AT13490U1 - Vorrichtung zur Manipulation von Gegenständen - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung für die Manipulation von Gegenständen, bei der ein mehrachsiger Industrieroboter auf einer Verfahreinheit (1) angeordnet ist. Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung zur Verfügung zu stellen, mit der eine Manipulation von Gegenständen mit sehr hoher Positionsgenauigkeit, in kurzer Zeit und hoher Sicherheit erreicht werden kann. Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist ein mehrachsiger Industrieroboter auf einer Verfahreinheit (1) angeordnet. Für eine positionsgenaue Bewegung ist die Verfahreinheit mit einer Führung an einer Seite an einer Führungseinheit (5) für eine Bewegung geführt. An der gegenüberliegenden Seite ist mindestens ein in einem Abstand angeordnetes und bevorzugt parallel zur Führungseinheit ausgerichtetes Laufrad (13) der Verfahreinheit angebracht. An der Verfahreinheit ist eine Antriebseinheit (6) vorhanden, die in einer Alternative an der Führungseinheit angreift oder in einer zweiten Alternative das mindestens eine Laufrad antreibt. An der Verfahreinheit ist auch ein Positionssensor (6) zur Bestimmung der Position der Verfahreinheit entlang der Führungseinheit vorhanden.

Description

österreichisches Patentamt AT13 490U1 2014-01-15

Beschreibung

VORRICHTUNG ZUR MANIPULATION VON GEGENSTÄNDEN

[0001] Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung für die Manipulation von Gegenständen, bei der ein mehrachsiger Industrieroboter auf einer Verfahreinheit angeordnet ist. Dadurch kann der bevorzugt mit sechs Freiheitsgraden arbeitende Industrieroboter zusätzlich seinen jeweiligen Arbeitsstandort verändern.

[0002] Solche Aufgaben stehen bei der Fertigung von Halbleiterbauelementen an. Während der schrittweisen Bearbeitung müssen die für die Herstellung von Halbleiterbauelementen eingesetzten Wafer von einer Bearbeitungsstation zu einer nachfolgenden Bearbeitungsstation transportiert werden. Die fragilen äußerst empfindlichen Wafer sind dabei in Behältern vereinzelt gestapelt. Die Behälter können mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung von einer Bearbeitungsstation zu nachfolgenden Bearbeitungsstationen transportiert und dort mit dem Industrieroboter positionsgenau abgesetzt oder auch entnommen werden.

[0003] Dafür ist eine sehr exakte Positionsgenauigkeit neben einer kleinen für den Transport und die Manipulation erforderliche Zeit, bei gleichzeitig hoher Sicherheit erforderlich.

[0004] Diese Anforderungen sind aber auch bei vielen anderen Applikationen für diese Art von Vorrichtungen zu erfüllen.

[0005] Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung zur Verfügung zu stellen, mit der eine Manipulation von Gegenständen mit sehr hoher Positionsgenauigkeit, in kurzer Zeit und hoher Sicherheit erreicht werden kann.

[0006] Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit einer Vorrichtung, die die Merkmale des Anspruchs 1 aufweist, gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung können mit in untergeordneten Ansprüchen bezeichneten Merkmalen realisiert werden.

[0007] Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist ein mehrachsiger Industrieroboter auf einer Verfahreinheit angeordnet. Für eine positionsgenaue Bewegung ist die Verfahreinheit mit einer Führung an einer Seite an einer Führungseinheit für eine Bewegung geführt. An der gegenüberliegenden Seite ist mindestens ein in einem Abstand angeordnetes und bevorzugt parallel zur Führungseinheit ausgerichtetes Laufrad an der Verfahreinheit angebracht. Dadurch kann die Bewegung entlang der Führungseinheit sehr genau erfolgen und es ist lediglich eine Bestimmung der Position in entlang der jeweiligen Achsrichtung der Führungseinheit erforderlich.

[0008] An der Verfahreinheit ist eine Antriebseinheit vorhanden, die in einer Alternative an der Führungseinheit angreift oder in einer zweiten Alternative das mindestens eine Laufrad antreibt. An der Verfahreinheit ist ein Positionssensor zur Bestimmung der Position der Verfahreinheit entlang der Führungseinheit vorhanden.

[0009] Die Führungseinheit kann im einfachsten Fall als eine Längsführung ausgebildet sein, mit der eine eindimensionale translatorische Bewegung der Verfahreinheit mit dem Industrieroboter möglich ist.

[0010] Die Führungseinheit kann aber auch zumindest bereichsweise so ausgebildet sein, dass sie mindestens einen Bogen aufweist, der eine abweichend von einer Geraden ausgebildete Führung bildet. Damit kann eine Bewegung der Verfahreinheit mit dem Industrieroboter, die nicht vollständig translatorisch ist, und so auch eine Anpassung an örtliche oder anlagentechnische Gegebenheiten erreicht werden. Es ist so eine kurvenförmige Bewegung möglich. Bei einer solchen Ausführung sollte das eine oder mehrere Laufrad/-räder in vertikaler Richtung drehbar gelagert sein.

[0011] Vorteilhaft ist an der Antriebseinheit ein Elektromotor, bevorzugt ein Schrittmotor vorhanden, mit dem die Bewegung entlang der Führungseinheit in der entsprechenden Achsrichtung zwischen den zwei Umkehrpunkten, die mit Endanschlägen gebildet sein können, erreicht werden kann. 1 /8 österreichisches Patentamt AT 13 490 Ul 2014-01-15 [0012] Die Führung der Verfahreinheit kann dabei in oder an zwei Seiten der Längsführung parallel zur Achse der Bewegung geführt sein. Die Führungseinheit kann hierzu zwei bevorzugt parallele Schienen aufweisen, zwischen denen die Führung der Verfahreinheit angeordnet ist. Die Führung kann die Führungseinheit auch an zwei Seiten umgreifen oder in Form eines Winkels ausgebildet sein, so dass die Führung an einer vertikalen und an einer horizontalen Fläche der Führungseinheit anliegt.

[0013] Günstig ist es, die Führung und die Führungseinheit so auszubilden, dass die Vorrichtung einen zusätzlichen Freiheitsgrad aufweist, so dass eine Neigung senkrecht zur Längsachse der Führungseinheit ausgeglichen werden kann und in begrenztem Maß möglich ist.

[0014] Die an der Verfahreinheit vorhandene Führung, die mittels der Führungseinheit die Verfahreinheit bei der Bewegung führt, sollte als eine Zwangsführung ausgebildet sein. Besonders vorteilhaft ist diese dabei als eine Schlittenführung mit Kugelumlauflagerung im Schlitten, Rollenführung oder Profilstrangführung ausgebildet. Dadurch kann die Führung sehr genau erfolgen und es treten sehr kleine Reibkräfte auf.

[0015] Das mindestens eine an der Vorrichtung angebrachte Laufrad kann auf einer parallel und/oder in einem konstanten Abstand zur Längsführung angeordneten Laufschiene aufgesetzt sein, wodurch auch hier die Reibung verringert werden kann. Eine zusätzliche eigene Führung eines Laufrades oder mehrerer Laufräder ist nicht erforderlich.

[0016] An der Verfahreinheit kann ein optischer Sensor zur berührungslosen Erkennung von Gegenständen oder Personen in einem Umfeld, die in einem Winkelbereich von mindestens 120°, der um eine senkrecht zur Längsachse der Längsführung (5) ausgerichtete Achse vorhanden sind, angeordnet sein. Vorteilhaft ist ein solcher Sensor zumindest oberhalb des Industrieroboters angeordnet. Dabei sollte ein möglichst großer Bereich überwacht werden können. An zwei Seiten der Vorrichtung kann jeweils mindestens ein Sensor in der Bewegungsrichtung angeordnet sein. Damit können Gegenstände oder Personen, die sich im Weg bei der Bewegung der Vorrichtung befinden rechtzeitig erkannt und dann die Bewegung angehalten werden.

[0017] Als optischer Sensor kann dabei eine Videokamera mit einer Bildverarbeitungseinrichtung eingesetzt werden.

[0018] Zur Erhöhung der Sicherheit können am Rahmen der Verfahreinheit an den Seiten, die in Richtung der translatorischen Bewegung der Verfahreinheit angeordnet sind, Berührungssensoren vorhanden sein. Mit diesen Berührungssensoren kann ein Anstoßen an einem im Weg der sich bewegenden Vorrichtung vorhandenen Gegenstand oder einer Person bei einer Bewegung der Vorrichtung erfasst werden.

[0019] Zur Vermeidung der Ablage von Gegenständen oder einem unerwünschten Aufsitzen eines Bedieners kann an mindestens einer horizontal ausgerichteten Oberfläche der Verfahreinheit mindestens ein Berührungssensor angeordnet sein. Auch dadurch kann die Sicherheit gegenüber einer Verletzung einer Person oder einer Beschädigung von zu manipulierenden Gegenständen und auch des Industrieroboters erhöht werden.

[0020] Außerdem kann eine elektronische Steuerung für die Steuerung der Bewegung der Verfahreinheit und des Industrieroboters an der Verfahreinheit angeordnet sein. Diese kann direkt programmiert werden. Es besteht aber auch die Möglichkeit neben der Energieversorgung auch Steuerdaten über flexible Leitungen, die entlang der Längsführung geführt sind, zugeführt werden können. An die elektronische Steuerung können auch die Signale der unterschiedlichen an der Vorrichtung vorhandenen Sensoren übertragen und für die Steuerung der Bewegung der Verfahreinheit, der Bewegungen des Industrieroboters oder dem Generieren einer Notabschaltung, bei erkannter Gefahrensituation erreicht werden.

[0021] An der Verfahreinheit kann ein Neigungssensor und/oder mindestens ein Sensor zur Bestimmung des Abstandes zu einem Fixpunkt, z.B. dem Boden, mit dem dann auch eine Neigung der Verfahreinheit erfasst werden kann, vorhanden sein. Dessen Signale können für die Steuerung genutzt und der jeweilige Neigungswinkel dabei berücksichtigt werden. So kann beispielsweise bei einer Neigung der Vorrichtung in einem Winkel senkrecht zur Achse der 2/8 österreichisches Patentamt AT13 490U1 2014-01-15

Bewegung, der sich zu einer Bearbeitungsstation oder Zielposition dadurch veränderte Abstand, bei der Steuerung der Bewegung des Industrieroboters berücksichtigt und die dadurch aufgetretene Abstandsabweichung kompensiert werden.

[0022] Die bereits angesprochenen Berührungssensoren können von einem Elastomer, beispielsweise einem Kunststoffschaum umschlossen oder darin eingebettet sein. Wodurch das Verletzungspotential und die Wirkung eines Anstoßens reduziert werden können. Es ist dadurch auch möglich auf eine aufwändige die Sicherheit aber auch die Kosten erheblich erhöhende Umhausung zu verzichten.

[0023] Mit der Erfindung ist eine hohe Positioniergenauigkeit durch die geführte Bewegung bei gleichzeitig hoher Geschwindigkeit möglich. Der erforderliche Raumbedarf ist entsprechend klein und die Vorteile des Betriebes eines Industrieroboters in Verbindung mit der Verfahreinheit können ausgenutzt werden.

[0024] Es ist auch eine Interaktion zwischen Mensch und Maschine möglich. Hierfür kann auch eine Eingabeeinrichtung für Steuerbefehle, eine elektronische Schnittstelle für die Eingabe von Daten und ein Display mit ggf. zusätzlichen optischen Anzeigeelementen für die Funktion an der elektronischen Steuerung vorhanden bzw. mit dieser verbunden sein.

[0025] Vorteilhaft kann eine Einrichtung zur Identifikation der Vorrichtung als solche und/oder zur Identifikation weiterer im Umfeld der Vorrichtung vorhandener Komponenten oder Elemente vorhanden sein. Diese Einrichtung sollte bevorzugt drahtlos betrieben werden können. Mit dieser Einrichtung besteht die Möglichkeit einer Zusammenarbeit mit weiteren Komponenten oder Elementen, die im Umfeld der Vorrichtung vorhanden sein können und trotzdem Kollisionen mit im Umfeld vorhandenen Gegenständen, Personen zu vermeiden. So kann die Vorrichtung beispielsweise ein System, wie es aus DE 20 2012 000143 U1 bekannt ist über dessen Identifikationscode erkennen. Umgekehrt ist dies mit einer an einem solchen System vorhandenen Identifikationseinrichtung ebenfalls möglich. Die Vorrichtung und das System können sich so erkennen und es sind gemeinsame Aktivitäten möglich, obwohl andere an der Vorrichtung und/oder einem System vorhandene Sensoren, wegen der örtlichen Nähe der Vorrichtung und des Systems Signale zur Verfügung stellen würden, die gemeinsame Aktivitäten eigentlich ausschließen würden. Die Übertragung von Identifikationscodes kann beispielsweise mittels elektromagnetischer Strahlung, in an sich bekannter Weise auf optischem Wege oder eine W-LAN-Verbindung erfolgen. An der Vorrichtung, an einem System, einer Komponente oder einem Element sollten dafür entsprechende emittierende (Sender) und detektierende (Empfänger) Elemente vorhanden sein, die Bestandteil der Identifikationseinrichtung sein können.

[0026] Die Einrichtung zur Identifikation kann mit der Steuerung für die Steuerung der Bewegung der Verfahreinheit und des Industrieroboters und/oder einer externen Steuerung kommunizieren. Bei der externen Steuerung kann es sich um eine zentrale Steuerung, wie z.B. eine Steuerung einer Fabrik, einer Anlage, eines Logistiksystems oder eine koordinierte Prozessteuerung handeln.

[0027] In einer die Erfindung weiterbildenden Ausführungsform kann an der Verfahreinheit oder der Führungseinheit eine zweite Führung angeordnet oder dort angebracht sein. Damit kann eine Bewegung der Verfahreinheit in eine Achsrichtung, die von der Achsrichtung, in der eine Bewegung entlang der Führungseinheit erfolgt, abweicht, ermöglicht werden. Bevorzugt ist dabei eine senkrechte Achsausrichtung der zweiten Führung in Bezug zur Achsrichtung der Führungseinheit. Dadurch kann der Abstand der Verfahreinheit mit dem Industrieroboter zur Führungseinheit und somit auch der Abstand zu anderen Gegenständen, wie z.B. Bearbeitungsstationen in dieser Richtung verändert werden, was die Einsatzflexibilität erhöht. In diesem Fall sollte es möglich sein, die Bewegungen in die unterschiedlichen Achsrichtungen entkoppelt voneinander durchführen zu können. Hierfür kann beispielsweise die Verfahreinheit angehoben werden und dabei das oder die Laufrad/-räder frei oberhalb des Bodens schweben. In dieser Position kann dann die Verfahreinheit mittels der zweiten Führung, die bevorzugt und einfacherweise als Längsführung ausgebildet sein kann, bewegt und so zweidimensional positioniert werden. 3/8 österreichisches Patentamt AT13 490U1 2014-01-15 [0028] In einer Alternative dazu besteht die Möglichkeit, dass der Industrieroboter auf der Verfahreinheit mittels einer weiteren Führung so angeordnet ist, dass eine Bewegung des Industrieroboters in eine Achsrichtung, die von der Achsrichtung, in der eine Bewegung entlang der Führungseinheit erfolgt, abweicht, möglich ist. Auch in diesem Fall sollte diese Achsrichtung senkrecht zur Achsrichtung der Führungseinheit ausgerichtet sein. Bei dieser etwas einfacheren Ausführungsform kann lediglich der Abstand des Industrieroboters zur Führungseinheit und somit zu anderen Gegenständen entsprechend den örtlichen Gegebenheiten angepasst werden.

[0029] Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung kann vorteilhaft die Energieübertragung auch kabellos erfolgen. Dies betrifft die für die Antriebseinheit, die für den Betrieb des Industrieroboters, den Sensoren sowie alle anderen Einrichtungen der Vorrichtung die Elektroenergie benötigen. Diese Energieübertragung sollte induktiv erfolgen. Hierfür können bevorzugt im Boden, auf dem die Vorrichtung bewegt wird, Induktionsschleifen installiert sein. Bevorzugt an der Verfahreinheit kann dann mindestens eine Spule in Form einer Induktionsschleife vorhanden sein. Von dieser kann die kabellos übertragene Elektroenergie direkt zu den Verbrauchern übertragen werden. Dies kann aber auch über einen Zwischenspeicher, bevorzugt einen Akkumulator erfolgen. Dabei kann ein elektrischer Gleichrichter und/oder elektrischer Spannungsregler an der Vorrichtung vorhanden sein, um für die Verbraucher geeignete elektrische Spannung zur Verfügung stellen zu können.

[0030] Extern von der Vorrichtung angeordnete Induktionsschleifen sollten so angeordnet, betrieben und ausgebildet sein, dass es zu keinen bzw. möglichst kleinen elektrischen Wirbelströmen an Elementen kommt, die nicht mit Elektroenergie versorgt werden sollen. Dies betrifft insbesondere die Führung. Eine Führung oder andere Elemente können aus einem Werkstoff oder Material bestehen, in den/das keine elektrischen Wirbelströme induziert werden können.

[0031] Wie bereits zum Ausdruck gebracht, kann die erfindungsgemäße Vorrichtung auch mit einem System, wie es aus DE 20 2012 000 143 U1 bekannt ist, Zusammenwirken und dabei die Lager- bzw. Speicherkapazität für eine Zwischenlagerung mit genutzt werden kann. An einer erfindungsgemäßen Vorrichtung kann aber auch mindestens eine Einrichtung zur Zwischenspeicherung von Elementen oder Behältnissen vorhanden sein. Eine oder mehrere solcher Einrichtungen können an der Verfahreinheit und/oder dem Industrieroboter vorhanden sein.

[0032] Nachfolgend soll die Erfindung beispielhaft näher beschrieben werden.

[0033] Dabei zeigen: [0034] Figur 1 eine Seitenansicht eines Beispiels einer erfindungsgemäßen Vorrichtung und [0035] Figur 2 die Vorrichtung nach Figur 1 in der Vorderansicht; [0036] Bei dem in den Figuren 1 und 2 gezeigten Beispiel ist ein Industrieroboter 3 mit einer Verfahreinheit 1 verbunden. Mit dem Industrieroboter 3 können Gegenstände in sechs Freiheitsgraden manipuliert und bewegt werden.

[0037] Die Verfahreinheit 1 verfügt über eine Antriebseinheit 7 mit einem Schrittmotor, mit der eine translatorische Hin- und Herbewegung entlang einer Führungseinheit 5, die bei diesem Beispiel als Längsführung ausgebildet ist, möglich ist. Der Industrieroboter 3 kann so in dieser Achsrichtung bewegt und positioniert werden.

[0038] Zur Bestimmung der Jeweiligen Position in der Richtung der translatorischen Bewegung ist ein Positionssensor 6 vorhanden, der beispielsweise als ein Inkrementalergeber ausgebildet sein kann.

[0039] Das mit der Antriebseinheit 7 erzeugte Drehmoment wird über ein geeignetes Getriebe auf ein Laufrad 13, das am Boden des Rahmens 9 der Verfahreinheit 1 angebracht ist, übertragen, um die translatorische Bewegung zu ermöglichen. Das Laufrad 13 stützt die Vorrichtung auf einer Laufschiene 10 ab, die parallel zur Führungseinheit 5 angeordnet und ausgerichtet ist.

[0040] Über flexible Leitungen 4, die parallel zur Führungseinheit 5 geführt und mit bewegt 4/8 österreichisches Patentamt AT 13 490 Ul 2014-01-15 werden können, können Elektroenergie und Daten zur Vorrichtung übertragen werden.

[0041] Zur Erhöhung der Sicherheit und den Betrieb sind diverse Sensoren an der Vorrichtung vorhanden. Die Sensoren sind mit der elektronischen Steuerung 8 verbunden, die an der Verfahreinheit installiert ist.

[0042] So ist ganz oben am Rahmen 9 der Verfahreinheit ein Sensor 11 angeordnet. Mit diesem Sensor 11 kann optisch der Abstand zum Boden, auf dem die Vorrichtung bewegt wird, bestimmt werden. Damit ist es möglich, eine Neigung der Vorrichtung zu Erfassen. Die erfasste Neigung kann bei der Ansteuerung des Industrieroboters 3 berücksichtigt werden. Bei zu großer Neigung kann auch eine Notabschaltung erfolgen. Der Sensor 11 kann aber auch so ausgebildet sein, das er allein oder zusätzlich zur Abstandsbestimmung auch eine Umfeldüberwachung durchführt und dabei ggf. im Umfeld vorhandene Gegenstände oder Personen erkennt und dadurch ungewollte Zusammenstöße vermieden werden können. Für eine Umfeldüberwachung ist ein weiterer Sensor 12 an der Verfahreinheit 1 in der Nähe des Bodens, auf dem die Bewegung erfolgt vorhanden, mit dem Gegenstände und Personen in einem Abstand erkannt werden können. Mit den Sensoren 11 und 12 können ggf. rechtzeitig akustische und/oder optische Warnsignale generiert bzw. initiiert werden, wenn sich Gegenstände oder Personen in einem kritischen Bereich vor der Vorrichtung befinden.

[0043] An der erfindungsgemäßen Vorrichtung gemäß diesem Beispiel sind weitere Sensoren 2.1 und 2.2 vorhanden. Mit diesen Sensoren können Berührungen erkannt werden. Dabei sind an zwei Seiten des Rahmens 9 Berührungssensoren 2.1 angebracht. Damit kann ein Anstoßen der Vorrichtung bei der translatorischen Bewegung in der Richtung, an der der jeweilige Berührungssensor 2.1 angeordnet ist, erfasst werden. Es ist auch eine Berührung einer Person, die sich von dieser Seite zu nah an die Vorrichtung heran bewegt hat, detektierbar.

[0044] Weitere Berührungssensoren 2.2 sind auf horizontalen Flächen der Verfahreinheit 1 angebracht, die zu einem Aufsitzen von Personen oder einem dortigen Ablegen von Gegenständen einladen. Um dies zu erkennen und dann zumindest eine Bewegung des Industrieroboters 3 zu vermeiden, können diese Berührungssensoren 2.2 genutzt werden.

[0045] Die Berührungssensoren 2.1 und 2.2 sind von außen mit einer Kunststoffschaumumhüllung geschützt angeordnet. Diese Umhüllung hilft bei der Vermeidung von Verletzungen und dient zur Verhinderung von Beschädigungen. Dabei kann hinter bzw. in einer Umhüllung lediglich ein Berührungssensor 2.1 oder 2.2 oder mehrere Sensoren 2.1 und 2.2 in Abständen zueinander angeordnet sein. 5/8

Claims (19)

1. österreichisches Patentamt AT13 490U1 2014-01-15 Ansprüche 1. Vorrichtung für die Manipulation von Gegenständen, bei der ein mehrachsiger Industrieroboter auf einer Verfahreinheit angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Verfahreinheit (1) mit einer Führung an einer Seite an einer Führungseinheit (5) für eine Bewegung geführt ist und an der gegenüberliegenden Seite mindestens ein in einem Abstand zur Führungseinheit (5) angeordnetes Laufrad (13) an der Verfahreinheit (1) angebracht ist; und an der Verfahreinheit (1) eine Antriebseinheit (6) vorhanden ist, die an der Führungseinheit (5) angreift oder das mindestens eine Laufrad (13) antreibt, wobei an der Verfahreinheit (1) ein Positionssensor (6) zur Bestimmung der Position der Verfahreinheit (1) entlang der Führungseinheit (5) vorhanden ist.
2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Führungseinheit (5) als eine Längsführung oder eine mit mindestens einem Bogen abweichend von einer Geraden ausgebildete Führung ausgebildet ist.
3. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass an der Antriebseinheit (6) ein Elektromotor, insbesondere ein Schrittmotor vorhanden ist.
4. 4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Übertragung von Elektroenergie kabellos, bevorzugt induktiv erfolgt.
5. 5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Führung der Verfahreinheit (1) in oder an zwei Seiten der Führungseinheit (5) geführt ist.
6. 6. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die an der Verfahreinheit (1) vorhandene Führung, die mittels der Führungseinheit (5) die Verfahreinheit (1) bei der Bewegung führt, als eine Zwangsführung und dabei insbesondere als eine Schlittenführung mit Kugelumlauflagerung im Schlitten, eine Rollenführung oder Profilstrangführung ausgebildet ist.
7. 7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Laufrad (13) auf einer parallel zur Führungseinheit (5) ausgerichteten und/oder in einem konstanten Abstand dazu angeordneten Laufschiene (10) aufsitzt.
8. 8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass an der Verfahreinheit (1) mindestens ein optischer Sensor (11, 12) zur berührungslosen Erkennung von Gegenständen oder Personen in einem Umfeld, die in einem Winkelbereich von mindestens 120°, der um eine senkrecht zur Längsachse der Führungseinheit (5) ausgerichtete Achse vorhanden sind und/oder jeweils mindestens ein Sensor (1.2) an zwei Seiten der Verfahreinheit (1) in der Bewegungsrichtung angeordnet ist.
9. 9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass am Rahmen (9) der Verfahreinheit (1) an den Seiten, die in Richtung der Bewegung der Verfahreinheit (1) angeordnet sind, Berührungssensoren (2.1) vorhanden sind.
10. 10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass an mindestens einer horizontal ausgerichteten Oberfläche der Verfahreinheit (1) mindestens ein Berührungssensor (2.2) angeordnet ist.
11. 11. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine elektronische Steuerung (8) für die Steuerung der Bewegung der Verfahreinheit (1) und des Industrieroboters (3) an der Verfahreinheit (1) angeordnet ist.
12. 12. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass an der Verfahreinheit (1) ein Neigungssensor und/oder mindestens ein Sensor zur Bestimmung des Abstandes zu einem Fixpunkt, mit dem eine Neigung der Verfahreinheit (1) erfasst werden kann, vorhanden ist/sind. 6/8 österreichisches Patentamt AT 13 490 Ul 2014-01-15
13. 13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8-12, dadurch gekennzeichnet, dass mittels des Sensors (11), dem Neigungssensor, dem mindestens einen Sensor zur Bestimmung des Abstandes zu einem Fixpunkt und/oder der Berührungssensoren (2.1, 2.2) eine Notabschaltung der Bewegung der Verfahreinheit (1) und des Industrieroboters (3) generierbar ist.
14. 14. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass an der Verfahreinheit (1) oder der Führungseinheit (5) eine zweite Führung angeordnet o-der dort angebracht ist, die eine Bewegung der Verfahreinheit (1) in eine Achsrichtung, die von der Achsrichtung, in der eine Bewegung entlang der Führungseinheit (5) erfolgt, abweicht, ermöglicht.
15. 15. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Industrieroboter (3) auf der Verfahreinheit (1) mittels einer weiteren Führung so angeordnet ist, dass eine Bewegung des Industrieroboters (3) in eine Achsrichtung, die von der Achsrichtung, in der eine Bewegung entlang der Führungseinheit (5) erfolgt, abweicht, ermöglicht ist.
16. 16. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Einrichtung zur Identifikation der Vorrichtung und/oder zur Identifikation weiterer im Umfeld der Vorrichtung vorhandener Komponenten oder Elemente vorhanden ist, wobei die Einrichtung bevorzugt drahtlos betreibbar ist und mit der Steuerung (8) und/oder einer externen Steuerung kommuniziert.
17. 17. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie gemeinsam mit einem System zur Zwischenlagerung von Behältnissen einsetzbar ist und/oder an der Verfahreinheit (1) und/oder dem Industrieroboter (3) mindestens eine Einrichtung zur Zwischenspeicherung von Elementen oder Behältnissen vorhanden ist.
18. 18. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung auf einem Boden bewegbar ist.
19. 19. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein mit sechs Freiheitsgraden arbeitender Industrieroboter (3) vorhanden ist. Hierzu 1 Blatt Zeichnungen 7/8