AT318006B - Verfahren zum Herstellen einer diffundierten Zone in einem Halbleiterkörper unter Verwendung von festen Dotierungsstoffquellen - Google Patents

Verfahren zum Herstellen einer diffundierten Zone in einem Halbleiterkörper unter Verwendung von festen Dotierungsstoffquellen

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AT318006B
AT318006B AT85671A AT85671A AT318006B AT 318006 B AT318006 B AT 318006B AT 85671 A AT85671 A AT 85671A AT 85671 A AT85671 A AT 85671A AT 318006 B AT318006 B AT 318006B
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