AT272033B - Verfahren zum Abscheiden einer Schicht aus ätzbarem Siliziumnitrid auf einem festen Trägerkörper - Google Patents

Verfahren zum Abscheiden einer Schicht aus ätzbarem Siliziumnitrid auf einem festen Trägerkörper

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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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