AT262377B - Anordnung zum Herstellen von Bearbeitungsmasken für die Fertigung von Halbleiterbauelementen - Google Patents
Anordnung zum Herstellen von Bearbeitungsmasken für die Fertigung von HalbleiterbauelementenInfo
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70425—Imaging strategies, e.g. for increasing throughput or resolution, printing product fields larger than the image field or compensating lithography- or non-lithography errors, e.g. proximity correction, mix-and-match, stitching or double patterning
- G03F7/70475—Stitching, i.e. connecting image fields to produce a device field, the field occupied by a device such as a memory chip, processor chip, CCD, flat panel display
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US16162561A | 1961-12-22 | 1961-12-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| AT262377B true AT262377B (de) | 1968-06-10 |
Family
ID=22581993
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| AT983562A AT262377B (de) | 1961-12-22 | 1962-12-17 | Anordnung zum Herstellen von Bearbeitungsmasken für die Fertigung von Halbleiterbauelementen |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| AT (1) | AT262377B (de) |
| CH (1) | CH406444A (de) |
| DE (1) | DE1464681B2 (de) |
| FR (1) | FR1361880A (de) |
| GB (1) | GB1033897A (de) |
| SE (1) | SE322124B (de) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1087569A (en) * | 1964-08-17 | 1967-10-18 | Motorola Inc | Method and mask for making semiconductor devices |
-
1962
- 1962-12-17 AT AT983562A patent/AT262377B/de active
- 1962-12-17 CH CH1479862A patent/CH406444A/de unknown
- 1962-12-17 GB GB47516/62A patent/GB1033897A/en not_active Expired
- 1962-12-18 SE SE13670/62A patent/SE322124B/xx unknown
- 1962-12-21 DE DE19621464681 patent/DE1464681B2/de active Pending
- 1962-12-21 FR FR919391A patent/FR1361880A/fr not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE1464681B2 (de) | 1972-02-24 |
| CH406444A (de) | 1966-01-31 |
| FR1361880A (fr) | 1964-05-29 |
| DE1464681A1 (de) | 1969-01-30 |
| SE322124B (de) | 1970-03-23 |
| GB1033897A (en) | 1966-06-22 |
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