AT256182B - Einrichtung zum epitaxialen Aufwachsen von Halbleitersubstanzen - Google Patents

Einrichtung zum epitaxialen Aufwachsen von Halbleitersubstanzen

Info

Publication number
AT256182B
AT256182B AT159965A AT159965A AT256182B AT 256182 B AT256182 B AT 256182B AT 159965 A AT159965 A AT 159965A AT 159965 A AT159965 A AT 159965A AT 256182 B AT256182 B AT 256182B
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
epitaxial growth
semiconductor substances
substances
semiconductor
epitaxial
Prior art date
Application number
AT159965A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Ibm
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ibm filed Critical Ibm
Application granted granted Critical
Publication of AT256182B publication Critical patent/AT256182B/de

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B25/00—Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
    • C30B25/02—Epitaxial-layer growth

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
AT159965A 1964-03-18 1965-02-23 Einrichtung zum epitaxialen Aufwachsen von Halbleitersubstanzen AT256182B (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1964J0025479 DE1262243B (de) 1964-03-18 1964-03-18 Verfahren zum epitaktischen Aufwachsen von Halbleitermaterial

Publications (1)

Publication Number Publication Date
AT256182B true AT256182B (de) 1967-08-10

Family

ID=7202246

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT159965A AT256182B (de) 1964-03-18 1965-02-23 Einrichtung zum epitaxialen Aufwachsen von Halbleitersubstanzen

Country Status (4)

Country Link
AT (1) AT256182B (de)
DE (1) DE1262243B (de)
GB (1) GB1059451A (de)
NL (1) NL6503233A (de)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5137155B2 (de) * 1973-03-12 1976-10-14

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE509317A (de) * 1951-03-07 1900-01-01
DE950848C (de) * 1953-03-19 1956-10-18 Heraeus Gmbh W C Verfahren zur Herstellung von reinem Silicium
NL246576A (de) * 1954-05-18 1900-01-01

Also Published As

Publication number Publication date
NL6503233A (de) 1965-09-20
GB1059451A (en) 1967-02-22
DE1262243B (de) 1968-03-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CH403717A (de) Einrichtung zum kontinuierlichen Züchten von Einkristallen
CH432661A (de) Halbleitervorrichtung
CH438493A (de) Halbleitende Vorrichtung
AT261675B (de) Verfahren zum epitaktischen Aufwachsen von Halbleitereinkristallen
AT246668B (de) Vorrichtung zum Übertragen von Teigstücken
CH506187A (de) Vorrichtung zum epitaktischen Abscheiden von Halbleitermaterial
AT286871B (de) Vorrichtung zum Palettieren
FR1428011A (fr) Redresseur semi-conducteur commandé
BR6571096D0 (pt) Dispositivos semicondutores
CH439200A (de) Einrichtung zur Behandlung von Textilmaterial
CH465303A (de) Vorrichtung zum Dosieren von langhalmigem Erntegut
FR1454807A (fr) Dispositif semi-conducteur unipolaire
CH424995A (de) Halbleitervorrichtung
AT252144B (de) Vorrichtung zum Belüften von Flüssigkeiten
CH390295A (de) Einrichtung zum Gefrieren von Flüssigkeit
AT257247B (de) Vorrichtung zum Schütteln von Ästen
CH456037A (de) Gerät zur Behandlung der Kopfhaut
AT256182B (de) Einrichtung zum epitaxialen Aufwachsen von Halbleitersubstanzen
CH422168A (de) Halbleiteranordnung
FR1430747A (fr) Dispositif semi-conducteur pour courants intenses
AT272427B (de) Thermoelektrische Halbleiteranordnung
AT277064B (de) Gerät zum Abladen von Erntegut
AT308151B (de) Einrichtung zum selbsttätigen unmittelbaren Bilden von Zeilen
FR1396743A (fr) Appareil de croissance épitaxiale de matières semiconductrices
AT250088B (de) Gerät zum Verhacken von Pflanzenreihen