bei erhöhtem Gasdruck wird die Stärke des sekundären Elektronensignals jedoch herabgesetzt, da das Gas den Anteil des die Probe erreichenden primären Strahls herabsetzt. Dies begrenzt entsprechend den maximalen Gasdruck, bei dem das Mikroskop ein Bild erzeugen kann.

Bei Abtast-Elektronenmikroskopen, bei denen die Proben während der Bildgebung in einer im wesentlichen evakuierten Umgebung gehalten werden, ist das Detektieren der sekundären Elektronen mit Verwendung eines Everhard-Thornley-Detektors gut bekannt. In einem solchen Detektor werden die sekundären Elektronen zu ihrer Umwandlung in Photonen, die einer Vervielfacherröhre zugeführt werden, in Richtung auf einen Szintillator beschleunigt.

Es wurde gefunden, daß der Everhard-Thornley-Detektor verhältnismäßig empfindlich ist, aber zum Aufbau eines elektrostatischen Feldes, in dem die sekundären Elektronen in Richtung auf den Szintillator beschleunigt werden, eine hohe Spannung verwendet. In einer gasförmigen Umgebung würde eine zu hohe Spannung zum Bewirken einer Entladung durch das Gas ausreichen.

Gemäß einem ersten Gesichtspunkt der Erfindung ist ein Gerät zum Detektieren geladener Partikel vorgesehen mit einer Kammer zum Aufnehmen dieser Partikel und solcher Ausgestaltung, daß im Betrieb in der Kammer mindestens ein Teilvakuum aufrechterhalten wird, mit einem Aufprallsensor zum Detektieren der auf ihn auftreffenden Partikel, wobei mindestens der Teil des Sensors, auf den die Partikel auftreffen, in der Kammer angeordnet ist, mit Beschleunigungsmitteln zum Ausbilden eines elektrischen Feldes in der Kammer zum Beschleunigen der geladenen Partikel in Richtung auf den Sensor und mit die Kammer in solcher Weise abschließenden, elektrisch leitenden Barrieremitteln, daß der Durchgang von Gas in die Kammer verhindert wird, wobei die Barrieremittel ausreichend dünn sind, um den zu detektierenden geladenen Partikeln den Durchtritt zu ermöglichen, und von den Beschleunigungsmitteln elektrisch 3 AT 007 963 U1 isoliert sind, so daß sie auf einem anderen Potential als die letzteren gehalten werden können.

Falls das Gerät damit in einer gasförmigen Umgebung eingesetzt wird, können die Beschleunigungsmittel ein starkes elektrostatisches beschleunigendes Feld ohne Bewirken einer elektrischen Entladung in dem Gas in der Umgebung erzeugen, da die Barrieremittel bei Anschluß an eine geeignete Spannungsquelle verhindern, daß ein Feld der gleichen Größe durch die Barrieremittel durchtritt. Das starke beschleunigende Feld macht das Gerät gegenüber den Partikeln sehr empfindlich.

Falls weiter ein sekundäres elektronisches Signal von einer Probe in einer Kammer eines Abtast-Elektronenmikroskops durch Kollisionen mit Gasmolekülen in einer Gasverstärkungskollisionszone verstärkt wird, ist die Zahl der als Ergebnis dieses Vorgangs erzeugten Elektronen weit größer als die Zahl der durch die Kollisionen in dem Gas emittierten Photonen. Da das Gerät gegenüber geladenen Partikeln, wie zum Beispiel Elektronen, empfindlich ist, eignet es sich insbesondere zum Detektieren eines gasverstärkten sekundären Elektronensignals. Zusätzlich kann das Gerät zum Detektieren eines in einem Vakuum erzeugten sekundären Elektronensignals eingesetzt werden, da die unter diesen Bedingungen erzeugten sekundären Elektronen durch Anlegen einer geeigneten Spannung in Richtung auf den Einlaß beschleunigt werden können.

Die Beschleunigungsmittel umfassen vorzugsweise ein an oder neben dem Sensor angeordnetes elektrisch leitendes Glied und Mittel zu dessen Anschließen an eine Beschleunigungsspannung.

Vorzugsweise ist der Sensor ein Szintillator zum Emittieren von Licht nach Maßgabe des Auftreffens eines geladenen Partikels.

Der Szintillator schließt vorzugsweise das elektrisch leitende Glied ein.

Zweckmäßig ist der Sensor ein Detektor nach Everhard-Thornley.

Die Barrieremittel umfassen zweckmäßig eine aus einer Metallfolie, vorzugsweise Aluminium, bestehende Membran.

Eine Aluminiumfolie ist sowohl kostengünstig als auch ein guter elektrischer Leiter und ist deshalb zur Verwendung als Membran besonders geeignet. Wegen der niedrigen Atomzahl der die Folie bildenden Atome können weiter Elektronen mit einer kinetischen Energie von etwa 500 eV die dünne Aluminiumfolie durchdringen.

Die Aluminiumfolie hat vorzugsweise eine Stärke von 7,5 nm.

Vorzugsweise weisen die Barrieremittel weiter ein Stützmittel auf, das über dem Einlaß hinter der Folie zum Abstützen der letzteren gegen den Druck verläuft, der durch das außerhalb der Kammer befindliche Gas auf die Membran ausgeübt wird.

Vorzugsweise enthält das Gerät weiter einen vor den Barrieremitteln befestigten, aber elektrisch von diesen isolierten elektrisch leitenden Käfig auf, der zum Anziehen von Partikeln in Richtung auf die Barrieremittel an eine Beschleunigungsspannung angeschlossen werden kann und so konstruiert ist, daß er den Durchgang von Partikeln gestattet. Bei Verwendung des Gerätes als Detektor sekundärer Elektronen kann eine positive Spannung an den Käfig angelegt werden zum Verschieben der Gasverstärkungskollisionszone in der Probenkammer in Richtung auf das Gerät. Damit wird die Empfindlichkeit des Sensors weiter erhöht.

Zum Vorteil kann das Gerät weiter eine an die Kammer angeschlossene und zu deren Evakuierung dienende Pumpe aufweisen. Vorzugsweise enthält das Gerät auch ein Spannungsanle- 4 AT 007 963 U1 gemittel zum Anlegen einer ersten Beschleunigungsspannung an das elektrisch leitende Glied und einer zweiten Beschleunigungsspannung mit der gleichen Polarität wie die der ersten Beschleunigungsspannung, jedoch niedriger als diese, an die Barrieremittel. 5 Vorzugsweise läßt sich das Spannungsanlegemittel auch so betreiben, daß eine weitere Spannung mit der gleichen Polarität wie die der zweiten Spannung, aber niedriger, an den Käfig angelegt wird.

Mit Vorteil kann der Käfig teilweise kugel- oder ellipsoidenförmig sein. 10

Die Erfindung liegt auch in einem Abtast-Elektronenmikroskop mit einer Probenkammer zum Halten einer abzubildenden Probe in einer gasförmigen Umgebung, in Generatormitteln zum Generieren eines abtastenden Elektronenstrahls und zum Richten dieses Strahls auf eine Probe in der Probenkammer, wobei diese auch noch Detektormittel zum Detektieren von von der 15 Probe emittierten sekundären Elektronen aufweist und das Detektormittel das vorstehende beschriebene Gerät enthält.

Vorzugsweise sind das elektrisch leitende Glied und die Barrieremittel an ein Spannungsanlegemittel zum Anlegen einer Spannung von +10 kV an das Glied und von 0 bis +1 kV an die 20 Barrieremittel angeschlossen.

Vorzugsweise weist das Gerät einen Käfig auf, wie er vorstehend beschrieben wurde, und das Spannungsanlegemittel legt eine Spannung von annähernd +300 V an diesen an. 25 Wenn sich im wesentlichen keine Gase in der Probenkammer befinden, kann das Gerät eingesetzt werden, da die sekundären Elektronen von der Probe in Richtung auf die Barrieremittel beschleunigt werden.

Die Erfindung wird jetzt nur an einem Beispiel unter Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen 30 beschrieben. Dabei ist:

Fig. 1 eine schematische Ansicht mit weggeschnittenen Teilen eines Elektronenmikroskops und eines Detektorgerätes gemäß der vorliegenden Erfindung,

Fig. 2 ein schematischer Schnitt des Gerätes, 35 Fig. 3a und 3b Ansichten von elektrisch leitenden Käfigen zur Befestigung an dem Gerät und Fig. 4 eine schematische Ansicht mit weggeschnittenen Teilen des Detektorgerätes gemäß der Erfindung mit einem an ihm befestigten elektrisch leitenden Käfig.

Das Abtast-Elektronenmikroskop nach Fig. 1 weist eine Probenkammer 10 zum Halten einer 40 Probe 12 in einer gasförmigen Umgebung, Generatormittel 14 zum Generieren eines abtastenden Elektronenstrahls und ein Gerät 16 zum Detektieren der an der Probe durch das Zusammenwirken der Probe und des Elektronenstrahls generierten Signalen sekundärer Elektronen auf. Zu seiner Evakuierung weist das Generatormittel 14 eine Auslaßöffnung 11 zum Anschließen an eine Pumpe auf. Die Probenkammer 10 enthält eine Zwischenkammer 17 mit einer 45 ersten Differentialauslaßöffnung 13 und einer zweiten Differentialauslaßöffnung 15. Die Zwischenkammer 17 und die Differentialauslaßöffnungen 13 und 15 isolieren die in der Probenkammer enthaltene gasförmige Umgebung von dem Vakuum in dem Generatormittel.

Das Generatormittel 14 wird in Einzelheiten in Fig. 2 der PCT-Anmeldung so Nr. PCT/GB97/03 136, die durch den obigen Bezug in diese Beschreibung eingeschlossen wird, beschrieben und erläutert.

Der Arbeitsabstand des Abtast-Elektronenmikroskops, das heißt der Abstand zwischen dem Generatormittel 14 und der Probe 12, beträgt 5 mm. 55 5 AT 007 963 U1

In Fig. 2 werden die Probe 12 und das Gerät 16 in Einzelheiten gezeigt. Das Detektorgerät 16 weist eine Kammer 18 auf, die einen Everhard-Thornley-Detektor gegenüber der gasförmigen Umgebung der Probenkammer abdichtet und zum Evakuieren der Kammer 18 eine an eine nichtgezeigte Turbopumpe angeschlossene Auslaßöffnung 28 aufweist. Der Everhard-Thornley-5 Detektor weist eine transparente SnO-Schicht 20 auf. Ein Szintillator 22 ist auf diese aufgetragen. Das Licht vom Szintillator 22 wird über eine Quarzlichtröhre 24 einer Vervielfacherröhre 26 zugeführt.

Die Kammer 18 weist auch einen Einlaß 19 auf. Dieser wird durch eine Membran 30 aus einer io Aluminiumfolie abgedichtet und liegt unmittelbar vor dem Szintillator 22.

Die aus der Aluminiumfolie bestehende Membran 30 ist annähernd 7,5 nm stark. Eine Gleichung für die ungefähre Eindringtiefe der Elektronen mit niedriger Energie in den Materialien niedrigen Atomgewichts wurde von Kanaya und Okayama (Penetration and energy-loss theory 15 of electrons in solid targets, J. Phys. D., 5,43-58,1972) entwickelt. Diese

Eindringtiefe = 0,0276AEo1,67/(Z°'889p)pm wobei 20 E0 = Energie der Elektronen (keV), A = Atomgewicht, p = Dichte (g/cm3), Z = Atomzahl der das Material bildenden Atome. 25

Die Eindringtiefe der Elektronen in reinem Aluminium schwankt gemäß der obigen Gleichung von 0,6 nm bei 100 eV bis 28,2 nm bei 1 keV. Die aus der Aluminiumfolie bestehende Membran 30 ist an eine veränderliche Beschleunigungsspannungsquelle von bis zu +1 kV angeschlossen. Sekundäre Elektronen und lawinengenerierte Elektronen werden von dem durch die an die 30 Folie angelegte Beschleunigungsspannung und die ausreichende kinetische Energie in der Größenordnung von 1 keV erzeugten Feld in Richtung auf die Aluminiumfolie beschleunigt und treten durch diese durch und in die Kammer 18 ein. Die Folie ist annähernd 7,5 nm stark. Die Spannung bewirkt auch eine Gasverstärkung. 35 Der Szintillator 22 ist an eine Beschleunigungsspannungsquelle von annähernd 10 kV angeschlossen. Elektronen, die durch die Folie durchtreten, werden in Richtung auf den Szintillator 22 beschleunigt. Dieser wandelt sie in Photonen um. Der Szintillator 22 ist an das Lichtrohr 24 angeschlossen, das die Photonen der Vervielfacherröhre 26 zuleitet. 40 Fig. 2 zeigt auch den Vorgang der Gasverstärkung eines sekundären Elektronensignals mit der Darstellung des abtastenden Elektronenstrahls 32, der ungefähren Lage einer Gasverstärkungskollisionszone, den Weg 36 eines sekundären Elektrons und den Weg 34 eines nach hinten gestreuten Elektrons. Die Kollisionszone 35 umfaßt ein Gebiet der Probenkammer zwischen der Probe 12 und dem Gerät, in welchem Gebiet die Vielzahl der Kollisionen zwischen 45 den Elektronen und den Gasmolekülen als Folge des elektrischen Feldes aufgrund der an die Aluminiumfolien-Membran angelegten Beschleunigungsspannung erfolgt. Nach der Darstellung schneidet der Weg 36 des sekundären Elektrons den Weg eines Gasmoleküls 38, das als Folge der Kollision Elektronen freigibt, die den Wegen 40 und 42 folgen. Das den Weg 40 verfolgende Elektron wird in Richtung auf die Aluminiumfolien-Membran beschleunigt, tritt durch diese durch so und wird in Richtung auf die SnO-Schicht und den Szintillator beschleunigt. In der Aluminiumfolie (nicht dargestellt) durch Kollision freigegebene Elektronen werden auch in Richtung auf die SnO-Schicht und den Szintillator beschleunigt. Das dem Weg 42 folgende Elektron wird in Richtung auf die Aluminiumfolie beschleunigt, kollidiert aber mit dem Gasmolekül 44. Hierbei entstehen zwei Elektronen, die ähnlichen Wegen 46 durch die Aluminiumfolien-Membran in die 55 Kammer folgen.

Claims (16)

1. 6 AT 007 963 U1 Die Aluminiumfolien-Membran weist einen nichtgezeigten, aus Mylar (eingetragene Marke) bestehenden Träger auf, der ihr ermöglicht, dem auf ihr aufgrund der gasförmigen Umgebung außerhalb der Kammer und dem wesentlichen Vakuum in der Kammer liegenden Druckunterschied zu widerstehen. Alternativ kann die Aluminiumfolien-Membran mit einer Gitterstruktur innerhalb der Kammer und über dem Einlaß zur Kammer verstärkt werden. Fig. 3a zeigt auch eine erste Konstruktion des elektrisch leitenden Käfigs, der vor, aber in elektrischer Isolierung von der Aluminiumfolien-Membran befestigt werden kann. Die zweite Konstruktion umfaßt ein ringförmiges Verbindungsglied 48 mit einer Tiefe von 7 mm und einem Durchmesser von 25 mm, an dem die offenen Enden der drei Schleifen 50 befestigt sind. Die längste Schleife mißt vom bogenförmigen Ende bis zum ringförmigen Glied 48 30 mm. Der in Fig. 3b gezeigte Käfig ist ähnlich konstruiert und weist ähnliche Abmessungen auf. Die Schleifen werden jedoch mit mehreren Reifen 52 verstärkt. Im Betrieb sind die Käfige an eine Beschleunigungsspannungsversorgung von +300 V angeschlossen. Dies bewirkt, daß die Gasverstärkungskollisionszone in der Probenkammer dichter an die Aluminiumfolien-Membran herangezogen wird. Dadurch wird die Empfindlichkeit des Gerätes verbessert. Fig. 4 zeigt das Gerät mit einem elektrisch leitenden Käfig 60, der an der die Aluminiumfolien-Membran 68 befestigt ist. Wie bei den vorhergehenden Ausführungsformen weist das Gerät einen Szintillator 62, ein Lichtrohr 64 und eine Vervielfacherröhre 66 auf. Auch gezeigt werden eine Quelle 54 eines primären Elektronenstrahls und ein Stutzen 56, auf dem eine Probe 58 gehalten wird. Der Durchmesser des Stutzens beträgt 12,5 mm und er ist so geformt, daß er eine Probe mit einer Stärke von bis zu 5 mm an ihrer breitesten Stelle aufnimmt. Der Abstand zwischen dem gekrümmten Ende des elektrisch leitenden Käfigs, das heißt dem der Probe nächsten Punkt, und der Probe beträgt 5 mm. Ansprüche: 1. Gerät zum Detektieren geladener Partikel mit einer Kammer zum Aufnehmen dieser Partikel und solcher Ausgestaltung, daß im Betrieb in der Kammer mindestens ein Teilvakuum aufrechterhalten wird, mit einem Aufprallsensor zum Detektieren von auf ihn auftreffenden Partikeln, wobei mindestens der Teil des Sensors, auf den die Partikel auftreffen, in der Kammer angeordnet ist, mit einem Beschleunigungsmittel zum Ausbilden eines elektrischen Feldes in der Kammer zum Beschleunigen geladener Partikel in Richtung auf den Sensor und mit die Kammer in solcher Weise abschließenden, elektrisch leitenden Barrieremitteln, daß das Teilvakuum aufrechterhalten wird, wobei die Barrieremittel ausreichend dünn sind, um den zu detektierenden geladenen Partikeln den Durchtritt durch die Kammer zu ermöglichen, und von der Beschleunigungselektrode elektrisch isoliert sind, so daß sie auf einem anderen Potential als die Beschleunigungselektrode gehalten werden können.
2. 2. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Beschleunigungsmittel ein an oder neben dem Sensor angeordnetes elektrisch leitendes Glied ist und einen Verbinder zu seinem Anschließen an eine Beschleunigungsspannung aufweist.
3. 3. Gerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor ein Szintillator zum Ausstrahlen von Licht nach Maßgabe des Auftreffens eines geladenen Partikels ist.
4. 4. Gerät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Szintillator das elektrisch leitende Glied einschließt.
5. 5. Gerät nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor ein Everhard-Thornley-Detektor ist.
6. 6. Gerät nach irgendeinem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die 7 AT 007 963 U1 Barrieremittel zweckmäßig eine Membran aus einer Metallfolie sind.
7. 7. Gerät nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Folie aus Aluminium besteht.
8. 8. Gerät nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Folie 7,5 nm stark ist.
9. 9. Gerät nach irgendeinem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Barrieremittel weiter ein Abstützmittel aufweisen, das über dem Einlaß hinter der Folie zu deren Abstützen gegenüber dem von außerhalb der Kammer befindlichen Gas auf die Membran ausgeübten Druck verläuft.
10. 10. Gerät nach irgendeinem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß es einen vor den Barrieremitteln in elektrischer Isolierung von diesen befestigten elektrisch leitenden Käfig aufweist, der an eine Beschleunigungselektrode zum Ziehen von Partikeln in Richtung auf die Barrieremittel anschließbar und so aufgebaut ist, daß er den Durchgang von Partikeln durch sich zuläßt.
11. 11. Gerät nach irgendeinem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß es vorteilhaft eine an die Kammer zu deren Evakuierung angeschlossene Pumpe enthält.
12. 12. Gerät nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß es ein eine Spannung anlegendes Mittel zum Anlegen einer ersten Beschleunigungsspannung an das elektrisch leitende Glied und zum Anlegen einer zweiten Beschleunigungsspannung, die die gleiche Polarität wie die erste aufweist, aber niedriger als diese ist, an die Barrieremittel aufweist.
13. 13. Gerät nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das die Spannung anlegende Mittel auch befähigt ist, an den Käfig eine weitere Spannung anzulegen, die die gleiche Polarität wie die zweite Spannung aufweist, aber niedriger als diese ist.
14. 14. Gerät nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Käfig teilweise kugelförmig oder ellipsoid ist.
15. 15. Abtast-Elektronenmikroskop mit einer Probenkammer zum Halten einer abzubildenden Probe in einer gasförmigen Umgebung, mit Generatormitteln zum Erzeugen eines abtastenden Elektronenstrahls und zum Richten dieses Strahls auf eine in der Probenkammer befindliche Probe, wobei die Kammer auch Detektormittel zum Detektieren von von der Probe emittierten Sekundärelektronen aufweist und das Detektormittel das Gerät nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 14 ist.
16. 16. Mikroskop nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß das elektrisch leitende Glied und die Barrieremittel an ein Mittel zum Anlegen einer Spannung von +10 kV an das Glied und von 0 bis +1 kV an die Barrieremittel angeschlossen sind. Hiezu 3 Blatt Zeichnungen