AT17403U1 - Receptacle for wafer transport containers and holding device for holding such receptacles - Google Patents
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Abstract
Aufnahmeschale (1) zur Aufnahme eines Wafer-Transportbehälters, umfassend eine im Wesentlichen ebene Grundplatte (2), wobei die Grundplatte (2) eine im Wesentlichen mittig angeordnete Öffnung (3) aufweist, wobei an zumindest zwei Seiten der Öffnung (3) Halterungselemente (4) zur formschlüssigen Aufnahme der Unterseite eines Wafer- Transportbehälters vorgesehen sind, wobei die Grundplatte (2) eine Vorderseite (5) und eine Rückseite (6) aufweist, wobei die Vorderseite (5) schmäler ist als die Rückseite (6), und wobei an der Rückseite (6) der Grundplatte (2) ein C-förmiger Haltebügel (7) vorgesehen ist, der sich vorzugsweise entlang der gesamten Rückseite (6) erstreckt, sowie eine Haltevorrichtung (14) für eine derartige Aufnahmeschale (1) und Zwischenlager (20) umfassend eine derartige Aufnahmeschale (1) und eine derartige Haltevorrichtung (14).Receptacle (1) for receiving a wafer transport container, comprising a substantially flat base plate (2), wherein the base plate (2) has a substantially centrally arranged opening (3), on at least two sides of the opening (3) holding elements ( 4) are provided for the form-fitting reception of the underside of a wafer transport container, the base plate (2) having a front (5) and a rear (6), the front (5) being narrower than the rear (6), and wherein on the back (6) of the base plate (2) there is a C-shaped holding bracket (7) which preferably extends along the entire back (6), as well as a holding device (14) for such a receiving shell (1) and intermediate storage ( 20) comprising such a receiving shell (1) and such a holding device (14).
Description
AUFNAHMESCHALE FÜR WAFER-TRANSPORTBEHÄLTER UND HALTEVORRICHTUNG ZUR HALTERUNG DERARTIGER AUFNAHMESCHALEN RECEIVING TRAY FOR WAFER TRANSPORT CONTAINERS AND HOLDING DEVICE FOR HOLDING SUCH RECEIVING TRAYS
[0001] Die Erfindung betrifft eine Aufnahmeschale für Wafer-Transportbehälter und eine Haltevorrichtung zur Halterung derartiger Aufnahmeschalen. The invention relates to a receiving tray for wafer transport containers and a holding device for holding such receiving trays.
[0002] In modernen Fabriken der Halbleiterproduktion werden Halbleiterwafer (meist Siliziumwafer) zu Einheiten in Losen zu meist 25 Wafern zusammengefasst und in Transportbehältern, sogenannten FOUPs (Front Opening Unified Pod) transportiert und gelagert. In diesen FOUPs befinden sich Einschübe zur Aufnahme der Wafer. Darüber hinaus ist ein FOUP maschinentransportierbar und das Offnen und Verschließen der Fronttür, sowie die Entnahme und das Einlegen der Wafer, erfolgen in der Regel maschinell. In modern semiconductor production factories, semiconductor wafers (usually silicon wafers) are combined into units in lots of mostly 25 wafers and transported and stored in transport containers, so-called FOUPs (Front Opening Unified Pod). These FOUPs contain slots for holding the wafers. In addition, a FOUP can be transported by machine and the opening and closing of the front door, as well as the removal and insertion of the wafer, are usually done by machine.
[0003] Die Produktion von Halbleiterchips dauert bei komplexen Bausteinen unter Umständen mehrere Monate. Während dieser Produktdurchlaufzeit werden die Wafer in einer Vielzahl von Tools prozessiert und in Zwischenlagern aufbewahrt. Neben der reinen Bearbeitung der Wafer sind somit auch die Bedingungen, unter denen die Wafer zwischen einzelnen Bearbeitungsschritten gelagert werden, von zentraler Bedeutung. In dem Zwischenlager sind definierte Lagerbedingungen zu schaffen, die insbesondere verhindern, dass unterschiedlich lange Lagerdauern zu unterschiedlichen Oberflächeneigenschaften der Wafer führen. [0003] In the case of complex components, the production of semiconductor chips may take several months. During this product throughput time, the wafers are processed in a large number of tools and stored in intermediate storage. In addition to the pure processing of the wafers, the conditions under which the wafers are stored between individual processing steps are also of central importance. Defined storage conditions are to be created in the interim storage facility, which in particular prevent storage periods of different lengths leading to different surface properties of the wafers.
[0004] Die Aufnahmeschalen der FOUPs in Zwischenlagern werden im Stand der Technik als FOUP-Nester bezeichnet. Im Folgenden werden unter FOUP-Nestern alle Stellplätze von FOUPs verstanden, die der Zwischenlagerung dienen, ohne Bestandteil eines Tools zu sein. In den FOUP-Nestern des Zwischenlagers werden die Wafer nicht prozessiert, sondern lediglich gelagert. Die Bauformen der FOUPSs, ihrer Bodenplatten und der FOUP-Nester variieren jedoch in Abhängigkeit vom Hersteller, sodass je nach Hersteller unterschiedliche FOUP-Nester und entsprechend auch unterschiedliche Zwischenlagerkonstruktionen beschafft werden müssen. The receptacles of the FOUPs in intermediate storage are referred to in the prior art as FOUP nests. In the following, FOUP nests are understood to mean all the locations of FOUPs that are used for interim storage without being part of a tool. The wafers are not processed in the FOUP nests of the interim storage facility, they are merely stored. However, the designs of the FOUPSs, their base plates and the FOUP nests vary depending on the manufacturer, so that different FOUP nests and correspondingly different intermediate storage structures have to be procured depending on the manufacturer.
[0005] Derartige FOUP-Nester und Zwischenlagerkonstruktionen sind teuer, sodass in kleineren Halbleiterwerken und Laboren mit geringerem Durchsatz die FOUPs aus Kostengründen meist in herkömmlichen Regalen gelagert werden. Um den Inhalt des FOUPSs feststellen zu können, muss am Regal der FOUP-Code manuell oder mit einem Lesegerät eingelesen werden, sodass die Anordnung der FOUPSs auf den Regalen entsprechend beschränkt ist und die Bearbeiter Zeit durch Suchen des richtigen FOUPSs verlieren. Diese herkömmlichen Regale sind in der Regel auch nicht optimiert für die Transportbehälter und brauchen wesentlich mehr Platz; darüber hinaus sind herkömmliche Regale nicht erweiterbar, sodass die Betreiber des Labors sich vorab auf eine bestimmte Anzahl an Transportbehältern festlegen müssen. [0005] Such FOUP nests and intermediate storage constructions are expensive, so that in smaller semiconductor plants and laboratories with a lower throughput the FOUPs are usually stored on conventional shelves for cost reasons. In order to be able to determine the content of the FOUPS, the FOUP code must be read in manually or with a reader on the shelf, so that the arrangement of the FOUPS on the shelves is restricted accordingly and the processors lose time searching for the correct FOUPS. These conventional shelves are usually not optimized for the transport containers and require much more space; Furthermore, conventional shelving cannot be expanded, meaning that the operators of the laboratory have to decide in advance on a certain number of transport containers.
[0006] Die Aufgabe der Erfindung besteht somit unter anderem darin, eine Aufnahmeschale für FOUPSs und eine Anordnung zur Lagerung derartiger Aufnahmeschalen zu schaffen, die einfach in der Herstellung ist und eine systematische sowie modular erweiterbare Lagermöglichkeit für FOUPSs verschiedener Hersteller ermöglicht. The object of the invention is therefore, inter alia, to create a receiving tray for FOUPSs and an arrangement for storing such receiving trays that is easy to manufacture and enables a systematic and modularly expandable storage option for FOUPSs from different manufacturers.
[0007] Diese und andere Aufgaben werden erfindungsgemäß durch eine Aufnahmeschale für Wafer-Transportbehälter und eine Haltevorrichtung für derartige Aufnahmeschalen gemäß den unabhängigen Patentansprüchen gelöst. [0007] These and other objects are achieved according to the invention by a receiving tray for wafer transport containers and a holding device for such receiving trays according to the independent patent claims.
[0008] Eine erfindungsgemäße Aufnahmeschale ist zur Aufnahme eines Wafer-Transportbehälters (FOUP) ausgebildet und umfasst eine im Wesentlichen ebene Grundplatte, auf die der FOUP platziert werden kann. A receiving tray according to the invention is designed to receive a wafer transport container (FOUP) and comprises a substantially flat base plate on which the FOUP can be placed.
[0009] Die Grundplatte weist eine im Wesentlichen mittig angeordnete Öffnung auf, die sicherstellt, dass im unbenutzten Zustand die laminare senkrechte Luftströmung des Reinraums nicht behindert wird und dient auch dazu, dass keine anderen Gegenstände in die Aufnahmeschale gelegt werden können. The base plate has a substantially centrally located opening which ensures that when not in use the laminar vertical air flow of the clean room is not impeded and also serves to ensure that no other objects can be placed in the receiving tray.
[0010] An zumindest zwei Seiten der Öffnung sind Halterungselemente zur formschlüssigen Aufnahme der Unterseite eines Wafer-Transportbehälters vorgesehen. Dabei kann es sich um tiefgezogene Erhebungen („Kiemen“), Ausnehmungen oder dergleichen handeln, die mit korrespondierenden Mitteln des FOUP zusammenwirken, um den FOUP auf der Grundplatte zu fixieren. Da verschiedene FOUP-Bauarten bekannt sind, können verschieden ausgebildete Aufnahmeschalen zur Aufnahme verschiedener FOUP-Bauformen vorgesehen sein. Beispielsweise kann die Zahl, Positionierung und Ausbildung der Halterungselemente an die verschiedenen FOUPBauformen angepasst sein. [0010] On at least two sides of the opening, holding elements are provided for receiving the underside of a wafer transport container in a form-fitting manner. This can involve deep-drawn elevations (“gills”), recesses or the like, which interact with corresponding means of the FOUP in order to fix the FOUP on the base plate. Since different types of FOUP are known, receiving shells of different design can be provided for receiving different types of FOUP. For example, the number, positioning and design of the mounting elements can be adapted to the different FOUP designs.
[0011] Die Grundplatte weist eine Vorderseite und eine Rückseite auf, wobei die Vorderseite schmäler ist als die Rückseite. Insbesondere kann die Vorderkante der Grundplatte eine geringere Ausdehnung aufweisen als die Rückkante. Dies hat den Vorteil, dass der FOUP einfacher manuell mit zwei Händen auf die Grundplatte aufgesetzt und von der Grundplatte entfernt werden kann. An der Rückseite der Grundplatte ist ein C-förmiger Haltebügel vorgesehen, der sich vorzugsweise entlang der gesamten Rückseite erstreckt. Dieser Haltebügel ist dazu ausgebildet, in eine korrespondierende Nut eines Querträgers eingesetzt zu werden, sodass die Grundplatte und somit die gesamte Aufnahmeschale an einem Querträger einer Haltevorrichtung fixiert werden kann. The base plate has a front and a back, the front being narrower than the back. In particular, the front edge of the base plate can have a smaller extent than the rear edge. This has the advantage that the FOUP can be placed on the base plate and removed from the base plate manually more easily with two hands. A C-shaped retaining clip is provided on the rear of the base plate, which preferably extends along the entire rear. This bracket is designed to be inserted into a corresponding groove of a cross member, so that the base plate and thus the entire receiving shell can be fixed to a cross member of a holding device.
[0012] An der Unterseite der Grundplatte kann an deren Rückseite zumindest eine Fixierlasche mit einem Fixierelement, beispielsweise einer Stellschraube, vorgesehen sein, um die Grundplatte am Querträger einer Haltevorrichtung im eingehängten Zustand zu fixieren. On the underside of the base plate, at least one fixing tab with a fixing element, for example an adjusting screw, can be provided on the rear side in order to fix the base plate on the cross member of a holding device in the suspended state.
[0013] In der Grundplatte können an zumindest einer Seite der Öffnung, gegebenenfalls an beiden Seiten, eine Vielzahl an weiteren Ausnehmungen vorgesehen sein. Dabei kann es sich um Löcher handeln, um den vertikalen laminaren Flow zu verbessern. A plurality of further recesses can be provided in the base plate on at least one side of the opening, optionally on both sides. These can be holes to improve vertical laminar flow.
[0014] Die Grundplatte kann seitliche Verstärkungsrippen oder Laschen aufweisen. Diese erhöhen die Stabilität und Steifigkeit der Aufnahmeschale. Die Aufnahmeschale kann im Wesentlichen einstückig sein. Die Aufnahmeschale kann metallisch sein, insbesondere aus pulverbeschichtetem Aluminium oder Edelstahl. Bevorzugt ist die Aufnahmeschale aus Edelstahl gefertigt oder umfasst Edelstahl. Die Aufnahmeschale kann in Form eines gestanzten und/oder tiefgezogenen Blechs ausgebildet sein. The base plate can have lateral reinforcement ribs or tabs. These increase the stability and rigidity of the receiving shell. The receiving tray can be essentially in one piece. The receiving shell can be metallic, in particular made of powder-coated aluminum or stainless steel. The receiving shell is preferably made of stainless steel or includes stainless steel. The receiving shell can be in the form of a stamped and/or deep-drawn sheet metal.
[0015] Es kann eine Aufnahmevorrichtung zur Aufnahme eines elektronischen Bauelements, insbesondere eines RFID-Moduls vorgesehen sein. Die Aufnahmevorrichtung kann im Bereich der Vorderseite, insbesondere angrenzend an die Öffnung angeordnet sein. Dabei kann es sich insbesondere um einen Einschub oder dergleichen handeln. Die Aufnahmevorrichtung kann mit einem Lichtleitelement, beispielsweise einem transparenten Acrylstab, in Verbindung stehen, der von der Aufnahmevorrichtung zur Vorderseite führt. Dadurch wird ermöglicht, dass ein RFID-Modul in die Aufnahmevorrichtung eingebracht, insbesondere von Seiten der Öffnung eingeschoben werden kann. Das Licht eines Leuchtelements des RFID-Moduls kann durch das Lichtleitelement an die Vorderseite der Aufnahmeschale geleitet werden, um den Status des RFID-Moduls an einen Benutzer anzuzeigen. [0015] A receiving device for receiving an electronic component, in particular an RFID module, can be provided. The receiving device can be arranged in the area of the front side, in particular adjacent to the opening. This can in particular be an insert or the like. The receptacle may communicate with a light guide, such as a transparent acrylic rod, leading from the receptacle to the front. This makes it possible for an RFID module to be introduced into the receiving device, in particular to be pushed in from the side of the opening. The light from a light-emitting element of the RFID module can be guided to the front of the receiving shell by the light-guiding element in order to indicate the status of the RFID module to a user.
[0016] Durch das RFID-Modul, welches den FOUP und dessen Inhalt eindeutig kennzeichnet, wird ermöglicht, dass keine Suche nach freien Plätzen bzw. Abstellplätzen für FOUPs mehr notwendig ist. Es bedarf auch keiner manuellen Suche der befüllten FOUPs, da jedes einzelne an seiner Position getrackt wird. Dabei wird nicht nur die Position des Regals festgehalten, sondern auch die konkrete Aufnahmeschale, in welcher sich der FOUP befindet. The RFID module, which uniquely identifies the FOUP and its content, means that it is no longer necessary to search for free spaces or parking spaces for FOUPs. There is also no need to manually search for the filled FOUPs, since each individual is tracked at its position. Not only is the position of the shelf recorded, but also the specific receptacle in which the FOUP is located.
[0017] Die Erfindung erstreckt sich ferner auf eine Haltevorrichtung zur Halterung zumindest einer erfindungsgemäßen Aufnahmeschale, beispielsweise in Form eines Regals. Eine derartige Haltevorrichtung umfasst zumindest zwei vertikal verlaufende Steher mit vorzugsweise mehreren, dazwischen angeordneten horizontal verlaufenden Querträgern, wobei die Querträger an ihrer Oberseite jeweils eine in Längsrichtung verlaufende Nut zum Einführen der Haltebügel der Aufnahmeschalen aufweisen. The invention also extends to a holding device for holding at least one receiving tray according to the invention, for example in the form of a shelf. Such a holding device comprises at least two vertically running uprights with preferably several horizontally running crossbeams arranged between them, the crossbeams each having a longitudinally running groove on their upper side for inserting the holding brackets of the receiving shells.
[0018] Zwischen den Stehern und vorzugsweise über den Querträgern kann eine Beschriftungs-[0018] A label can be placed between the uprights and preferably above the cross members
blende angeordnet sein, um das Regal für den Benutzer zu kennzeichnen. be arranged aperture to identify the shelf for the user.
[0019] Die Querträger können mit zumindest einem vertikal verlaufenden Kabelkanal verbunden sein. The cross members can be connected to at least one vertically running cable duct.
[0020] Die Querträger können sich einseitig oder beidseitig über die Steher hinaus erstrecken. Dadurch wird ermöglicht, dass die Aufnahmeschalen nicht nur im Bereich zwischen den Stehern, sondern auch seitlich darüber hinaus angeordnet werden können. The crossbeams can extend beyond the uprights on one side or on both sides. This makes it possible for the receiving shells to be arranged not only in the area between the uprights, but also laterally beyond them.
[0021] Darüber hinaus kann die an der Oberseite der Querträger in Längsrichtung verlaufende Nut derart an den Haltebügel der Aufnahmeschale angepasst sein, dass zwei Aufnahmeschalen in die Nut eingefügt werden können, deren Rückseiten zueinander weisen („back-to-back“-Konfiguration). Dadurch können auf beiden Seiten der Querträger Aufnahmeschalen angeordnet werden, was eine besonders platzsparende Aufnahme der FOUPSs ermöglicht. Alternativ dazu kann natürlich ebenfalls vorgesehen sein, dass an der Oberseite der Querträger zwei parallel in Längsrichtung verlaufende und beabstandete Nuten vorgesehen sind, um eine „back-to-back“-Konfiguration von Aufnahmeschalen in jeweils eigene Nuten zu ermöglichen. In addition, the groove running in the longitudinal direction on the upper side of the crossbeams can be adapted to the holding bracket of the receiving shell in such a way that two receiving shells can be inserted into the groove, the rear sides of which point towards one another ("back-to-back" configuration). . As a result, receiving shells can be arranged on both sides of the cross member, which enables the FOUPS to be accommodated in a particularly space-saving manner. As an alternative to this, provision can of course also be made for two grooves running parallel in the longitudinal direction and spaced apart to be provided on the upper side of the crossbeams in order to enable a “back-to-back” configuration of receiving shells in each case in their own grooves.
[0022] Die Erfindung umfasst ferner ein Zwischenlager für Wafer-Transportbehälter, umfassend zumindest eine erfindungsgemäße Aufnahmeschale und eine erfindungsgemäße Haltevorrichtung, wobei zur Halterung der Aufnahmeschale der Haltebügel einer oder mehrerer Aufnahmeschalen in die Nut eines Querträgers eingeführt ist, und gegebenenfalls die Fixierlaschen der Aufnahmeschalen am Querträger befestigt, beispielsweise verschraubt sind. The invention also includes an intermediate storage facility for wafer transport containers, comprising at least one receiving tray according to the invention and a holding device according to the invention, with the retaining clip of one or more receiving trays being inserted into the groove of a cross member to hold the receiving tray, and optionally the fixing tabs of the receiving trays on Cross member attached, for example screwed.
[0023] Die Aufnahmeschalen können insbesondere zu beiden Seiten eines Querträgers angeordnet sein, wobei ihre Haltebügel jeweils in derselben Nut des Querträgers eingeführt sind, oder auch in jeweils separate, parallel zueinander verlaufende Nuten des Querträgers eingeführt sind. The receiving shells can be arranged in particular on both sides of a cross member, with their brackets are each inserted in the same groove of the cross member, or are each inserted into separate, mutually parallel grooves of the cross member.
[0024] Die Haltevorrichtung kann insbesondere zwei Steher und vier Querträger aufweisen und bis zu acht, zwölf, sechzehn, vierundzwanzig oder zweiunddreißig Aufnahmeschalen tragen, die vorzugsweise beidseitig der Querträger angeordnet sind. The holding device can in particular have two uprights and four crossbeams and carry up to eight, twelve, sixteen, twenty-four or thirty-two receiving shells, which are preferably arranged on both sides of the crossbeam.
[0025] Eine derartige Haltevorrichtung kann individuell mit Aufnahmeschalen ausgestattet werden. Dabei wird für jeden Transportbehälter eine eigene Aufnahmeschale konstruiert, damit nur dieser Transportbehälter und kein anderer eingesetzt werden kann. Das Regal kann sowohl in der Höhe und Länge beliebig anpassbar sein. Dies bietet eine Platzersparnis gegenüber den bestehenden Lösungen. Die Aufnahmeschalen werden eingehängt und mittels Stellschraube fixiert. Somit kann das Regal nach Belieben nachgerüstet und es können neue Module eingesetzt werden. [0025] Such a holding device can be equipped individually with receiving shells. A separate receptacle is designed for each transport container so that only this transport container and no other can be used. The shelf can be adjusted as desired both in height and length. This offers a space saving compared to the existing solutions. The receiving shells are hooked in and fixed with an adjusting screw. Thus, the shelf can be retrofitted as desired and new modules can be used.
[0026] Durch Nutzung einer erfindungsgemäßen Aufnahmeschale entsteht kein Abrieb im Reinraum durch Verrücken der Transportbehälter; diese stehen fest in der Aufnahmeschale. Zusätzlich wird verhindert das Mitarbeiter andere Materialien (Stifte, Notizblöcke etc.) auf dem Regal ablegen, sodass die Aufrechterhaltung eines ständigen laminaren Luftstroms im Reinraum gewährleistet werden kann. By using a receiving tray according to the invention, there is no abrasion in the clean room due to displacement of the transport container; these stand firmly in the receiving tray. In addition, employees are prevented from placing other materials (pens, notepads, etc.) on the shelf, so that a constant laminar air flow can be maintained in the clean room.
[0027] Weitere erfindungsgemäße Merkmale ergeben sich aus den Ansprüchen, der Beschreibung der Ausführungsbeispiele und den Figuren. [0027] Further features according to the invention result from the claims, the description of the exemplary embodiments and the figures.
[0028] Die Erfindung wird nun an Hand von nicht-exklusiven Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen: The invention will now be explained in more detail using non-exclusive exemplary embodiments. Show it:
[0029] Figs. 1a - 1d eine erste Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Aufnahmeschale; [0030] Fig. 2 eine zweite Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Aufnahmeschale; [0031] Fig. 3 eine dritte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Aufnahmeschale; [0032] Figs. 4a - 4d eine erste Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Haltevorrichtung; [0033] Figs. 5a - 5d eine zweite Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Haltevorrichtung; [0034] Figs. 6a - 6d eine dritte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Haltevorrichtung; Figs. 1a - 1d a first embodiment of a receiving tray according to the invention; [0030] FIG. 2 shows a second embodiment of a receiving tray according to the invention; [0031] FIG. 3 shows a third embodiment of a receiving tray according to the invention; Figs. 4a - 4d a first embodiment of a holding device according to the invention; Figs. 5a - 5d a second embodiment of a holding device according to the invention; Figs. 6a - 6d a third embodiment of a holding device according to the invention;
[0035] Figs. 7a - 7d eine vierte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Haltevorrichtung; [0036] Figs. 8a - 8d eine fünfte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Haltevorrichtung; [0037] Figs. 9a - 9d eine sechste Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Haltevorrichtung. Figs. 7a - 7d a fourth embodiment of a holding device according to the invention; Figs. 8a - 8d a fifth embodiment of a holding device according to the invention; Figs. 9a - 9d a sixth embodiment of a holding device according to the invention.
[0038] Figs. 1a - 1d zeigen eine erste Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Aufnahmeschale 1. Fig. 1a zeigt eine schematische dreidimensionale Ansicht der Aufnahmeschale 1. Die Aufnahmeschale 1 ist zur Aufnahme eines (nicht dargestellten) Wafer-Transportbehälters ausgebildet und umfasst eine im Wesentlichen ebene Grundplatte 2. Die Grundplatte 2 weist eine im Wesentlichen mittig angeordnete Öffnung 3 auf, die den Großteil der durch die Grundplatte aufgespannten Fläche abdeckt. Die Grundplatte ist im Wesentlichen rechteckförmig, wobei sie eine Vorderseite 5 aufweist, die in Richtung des Benutzers weist und von der FOUPSs eingesetzt und entnommen werden können, und eine Rückseite 6 aufweist, mit der die Aufnahmeschale 1 am Querträger eines Regals angeordnet werden kann. Die Vorderseite 5 ist in dieser Ausführungsform schmäler als die Rückseite 6, um das Einsetzen und Entfernen der FOUPSs zu erleichtern und eine bessere Kraftübertragung an den Querträger des Regals zu ermöglichen. Figs. 1a - 1d show a first embodiment of a receiving tray 1 according to the invention. Fig. 1a shows a schematic three-dimensional view of the receiving tray 1. The receiving tray 1 is designed to accommodate a wafer transport container (not shown) and comprises a substantially flat base plate 2. The base plate 2 has an essentially centrally arranged opening 3 which covers the majority of the area spanned by the base plate. The base plate is substantially rectangular in shape, having a front 5, which faces towards the user and from which FOUPSs can be inserted and removed, and a rear 6, with which the tray 1 can be placed on the cross member of a shelf. The front 5 is narrower than the back 6 in this embodiment to facilitate insertion and removal of the FOUPS and to allow better power transmission to the cross member of the shelf.
[0039] An zwei Seiten der Öffnung 3 sind je drei Halterungselemente 4 in Form von tiefgezogenen, kiemenförmigen Laschen ausgebildet, die zur formschlüssigen Aufnahme von entsprechenden Ausnehmungen an der Unterseite eines Wafer-Transportbehälters dienen. An der Rückseite 6 der Grundplatte 2 befindet sich ein langgestreckter Haltebügel 7 mit C-förmigem Querschnitt, der sich entlang der Rückseite 6 erstreckt. On two sides of the opening 3 three mounting elements 4 are formed in the form of deep-drawn, gill-shaped tabs, which are used for the positive reception of corresponding recesses on the underside of a wafer transport container. On the back 6 of the base plate 2 there is an elongate holding bracket 7 with a C-shaped cross section, which extends along the back 6 .
[0040] Fig. 1b zeigt eine schematische Draufsicht der Aufnahmeschale 1. Es ist ersichtlich, dass sich der Haltebügel 7 etwa über 80% bis 90% der Rückseite 6 erstreckt, und dass die Vorderseite 5 über etwa 40% parallel zur Rückseite 6 verläuft, und entlang der verbleibenden Länge abgeschrägt zu den beiden, im Wesentlichen rechtwinkelig zur Rückfläche 6 verlaufenden Seitenflächen verläuft. Die Abschrägung beträgt hier etwa 45°. Die Öffnung 3 ist im Wesentlichen rechteckförmig mit abgerundeten Ecken und bedeckt etwa 40% der durch die Grundplatte 2 aufgespannten Fläche. Fig. 1b shows a schematic plan view of the receiving tray 1. It can be seen that the retaining bracket 7 extends over approximately 80% to 90% of the rear 6, and that the front 5 runs parallel to the rear 6 over approximately 40%. and runs along the remaining length at a slant to the two side surfaces running essentially at right angles to the rear surface 6 . The bevel here is about 45°. The opening 3 is essentially rectangular with rounded corners and covers about 40% of the area spanned by the base plate 2 .
[0041] In der Grundplatte 2 sind zu zwei Seiten der Öffnung 3 eine Vielzahl an weiteren Ausnehmungen 9 vorgesehen, die dazu dienen, dass die Grundplatte 2 den laminaren Flow im Reinraum nicht behindert. In the base plate 2, a plurality of further recesses 9 are provided on two sides of the opening 3, which serve to ensure that the base plate 2 does not impede the laminar flow in the clean room.
[0042] Fig. 1c zeigt eine Ansicht der Rückseite 6 und Fig. 1d eine Ansicht der Aufnahmeschale 1 von der Seite. Es ist ersichtlich, dass an der Unterseite der Grundplatte 2 im Bereich der Rückseite 6 zwei Fixierlaschen 8 vorgesehen sind, die sich nach unten erstrecken. Uber diese Fixierlaschen 8 kann die Aufnahmeschale 1 nach dem Einführen des Haltebügels 7 in eine Nut 17 eines Querträgers 16 am Querträger 16 fixiert, beispielsweise angeschraubt werden. Fig. 1d zeigt auch die Ausbildung des von der Rückseite der Grundplatte 2 nach oben abstehenden Haltebügels 7, der im Wesentlichen C-förmig ausgebildet ist, um in eine Nut 17 eines Querträgers 16 einführbar zu sein. FIG. 1c shows a view of the rear side 6 and FIG. 1d shows a view of the receiving tray 1 from the side. It can be seen that two fixing tabs 8 are provided on the underside of the base plate 2 in the area of the rear side 6, which extend downwards. After the insertion of the holding bracket 7 into a groove 17 of a cross member 16, the receiving shell 1 can be fixed to the cross member 16 via these fixing tabs 8, for example screwed on. 1d also shows the design of the retaining bracket 7 which protrudes upwards from the rear side of the base plate 2 and is essentially C-shaped in order to be able to be inserted into a groove 17 of a cross member 16 .
[0043] Ferner ist in diesen Darstellungen ersichtlich, dass die Grundplatte 2 seitliche Verstärkungsrippen 10 in Form von Wulsten oder Bördelungen aufweist, um die Stabilität der Grundplatte 2 zu erhöhen. Die Aufnahmeschale ist in diesem Ausführungsbeispiel im Wesentlichen einstückig und aus poliertem Edelstahl gefertigt. It can also be seen in these representations that the base plate 2 has lateral reinforcing ribs 10 in the form of beads or flanges in order to increase the stability of the base plate 2 . In this exemplary embodiment, the receiving shell is essentially made in one piece and is made of polished stainless steel.
[0044] Fig. 2 zeigt eine zweite Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Aufnahmeschale 1. Diese Aufnahmeschale ist im Wesentlichen identisch zu jener aus Fig. 1a - 1d, wobei identische Bezugszeichen auf identische bauliche Merkmale kennzeichnen. Bei dieser Ausführungsform sind jedoch keine Ausnehmungen 9 vorgesehen. Ferner verfügt die Grundplatte 2 in dieser Ausführungsform über eine Aufnahmevorrichtung 11 zur Aufnahme eines elektronischen Bauelements, insbesondere eines RFID-Moduls 12. Die Aufnahmevorrichtung 11 ist als Einschub ausgebildet, der an der Vorderseite 5 der Grundplatte 2 angeordnet ist, und in den das RFID-Modul 12 von vorne eingeschoben werden kann. Der Einschub erstreckt sich von der Grundplatte 2 nach unten, sodass das RFID-Modul 12 auch eingeschoben werden kann, wenn sich ein FOUP 2 shows a second embodiment of a receiving shell 1 according to the invention. This receiving shell is essentially identical to that from FIGS. 1a-1d, with identical reference numbers identifying identical structural features. In this embodiment, however, no recesses 9 are provided. In this embodiment, the base plate 2 also has a receiving device 11 for receiving an electronic component, in particular an RFID module 12. The receiving device 11 is designed as a slot which is arranged on the front side 5 of the base plate 2 and into which the RFID Module 12 can be inserted from the front. The slot extends from the base plate 2 down so that the RFID module 12 can also be inserted when a FOUP
auf der Grundplatte 2 befindet. located on the base plate 2.
[0045] Fig. 3 zeigt eine dritte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Aufnahmeschale 1. Diese Aufnahmeschale ist im Wesentlichen identisch zu jener aus Fig. 1a - 1d, wobei identische Bezugszeichen auf identische bauliche Merkmale kennzeichnen. Die Grundplatte 2 verfügt auch in dieser Ausführungsform über eine Aufnahmevorrichtung 11 zur Aufnahme eines elektronischen Bauelements, insbesondere eines RFID-Moduls 12. Zur Verständlichkeit ist das eingeschobene RFID-Modul 12 schematisch dargestellt. Die Aufnahmevorrichtung 11 ist wiederum als Einschub ausgebildet, der im Bereich der Vorderseite 5 der Grundplatte 2 angrenzend an die Öffnung 3 angeordnet ist, und in den das RFID-Modul 12 von der Öffnung 3 eingeschoben werden kann. Der Einschub erstreckt sich wiederum von der Grundplatte 2 nach unten, sodass das RFID-Modul 12 auch eingeschoben werden kann, wenn sich ein FOUP auf der Grundplatte 2 befindet. Da das RFID-Modul in dieser Ausführungsform nicht von vorne sichtbar ist, steht die Aufnahmevorrichtung 11 mit einem transparenten Acrylstab 13 in Verbindung, der von der Aufnahmevorrichtung 11 zur Vorderseite 5 führt. Dadurch können optische Signale des RFID-Moduls 12 an der Vorderseite 5 der Grundplatte 2 ausgegeben werden, um dem Benutzer beispielsweise Status- oder Warnsignale zu geben, oder beim Tracking eines FOUPSs behilflich zu sein. FIG. 3 shows a third embodiment of a receiving shell 1 according to the invention. This receiving shell is essentially identical to that from FIGS. 1a-1d, with identical reference numbers identifying identical structural features. In this embodiment too, the base plate 2 has a receiving device 11 for receiving an electronic component, in particular an RFID module 12. For the sake of clarity, the inserted RFID module 12 is shown schematically. The receiving device 11 is in turn designed as an insert which is arranged in the area of the front side 5 of the base plate 2 adjacent to the opening 3 and into which the RFID module 12 can be inserted from the opening 3 . The slot in turn extends downwards from the base plate 2 so that the RFID module 12 can also be inserted when there is a FOUP on the base plate 2 . Because the RFID module is not visible from the front in this embodiment, the receptacle 11 is connected to a transparent acrylic rod 13 that leads from the receptacle 11 to the front 5 . As a result, optical signals from the RFID module 12 can be output on the front side 5 of the base plate 2 in order to give the user status or warning signals, for example, or to help with tracking a FOUPS.
[0046] Figs. 4a - 4d zeigen eine erste Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Haltevorrichtung 14 mit eingesetzten Aufnahmeschalen 1. Fig. 4a zeigt eine schematische dreidimensionale Ansicht; Fig. 4b eine Ansicht von der Seite, Fig. 4c eine Ansicht von vorne und Fig. 4d eine Ansicht von oben. Eine derartige Kombination aus Haltevorrichtung 14 und Aufnahmeschalen 1 bildet ein Zwischenlager 20 für Wafer-Transportbehälter, wobei zur Halterung der Aufnahmeschale 1 die Haltebügel 7 mehrerer Aufnahmeschalen 1 in die Nuten 17 der Querträger 16 eingeführt sind, und die Fixierlaschen 8 der Aufnahmeschalen 1 am Querträger 16 angeschraubt sind. Figs. 4a-4d show a first embodiment of a holding device 14 according to the invention with inserted receiving shells 1. FIG. 4a shows a schematic three-dimensional view; Figure 4b is a side view, Figure 4c is a front view and Figure 4d is a top view. Such a combination of holding device 14 and receiving trays 1 forms an intermediate store 20 for wafer transport containers, with the holding brackets 7 of several receiving trays 1 being inserted into the grooves 17 of the cross member 16 to hold the receiving tray 1, and the fixing tabs 8 of the receiving trays 1 on the cross member 16 are screwed on.
[0047] Die Haltevorrichtung 14 ist zur Halterung von sechzehn Aufnahmeschalen 1 ausgebildet und umfasst zwei vertikal verlaufende Steher 15 mit vier dazwischen parallel angeordneten horizontal verlaufenden Querträgern 16. Jeder der Querträger 16 weist an seiner Oberseite eine in Längsrichtung verlaufende Nut 17 auf. The holding device 14 is designed to hold sixteen receptacles 1 and comprises two vertical uprights 15 with four parallel horizontal crossbeams 16 arranged in between. Each of the crossbeams 16 has a longitudinally extending groove 17 on its upper side.
[0048] Die Nut 17 ist derart ausgebildet, dass die Haltebügel 7 der Aufnahmeschalen 1 formschlüssig eingeführt werden können, sodass die Aufnahmeschalen 1 formschlüssig in den Querträgern 16 gehalten werden. Ferner sind die Querträger 16 auch derart ausgebildet, dass die Aufnahmeschalen 1 über Fixierlaschen 8 an den Querträgern 16 angeschraubt werden können, das heißt die Querträger 16 sind mindestens so hoch wie die vertikale Erstreckung der Fixierlaschen 8 von der Grundplatte 2. Zwischen den Stehern 15 und über den Querträgern 16 ist ferner eine Beschriftungsblende 18 angeordnet. Die Querträger 16 sind mit einem vertikal verlaufenden Kabelkanal 19 verbunden. The groove 17 is designed in such a way that the holding brackets 7 of the receiving shells 1 can be inserted in a form-fitting manner, so that the receiving shells 1 are held in the crossbeams 16 in a form-fitting manner. Furthermore, the crossbeams 16 are also designed in such a way that the receiving shells 1 can be screwed to the crossbeams 16 via fixing brackets 8, i.e. the crossbeams 16 are at least as high as the vertical extension of the fixing brackets 8 from the base plate 2. Between the uprights 15 and Furthermore, an inscription panel 18 is arranged above the crossbeams 16 . The crossbeams 16 are connected to a vertically running cable duct 19 .
[0049] Figs. 5a - 5d zeigen eine zweite Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Haltevorrichtung 14 bzw. eines Zwischenlagers 20 in einer schematischen dreidimensionalen Ansicht, wobei diese Haltevorrichtung zur Aufnahme von acht Aufnahmeschalen 1 ausgebildet ist. Dieses Ausführungsbeispiel ist im Wesentlichen identisch zu jenem aus Figs. 4a - 4d, wobei identische Bezugszeichen auch auf identische bauliche Merkmale hinweisen. Figs. 5a - 5d show a second embodiment of a holding device 14 according to the invention or an intermediate store 20 in a schematic three-dimensional view, this holding device being designed to accommodate eight receiving shells 1. This embodiment is essentially identical to that shown in Figs. 4a - 4d, with identical reference numbers also indicating identical structural features.
[0050] Figs. 6a - 6d zeigen eine dritte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Haltevorrichtung 14 bzw. eines Zwischenlagers 20 in einer schematischen dreidimensionalen Ansicht, wobei diese Haltevorrichtung zur Aufnahme von zwölf Aufnahmeschalen 1 ausgebildet ist. Dieses Ausführungsbeispiel ist im Wesentlichen identisch zu jenem aus Fig. 4a - 4d, wobei identische Bezugszeichen auch auf identische bauliche Merkmale hinweisen. In dieser Ausführungsform erstrecken sich jedoch die Querträger 16 einseitig über die Steher 15 hinaus, sodass vier weitere Aufnahmeschalen 1 seitlich der Steher 15 angeordnet werden können. Figs. 6a - 6d show a third embodiment of a holding device 14 according to the invention or an intermediate store 20 in a schematic three-dimensional view, this holding device being designed to accommodate twelve receiving shells 1. This exemplary embodiment is essentially identical to that from FIGS. 4a-4d, with identical reference symbols also indicating identical structural features. In this embodiment, however, the crossbeams 16 extend on one side beyond the uprights 15, so that four further receiving trays 1 can be arranged on the sides of the uprights 15.
[0051] Figs. 7a - 7d zeigen eine vierte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Haltevorrichtung 14 bzw. eines Zwischenlagers 20 in einer schematischen dreidimensionalen Ansicht, wobei diese Haltevorrichtung zur Aufnahme von sechzehn Aufnahmeschalen 1 ausgebildet ist. Dieses Ausführungsbeispiel ist im Wesentlichen identisch zu jenem aus Figs. 4a - 4d, wobei identische Figs. 7a - 7d show a fourth embodiment of a holding device 14 according to the invention or an intermediate store 20 in a schematic three-dimensional view, this holding device being designed to accommodate sixteen receiving shells 1. This embodiment is essentially identical to that shown in Figs. 4a - 4d, being identical
Bezugszeichen auch auf identische bauliche Merkmale hinweisen. Reference numbers also indicate identical structural features.
[0052] In dieser Ausführungsform sind die Aufnahmeschalen 1 zu beiden Seiten der Querträger 16 angeordnet, wobei ihre Haltebügel 7 jeweils in derselben Nut 17 des Querträgers 16 eingeführt sind. In this embodiment, the trays 1 are arranged on either side of the crossbeams 16, with their brackets 7 each being inserted in the same groove 17 of the crossbeam 16.
[0053] Figs. 8a - 8d zeigen eine fünfte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Haltevorrichtung 14 bzw. eines Zwischenlagers 20 in einer schematischen dreidimensionalen Ansicht, wobei diese Haltevorrichtung zur Aufnahme von vierundzwanzig Aufnahmeschalen 1 ausgebildet ist. Dieses Ausführungsbeispiel ist im Wesentlichen identisch zu jenem aus Figs. 4a - 4d, wobei identische Bezugszeichen auch auf identische bauliche Merkmale hinweisen. In dieser Ausführungsform sind die Aufnahmeschalen 1 zu beiden Seiten der Querträger 16 angeordnet, wobei ihre Haltebügel 7 jeweils in derselben Nut 17 des Querträgers 16 eingeführt sind. Darüber hinaus erstrecken sich jedoch die Querträger 16 einseitig über die Steher 15 hinaus, sodass acht weitere Aufnahmeschalen 1 seitlich der Steher 15 angeordnet werden können. Figs. 8a - 8d show a fifth embodiment of a holding device 14 according to the invention or an intermediate store 20 in a schematic three-dimensional view, this holding device being designed to accommodate twenty-four receiving shells 1. This embodiment is essentially identical to that shown in Figs. 4a - 4d, with identical reference numbers also indicating identical structural features. In this embodiment, the trays 1 are arranged on either side of the crossbeams 16, with their retaining brackets 7 each being inserted in the same groove 17 of the crossbeam 16. In addition, however, the crossbeams 16 extend on one side beyond the uprights 15, so that eight further receiving trays 1 can be arranged to the side of the uprights 15.
[0054] Figs. 9a - 9d zeigen eine sechste Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Haltevorrichtung 14 bzw. eines Zwischenlagers 20 in einer schematischen dreidimensionalen Ansicht, wobei diese Haltevorrichtung zur Aufnahme von zweiunddreißig Aufnahmeschalen 1 ausgebildet ist. Dieses Ausführungsbeispiel ist im Wesentlichen identisch zu jenem aus Fig. 4a - 4d, wobei identische Bezugszeichen auch auf identische bauliche Merkmale hinweisen. In dieser Ausführungsform sind die Aufnahmeschalen 1 zu beiden Seiten der Querträger 16 angeordnet, wobei ihre Haltebügel 7 jeweils in derselben Nut 17 des Querträgers 16 eingeführt sind. Darüber hinaus erstrecken sich jedoch die Querträger 16 beidseitig über die Steher 15 hinaus, sodass sechzehn weitere Aufnahmeschalen 1 seitlich der Steher 15 angeordnet werden können. Figs. 9a - 9d show a sixth embodiment of a holding device 14 according to the invention or an intermediate store 20 in a schematic three-dimensional view, this holding device being designed to accommodate thirty-two receiving shells 1. This exemplary embodiment is essentially identical to that from FIGS. 4a-4d, with identical reference symbols also indicating identical structural features. In this embodiment, the trays 1 are arranged on either side of the crossbeams 16, with their retaining brackets 7 each being inserted in the same groove 17 of the crossbeam 16. In addition, however, the crossbeams 16 extend beyond the uprights 15 on both sides, so that sixteen further receiving trays 1 can be arranged on the side of the uprights 15 .
[0055] Die erfindungsgemäße Haltevorrichtung kann jedoch beliebig viele Aufnahmeschalen tragen. Dabei können auch verschiedene Ausführungsbeispiele kombiniert werden, nicht nur die vorgegebene Anzahl von bis zu acht, zwölf, sechzehn, vierundzwanzig oder zweiunddreißig Aufnahmeschalen. However, the holding device according to the invention can carry any number of receiving shells. Various exemplary embodiments can also be combined here, not just the specified number of up to eight, twelve, sixteen, twenty-four or thirty-two receiving shells.
[0056] Zusätzlich kann die Haltevorrichtung auch an Wänden befestigt werden. Somit ist es auch möglich, Haltevorrichtungen in unbegrenzter Länge aneinander zu stellen. In addition, the holding device can also be attached to walls. It is therefore also possible to place holding devices together in unlimited lengths.
[0057] Die Erfindung beschränkt sich nicht auf die dargestellten Ausführungsbeispiele, sondern erstreckt sich auf sämtliche Aufnahmeschalen, Haltevorrichtungen und Zwischenlager im Rahmen der nachfolgenden Ansprüche. The invention is not limited to the exemplary embodiments shown, but extends to all receiving shells, holding devices and intermediate storage within the scope of the following claims.
BEZUGSZEICHENLISTE REFERENCE LIST
1 Aufnahmeschale 1 receiving tray
2 Grundplatte 2 base plate
3 Öffnung 3 opening
4 Halterungselemente 5 Vorderseite 4 Brackets 5 Front
6 Rückseite 6 back
7 Haltebügel 7 retaining brackets
8 Fixierlasche 8 fixing tab
9 Ausnehmungen 9 recesses
10 Verstärkungsrippe 11 Aufnahmevorrichtung 12 RFID-Modul 10 Reinforcing rib 11 Receptacle 12 RFID module
13 Acrylstab 13 acrylic rod
14 Haltevorrichtung 14 holding device
15 Steher 16 Querträger 17 Nut 15 uprights 16 crossbeams 17 groove
18 Beschriftungsblende 19 Kabelkanal 18 Labeling panel 19 Cable duct
20 Zwischenlager 20 intermediate storage
71717 71717
Claims (15)
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| ATGM50131/2020U AT17403U1 (en) | 2020-06-30 | 2020-06-30 | Receptacle for wafer transport containers and holding device for holding such receptacles |
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| ATGM50131/2020U AT17403U1 (en) | 2020-06-30 | 2020-06-30 | Receptacle for wafer transport containers and holding device for holding such receptacles |
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Family Applications (1)
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