KR20200017355A

KR20200017355A - Holding device

Info

Publication number: KR20200017355A
Application number: KR1020190094966A
Authority: KR
Inventors: 히데카즈 이토
Original assignee: 시케이디 가부시키가이샤
Priority date: 2018-08-08
Filing date: 2019-08-05
Publication date: 2020-02-18
Also published as: DE102019121213A1; JP2020023031A; KR102344563B1; TW202012132A; CN110815264B; TWI742407B; CN110815264A; JP6867340B2

Abstract

A gripping apparatus comprises a conventional body, a piston, a head cover, a pair of master jaws, an LVDT sensor, and an adjunct member. The LVDT sensor has: a conventional sensor case main body; a primary coil and two secondary coils wound around the sensor case main body; and a core shaft capable of reciprocating integrally with the piston and simultaneously retracting relative to the sensor case main body. The adjunct member abuts against the sensor case main body around an axis of the sensor case main body and simultaneously applies a force the sensor case main body toward the head cover to cooperate with the head cover to sandwich the sensor case main body therebetween.

Description

Gripping Device {HOLDING DEVICE}

본 개시는, 파지 장치에 관한 것이다.The present disclosure relates to a gripping apparatus.

예를 들면 특개평 11-320474호 공보는, 도 7에 나타내는 종래의 파지 장치(100)를 개시한다. 파지 장치(100)는, 통상의 바디(102), 피스톤(103), 및 한 쌍의 마스터 조(master jaw)(104)를 구비하고 있다. 바디(102)는, 유체가 공급 및 배출되는 실린더실(101)을 갖는다. 피스톤(103)은, 실린더실(101)에 수용됨과 동시에 실린더실(101)에 공급 및 배출되는 유체에 의해서 왕복동한다. 마스터 조(104)는, 피스톤(103)의 왕복동에 수반하여 개폐 동작을 실시한다.For example, Japanese Patent Laid-Open No. 11-320474 discloses a conventional gripping apparatus 100 shown in FIG. 7. The gripping apparatus 100 is equipped with the normal body 102, the piston 103, and a pair of master jaw 104. As shown in FIG. The body 102 has a cylinder chamber 101 through which fluid is supplied and discharged. The piston 103 is accommodated in the cylinder chamber 101 and reciprocates with the fluid supplied and discharged to the cylinder chamber 101. The master tank 104 performs the opening and closing operation with the reciprocating motion of the piston 103.

또, 상기 파지 장치(100)는, 한 쌍의 마스터 조(104)의 위치를 검출하기 위해서, LVDT(Linear Variable Differential Transformer) 센서(105)(차동 트랜스)를 이용하고 있다. LVDT 센서(105)는, 통상의 센서 케이스 본체(106)와, 센서 케이스 본체(106)에 감겨진 1차 코일(107) 및 2개의 2차 코일(108)과, 피스톤(103)과 일체적으로 왕복동 함과 동시에 센서 케이스 본체(106)에 대해서 출몰 가능한 코어축(109)을 가지고 있다. 1차 코일(107)에는, 교류 전압이 인가된다. 그리고, 피스톤(103)의 왕복동에 수반하여 코어축(109)이 왕복동함으로써, 2개의 2차 코일(108)에 발생하는 유기 전압에 차이가 생긴다. 이 유기 전압의 차이는, 코어축(109)의 위치에 따라 변화한다. 또, 한 쌍의 마스터 조(104)의 이동량과 피스톤(103)의 이동량과는 비례 관계에 있다. 따라서, 이 유기 전압의 차이의 변화량에 의해서, 코어축(109)의 이동량, 즉 피스톤(103)의 이동량이 검출 가능해지고, 결과적으로, 한 쌍의 마스터 조(104)의 이동량이 검출 가능해진다. 이것에 의하면, 한 쌍의 마스터 조(104)의 위치가 선형으로 검출 가능해지고, 한 쌍의 마스터 조(104)의 위치 검출이 고정밀도로 행해진다.In addition, the gripping apparatus 100 uses an LVDT (Linear Variable Differential Transformer) sensor 105 (differential transformer) in order to detect the position of the pair of master jaws 104. The LVDT sensor 105 is integrated with a normal sensor case body 106, a primary coil 107 and two secondary coils 108 wound around the sensor case body 106, and a piston 103. It has a core shaft 109 which can reciprocate and at the same time can be mounted on the sensor case main body 106. An alternating voltage is applied to the primary coil 107. And the core shaft 109 reciprocates with the reciprocation of the piston 103, and a difference arises in the induced voltage which arises in the two secondary coils 108. As shown in FIG. This difference in induced voltage changes depending on the position of the core axis 109. In addition, there is a proportional relationship between the movement amount of the pair of master jaws 104 and the movement amount of the piston 103. Therefore, the amount of change of the difference in induced voltage makes it possible to detect the amount of movement of the core shaft 109, that is, the amount of movement of the piston 103, and as a result, the amount of movement of the pair of master baths 104 can be detected. According to this, the position of the pair of master jaws 104 can be detected linearly, and the position detection of the pair of master jaws 104 is performed with high accuracy.

파지 장치(100)에서는, 바디(102)에서의 축선 방향의 단부에 제1 헤드 커버(111) 및 제2 헤드 커버(112)가 장착되고 있다. 제1 헤드 커버(111)에는, 센서 케이스 본체(106)가 관통하는 관통공(111a)이 형성되고 있다. 센서 케이스 본체(106)는, 제1 헤드 커버(111)의 관통공(111a)을 관통한 상태로, 그 일부분이 제1 헤드 커버(111) 및 제2 헤드 커버(112)에 의해서 사이에 끼워짐으로써, 제1 헤드 커버(111) 및 제2 헤드 커버(112)에 고정되고 있다. 그리고, 제1 헤드 커버(111) 및 제2 헤드 커버(112)가 바디(102)의 단부에 장착됨으로써, 센서 케이스 본체(106)는, 피스톤(103)과 동축에 배치된 상태로 바디(102) 내에 위치하고 있다.In the holding device 100, the first head cover 111 and the second head cover 112 are attached to the end portion in the axial direction of the body 102. The through-hole 111a through which the sensor case main body 106 penetrates is formed in the 1st head cover 111. As shown in FIG. The sensor case body 106 penetrates through the through hole 111a of the first head cover 111, and a part thereof is sandwiched between the first head cover 111 and the second head cover 112. As a result, the first head cover 111 and the second head cover 112 are fixed to each other. And since the 1st head cover 111 and the 2nd head cover 112 are attached to the edge part of the body 102, the sensor case main body 106 is the body 102 in the state coaxially arrange | positioned with the piston 103. )

이 때, 센서 케이스 본체(106)는, 제1 헤드 커버(111) 및 제2 헤드 커버(112)에 의해서 캔틸레버 지지(片持支持, cantilever support)를 받은 상태로 바디(102) 내에 위치하고 있다. 이 때문에, 제1 헤드 커버(111) 및 제2 헤드 커버(112)에서의 바디(102)에 대한 설치 상태에 따라서는, 센서 케이스 본체(106)가, 코어축(109)의 축선에 대해서 기울어진 상태로 바디(102) 내에 배치되어 버리는 경우가 있다. 그러면, 코어축(109)에서의 센서 케이스 본체(106)에 대한 출몰 동작을 하기 어려워지는 우려가 있어, 한 쌍의 마스터 조(104)의 위치를 정밀도 좋게 검출할 수 없게 되어 버린다.At this time, the sensor case main body 106 is positioned in the body 102 in a state in which cantilever support is received by the first head cover 111 and the second head cover 112. For this reason, depending on the installation state with respect to the body 102 in the 1st head cover 111 and the 2nd head cover 112, the sensor case main body 106 inclines with respect to the axis line of the core axis 109. FIG. It may be arrange | positioned in the body 102 in the true state. As a result, there is a possibility that it will be difficult to perform the appearance of the sensor case main body 106 on the core shaft 109, so that the position of the pair of master jaws 104 cannot be detected with high accuracy.

본 명시된 목적은, 코어 축이 되는 센서 케이스 본체에 대한 출몰 동작을 부드럽게 할 수 있는 파지 장치를 제공하는 것에 있다.An object of the present invention is to provide a gripping apparatus capable of smoothing the appearance of the sensor case body serving as the core axis.

상기 목적을 달성하는 파지 장치는, 유체가 공급 및 배출되는 실린더실을 가지는 통상의 바디와, 상기 실린더실에 수용됨과 동시에 상기 실린더실에 공급 및 배출되는 유체에 의해서 왕복동하는 피스톤과, 상기 바디에서의 축선 방향의 단부에 장착되는 헤드 커버와, 상기 피스톤의 왕복동에 수반하여 개폐 동작을 실시하는 한 쌍의 마스터 조와, 상기 피스톤과 동축에 배치된 상태로 상기 바디에 내장됨과 동시에 상기 한 쌍의 마스터 조의 위치를 검출하는 LVDT 센서를 구비한다. 상기 LVDT 센서는, 통상의 센서 케이스 본체와, 상기 센서 케이스 본체에 감겨진 1차 코일 및 2개의 2차 코일과, 상기 피스톤과 일체적으로 왕복동함과 동시에 상기 센서 케이스 본체에 대해서 출몰 가능한 코어축을 가지고 있다. 파지 장치는, 상기 센서 케이스 본체의 축선의 주위에서 상기 센서 케이스 본체에 대해서 맞닿음(當接)과 동시에 상기 센서 케이스 본체를 상기 헤드 커버를 향해서 힘을 가하여(付勢) 상기 헤드 커버와 협동하여 상기 센서 케이스 본체를 사이에 끼우는 부세 부재를 구비한다.A gripping apparatus which achieves the above object includes a conventional body having a cylinder chamber through which fluid is supplied and discharged, a piston reciprocated by a fluid received in the cylinder chamber and simultaneously supplied and discharged into the cylinder chamber, A pair of master jaws for carrying out opening and closing operations with the reciprocating motion of the pistons, a head cover mounted at an end in the axial direction of the piston, and a pair of masters embedded in the body coaxially with the pistons An LVDT sensor is provided for detecting the position of the jaw. The LVDT sensor includes a normal sensor case main body, a primary coil and two secondary coils wound around the sensor case main body, and a core shaft which can reciprocate integrally with the piston and can be projected to the sensor case main body. Have. The holding device contacts the sensor case body around the axis of the sensor case body and simultaneously forces the sensor case body toward the head cover to cooperate with the head cover. A biasing member for sandwiching the sensor case body is provided.

상기 파지 장치에서, 상기 센서 케이스 본체의 외주면에는, 상기 센서 케이스 본체의 외주면과 상기 바디의 내주면 사이를 씰하여 상기 실린더실로부터의 유체의 누락을 억제하는 환상의 씰 부재가 설치되고 있는 것이 바람직하다.In the gripping apparatus, it is preferable that an annular seal member is provided on the outer circumferential surface of the sensor case main body to seal between the outer circumferential surface of the sensor case main body and the inner circumferential surface of the body to suppress the omission of fluid from the cylinder chamber. .

상기 파지 장치에서, 상기 헤드 커버는, 상기 바디에 대해서 나사 삽입되는 수나사부를 갖고, 상기 센서 케이스 본체에서의 상기 바디에 대한 회전을 방지하는 회전 멈춤 기구를 더 구비하고 있는 것이 바람직하다.In the gripping apparatus, the head cover preferably has a male screw portion screwed into the body, and further includes a rotation stop mechanism that prevents rotation of the body in the sensor case body.

도 1은, 일 실시 형태에서의 파지 장치의 단면도.
도 2는, 파지 장치를 확대하여 나타내는 단면도.
도 3은, 워크를 파지시킨 상태를 나타내는 파지 장치의 단면도.
도 4는, 바디의 평면도.
도 5는, 파지 장치의 분해 단면도.
도 6은, 다른 실시 형태에서의 파지 장치를 확대하여 나타내는 단면도.
도 7은, 종래의 파지 장치의 단면도.1 is a cross-sectional view of a holding device in one embodiment.
2 is an enlarged cross-sectional view of a holding device.
3 is a cross-sectional view of a holding device showing a state in which a workpiece is held.
4 is a plan view of the body;
5 is an exploded cross-sectional view of the holding device.
FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of a holding device in another embodiment. FIG.
7 is a cross-sectional view of a conventional gripping apparatus.

이하, 파지 장치를 구체화한 일 실시 형태를 도 1~도 5에 따라서 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, one Embodiment which actualized the holding apparatus is described according to FIGS.

도 1에 나타내듯이, 파지 장치(10)는, 사각 통상의 바디(11)를 구비하고 있다. 바디(11)에는, 바디(11)의 축선 방향으로 관통하는 원공상(圓孔狀)의 관통공(12)이 형성되고 있다. 관통공(12)은, 암나사공(13), 센서 수용공(14), 실린더공(15), 로드 삽통공(16), 및 수용공(17)에 의해 형성되고 있다. 암나사공(13), 센서 수용공(14), 실린더공(15), 로드 삽통공(16), 및 수용공(17)은, 바디(11)의 축선 방향의 제1 단부로부터 제2 단부에 걸쳐 이 순서로 나란하게 바디(11)에 형성되고 있다. 따라서, 암나사공(13)은, 바디(11)의 제1 단면(11a)에 개구하고 있다. 수용공(17)은, 바디(11)의 제2 단면(11b)에 개구하고 있다.As shown in FIG. 1, the gripping apparatus 10 is provided with a rectangular normal body 11. In the body 11, a circular through hole 12 penetrating in the axial direction of the body 11 is formed. The through hole 12 is formed by the female screw hole 13, the sensor accommodation hole 14, the cylinder hole 15, the rod insertion hole 16, and the accommodation hole 17. The female threaded hole 13, the sensor accommodation hole 14, the cylinder hole 15, the rod insertion hole 16, and the accommodation hole 17 are formed from the first end in the axial direction of the body 11 to the second end. It is formed in the body 11 in parallel in this order. Therefore, the female screw hole 13 is open to the first end face 11a of the body 11. The accommodation hole 17 is opened in the second end face 11b of the body 11.

암나사공(13)에서의 바디(11)의 제1 단면(11a)과는 반대측의 단부는, 센서 수용공(14)에 연통하고 있다. 센서 수용공(14)에서의 암나사공(13)과는 반대측의 단부는, 실린더공(15)에 연통하고 있다. 실린더공(15)에서의 센서 수용공(14)과는 반대측의 단부는, 로드 삽통공(16)에 연통하고 있다. 로드 삽통공(16)에서의 실린더공(15)과는 반대측의 단부는, 수용공(17)에 연통하고 있다.An end portion of the female screw hole 13 opposite to the first end face 11a of the body 11 communicates with the sensor accommodation hole 14. An end portion of the sensor accommodating hole 14 opposite to the female screw hole 13 communicates with the cylinder hole 15. An end portion on the opposite side to the sensor accommodation hole 14 in the cylinder hole 15 communicates with the rod insertion hole 16. The end part on the opposite side to the cylinder hole 15 in the rod insertion hole 16 communicates with the accommodation hole 17.

암나사공(13)의 구멍 지름(孔徑)은, 센서 수용공(14)의 구멍 지름보다 크다. 또, 센서 수용공(14)의 구멍 지름은, 실린더공(15)의 구멍 지름보다 크다. 따라서, 바디(11)는, 센서 수용공(14)의 내주면과 실린더공(15)의 내주면을 접속함과 동시에 바디(11)의 축선 방향에 대해서 직교하는 방향으로 연장되는 환상의 제1 단차면(18)을 가지고 있다. 또, 실린더공(15)의 구멍 지름은, 로드 삽통공(16)의 구멍 지름보다 크다. 따라서, 바디(11)는, 실린더공(15)의 내주면과 로드 삽통공(16)의 내주면을 접속함과 동시에 바디(11)의 축선 방향에 대해서 직교하는 방향으로 연장되는 환상의 제2 단차면(19)을 가지고 있다.The hole diameter of the female threaded hole 13 is larger than the hole diameter of the sensor accommodating hole 14. In addition, the hole diameter of the sensor accommodation hole 14 is larger than the hole diameter of the cylinder hole 15. Therefore, the body 11 connects the inner circumferential surface of the sensor accommodation hole 14 and the inner circumferential surface of the cylinder hole 15, and at the same time, an annular first stepped surface extending in a direction orthogonal to the axial direction of the body 11. Has 18 In addition, the hole diameter of the cylinder hole 15 is larger than the hole diameter of the rod insertion hole 16. Accordingly, the body 11 connects the inner circumferential surface of the cylinder hole 15 and the inner circumferential surface of the rod insertion hole 16 and at the same time, an annular second stepped surface extending in a direction perpendicular to the axial direction of the body 11. Has 19.

로드 삽통공(16)의 구멍 지름은, 수용공(17)의 구멍 지름보다 작다. 따라서, 바디(11)는, 로드 삽통공(16)의 내주면과 수용공(17)의 내주면을 접속함과 동시에 바디(11)의 축선 방향에 대해서 직교하는 방향으로 연장되는 환상의 제3 단차면(20)을 가지고 있다. 로드 삽통공(16)의 내주면에는, 환상의 씰 장착홈(16a)이 형성되고 있다. 씰 장착홈(16a)은, 제3 단차면(20)에 개구하고 있다.The hole diameter of the rod insertion hole 16 is smaller than the hole diameter of the accommodation hole 17. Accordingly, the body 11 connects the inner circumferential surface of the rod insertion hole 16 and the inner circumferential surface of the accommodation hole 17 and at the same time extends in an annular third step surface extending in a direction perpendicular to the axial direction of the body 11. Have 20. The annular seal mounting groove 16a is formed in the inner peripheral surface of the rod insertion hole 16. The seal mounting groove 16a is opened in the third step surface 20.

도 2에 나타내듯이, 센서 수용공(14)은, 소경공(14a)과, 소경공(14a)보다 큰 구멍 지름을 가지는 대경공(14b)으로 형성되고 있다. 소경공(14a)은, 대경공(14b)보다 실린더공(15)에 가까운 위치에 위치하고 있고, 실린더공(15)에 연통하고 있다. 대경공(14b)은, 암나사공(13)에 연통하고 있다. 소경공(14a)의 내주면과 대경공(14b)의 내주면은, 원추형의 테이퍼면(14c)에 의해서 접속되고 있다. 테이퍼면(14c)은, 대경공(14b)으로부터 소경공(14a)을 향함에 따라 축경(縮徑)하여 간다.As shown in FIG. 2, the sensor accommodation hole 14 is formed with the small diameter hole 14a and the large diameter hole 14b which has a larger hole diameter than the small diameter hole 14a. The small diameter hole 14a is located at a position closer to the cylinder hole 15 than the large diameter hole 14b and communicates with the cylinder hole 15. The large diameter hole 14b communicates with the female screw hole 13. The inner circumferential surface of the small diameter hole 14a and the inner circumferential surface of the large diameter hole 14b are connected by a conical tapered surface 14c. The tapered surface 14c is axially reduced as it faces the small diameter hole 14a from the large diameter hole 14b.

도 1에 나타내듯이, 바디(11)의 제2 단면(11b)에는, 평판상의 한 쌍의 지지부(21)가 돌출되고 있다. 도 1에서는, 도면의 형편상, 2개의 지지부(21)의 일방만이 도시되고 있다. 한 쌍의 지지부(21)는, 바디(11)의 제2 단면(11b)으로부터 바디(11)의 축선 방향으로 돌출되고 있다. 2개의 지지부(21)는, 서로 평행으로 연장되고 있다. 관통공(12)은, 2개의 지지부(21)의 사이로 개구되고 있다.As shown in FIG. 1, a pair of flat support portions 21 protrude from the second end face 11b of the body 11. In FIG. 1, only one of the two support parts 21 is shown on account of the figure. The pair of support portions 21 protrude from the second end face 11b of the body 11 in the axial direction of the body 11. The two support parts 21 extend in parallel with each other. The through hole 12 is opened between the two support parts 21.

관통공(12) 내에는, 원판상의 스프링 베어링 부재(spring bearing member)(22)가 수용되고 있다. 스프링 베어링 부재(22)의 외경은, 실린더공(15)의 구멍 지름보다 크고, 또한 센서 수용공(14)의 소경공(14a)의 구멍 지름보다 조금 작다. 스프링 베어링 부재(22)의 제1 단면(22a)의 외주부는, 제1 단차면(18)에 맞닿고(當接) 있다. 스프링 베어링 부재(22)의 제2 단면(22b)에는, 링상의 용수철 수용홈(22c)이 형성되고 있다. 스프링 베어링 부재(22)의 중앙부에는, 원공상의 삽통공(22h)이 형성되고 있다.In the through hole 12, a disc shaped spring bearing member 22 is accommodated. The outer diameter of the spring bearing member 22 is larger than the hole diameter of the cylinder hole 15 and is slightly smaller than the hole diameter of the small diameter hole 14a of the sensor accommodation hole 14. The outer circumferential portion of the first end face 22a of the spring bearing member 22 abuts on the first step surface 18. A ring-shaped spring receiving groove 22c is formed in the second end face 22b of the spring bearing member 22. A circular insertion hole 22h is formed in the center portion of the spring bearing member 22.

그리고, 관통공(12) 내에는, 스프링 베어링 부재(22)의 제1 단면(22a), 실린더공(15)의 내주면, 및 제2 단차면(19)에 의해서 실린더실(23)이 구획되고 있다. 따라서, 바디(11)는, 실린더실(23)을 가지고 있다. 실린더실(23)에는, 링상의 피스톤(24)이 수용되고 있다. 피스톤(24)의 외주면에는, 링상의 피스톤 패킹(25)이 장착되고 있다. 피스톤 패킹(25)은, 피스톤(24)의 외주면과 실린더공(15)의 내주면 사이를 씰 한다.In the through hole 12, the cylinder chamber 23 is partitioned by the first end face 22a of the spring bearing member 22, the inner circumferential surface of the cylinder hole 15, and the second step surface 19. have. Therefore, the body 11 has the cylinder chamber 23. The ring-shaped piston 24 is accommodated in the cylinder chamber 23. The ring-shaped piston packing 25 is attached to the outer peripheral surface of the piston 24. The piston packing 25 seals between the outer circumferential surface of the piston 24 and the inner circumferential surface of the cylinder hole 15.

피스톤(24)은, 실린더실(23)을, 스프링 베어링 부재(22)에 인접하는 제1 압력 작용실(26)과, 제2 단차면(19)에 인접하는 제2 압력 작용실(27)로 구획하고 있다. 바디(11)의 외주벽에서의 스프링 베어링 부재(22) 가까이에는, 제1 압력 작용실(26)에 연통하는 제1 유체 급배 포트(28)가 형성되고 있다. 그리고, 제1 압력 작용실(26)에는, 제1 유체 급배 포트(28)에 의해서 유체가 선택적으로 공급 및 배출된다. 또, 바디(11)의 외주벽에서의 제2 단차면(19) 가까이에는, 제2 압력 작용실(27)에 연통하는 제2 유체 급배 포트(29)가 형성되고 있다. 그리고, 제2 압력 작용실(27)에는, 제2 유체 급배 포트(29)에 의해서 유체가 선택적으로 공급 및 배출된다. 따라서, 실린더실(23)에는 유체가 공급 및 배출된다. 피스톤(24)는, 제1 압력 작용실(26) 및 제2 압력 작용실(27)에 대해서 유체의 공급 및 배출을 함으로써, 실린더실(23) 내를 왕복동한다. 따라서, 피스톤(24)는, 실린더실(23)에 공급 및 배출되는 유체에 의해서 실린더실(23)를 왕복동한다.The piston 24 uses the cylinder chamber 23 for the first pressure action chamber 26 adjacent to the spring bearing member 22 and the second pressure action chamber 27 adjacent to the second step surface 19. It is partitioned by. Near the spring bearing member 22 on the outer circumferential wall of the body 11, a first fluid supply and discharge port 28 communicating with the first pressure action chamber 26 is formed. The fluid is selectively supplied to and discharged from the first pressure supply chamber 26 by the first fluid supply / discharge port 28. Moreover, near the 2nd step surface 19 in the outer peripheral wall of the body 11, the 2nd fluid supply port 29 which communicates with the 2nd pressure action chamber 27 is formed. The fluid is selectively supplied to and discharged from the second pressure supply chamber 27 by the second fluid supply / discharge port 29. Therefore, the fluid is supplied to and discharged from the cylinder chamber 23. The piston 24 reciprocates in the cylinder chamber 23 by supplying and discharging fluid to and from the first pressure working chamber 26 and the second pressure working chamber 27. Therefore, the piston 24 reciprocates the cylinder chamber 23 by the fluid supplied and discharged to the cylinder chamber 23.

피스톤(24)에는, 피스톤(24)에서의 스프링 베어링 부재(22)와는 반대측의 단면으로부터 바디(11)의 축선 방향으로 연장되는 피스톤 로드(30)가 일체화되고 있다. 따라서, 피스톤 로드(30)는, 피스톤(24)과 일체적으로 이동한다. 피스톤 로드(30)는, 로드 삽통공(16) 및 수용공(17)을 통과하여 바디(11)의 제2 단면(11b)으로부터 돌출되고 있다. 피스톤 로드(30)에서의 피스톤(24)과는 반대측의 선단부는, 2개의 지지부(21)의 사이에 위치하고 있다. 따라서, 피스톤 로드(30)는, 2개의 지지부(21)의 사이로, 바디(11)에 대해서 출몰 가능하게 구성되어 있다.A piston rod 30 extending in the axial direction of the body 11 is integrated with the piston 24 from a cross section on the side opposite to the spring bearing member 22 in the piston 24. Therefore, the piston rod 30 moves integrally with the piston 24. The piston rod 30 passes through the rod insertion hole 16 and the accommodation hole 17 and protrudes from the second end face 11b of the body 11. The tip end of the piston rod 30 opposite to the piston 24 is located between the two support portions 21. Therefore, the piston rod 30 is comprised so that the body 11 can be projected out between two support parts 21.

씰 장착홈(16a) 내에 로드 패킹(31)이 장착되고 있다. 로드 패킹(31)은, 로드 삽통공(16)의 내주면과 피스톤 로드(30)의 외주면 사이를 씰 한다. 또, 수용공(17) 내에는 발지 부재(32)가 배치되어 있다. 발지 부재(32)는, 로드 패킹(31)에서의 씰 장착홈(16a)으로부터의 누락을 방지한다.The rod packing 31 is mounted in the seal mounting groove 16a. The rod packing 31 seals between the inner circumferential surface of the rod insertion hole 16 and the outer circumferential surface of the piston rod 30. Moreover, the holding member 32 is arrange | positioned in the accommodation hole 17. As shown in FIG. The gripping member 32 prevents the omission from the seal mounting groove 16a in the rod packing 31.

파지 장치(10)는, 피스톤(24)의 왕복동에 수반하여 개폐 동작을 실시하는 한 쌍의 마스터 조(master jaw)(33)를 구비하고 있다. 또, 파지 장치(10)는, 2개의 마스터 조(33)를 서로 접근 또는 이간하는 방향으로 안내하는 가이드 플레이트(34)를 구비하고 있다. 가이드 플레이트(34)는, 한 쌍의 지지부(21)에서의 바디(11)의 제2 단면(11b)과는 반대측의 단부에 장착되고 있다. 가이드 플레이트(34)에서의 한 쌍의 지지부(21)와는 반대측의 단면에는, 2개의 마스터 조(33)를 서로 접근 또는 이간하는 방향으로 안내하는 가이드 요부(34a)가 형성되고 있다. 또, 가이드 플레이트(34)에는, 한 쌍의 레버용 관통공(34h)이 형성되고 있다.The holding device 10 is provided with a pair of master jaw 33 which opens and closes with the reciprocating motion of the piston 24. Moreover, the holding apparatus 10 is equipped with the guide plate 34 which guides the two master jaws 33 in the direction which approaches or spaces from each other. The guide plate 34 is attached to the edge part on the opposite side to the 2nd end surface 11b of the body 11 in the pair of support part 21. As shown in FIG. Guide recesses 34a for guiding the two master jaws 33 in the direction of approaching or separating from each other are formed in a cross section opposite to the pair of supporting portions 21 in the guide plate 34. In addition, a pair of lever through holes 34h are formed in the guide plate 34.

파지 장치(10)는, 한 쌍의 레버(35)를 구비하고 있다. 각 레버(35)는, 대략 L자 판상이다. 각 레버(35)의 일부는, 2개의 지지부(21)의 사이에 배치되어 있다. 각 레버(35)의 제1 단부에는, U자형상의 계합홈(35a)이 형성되고 있다. 각 레버(35)의 계합홈(35a)은, 피스톤 로드(30)의 선단부에 설치된 계합축(36)에 계합되고 있다. 또, 각 레버(35)의 L자의 굴곡(屈曲) 부분에는, 지지축(37)이 각각 관통하고 있다. 각 지지축(37)은, 한 쌍의 지지부(21)에 걸쳐서 건네진 상태로 한 쌍의 지지부(21)에 고정되고 있다. 그리고, 피스톤 로드(30)가, 바디(11)에 대해서 출몰 동작을 실시하는 것에 의해서, 각 레버(35)가 대응하는 지지축(37)을 회동 중심으로서 회동한다.The holding device 10 is provided with a pair of levers 35. Each lever 35 is substantially L-shaped plate shape. A part of each lever 35 is arrange | positioned between two support parts 21. As shown in FIG. At the first end of each lever 35, a U-shaped engaging groove 35a is formed. The engaging groove 35a of each lever 35 is engaged with the engaging shaft 36 provided at the distal end of the piston rod 30. Moreover, the support shaft 37 penetrates through the L-shaped bent part of each lever 35, respectively. Each support shaft 37 is fixed to the pair of support portions 21 in a state passed over the pair of support portions 21. Then, the piston rod 30 performs the piercing operation on the body 11, so that each lever 35 rotates the corresponding support shaft 37 as the center of rotation.

각 레버(35)의 제2 단부는, 대응하는 레버용 관통공(34h)을 통과하여 가이드 플레이트(34)에서의 한 쌍의 지지부(21)와는 반대측의 단면으로부터 돌출되고 있다. 각 레버(35)의 타단부에는, 계합자(契合子)(38)가 설치되고 있다. 그리고, 각 레버(35)의 계합자(38)는, 대응하는 마스터 조(33)에 형성된 수용 요부(33h)에 삽입되고 있다. 이것에 의해, 각 계합자(38)와 대응하는 수용 요부(33h)가 서로 걸리고(掛止) 있다. 이 각 계합자(38)와 대응하는 수용 요부(33h)의 걸림에 의해서, 각 레버(35)의 선단부에 대응하는 마스터 조(33)가 연결되고 있다.The 2nd end part of each lever 35 protrudes from the end surface on the opposite side to the pair of support part 21 in the guide plate 34 through the corresponding lever through-hole 34h. Engagement 38 is provided at the other end of each lever 35. And the engaging part 38 of each lever 35 is inserted in the accommodating recessed part 33h formed in the corresponding master jaw 33. As shown in FIG. Thereby, each engaging part 38 and the corresponding accommodating recessed part 33h are mutually caught. The master jaws 33 corresponding to the distal end of each lever 35 are connected to each other by engaging the engaging portions 38 and the corresponding storage recesses 33h.

도 3에 나타내듯이, 제2 유체 급배 포트(29)로부터 제2 압력 작용실(27)에 유체가 공급되면, 피스톤(24)가 스프링 베어링 부재(22)를 향해서 이동하기 시작한다. 그것에 의해, 제1 압력 작용실(26)의 유체가 제1 유체 급배 포트(28)를 통해 외부로 배출되고, 피스톤(24)이 스프링 베어링 부재(22)를 향해서 이동하여 간다. 이것에 의해, 피스톤 로드(30)가 바디(11)에 대해서 몰입하는 방향으로 이동한다. 이 피스톤 로드(30)에서의 바디(11)에 대한 몰입 방향으로의 이동에 수반하여, 한 쌍의 레버(35)의 제1 단부가 계합축(36)을 통해 피스톤 로드(30)로 끌여들여지고, 각 레버(35)가 대응하는 지지축(37)을 회동 중심으로서 계합자(38)가 서로 접근하는 방향으로 회동한다. 계합자(38)에서의 서로 접근하는 방향으로의 이동에 의해서, 2개의 마스터 조(33)가 서로 접근하는 방향으로 이동하고, 워크(W1)를 파지한다.As shown in FIG. 3, when fluid is supplied from the second fluid supply port 29 to the second pressure working chamber 27, the piston 24 starts to move toward the spring bearing member 22. Thereby, the fluid of the 1st pressure action chamber 26 is discharged | emitted outside through the 1st fluid supply port 28, and the piston 24 moves toward the spring bearing member 22. As shown in FIG. As a result, the piston rod 30 moves in the direction immersed with respect to the body 11. With the movement in the immersion direction with respect to the body 11 in this piston rod 30, the first end of the pair of levers 35 is drawn into the piston rod 30 through the engagement shaft 36 and Each lever 35 rotates in a direction in which the engaging member 38 approaches each other using the corresponding support shaft 37 as the center of rotation. By the movement to the mutually approaching direction in the engaging member 38, the two master jaws 33 move to the mutually approaching direction, and hold | maintains the workpiece | work W1.

도 1에 나타내듯이, 제1 유체 급배 포트(28)로부터 제1 압력 작용실(26)에 유체가 공급되면, 피스톤(24)이 제2 단차면(19)을 향해서 이동하기 시작한다. 그것에 의해, 제2 압력 작용실(27)의 유체가 제2 유체 급배 포트(29)를 통해 외부로 배출되고, 피스톤(24)이 제2 단차면(19)을 향해서 이동하여 간다. 이것에 의해, 피스톤 로드(30)가 바디(11)에 대해서 돌출하는 방향으로 이동한다. 이 피스톤 로드(30)에서의 바디(11)에 대한 돌출 방향으로의 이동에 수반하여, 한 쌍의 레버(35)의 제1 단부가 계합축(36)을 통해 피스톤 로드(30)에 밀어넣어지고, 각 레버(35)가 대응하는 지지축(37)을 회동 중심으로서 계합자(38)가 서로 이간하는 방향으로 회동한다. 계합자(38)에서의 서로 이간하는 방향으로의 이동에 의해서, 2개의 마스터 조(33)가 서로 이간하는 방향으로 이동하고, 워크(W1)의 파지 상태가 해제된다.As shown in FIG. 1, when fluid is supplied from the first fluid supply port 28 to the first pressure working chamber 26, the piston 24 starts to move toward the second step surface 19. Thereby, the fluid of the 2nd pressure action chamber 27 is discharged | emitted outside through the 2nd fluid supply port 29, and the piston 24 moves toward the 2nd step surface 19. As shown in FIG. Thereby, the piston rod 30 moves in the direction which protrudes with respect to the body 11. As shown in FIG. With the movement in the projecting direction with respect to the body 11 in this piston rod 30, the first end of the pair of levers 35 is pushed into the piston rod 30 via the engagement shaft 36. Each lever 35 is rotated in a direction in which the engaging members 38 are separated from each other using the corresponding support shaft 37 as the center of rotation. By the movement in the mutually spaced direction in the engaging machine 38, the two master jaws 33 move to the mutually spaced state, and the gripping state of the workpiece | work W1 is canceled | released.

도 2에 나타내듯이, 암나사공(13)에는, 원판상의 헤드 커버(39)가 장착되고 있다. 따라서, 헤드 커버(39)는, 바디(11)에서의 축선 방향의 제1 단부에 장착되고 있다. 헤드 커버(39)의 외주면에는, 암나사공(13)에 대해서 나사 삽입되는 수나사부(39a)가 형성되고 있다. 따라서, 헤드 커버(39)는, 바디(11)에 대해서 나사 삽입되는 수나사부(39a)를 가지고 있다. 그리고, 관통공(12) 내에는, 헤드 커버(39), 센서 수용공(14)의 내주면, 및 스프링 베어링 부재(22)의 제2 단면(22b)에 의해서 센서 수용실(40)이 구획되고 있다. 따라서, 바디(11)는, 센서 수용실(40)을 가지고 있다.As shown in FIG. 2, the disk-shaped head cover 39 is attached to the female screw hole 13. Therefore, the head cover 39 is attached to the 1st end part of the body 11 in the axial direction. On the outer circumferential surface of the head cover 39, a male screw portion 39a which is screwed into the female screw hole 13 is formed. Therefore, the head cover 39 has a male screw portion 39a which is screwed into the body 11. In the through hole 12, the sensor accommodating chamber 40 is partitioned by the head cover 39, the inner circumferential surface of the sensor accommodating hole 14, and the second end face 22b of the spring bearing member 22. have. Therefore, the body 11 has the sensor accommodation chamber 40.

파지 장치(10)는, 한 쌍의 마스터 조(33)의 위치를 검출하는 LVDT 센서(50)를 구비하고 있다. LVDT 센서(50)는, 원통상의 센서 케이스 본체(51)와, 센서 케이스 본체(51)에 감겨진 1차 코일(61) 및 2개의 2차 코일(62)과, 피스톤(24)과 일체적으로 왕복동함과 동시에 센서 케이스 본체(51)에 대해서 출몰 가능한 코어축(63)을 가지고 있다.The gripping apparatus 10 is equipped with the LVDT sensor 50 which detects the position of a pair of master jaw 33. As shown in FIG. The LVDT sensor 50 is integrated with a cylindrical sensor case main body 51, a primary coil 61 wound around the sensor case main body 51, two secondary coils 62, and a piston 24. In addition, it has a core shaft 63 which can reciprocate and at the same time move on and off the sensor case main body 51.

센서 케이스 본체(51)는, 수지제인 바닥을 가지는 원통형의 본체부(52)를 가지고 있다. 본체부(52)는, 원판상의 저벽(底壁)(52a)과, 저벽(52a)의 외주부로부터 연장되는 원통형의 주벽(周壁)(52b)을 가지고 있다. 주벽(52b)의 내경은, 스프링 베어링 부재(22)의 삽통공(22h)의 구멍 지름과 동일하다. 또, 본체부(52)는, 주벽(52b)에서의 저벽(52a)과는 반대측의 단부로부터 외측으로 돌출하는 환상의 플랜지(52c)를 가지고 있다. 센서 케이스 본체(51)에 대해서는, 1차 코일(61) 및 2개의 2차 코일(62)이 본체부(52)에 수지 몰드되고 있다. 1차 코일(61) 및 2개의 2차 코일(62)은 본체부(52)의 주벽(52b)에 매설되고 있다. 1차 코일(61) 및 2개의 2차 코일(62)은, 본체부(52)의 축선 방향으로 나란하게 배치되어 있다. 본체부(52)의 축선 방향에서, 1차 코일(61)은, 2개의 2차 코일(62) 사이에 배치되어 있다.The sensor case main body 51 has a cylindrical main body portion 52 having a bottom made of resin. The main body 52 has a disk-shaped bottom wall 52a and a cylindrical peripheral wall 52b extending from the outer circumferential portion of the bottom wall 52a. The inner diameter of the circumferential wall 52b is the same as the hole diameter of the insertion hole 22h of the spring bearing member 22. Moreover, the main-body part 52 has the annular flange 52c which protrudes outward from the edge part on the opposite side to the bottom wall 52a in the circumferential wall 52b. As for the sensor case main body 51, the primary coil 61 and the two secondary coils 62 are resin-molded in the main-body part 52. As shown in FIG. The primary coil 61 and the two secondary coils 62 are embedded in the circumferential wall 52b of the body portion 52. The primary coil 61 and the two secondary coils 62 are arranged side by side in the axial direction of the main body portion 52. In the axial direction of the main body portion 52, the primary coil 61 is disposed between two secondary coils 62.

또, 센서 케이스 본체(51)는, 본체부(52)의 주벽(52b)의 외주면을 덮는 원통형의 피복 부재(53)를 가지고 있다. 피복 부재(53)는, 예를 들면, 철제이다. 또한, 센서 케이스 본체(51)는, 피복 부재(53)의 외주면을 덮는 원통형의 케이스 부재(54)를 가지고 있다. 케이스 부재(54)는, 예를 들면, 알루미늄제이다. 케이스 부재(54)의 외경은, 플랜지(52c)의 외경과 대략 동일하다. 케이스 부재(54)에서의 플랜지(52c)와 대향하는 단면은, 플랜지(52c)에 접촉하고 있다. 또, 케이스 부재(54)에서의 헤드 커버(39)와 대향하는 단면은, 헤드 커버(39)에 맞닿고 있다.Moreover, the sensor case main body 51 has the cylindrical cover member 53 which covers the outer peripheral surface of the circumferential wall 52b of the main-body part 52. As shown in FIG. The covering member 53 is iron, for example. Moreover, the sensor case main body 51 has the cylindrical case member 54 which covers the outer peripheral surface of the covering member 53. As shown in FIG. The case member 54 is made of aluminum, for example. The outer diameter of the case member 54 is substantially the same as the outer diameter of the flange 52c. The cross section facing the flange 52c in the case member 54 is in contact with the flange 52c. Moreover, the cross section which opposes the head cover 39 in the case member 54 is in contact with the head cover 39.

플랜지(52c)의 외경, 및 케이스 부재(54)의 외경은, 센서 수용공(14)의 소경공(14a)의 구멍 지름보다 조금 작다. 센서 케이스 본체(51)는, 센서 수용실(40)에 수용되고 있다. 플랜지(52c)는, 소경공(14a)의 내측에 배치되어 있다. 본체부(52)의 주벽(52b)의 축심은, 스프링 베어링 부재(22)의 삽통공(22h)의 축심과 일치하고 있다.The outer diameter of the flange 52c and the outer diameter of the case member 54 are slightly smaller than the hole diameter of the small diameter hole 14a of the sensor accommodation hole 14. The sensor case main body 51 is accommodated in the sensor accommodation chamber 40. The flange 52c is arrange | positioned inside the small diameter hole 14a. The shaft center of the circumferential wall 52b of the main body 52 coincides with the shaft center of the insertion hole 22h of the spring bearing member 22.

코어축(63)은, 수나사(63a)를 갖는다. 피스톤(24)은, 스프링 베어링 부재(22)와 대향하는 단면에 암나사공(24h)을 갖는다. 코어축(63)의 수나사(63a)는, 피스톤(24)의 암나사공(24h)에 나합되고 있다. 그리고, 코어축(63)은, 수나사(63a)가 암나사공(24h)에 나합됨으로써, 피스톤(24)에서의 스프링 베어링 부재(22)와 대향하는 단면으로부터 바디(11)의 축선 방향으로 연장된 상태로 피스톤(24)에 일체화되고 있다. 또, 수나사(63a)에는 너트(64)가 나착되고 있고, 수나사(63a)에서의 암나사공(24h)에 대해서 나사의 풀림이 억제되고 있다.The core shaft 63 has a male screw 63a. The piston 24 has a female threaded hole 24h at a cross section facing the spring bearing member 22. The male screw 63a of the core shaft 63 is screwed into the female screw hole 24h of the piston 24. The core shaft 63 extends in the axial direction of the body 11 from a cross section facing the spring bearing member 22 in the piston 24 by the male screw 63a being screwed into the female screw hole 24h. It is integrated with the piston 24 in a state. Moreover, the nut 64 is screwed in to the external thread 63a, and the loosening of the screw is suppressed with respect to the female thread hole 24h in the external thread 63a.

코어축(63)은, 실린더실(23)로부터 스프링 베어링 부재(22)의 삽통공(22h)을 통과하여 본체부(52)의 주벽(52b)의 내측에 삽입되고 있다. 코어축(63)의 외경은, 주벽(52b)의 내경, 및 스프링 베어링 부재(22)의 삽통공(22h)의 구멍 지름보다 작다. LVDT 센서(50)는, 피스톤(24)과 동축으로 배치된 상태로 바디(11)에 내장되고 있다.The core shaft 63 passes through the insertion hole 22h of the spring bearing member 22 from the cylinder chamber 23 and is inserted inside the circumferential wall 52b of the main body portion 52. The outer diameter of the core shaft 63 is smaller than the inner diameter of the circumferential wall 52b and the hole diameter of the insertion hole 22h of the spring bearing member 22. The LVDT sensor 50 is incorporated in the body 11 in a state coaxially arranged with the piston 24.

1차 코일(61)에는 교류 전압이 인가되고 있다. 피스톤(24)의 왕복동에 수반하여 코어축(63)이 각 2차 코일(62)의 내측을 왕복동함으로써, 각 2차 코일(62)에는 유기 전압이 발생한다.An alternating voltage is applied to the primary coil 61. With the reciprocation of the piston 24, the core shaft 63 reciprocates inside each of the secondary coils 62, so that an induced voltage is generated in each of the secondary coils 62.

스프링 베어링 부재(22)의 용수철 수용홈(22c) 내에는, 부세 부재(65)가 수용되고 있다. 부세 부재(65)는, 예를 들면, 웨이브 와셔이다. 부세 부재(65)는, 본체부(52)에서의 저벽(52a)과는 반대측의 단면에 맞닿고 있다. 따라서, 부세 부재(65)는, 센서 케이스 본체(51)의 축선의 주위에서 센서 케이스 본체(51)에 대해서 맞닿음과 동시에 센서 케이스 본체(51)를 헤드 커버(39)를 향해서 힘을 가하고 있다. 그리고, 부세 부재(65)는, 헤드 커버(39)와 협동하여 센서 케이스 본체(51)를 사이에 끼운다.The bias member 65 is accommodated in the spring receiving groove 22c of the spring bearing member 22. The urging member 65 is a wave washer, for example. The biasing member 65 is in contact with the end face of the main body 52 opposite to the bottom wall 52a. Therefore, the biasing member 65 abuts against the sensor case main body 51 around the axis of the sensor case main body 51 and applies the force to the head cover 39 at the sensor case main body 51. . Then, the biasing member 65 cooperates with the head cover 39 to sandwich the sensor case main body 51.

플랜지(52c)의 외주면에는, 링상의 씰 부재(66)가 장착되고 있다. 씰 부재(66)는, 플랜지(52c)의 외주면과 소경공(14a)의 내주면 사이를 씰하고 있다. 따라서, 센서 케이스 본체(51)의 외주면에는, 센서 케이스 본체(51)의 외주면과 바디(11)의 내주면 사이를 씰하여 실린더실(23)로부터의 유체의 누락을 억제하는 씰 부재(66)가 설치되고 있다.A ring-shaped seal member 66 is attached to the outer circumferential surface of the flange 52c. The seal member 66 seals between the outer circumferential surface of the flange 52c and the inner circumferential surface of the small diameter hole 14a. Therefore, on the outer circumferential surface of the sensor case main body 51, a seal member 66 that seals between the outer circumferential surface of the sensor case main body 51 and the inner circumferential surface of the body 11 and suppresses the omission of fluid from the cylinder chamber 23 is provided. It is installed.

파지 장치(10)는, 센서 케이스 본체(51)에서의 바디(11)에 대한 회전을 방지하는 회전 멈춤 기구(70)를 더 구비하고 있다. 회전 멈춤 기구(70)는, 케이스 부재(54)의 외주면에 나사 삽입되는 볼트(71)와, 바디(11)에 형성됨과 동시에 볼트(71)의 머리 부분(71a)이 내측에 배치되는 구멍(孔)(72)으로 구성되어 있다.The holding device 10 further includes a rotation stop mechanism 70 that prevents rotation of the body 11 in the sensor case body 51. The rotation stop mechanism 70 includes a bolt 71 screwed into the outer circumferential surface of the case member 54 and a hole formed in the body 11 and at the same time the head portion 71a of the bolt 71 is disposed inside ( Vi) 72.

도 4에 나타내듯이, 바디(11)의 외주벽의 외측면에는, 요부(11c)가 형성되고 있다. 그리고, 구멍(72)은, 요부(11c)의 저면(11d)에 형성되고 있다. 구멍(72)은, 센서 수용공(14)의 대경공(14b)에 연통하고 있다. 구멍(72)은, 평면에서 보면, 타원공 형상이다. 구멍(72)의 길이 방향은, 바디(11)의 축선 방향으로 일치하고 있다. 구멍(72)의 내주연(內周緣)은, 한 쌍의 장측 테두리(緣)(72a)와, 제1 만곡 테두리(彎曲緣)(72b)과, 제2 만곡 테두리(72c)으로 형성되고 있다. 2개의 장측 테두리(72a)는, 구멍(72)의 길이 방향으로 서로 평행으로 연장된다. 제1 만곡 테두리(72b)은 반달형으로 만곡하고, 2개의 장측 테두리(72a)에서의 제1 단부끼리를 접속한다. 제2 만곡 테두리(72c)은 반달형으로 만곡하고, 2개의 장측 테두리(72a)에서의 제2 단부끼리를 접속한다.4, the recessed part 11c is formed in the outer side surface of the outer peripheral wall of the body 11. As shown in FIG. And the hole 72 is formed in 11 d of bottom surfaces of the recessed part 11c. The hole 72 communicates with the large diameter hole 14b of the sensor accommodation hole 14. The hole 72 has an elliptical hole shape in plan view. The longitudinal direction of the hole 72 coincides with the axial direction of the body 11. The inner circumference of the hole 72 is formed of a pair of long side edges 72a, a first curved edge 72b, and a second curved edge 72c. . The two long side edges 72a extend in parallel to each other in the longitudinal direction of the hole 72. The first curved edge 72b is curved in a half moon shape and connects the first ends of the two long edges 72a. The 2nd curved edge 72c curves in half-moon shape, and connects the 2nd end part in two long edge 72a.

도 2에 나타내듯이, 플랜지(52c)가 소경공(14a)의 내측에 배치되어 있고, 센서 케이스 본체(51)가, 부세 부재(65)와 헤드 커버(39)에 의해서 사이에 끼운 상태에서, 볼트(71)의 머리 부분(71a)은, 구멍(72)의 제1 만곡 테두리(72b) 가까이에 위치하고 있다. 이 때, 바디(11)의 축선 방향에서, 볼트(71)의 머리 부분(71a)과 구멍(72)의 제2 만곡 테두리(72c) 사이의 거리 L1는, 테이퍼면(14c)으로부터 씰 부재(66)까지의 거리 L2보다 크다.As shown in FIG. 2, in a state where the flange 52c is disposed inside the small diameter hole 14a and the sensor case main body 51 is sandwiched between the biasing member 65 and the head cover 39, The head portion 71a of the bolt 71 is located near the first curved edge 72b of the hole 72. At this time, in the axial direction of the body 11, the distance L1 between the head portion 71a of the bolt 71 and the second curved edge 72c of the hole 72 is changed from the tapered surface 14c to the seal member ( 66) is greater than the distance L2.

도 4에 나타내듯이, 요부(11c)의 저면(11d)에는, 배선용 삽통공(11h)이 형성되고 있다. 도 2에 나타내듯이, 배선용 삽통공(11h)은, 구멍(72)보다 헤드 커버(39) 가까이에 위치함과 동시에, 센서 수용공(14)의 대경공(14b)에 연통하고 있다. 또, 케이스 부재(54)에는, 노치(切欠)(54k)가 형성되고 있다. 배선용 삽통공(11h)와 노치(54k)는, 바디(11)의 축선 방향에 대해서 직교하는 방향으로 서로 겹치고 있다. 그리고, 1차 코일(61) 및 2개의 2차 코일(62)로부터 인출(引出)된 상기 배선(73)은, 노치(54k) 및 배선용 삽통공(11h)을 통과하여 요부(11c) 내를 향해서 연장되고 있다.As shown in FIG. 4, the wiring insertion hole 11h is formed in the bottom face 11d of the recessed part 11c. As shown in FIG. 2, the wiring insertion hole 11h is located closer to the head cover 39 than the hole 72 and communicates with the large diameter hole 14b of the sensor accommodation hole 14. Moreover, the notch 54k is formed in the case member 54. The wiring insertion hole 11h and the notch 54k overlap each other in the direction orthogonal to the axial direction of the body 11. Then, the wiring 73 drawn out from the primary coil 61 and the two secondary coils 62 passes through the notch 54k and the wiring insertion hole 11h to pass through the recess 11c. It is extended toward.

도 1에 나타내듯이, 바디(11)의 외주벽의 외측면에는, 증폭기(74)가 탑재되고 있다. 따라서, 증폭기(74)는, 파지 장치(10)에 일체화되고 있다. 증폭기(74)는, 요부(11c)를 폐색 한 상태로 바디(11)의 외주벽의 외측면에 장착되고 있다. 상기 배선(73)에서의 1차 코일(61) 및 2개의 2차 코일(62)과는 반대측의 단부는, 증폭기(74)에 전기적으로 접속되고 있다. 증폭기(74)는, 연결기(74a)를 통해 외부 제어 기기(75)에 전기적으로 접속되고 있다. 증폭기(74)는, 각 2차 코일(62)로부터 출력되는 유기 전압을 증폭한다. 그리고, 증폭기(74)에 의해서 증폭된 전압은, 연결기(74a)를 통해 외부 제어 기기(75)에 공급된다.As shown in FIG. 1, the amplifier 74 is mounted on the outer surface of the outer circumferential wall of the body 11. Therefore, the amplifier 74 is integrated with the holding device 10. The amplifier 74 is attached to the outer surface of the outer circumferential wall of the body 11 with the recessed portion 11c closed. An end portion of the wiring 73 opposite to the primary coil 61 and the two secondary coils 62 is electrically connected to the amplifier 74. The amplifier 74 is electrically connected to the external control device 75 through the connector 74a. The amplifier 74 amplifies the induced voltage output from each secondary coil 62. The voltage amplified by the amplifier 74 is supplied to the external control device 75 through the connector 74a.

다음으로, 본 실시 형태의 작용에 대해 설명한다.Next, the operation of the present embodiment will be described.

피스톤(24)의 왕복동에 수반하여 코어축(63)이 왕복동함으로써, 2개의 2차 코일(62)에 발생하는 유기 전압에 차이가 생긴다. 이 유기 전압의 차이는, 코어축(63)의 위치에 따라 변화한다. 또, 한 쌍의 마스터 조(33)의 이동량과 피스톤(24)의 이동량과는 비례 관계에 있다. 따라서, 외부 제어 기기(75)는, 2개의 2차 코일(62)로부터 상기 배선(73) 및 증폭기(74)를 통해 공급되는 유기 전압의 차이의 변화량을 검출하는 것에 의해서, 코어축(63)의 이동량, 즉 피스톤(24)의 이동량이 검출 가능해진다. 결과적으로, 한 쌍의 마스터 조(33)의 이동량이 검출 가능해진다. 이것에 의하면, 한 쌍의 마스터 조(33)의 위치가 리니어에 검출 가능해지고, 한 쌍의 마스터 조(33)의 위치 검출이 고정밀도로 행해진다.As the core shaft 63 reciprocates with the reciprocation of the piston 24, a difference occurs in the induced voltage generated in the two secondary coils 62. This difference in induced voltage changes depending on the position of the core axis 63. In addition, there is a proportional relationship between the movement amount of the pair of master jaws 33 and the movement amount of the piston 24. Therefore, the external control device 75 detects the amount of change in the difference between the induced voltages supplied from the two secondary coils 62 through the wiring 73 and the amplifier 74, thereby causing the core shaft 63 to be changed. Can be detected, that is, the amount of movement of the piston 24. As a result, the movement amount of the pair of master tanks 33 can be detected. According to this, the position of the pair of master jaws 33 can be detected linearly, and the position detection of the pair of master jaws 33 is performed with high accuracy.

또, 외부 제어 기기(75)는, 한 쌍의 마스터 조(33)가 워크(W1)를 파지하고 있을 때에, 한 쌍의 마스터 조(33)의 위치를 검출함으로써, 한 쌍의 마스터 조(33)의 위치 정보에 근거하여, 워크(W1)의 치수를 측정할 수도 있다. 따라서, 본 실시 형태의 LVDT 센서(50)는, 워크(W1)의 치수를 측정하기 위해서 이용되는 측장(測長) 센서라고 해도 기능한다.In addition, the external control device 75 detects the position of the pair of master jaws 33 when the pair of master jaws 33 hold the workpiece W1, thereby detecting the pair of master jaws 33. The dimension of the workpiece | work W1 can also be measured based on the positional information of). Therefore, the LVDT sensor 50 of this embodiment functions as a length sensor used in order to measure the dimension of the workpiece | work W1.

도 5에 나타내듯이, 예를 들면, 메인터넌스시 등, 바디(11)에 대한 헤드 커버(39)의 조립(組付)이나 떼어낸다(取外). 이 때, 케이스 부재(54)에서의 헤드 커버(39)에 대향하는 단면과 헤드 커버(39)가 맞닿은 상태로 헤드 커버(39)의 수나사부(39a)에서의 암나사공(13)에 대한 나진(螺進) 또는 나퇴(螺退)를 하면, 센서 케이스 본체(51)가 헤드 커버(39)와 함께 따라 돌려고 한다. 이 때, 볼트(71)의 머리 부분(71a)이, 구멍(72)의 2개의 장측 테두리(72a)의 일방에 접촉함으로써, 센서 케이스 본체(51)에서의 바디(11)에 대한 회전이 방지된다.As shown in FIG. 5, the head cover 39 is assembled or removed from the body 11, for example, during maintenance. At this time, the end face opposite to the head cover 39 in the case member 54 and the dust cover with respect to the female screw hole 13 at the male screw portion 39a of the head cover 39 in a state where the head cover 39 is in contact with each other. (Iii) or withdrawal, the sensor case body 51 is turned along with the head cover 39. At this time, the head portion 71a of the bolt 71 contacts one of the two long side edges 72a of the hole 72, thereby preventing rotation of the body 11 in the sensor case body 51. do.

예를 들면, 메인터넌스시 등, 센서 케이스 본체(51)를 바디(11)로부터 떼어낼 때, 우선, 헤드 커버(39)가 바디(11)로부터 떼어내지고, 증폭기(74)가 바디(11)의 외주벽의 외측면으로부터 떼어내진다. 그리고, 볼트(71)의 머리 부분(71a)이 구멍(72)의 제2 만곡 테두리(72c)에 맞닿을 때까지, 볼트(71)의 머리 부분(71a)이 제2 만곡 테두리(72c)을 향해서 이동된다. 그리고, 센서 케이스 본체(51)가 암나사공(13)을 향해서 이동하고, 플랜지(52c)가, 소경공(14a)으로부터 테이퍼면(14c)을 통해 대경공(14b)의 내측에 위치한다. 이것에 의해, 씰 부재(66)에서의 플랜지(52c)의 외주면과 소경공(14a)의 내주면 사이의 씰이 해제되어, 씰 부재(66)와 바디(11) 사이의 접동 저항이 저하한다. 그 결과, 센서 케이스 본체(51)에서의 바디(11) 내에서의 축선 방향으로의 이동이 부드럽게 되어, 센서 케이스 본체(51)가 바디(11)로부터 떼어내기 쉬워진다. 그리고, 볼트(71)를 케이스 부재(54)로부터 떼어내고, 센서 케이스 본체(51)를 관통공(12)으로부터 뽑아 냄(引拔)으로써, 센서 케이스 본체(51)가 바디(11)로부터 떼어내진다.For example, when the sensor case main body 51 is detached from the body 11 at the time of maintenance, the head cover 39 is detached from the body 11 first, and the amplifier 74 is the body 11. From the outer surface of the outer circumferential wall. Then, the head portion 71a of the bolt 71 opens the second curved edge 72c until the head portion 71a of the bolt 71 abuts on the second curved edge 72c of the hole 72. Is moved towards. And the sensor case main body 51 moves toward the female screw hole 13, and the flange 52c is located inside the large diameter hole 14b through the taper surface 14c from the small diameter hole 14a. As a result, the seal between the outer circumferential surface of the flange 52c and the inner circumferential surface of the small diameter hole 14a in the seal member 66 is released, and the sliding resistance between the seal member 66 and the body 11 falls. As a result, the movement in the axial direction in the body 11 in the sensor case main body 51 becomes smooth, and the sensor case main body 51 becomes easy to detach from the body 11. The sensor case main body 51 is removed from the body 11 by removing the bolt 71 from the case member 54 and pulling the sensor case main body 51 out of the through hole 12. Bet.

상기 실시 형태에서는 이하의 효과를 얻을 수 있다.In the above embodiment, the following effects can be obtained.

(1) 파지 장치(10)는, 센서 케이스 본체(51)의 축선의 주위에서 센서 케이스 본체(51)에 대해서 맞닿음과 동시에 센서 케이스 본체(51)를 헤드 커버(39)를 향해서 힘을 가하여 헤드 커버(39)와 협동하여 센서 케이스 본체(51)를 사이에 끼우는 부세 부재(65)를 구비하고 있다. 이것에 의하면, 센서 케이스 본체(51)는, 상기 센서 케이스 본체(51)의 축선의 주위에서 맞닿는 부세 부재(65)와 헤드 커버(39)에 의해서 사이에 끼우고, 센서 케이스 본체(51)가, 코어축(63)의 축선에 대해서 기울어진 상태로 바디(11) 내에 배치되는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 코어축(63)에서의 센서 케이스 본체(51)에 대한 출몰 동작을 부드럽게 할 수 있다.(1) The holding device 10 abuts against the sensor case main body 51 around the axis of the sensor case main body 51 and simultaneously applies a force to the sensor cover main body 51 toward the head cover 39. A biasing member 65 is provided to cooperate with the head cover 39 to sandwich the sensor case body 51. According to this, the sensor case main body 51 is pinched | interposed by the biasing member 65 and the head cover 39 which abuts around the axis line of the said sensor case main body 51, and the sensor case main body 51 is It can suppress that it arrange | positions in the body 11 in the state inclined with respect to the axis line of the core axis 63. FIG. Therefore, the appearance of the sensor case main body 51 on the core shaft 63 can be smoothed.

(2) 센서 케이스 본체(51)의 외주면에는, 센서 케이스 본체(51)의 외주면과 바디(11)의 내주면 사이를 씰하여 실린더실(23)로부터의 유체의 누락을 억제하는 환상의 씰 부재(66)가 설치되고 있다. 이것에 의하면, 센서 케이스 본체(51)의 축선에 대해서 직교하는 방향에서, 바디(11) 내에서의 센서 케이스 본체(51)의 위치를, 실린더실(23)로부터의 유체의 누락을 억제하는 환상의 씰 부재(66)의 탄성력을 이용하여 위치 결정할 수 있다. 따라서, 센서 케이스 본체(51)의 축선이, 코어축(63)의 축선에 대해서 어긋나는 것을 억제할 수 있기 때문에, 코어축(63)에서의 센서 케이스 본체(51)에 대한 출몰 동작을 더 부드럽게 할 수 있다.(2) On the outer circumferential surface of the sensor case main body 51, an annular seal member which seals between the outer circumferential surface of the sensor case main body 51 and the inner circumferential surface of the body 11 and suppresses the omission of fluid from the cylinder chamber 23 ( 66) are installed. According to this, the position of the sensor case main body 51 in the body 11 in the direction orthogonal to the axis line of the sensor case main body 51 is annular which suppresses the omission of the fluid from the cylinder chamber 23. It can be positioned using the elastic force of the seal member 66 of. Therefore, since the axis line of the sensor case main body 51 can suppress that the shift | deviation with respect to the axis line of the core shaft 63 can be suppressed, the appearance of the sensor case main body 51 in the core shaft 63 will be made smoother. Can be.

(3) 헤드 커버(39)는, 바디(11)에 대해서 나사 삽입되는 수나사부(39a)를 가지고 있다. 또, 파지 장치(10)는, 센서 케이스 본체(51)에서의 바디(11)에 대한 회전을 방지하는 회전 멈춤 기구(70)를 더 구비하고 있다. 이것에 의하면, 예를 들면, 헤드 커버(39)가, 바디(11)에 대해서 압입에 의해서 장착되고 있는 경우에 비하면, 바디(11)에 대한 헤드 커버(39)의 조립성을 향상시킬 수 있다. 또, 예를 들면, 메인터넌스시 등, 헤드 커버(39)를 바디(11)에 대해서 떼어낼 필요가 있는 경우에서도, 헤드 커버(39)가 바디(11)에 대해서 압입에 의해서 장착되고 있는 경우에 비하면, 헤드 커버(39)를 바디(11)에 대해서 용이하게 떼어낼 수 있다. 또한, 바디(11)에 대한 헤드 커버(39)의 조립이나 분리를 실시할 때에, 센서 케이스 본체(51)가 헤드 커버(39)와 함께 따라 돌아 버리는 것을 회전 멈춤 기구(70)에 의해서 방지할 수 있다. 따라서, 센서 케이스 본체(51)가 회전함에 따라, 1차 코일(61) 및 2차 코일(62) 각각에 접속되고 있는 상기 배선(73)이 끌려가 손상되어 버리는 등의 불편이 생기는 것을 회피할 수 있다.(3) The head cover 39 has a male screw portion 39a which is screwed into the body 11. The gripping apparatus 10 further includes a rotation stop mechanism 70 that prevents rotation of the body 11 in the sensor case main body 51. According to this, for example, assembling of the head cover 39 with respect to the body 11 can be improved compared with the case where the head cover 39 is attached to the body 11 by press-fitting. . Moreover, even when the head cover 39 needs to be removed from the body 11, for example, during maintenance, when the head cover 39 is attached to the body 11 by press-fitting, In comparison, the head cover 39 can be easily detached from the body 11. In addition, when the assembly or detachment of the head cover 39 to the body 11 is performed, the rotation stop mechanism 70 prevents the sensor case body 51 from turning along with the head cover 39. Can be. Therefore, as the sensor case main body 51 rotates, it is possible to avoid the inconvenience that the wiring 73 connected to each of the primary coil 61 and the secondary coil 62 is dragged and damaged. Can be.

(4) 메인터넌스시 등, 센서 케이스 본체(51)를 바디(11)로부터 떼어낼 때, 볼트(71)의 머리 부분(71a)이 구멍(72)의 제2 만곡 테두리(72c)에 맞닿을 때까지, 볼트(71)의 머리 부분(71a)을 제2 만곡 테두리(72c)을 향해서 이동된다. 이것에 의해, 센서 케이스 본체(51)가 암나사공(13)을 향해서 이동하고, 플랜지(52c)를, 소경공(14a)으로부터 테이퍼면(14c)을 통해 대경공(14b)의 내측에 위치시킬 수 있다. 그 결과, 씰 부재(66)에서의 플랜지(52c)의 외주면과 소경공(14a)의 내주면 사이의 씰이 해제되고, 씰 부재(66)와 바디(11) 사이의 접동 저항을 저하시키는 것이 가능하고, 센서 케이스 본체(51)에서의 바디(11) 내에서의 축선 방향으로의 이동이 부드럽게 되어, 센서 케이스 본체(51)를 바디(11)로부터 용이하게 떼어낼 수 있다.(4) When removing the sensor case main body 51 from the body 11, such as during maintenance, when the head part 71a of the bolt 71 contacts the 2nd curved edge 72c of the hole 72. Until now, the head portion 71a of the bolt 71 is moved toward the second curved edge 72c. Thereby, the sensor case main body 51 moves toward the female screw hole 13, and positions the flange 52c inside the large diameter hole 14b through the taper surface 14c from the small diameter hole 14a. Can be. As a result, the seal between the outer circumferential surface of the flange 52c and the inner circumferential surface of the small diameter hole 14a in the seal member 66 can be released, thereby reducing the sliding resistance between the seal member 66 and the body 11. Then, the movement in the axial direction in the body 11 in the sensor case body 51 becomes smooth, and the sensor case body 51 can be easily removed from the body 11.

(5) 본 실시 형태에 의하면, 코어축(63)에서의 센서 케이스 본체(51)에 대한 출몰 동작이 부드럽게 행해지기 때문에, 외부 제어 기기(75)로의 한 쌍의 마스터 조(33)의 위치를 정밀도 좋게 검출할 수 있다.(5) According to this embodiment, since the appearance of the sensor case main body 51 on the core shaft 63 is smoothly performed, the position of the pair of master jaws 33 to the external control device 75 is adjusted. It can detect with good precision.

또한, 상기 실시 형태는, 이하와 같이 변경하여 실시할 수 있다. 상기 실시 형태 및 이하의 변경예는, 기술적으로 모순되지 않는 범위에서 서로 조합하여 실시할 수 있다.In addition, the said embodiment can be changed and implemented as follows. The said embodiment and the following modifications can be implemented in combination with each other in the range which does not contradict technically.

· 도 6에 나타내듯이, 회전 멈춤 기구(70)가, 바디(11)에 나사 삽입되는 볼트(81)와, 센서 케이스 본체(51)에 형성됨과 동시에 볼트(81)의 축부(81a)가 내측에 배치되는 구멍(82)으로 구성되어 있어도 좋다. 요부(11c)의 저면(11d)에는, 볼트(81)의 축부(81a)가 나사 삽입되는 암나사공(11e)이 형성되고 있다. 피복 부재(53)에는, 볼트(81)의 축부(81a)가 삽통되는 홈(53e)이 형성되고 있다. 구멍(82), 홈(53e), 및 암나사공(11e)은, 바디(11)의 축선 방향에 대해서 직교하는 방향으로 서로 겹치고 있다. 그리고, 암나사공(11e) 및 홈(53e)을 통과한 볼트(81)의 축부(81a)의 선단부가 구멍(82)에 삽입되고 있다. 이것에 의하면, 센서 케이스 본체(51)가 헤드 커버(39)와 함께 따라 돌려고 하면, 구멍(82)의 내주면이, 볼트(81)의 축부(81a)의 선단부에 접촉함으로써, 센서 케이스 본체(51)에서의 바디(11)에 대한 회전이 방지된다. 또, 도 6에 나타내는 실시 형태에서는, 파지 장치(10)의 소형화를 도모하기 위해서, 피스톤(24)의 외경이 상기 실시 형태보다 작아지고 있다. 이에 따라, 센서 케이스 본체(51)의 외경도 작아지고 있다. 구체적으로는, 도 6에 나타내는 실시 형태의 센서 케이스 본체(51)는, 상기 실시 형태에서 설명한 케이스 부재(54)가 생략된 구성이 되어 있다.As shown in Fig. 6, the rotation stop mechanism 70 is formed on the bolt 81 screwed into the body 11 and the sensor case main body 51, and the shaft portion 81a of the bolt 81 is on the inner side. It may be comprised by the hole 82 arrange | positioned at. In the bottom face 11d of the recessed part 11c, a female threaded hole 11e is formed in which the shaft portion 81a of the bolt 81 is screwed. In the covering member 53, a groove 53e through which the shaft portion 81a of the bolt 81 is inserted is formed. The hole 82, the groove 53e, and the female screw hole 11e overlap each other in a direction orthogonal to the axial direction of the body 11. Then, the distal end portion of the shaft portion 81a of the bolt 81 passing through the female thread hole 11e and the groove 53e is inserted into the hole 82. According to this, if the sensor case main body 51 turns along with the head cover 39, the inner peripheral surface of the hole 82 will contact the front-end | tip of the axial part 81a of the bolt 81, and the sensor case main body ( Rotation about the body 11 in 51 is prevented. In addition, in the embodiment shown in FIG. 6, in order to reduce the size of the holding device 10, the outer diameter of the piston 24 is smaller than the above embodiment. As a result, the outer diameter of the sensor case body 51 is also reduced. Specifically, the sensor case main body 51 of the embodiment shown in FIG. 6 is configured to omit the case member 54 described in the above embodiment.

· 실시 형태에서, 실린더실(23)로부터의 유체의 누락을 억제하는 환상의 씰 부재(66)가, 센서 케이스 본체(51)의 외주면에 설치되지 않고, 예를 들면, 스프링 베어링 부재(22)의 외주면, 및 스프링 베어링 부재(22)의 제2 단면(22b)과 센서 케이스 본체(51) 사이에 각각 설치되고 있어도 좋다.In the embodiment, the annular seal member 66 which suppresses the omission of the fluid from the cylinder chamber 23 is not provided on the outer circumferential surface of the sensor case main body 51, for example, the spring bearing member 22. It may be provided between the outer peripheral surface and the 2nd end surface 22b of the spring bearing member 22, and the sensor case main body 51, respectively.

· 실시 형태에서, 헤드 커버(39)가, 바디(11)에 대해서 압입에 의해서 장착되고 있어도 좋다.In the embodiment, the head cover 39 may be attached to the body 11 by press fitting.

· 실시 형태에서, 부세 부재(65)가, 예를 들면, 코일 스프링이라도 좋다.In the embodiment, the biasing member 65 may be, for example, a coil spring.

· 실시 형태에서, LVDT 센서(50)는, 1차 코일(61) 및 2개의 2차 코일(62)이, 본체부(52)의 축선 방향으로 나란하게 배치되어 있는 구성이 아니어도 좋고, 예를 들면, 2개의 2차 코일(62)의 내주측에 1차 코일(61)이 배치되어 있는 구성이어도 좋다.In the embodiment, the LVDT sensor 50 may not have a configuration in which the primary coil 61 and the two secondary coils 62 are arranged side by side in the axial direction of the main body portion 52, and an example For example, the structure in which the primary coil 61 is arrange | positioned at the inner peripheral side of two secondary coils 62 may be sufficient.

· 실시 형태에서, 증폭기(74)가, 바디(11)의 외주벽의 외측면에 탑재되어 있지 않아도 좋다. 요점은, 증폭기(74)가, 파지 장치(10)에 일체화되어 있지 않아도 좋다.In the embodiment, the amplifier 74 may not be mounted on the outer surface of the outer circumferential wall of the body 11. The point is that the amplifier 74 does not need to be integrated with the holding device 10.

· 실시 형태에서, 바디(11)는, 사각 통상으로 한정하지 않고, 예를 들면, 원통형이어도 좋다.In the embodiment, the body 11 is not limited to the quadrangular shape, but may be, for example, a cylindrical shape.

10…파지 장치
11…바디
23…실린더실
24…피스톤
33…마스터 조
39…헤드 커버
39a…수나사부
50…LVDT 센서
51…센서 케이스 본체
61…1차 코일
62…2차 코일
63…코어축
65…부세 부재
66…씰 부재
70…회전 멈춤 기구10... Gripping device
11... body
23... Cylinder chamber
24... piston
33... Master joe
39... Head cover
39a... Male thread
50... LVDT sensor
51... Sensor case body
61... Primary coil
62... Secondary coil
63... Core shaft
65... No tax
66... Seal member
70... Rotary stop mechanism

Claims

A normal body having a cylinder chamber through which fluid is supplied and discharged;
A piston which is accommodated in the cylinder chamber and reciprocated by a fluid supplied and discharged to the cylinder chamber,
A head cover mounted at an end in the axial direction in the body;
A pair of master jaws for opening / closing with the reciprocating motion of the piston,
A gripping device which is disposed coaxially with the piston and has a LVDT sensor which is embedded in the body and detects the position of the pair of master jaws,
The LVDT sensor,
The normal sensor case body,
A primary coil and two secondary coils wound around the sensor case body,
It has a core shaft that can reciprocate integrally with the piston, and at the same time can be sunk to the sensor case body,
The holding device,
And a biasing member which abuts against the sensor case body around the axis of the sensor case body and simultaneously forces the sensor case body toward the head cover to cooperate with the head cover to sandwich the sensor case body therebetween. Holding device.

The method of claim 1,
A gripping apparatus is provided on an outer circumferential surface of the sensor case body, an annular seal member that seals between the outer circumferential surface of the sensor case body and the inner circumferential surface of the body and suppresses the omission of fluid from the cylinder chamber.

The method according to claim 1 or 2,
The head cover has a male screw portion screwed into the body,
And a rotation stop mechanism for preventing rotation of the body in the sensor case body.