AT520955A1 - Messvorrichtung zur Messung des Abstands zweier ausgewählter Punkte - Google Patents

Messvorrichtung zur Messung des Abstands zweier ausgewählter Punkte Download PDF

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AT520955A1 ATA50036/2018A AT500362018A AT520955A1 AT 520955 A1 AT520955 A1 AT 520955A1 AT 500362018 A AT500362018 A AT 500362018A AT 520955 A1 AT520955 A1 AT 520955A1
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Abstract

Formgebungsmaschine (1) oder Handlingvorrichtung (2) für eine Formgebungsmaschine (1 ), mit wenigstens einer Messvorrichtung (3) zur Messung des Abstandes zweier ausgewählter Punkte (A, B) der Formgebungsmaschine (1) oder der Handlingvorrichtung (2), wobei die wenigstens eine Messvorrichtung (3) zumindest einen piezoresistiven mikromechanischen Sensor (4) aufweist.

Description

Die Erfindung betrifft eine Formgebungsmaschine oder eine Handlingvorrichtung für eine Formgebungsmaschine mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Anspruchs 1.
Es ist bereits bekannt, mechanische Spannungen in einem ausgewählten Bauteil einer Formgebungsmaschine oder die Verschiebung zweier ausgewählter Bauteile mit Hilfe von Messvorrichtungen zu detektieren, welche Dehnmessstreifen aufweisen. Eine entsprechende Formgebungsmaschine geht aus EP 2 239 125 B1 hervor.
Nachteilig an solchen Formgebungsmaschinen ist die Tatsache, dass sich Dehnmessstreifen nur bedingt für den Einsatz in mechanisch oder thermisch belasteten Umgebungen eignen. Im Laufe der Zeit kann es bei Dehnmessstreifen zu einer thermischen Drift kommen, welche die Messergebnisse verfälscht. Außerdem reicht die mit Dehnmessstreifen erbringbare Messgenauigkeit für moderne Regelverfahren bei Formgebungsmaschinen kaum mehr aus.
Problematisch ist oftmals das zu große LSB („least significant bit“): Bei Messungen sowohl in einem kleinen als auch in einem großen Lastbereich mit nur einem Sensor mangelt es bei Dehnmessstreifen oftmals an der Auflösung.
Aufgabe der Erfindung ist die Bereitstellung einer Formgebungsmaschine oder einer Handlingvorrichtung für eine Formgebungsmaschine, bei welchen die oben beschriebenen Probleme vermieden werden.
Diese Aufgabe wird durch eine Formgebungsmaschine oder eine Handlingvorrichtung für eine Formgebungsmaschine mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen definiert.
Erfindungsgemäß einsetzbare piezoresistive mikromechanische Sensoren werden manchmal kurz als MEMS-Sensoren (MEMS - „micro electrical mechanical System“) bezeichnet. Sie weisen im Vergleich zu Dehnmessstreifen eine um den Faktor 100 größere Empfindlichkeit auf und können in mechanisch oder thermisch belasteten Umgebungen eingesetzt werden. Es kommt zu keiner thermischen Drift, was zu einer wünschenswerten Langzeitstabilität der Kalibrierung der Messvorrichtung führt. Das von ihnen gelieferte Signal zeichnet sich durch eine äußerst gute Linearität aus.
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Zur Messung einer Längenänderung ist der einsetzbare piezoresistive mikromechanische Sensor mit zwei ausgewählten Punkten zu verbinden, zwischen denen ein Abstand zu messen ist. Die beiden ausgewählten Punkte, deren Abstand zueinander gemessen wird, können am selben Bauteil oder an unterschiedlichen Bauteilen angeordnet sein.
Mit der Messvorrichtung können mechanische Spannungen oder thermische Verformungen in Bauteilen der Formgebungsmaschine oder der Handlingvorrichtung oder Bewegungen von Bauteilen der Formgebungsmaschine oder der Handlingvorrichtung gemessen werden.
Besonders bevorzugt ist vorgesehen, dass der piezoresistive mikromechanische Sensor über einen Messkörper mit der Formgebungsmaschine oder der Handlingvorrichtung verbunden ist. Der Messkörper dient dazu, die Genauigkeit der Messung des Abstandes zwischen den ausgewählten Punkten durch den piezoresistiven imikromechanisdhen Sensor zu erhöhen, indem eine Veränderung des Abstandes zwischen den ausgewählten Punkten auf zueinander entlang einer Messrichtung bewegliche Bauteile des Messkörpers übertragen wird und der piezoresistive mikromechanische Sensor die Bewegung der beweglichen Bauteile des Messkörpers misst. Durch eine geeignete Ausbildung des Messkörpers (beispielweise mittels der nachstehend beschriebenen Führungseinrichtung für die beweglichen Bauteile) können Bewegungen in einer von der Messrichtung abweichenden Richtung unterdrückt werden, sodass der piezoresistive mikromechanische Sensor nur Bewegungen entlang der Messrichtung misst. Es können aber auch mehrachsige piezoresistive mikromechanische Sensoren zum Einsatz gebracht werden. Damit sind auch mehrdimensionale Messungen möglich.
Der Messkörper kann beispielsweise wie folgt aufgebaut sein:
Es sind zumindest ein relativ zu einem der ausgewählten Punkte feststehender erster Bauteil und zumindest ein relativ zu diesem bewegbaren und relativ zum anderen der ausgewählten Punkte feststehender zweiter Bauteil vorgesehen, wobei eine Bewegung des zumindest einen ersten Bauteils relativ zum zumindest einen zweiten Bauteil (entlang einer Messrichtung) durch den piezoresistiven mikromechanischen Sensor messbar und von diesem als Messsignal bereitstellbar ist. Dieser wird hierfür in geeigneter Weise mit dem ersten und dem zweiten Bauteil verbunden (z. B. verklebt).
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Um Einflüsse aus einer von der Messrichtung abweichenden Richtung zu minimieren oder gar auszuschließen, kann bevorzugt vorgesehen sein, dass der Messkörper eine Führungseinrichtung für den zumindest einen ersten Bauteil und/oder den zumindest einen zweiten Bauteil aufweist, die zumindest im Wesentlichen nur Bewegungen des ersten und/oder zweiten Bauteils entlang der Messrichtung zulässt.
Dabei kann die Führungseinrichtung über Festkörpergelenke mit dem zumindest einen ersten Bauteil und/oder den zumindest einen zweiten Bauteil verbunden sein. Bevorzugt weisen diese je zwei Gelenkstellen auf, welche beispielsweise in Form von zwei Materialschwächungen oder Verjüngungen, entlang des Festkörpergelenks ausgebildet sein können.
Die Führungseinrichtung kann als ein den zumindest einen ersten Bauteil und/oder den zumindest einen zweiten Bauteil zumindest teilweise umgebender Rahmen ausgebildet sein. Andere Ausbildungen sind denkbar. Beispielsweise können der erste und/oder der zweite Bauteil entlang Schienen bewegbar angeordnet sein.
Es kann vorgesehen sein, dass der Messkörper um eine quer zur Messrichtung verlaufende Symmetrieachse spiegelsymmetrisch aufgebaut ist.
Das Verschiebungsverhalten des Messkörpers hinsichtlich unterschiedlicher Temperaturen und der gewünschten Kompensation dieser temperaturbedingten Verschiebungen kann durch die Wahl eines Materials mit geeignetem Wärmeausdehnungsverhalten berücksichtigt werden. So würde beispielsweise eine InvarLegierung eine temperaturbedingte Verlagerung der beiden ausgewählten Punkte maximal in das Messergebnis einfließen lassen, ein besser geeignetes Material würde im Gegensatz dazu den temperaturbedingten Verlagerungsanteil minimieren, idealerweise kompensieren. Ein besser geeignetes Material für den Messkörper wäre daher dasselbe Material wie das Material, welches die beiden ausgewählten Punkte trägt oder ein Material das identische oder ähnliche thermische Eigenschaften aufweist wie das Material das die beiden ausgewählten Punkte trägt. Sind die beiden ausgewählten Punkte auf unterschiedlichen Materialien vorgesehen, ist das Material für den Messkörper an eines der zwei Materialen, welche die beiden ausgewählten Punkte tragen, anzupassen oder ein geeigneter Kompromiss in Bezug auf die thermischen Eigenschaften der Materialien, welche die beiden ausgewählten Punkte aufweisen, für das Material des Messkörpers zu
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82432 36/28 finden. Besser geeignete Materialen können beispielsweise durch Versuche bestimmt werden.
Bevorzugt kann vorgesehen sein, dass der Messkörper thermosymmetrisch aufgebaut ist.
Zusätzlich zum piezoresistiven mikromechanischen Sensor kann ein Temperatursensor vorgesehen sein. Beispielsweise kann die gemessene Temperatur zur Kompensation der thermisch bedingten Verlagerungen des Messkörpers verwendet werden. Die Messauswertung und die Umrechnung können direkt in der wenigstens einen Messvorrichtung erfolgen (beispielsweise in einem in der Messvorichtung, vorzugsweise den Messkörper, integrierten Mikrocontroller). Sind mehrere mit Temperatursensoren ausgestattete Messvorrichtungen vorgesehen, können die Messdaten (Verschiebungen, Temperaturen, ...) der verschiedenen Temperatursensoren in einem Messwertumrechner in einer der Messvorrichtungen erfolgen.
Um eine möglichst räumlich stabile, starre Befestigung des Messkörpers an der Messstelle an den beiden ausgewählten Punkten der Formgebungsmaschine oder der Handlingvorrichtung zu gewähleisten können eine oder mehrere der folgenden Maßnahmen vorgesehen sein:
- Anordnung einer reibungserhöhenden Vorrichtung, z. B. einer Folie zwischen Messstelle und Messkörper
- Einsatz einer definierten 3-Punkt-Auflage: Spitzen, Schneiden etc.
- Vermeidung einer Übertragung von Biegungen
- Vermeidung von Gleitreibungen, das diese eine Hysterese bewirken könnten
Erfolgt eine Befestigung der Messvorrichtung durch Verklebung, sollten ein Klebstoff gewählt werden, bei welchem keine viscoplastischen Effekte aus teilelastischen Klebstoffen auftreten.
Besonders bevorzugt ist vorgesehen, dass der piezoresistive mikromechanische Sensor am Messkörper mit einer einstellbaren Vorspannung vorgespannt befestigt ist. Dies deshalb, weil piezoresistive mikromechanische Sensoren im unbelasteten Zustand kaum oder gar nicht auf Kompression belastbar sind. Durch die Wahl einer Vorspannung kann der piezoresistive mikromechanische Sensor mit einer vom unbelasteten Zustand
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82432 36/28 verschiedenen Nulllage am Messkörper montiert werden und so ausgehend von der Nulllage im Betrieb Messsignale in und entgegen, der Messrichtung bereitstellen.
In Bezug auf die Anordnung der Messvorrichtung an bzw. in der Formgebungsmaschine oder der Handlingvorrichtung gibt es vielfältige Möglichkeiten:
Zum Beispiel kann vorgesehen sein, dass eine Messvorrichtung Teil einer Einspritzeinheit der Formgebungsmaschine ist und die Messvorrichtung dazu konfiguriert ist, aus dem vom piezoresistiven mikromechanischen Sensor bereitgestellten Messsignal eine Einspritzkraft der Einspritzeinheit zu bestimmen.
Zusätzlich oder alternativ kann vorgesehen sein, dass eine Messvorrichtung Teil einer Schließeinheit der Formgebungsmaschine ist und die Messvorrichtung dazu konfiguriert ist, aus dem vom piezoresistiven mikromechanischen Sensor bereitgestellten Messsignal eine Schließkraft der Schließeinheit zu bestimmen.
Zusätzlich oder alternativ kann vorgesehen sein, dass eine Messvorrichtung an einem bewegbaren Arm der Handlingvorrichtung angeordnet ist und die Messvorrichtung dazu konfiguriert ist, aus dem vom piezoresistiven mikromechanischen Sensor bereitgestellten Messsignal eine Beschleunigung des Arms zu bestimmen. Alternativ oder zusätzlich kann auch eine Krafteinwirkung auf die IHandlingvorrichtung durch eine an einem beweglichen Arm der Handlingeinrichtung angeordneten Messeinrichtung bestimmt werden (beispielsweise eine Gewichtskraft eines an der Handlingeinrichtung angeordneten, vorzugsweise zu befördernden, Körpers oder eine Kontaktkraft der Handlingvorrichtung).
Weitere Anwendungsmöglichkeiten in einer Formgebungsmaschine sind beispielsweise:
- Platzierung wenigstens einer Messvorrichtung am Werkzeug zur Messung der Werkzeugatmung
- Platzierung wenigstens einer Messvorrichtung an einer Anpressvorrichtung für einen Plastifizierzylinder der Formgebungsmaschine zur Messung einer Anpresskraft und/oder einer Heißkanalentlastung
- Platzierung wenigstens einer Messvorrichtung an zumindest einem Holm einer Schließeinheit der Formgebungsmaschine zur Messung von Holmdehnung und/oder Schließkraftverteilung
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Dehnung des Massezylinders im Bereich des Massepolsters in radialer und/oder axialer Richtung zur Messung eines momentanen Innendrucks einer Kunststoffmasse in einem Plastifizierzylinder der Formgebungsmaschine
Bevorzugt ist die Formgebungsmaschine als Spritzgießmaschine, besonders bevorzugt als Kunststoffspritzgießmaschine, ausgebildet.
Einzelheiten der Erfindung werden anhand der Figuren diskutiert. Es zeigen:
Fig. 1 eine erfindungsgemäße Formgebungsmaschine
Fig. 2 eine erfindungsgemäße Handlingvorrichtung
Fig. 3a,b einen Messkörper ohne piezoresistiven mikromechanischen Sensor in Draufsicht und in Schnittdarstellung
Fig. 4a,b eine alternative Ausbildung eines Messkörpers ohne piezoresistiven mikromechanischen Sensor in Draufsicht und in Schnittdarstellung
Fig. 5 eine Einstellvorrichtung
Fig. 6 den in Fig. 3 gezeigten Messkörper mit einem piezoresistiven mikromechanischen Sensor
Die Fig. 1 und 2 zeigen eine erfindungsgemäße Formgebungsmaschine 1 bzw. eine erfindungsgemäße Handlingvorrichtung 2, wobei verschiedene mögliche Positionen der Messvorrichtung 3 eingezeichnet sind.
Mit Bezugnahme auf Fig. 1 sind dabei im Speziellen:
- Messvorrichtung 3 an erster Position 3.1 zur Messung einer Spritzkraft,
- Messvorrichtungen 3 an zweiten Positionen 3.2 zur Messung eines momentanen Innendrucks einer Kunststoffmasse in einem Plastifizierzylinder der Formgebungsmaschine,
- Messvorrichtungen 3 an dritten Positionen 3.3 zur Messung einer Holmdehnung und/oder einer Schließkraftverteilung,
- Messvorrichtung 3 an vierter Position 3.4 zur Messung einer Schließkraft,
- Messvorrichtung 3 an fünfter Position 3.5 zur Messung einer Anpresskraft und/oder einer Heißkanalentlastung und
- Messvorrichtung 3 an sechster Position 3.6 zur Messung der Werkzeugatmung vorgesehen gezeigt.
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Fig. 3a zeigt einen Messkörper 5 ohne piezoresistiven mikromechanischen Sensor 4. Der Messkörper 5 ist um eine Symmetrieachse S spiegelsymmetrisch aufgebaut und weist einen ersten Bauteil 51 und einen zweiten Bauteil 52 auf, die von einer Führungseinrichtung 53 in Form eines die zwei Bauteile 51,52 umgebenden Rahmens entlang der Messrichtung M geführt werden, auf.
In diesem Beispiel wird der erste Bauteil 51 über die Bohrung 55 feststehend zum einen ausgewählten Punkt A angeordnet undi der zweite Bauteil 52 über die Bohrung 56 feststehend zum anderen ausgewählten Punkt B angeordnet.
Der noch zu montierende piezoresistive mikromechanische Sensor 4 misst die Bewegung der beiden Kanten 57, 58 (also die Größe des durch die Kanten 57, 58 gebildeten Spaltes 59, welcher hier beispielsweise 1 Millimeter beträgt) und gibt diese als Messsignal aus.
Die Führungseinrichtung 53 ist über hier vier Festkörpergelenke 54 mit dem ersten Bauteil 51 und über hier vier Festkörpergelenke 54 mit dem zweiten Bauteil 52 verbunden. Diese weisen entlang ihrer Erstreckung in einer Richtung orthogonal zur Messrichtung M zwei Materialschwächungen auf, wodurch sich jeweils zwei Gelenkstellen ergeben, sodass eine Bewegung des ersten und zweiten Bauteils 51,52 in einer anderen Richtung als der Messrichtung M verhindert wird.
Fig. 3b zeigt einen Schnitt entlang der in Fig. 3a gezeigten Linie A-A.
Eine alternative Ausbildung des Messkörpers 5 ist in Fig. 4a dargestellt. Hier ist keine spiegelsymmetrische Ausbildung gegeben. Fig. 4b zeigt einen Schnitt entlang der in Fig. 4a gezeigten Linie B-B.
Fig. 5 zeigt eine mögliche Ausbildung einer Einstellvorrichtung 6 für den piezoresistiven mikromechanischen Sensor 4.
Diese dient dazu, den piezoresistiven mikromechanischen Sensor 4 am Messkörper 5 mit einer einstellbaren Vorspannung vorgespannt zu befestigen. Durch die Wahl einer Vorspannung kann der piezoresistive mikromechanische Sensor 4 mit einer vom unbelasteten Zustand verschiedenen Nulllage am Messkörper 5 montiert werden und so im Betrieb Messsignale in und entgegen der Messrichtung IM bereitstellen.
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Beispielsweise kann der in Fig. 3a,b dargestellte Messkörper 5 mit seinem zweiten Bauteil 52 über die Bohrung 56 in der Bohrung 61 oder 62 (je nach Größe der Bohrung 56) befestigt werden. Dann kann der erste Bauteil 51 über die Bohrung 55 im Langloch 63 wie gewünscht positioniert und festgestellt werden. Je nach Positionierung der Bohrung 55 im Langloch 63 ändert sich die Größe des Spaltes 59. Anschließend wird der piezoresistive mikromechanische Sensor 4 im Bereich des Spaltes 59 mit dem ersten Bauteil 51 und dem zweiten Bauteil 52 verbunden (beispielsweise verklebt). Nun kann der Messkörper 5 samt piezoresistiven mikromechanischen Sensor 4 von der Einstellvorrichtung 6 entfernt werden und ist einsatzbereit (vgl. Fig. 6).
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Bezugszeichenliste:
Formgebungsmaschine
Handlingvorrichtung
Messvorrichtung
3.1 erste Position einer Messvorrichtung
3.2 zweite Position einer Messvorrichtung
3.3 dritte Position einer Messvorrichtung
3.4 vierte Position einer Messvorrichtung
3.5 fünfte Position einer Messvorrichtung
3.6 sechste Position einer Messvorrichtung piezoresistiver mikromechanischer Sensor
Messkörper erster Bauteil des Messkörpers zweiter Bauteil des Messkörpers
Führungseinrichtung des Messkörpers
Festkörpergelenk des Messkörpers
Bohrung im ersten Bauteil
Bohrung im zweiten Bauteil
Kante des ersten Bauteils
Kante des zweiten Bauteils
Spalt zwischen der Kante des ersten Bauteils und der Kante des zweiten
Bauteils
Einstellvorrichtung für den piezoresistiven mikromechanischen Sensor
Bohrung
Bohrung
Langloch
A, B ausgewählte Punkte
M Messrichtung
S Symmetrieachse

Claims (16)

  1. Patentansprüche:
    1. Formgebungsmaschine (1) oder Handlingvorrichtung (2) für eine Formgebungsmaschine (1), mit wenigstens einer Messvorrichtung (3) zur Messung des Abstandes zweier ausgewählter Punkte (A, B) der Formgebungsmaschine (1) oder der Handlingvorrichtung (2), dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens eine Messvorrichtung (3) zumindest einen piezoresistiven mikromechanischen Sensor (4) aufweist.
  2. 2. Formgebungsmaschine oder Handlingvorrichtung nach Anspruch 1, wobei der piezoresistive mikromechanische Sensor (4) über einen Messkörper (5) mit der Formgebungsmaschine (1) oder der Handlingvorrichtung (2) verbunden list.
  3. 3. Formgebungsmaschine oder Handlingvorrichtung nach dem vorangehenden Anspruch, wobei der Messkörper (5) zumindest einen relativ zu einem· der ausgewählten Punkte (A, B) feststehenden ersten Bauteil (51) und zumindest einen relativ zu diesem bewegbaren und relativ zum anderen der ausgewählten Punkte (A, B) feststehenden zweiten Bauteil (52) aufweist, wobei eine Bewegung des zumindest einen ersten Bauteils (51) relativ zum zumindest einen zweiten Bauteil (52) entlang einer Messrichtung (M) durch, den piezoresistiven mikromechanischen Sensor (4) messbar und von diesem als Messsignal bereitstellbar ist.
  4. 4. Formgebungsmaschine oder Handlingvorrichtung nach dem vorangehenden Anspruch, wobei der Messkörper (5) eine Führungseinrichtung (53) für den zumindest einen ersten Bauteil (51) und/oder den zumindest einen zweiten Bauteil (52) aufweist.
  5. 5. Formgebungsmaschine oder Handlingvorrichtung nach dem vorangehenden Anspruch, wobei die Führungseinrichtung (53) über Festkörpergelenke (54) mit dem zumindest einen ersten Bauteil (51) und/oder den zumindest einen zweiten Bauteil (52) verbunden ist.
  6. 6. Formgebungsmaschine oder Handlingvorrichtung nach wenigstens einem der beiden vorangehenden Ansprüche, wobei die Führungseinrichtung (53) als ein den ersten Bauteil (51) und/oder den zumindest einen zweiten Bauteil (52) zumindest teilweise umgebender Rahmen ausgebildet ist.
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  7. 7. Formgebungsmaschine oder Handlingvorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 2 bis 6, wobei der Messkörper (5) um eine orthogonal zur Messrichtung (M) verlaufende Symmetrieachse (S) spiegelsymmetrisch aufgebaut ist.
  8. 8. Formgebungsmaschine oder Handlingvorrichtung, nach wenigstens einem der Ansprüche 2 bis 7, wobei der Messkörper (5) thermosymmetrisch aufgebaut ist.
  9. 9. Formgebungsmaschine oder Handlingvorrichtung, nach wenigstens einem der Ansprüche 2 bis 8, wobei zusätzlich zum piezoresistiven mikromechanischen Sensor (4) wenigsten ein Temperatursensor vorgesehen ist, welcher vorzugsweise in der wenigstens einen Messvorrichtung (3), besonders bevorzugt am Messkörper (5), angeordnet ist.
  10. 10. Formgebungsmaschine oder Handlingvorrichtung nach dem vorangehenden Anspruch, wobei die Signale des wenigstens einen Temperatursensors zur Kompensation von thermisch bedingten Verlagerungen des Messkörpers (5) einem Mikrocontroller zuführbar sind.
  11. 11. Formgebungsmaschine odär Handlingvorrichtung nach dem vorangehenden Anspruch, wobei der Mikrocontroller in die wenigstens eine Messvorichtung (3), vorzugsweise den Messkörper (5), integriert ist.
  12. 12. Formgebungsmaschine oder Handlingvorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 2 bis 11, wobei der piezoresistive mikromechanische Sensor (4) am Messkörper (3) mit einer einstellbaren Vorspannung vorgespannt befestigt ist.
  13. 13. Formgebungsmaschine nach wenigstens einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die Messvorrichtung (3) Teil einer Einspritzeinheit der Formgebungsmaschine (1) ist und die Messvorrichtung (3) dazu konfiguriert ist, aus dem vom piezoresistiven mikromechanischen Sensor (4) bereitgestellteni Messsignal eine Einspritzkraft der Einspritzeinheit zu bestimmen.
  14. 14. Formgebungsmaschine nach wenigstens einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die Messvorrichtung (3) Teil einer Schließeinheit der Formgebungsmaschine (1) ist
    12/21
    82432 36/28 und die Messvorrichtung (3) dazu konfiguriert ist, aus dem vom piezoresistiven mikromechanischen Sensor (4) bereitgestellten Messsignal eine Schließkraft der Schließeinheit zu bestimmen.
  15. 15. Handlingvorrichtung nach wenigstens einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die Messvorrichtung (3) an einem bewegbaren Arm der Handlingvorrichtung (2) angeordnet ist und die Messvorrichtung (3) dazu konfiguriert ist, aus dem vom piezoresistiven mikromechanischen Sensor (4) bereitgestellten Messsignal eine Beschleunigung des Arms zu bestimmen.
  16. 16. Formgebungsmaschine nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 14, wobei die Formgebungsmaschine als Spritzgießmaschine, besonders bevorzugt als Kunststoffspritzgießmaschine, ausgebildet ist.
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