KR102344563B1 - Holding device - Google Patents

Holding device Download PDF

Info

Publication number
KR102344563B1
KR102344563B1 KR1020190094966A KR20190094966A KR102344563B1 KR 102344563 B1 KR102344563 B1 KR 102344563B1 KR 1020190094966 A KR1020190094966 A KR 1020190094966A KR 20190094966 A KR20190094966 A KR 20190094966A KR 102344563 B1 KR102344563 B1 KR 102344563B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
case body
sensor case
hole
head cover
sensor
Prior art date
Application number
KR1020190094966A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20200017355A (en
Inventor
히데카즈 이토
Original Assignee
시케이디 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 시케이디 가부시키가이샤 filed Critical 시케이디 가부시키가이샤
Publication of KR20200017355A publication Critical patent/KR20200017355A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102344563B1 publication Critical patent/KR102344563B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J13/00—Controls for manipulators
    • B25J13/08—Controls for manipulators by means of sensing devices, e.g. viewing or touching devices
    • B25J13/088—Controls for manipulators by means of sensing devices, e.g. viewing or touching devices with position, velocity or acceleration sensors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/02—Gripping heads and other end effectors servo-actuated
    • B25J15/0253—Gripping heads and other end effectors servo-actuated comprising parallel grippers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/02—Gripping heads and other end effectors servo-actuated
    • B25J15/0253—Gripping heads and other end effectors servo-actuated comprising parallel grippers
    • B25J15/0266—Gripping heads and other end effectors servo-actuated comprising parallel grippers actuated by articulated links
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/08—Gripping heads and other end effectors having finger members
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0075—Means for protecting the manipulator from its environment or vice versa
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/02—Sensing devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • B25J9/1005—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements comprising adjusting means
    • B25J9/101—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements comprising adjusting means using limit-switches, -stops
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
    • G01D5/22—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature differentially influencing two coils
    • G01D5/2291—Linear or rotary variable differential transformers (LVDTs/RVDTs) having a single primary coil and two secondary coils

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Actuator (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

파지 장치는, 통상의 바디, 피스톤, 헤드 커버, 한 쌍의 마스터 조, LVDT 센서, 및 부세 부재를 구비한다. LVDT 센서는, 통상의 센서 케이스 본체와, 상기 센서 케이스 본체에 감겨진 1차 코일 및 2개의 2차 코일과, 피스톤과 일체적으로 왕복동함과 동시에 센서 케이스 본체에 대해서 출몰 가능한 코어축을 갖는다. 부세 부재는, 센서 케이스 본체의 축선의 주위에서 센서 케이스 본체에 대해서 맞닿음과 동시에 센서 케이스 본체를 헤드 커버를 향해서 힘을 가하여 헤드 커버와 협동하여 센서 케이스 본체를 사이에 끼운다.The gripping device includes a conventional body, a piston, a head cover, a pair of master jaws, an LVDT sensor, and a biasing member. The LVDT sensor has a normal sensor case body, a primary coil and two secondary coils wound around the sensor case body, and a core shaft that reciprocates integrally with a piston and can retract and retract with respect to the sensor case body. The biasing member abuts against the sensor case body around the axis of the sensor case body, and at the same time applies a force to the sensor case body toward the head cover to cooperate with the head cover to sandwich the sensor case body.

Description

파지 장치{HOLDING DEVICE}holding device {HOLDING DEVICE}

본 개시는, 파지 장치에 관한 것이다.The present disclosure relates to a holding device.

예를 들면 특개평 11-320474호 공보는, 도 7에 나타내는 종래의 파지 장치(100)를 개시한다. 파지 장치(100)는, 통상의 바디(102), 피스톤(103), 및 한 쌍의 마스터 조(master jaw)(104)를 구비하고 있다. 바디(102)는, 유체가 공급 및 배출되는 실린더실(101)을 갖는다. 피스톤(103)은, 실린더실(101)에 수용됨과 동시에 실린더실(101)에 공급 및 배출되는 유체에 의해서 왕복동한다. 마스터 조(104)는, 피스톤(103)의 왕복동에 수반하여 개폐 동작을 실시한다.For example, Japanese Patent Laid-Open No. 11-320474 discloses a conventional gripping device 100 shown in FIG. 7 . The gripping device 100 includes a normal body 102 , a piston 103 , and a pair of master jaws 104 . The body 102 has a cylinder chamber 101 to which the fluid is supplied and discharged. The piston 103 is accommodated in the cylinder chamber 101 and at the same time reciprocates by the fluid supplied to and discharged from the cylinder chamber 101 . The master jaw 104 opens and closes with the reciprocation of the piston 103 .

또, 상기 파지 장치(100)는, 한 쌍의 마스터 조(104)의 위치를 검출하기 위해서, LVDT(Linear Variable Differential Transformer) 센서(105)(차동 트랜스)를 이용하고 있다. LVDT 센서(105)는, 통상의 센서 케이스 본체(106)와, 센서 케이스 본체(106)에 감겨진 1차 코일(107) 및 2개의 2차 코일(108)과, 피스톤(103)과 일체적으로 왕복동 함과 동시에 센서 케이스 본체(106)에 대해서 출몰 가능한 코어축(109)을 가지고 있다. 1차 코일(107)에는, 교류 전압이 인가된다. 그리고, 피스톤(103)의 왕복동에 수반하여 코어축(109)이 왕복동함으로써, 2개의 2차 코일(108)에 발생하는 유기 전압에 차이가 생긴다. 이 유기 전압의 차이는, 코어축(109)의 위치에 따라 변화한다. 또, 한 쌍의 마스터 조(104)의 이동량과 피스톤(103)의 이동량과는 비례 관계에 있다. 따라서, 이 유기 전압의 차이의 변화량에 의해서, 코어축(109)의 이동량, 즉 피스톤(103)의 이동량이 검출 가능해지고, 결과적으로, 한 쌍의 마스터 조(104)의 이동량이 검출 가능해진다. 이것에 의하면, 한 쌍의 마스터 조(104)의 위치가 선형으로 검출 가능해지고, 한 쌍의 마스터 조(104)의 위치 검출이 고정밀도로 행해진다.Moreover, in order to detect the position of the pair of master jaws 104, the said holding|gripping device 100 is using the LVDT(Linear Variable Differential Transformer) sensor 105 (differential transformer). The LVDT sensor 105 is integrated with a normal sensor case body 106 , a primary coil 107 and two secondary coils 108 wound around the sensor case body 106 , and a piston 103 . It has a core shaft 109 capable of reciprocating with respect to the sensor case body 106 and reciprocating at the same time. An alternating voltage is applied to the primary coil 107 . Then, when the core shaft 109 reciprocates with the reciprocation of the piston 103 , a difference occurs in the induced voltage generated in the two secondary coils 108 . The difference in the induced voltage changes depending on the position of the core shaft 109 . Moreover, there exists a proportional relationship between the movement amount of a pair of master jaw 104, and the movement amount of the piston 103. Therefore, the amount of movement of the core shaft 109, ie, the movement amount of the piston 103, can be detected by the amount of change in the difference in the induced voltage, and as a result, the movement amount of the pair of master jaws 104 can be detected. According to this, the position of a pair of master jaws 104 becomes detectable linearly, and the position detection of a pair of master jaws 104 is performed with high precision.

파지 장치(100)에서는, 바디(102)에서의 축선 방향의 단부에 제1 헤드 커버(111) 및 제2 헤드 커버(112)가 장착되고 있다. 제1 헤드 커버(111)에는, 센서 케이스 본체(106)가 관통하는 관통공(111a)이 형성되고 있다. 센서 케이스 본체(106)는, 제1 헤드 커버(111)의 관통공(111a)을 관통한 상태로, 그 일부분이 제1 헤드 커버(111) 및 제2 헤드 커버(112)에 의해서 사이에 끼워짐으로써, 제1 헤드 커버(111) 및 제2 헤드 커버(112)에 고정되고 있다. 그리고, 제1 헤드 커버(111) 및 제2 헤드 커버(112)가 바디(102)의 단부에 장착됨으로써, 센서 케이스 본체(106)는, 피스톤(103)과 동축에 배치된 상태로 바디(102) 내에 위치하고 있다.In the gripping device 100 , the first head cover 111 and the second head cover 112 are attached to the ends of the body 102 in the axial direction. A through hole 111a through which the sensor case body 106 passes is formed in the first head cover 111 . The sensor case body 106 penetrates the through hole 111a of the first head cover 111 , and a part thereof is sandwiched by the first head cover 111 and the second head cover 112 . By being loaded, it is being fixed to the first head cover 111 and the second head cover 112 . Then, the first head cover 111 and the second head cover 112 are mounted on the ends of the body 102 , so that the sensor case body 106 is disposed coaxially with the piston 103 to the body 102 . ) is located in

이 때, 센서 케이스 본체(106)는, 제1 헤드 커버(111) 및 제2 헤드 커버(112)에 의해서 캔틸레버 지지(片持支持, cantilever support)를 받은 상태로 바디(102) 내에 위치하고 있다. 이 때문에, 제1 헤드 커버(111) 및 제2 헤드 커버(112)에서의 바디(102)에 대한 설치 상태에 따라서는, 센서 케이스 본체(106)가, 코어축(109)의 축선에 대해서 기울어진 상태로 바디(102) 내에 배치되어 버리는 경우가 있다. 그러면, 코어축(109)에서의 센서 케이스 본체(106)에 대한 출몰 동작을 하기 어려워지는 우려가 있어, 한 쌍의 마스터 조(104)의 위치를 정밀도 좋게 검출할 수 없게 되어 버린다.At this time, the sensor case main body 106 is positioned in the body 102 in a state in which cantilever support is received by the first head cover 111 and the second head cover 112 . For this reason, depending on the installation state of the first head cover 111 and the second head cover 112 with respect to the body 102 , the sensor case body 106 is inclined with respect to the axis of the core shaft 109 . It may be disposed in the body 102 in a true state. Then, there exists a possibility that there exists a possibility that it becomes difficult to carry out the retracting operation|movement with respect to the sensor case main body 106 by the core shaft 109, and it will become impossible to detect the position of a pair of master jaws 104 accurately.

본 명시된 목적은, 코어 축이 되는 센서 케이스 본체에 대한 출몰 동작을 부드럽게 할 수 있는 파지 장치를 제공하는 것에 있다.An object of the present specification is to provide a gripping device capable of smoothing the moving in and out of the sensor case body serving as the core axis.

상기 목적을 달성하는 파지 장치는, 유체가 공급 및 배출되는 실린더실을 가지는 통상의 바디와, 상기 실린더실에 수용됨과 동시에 상기 실린더실에 공급 및 배출되는 유체에 의해서 왕복동하는 피스톤과, 상기 바디에서의 축선 방향의 단부에 장착되는 헤드 커버와, 상기 피스톤의 왕복동에 수반하여 개폐 동작을 실시하는 한 쌍의 마스터 조와, 상기 피스톤과 동축에 배치된 상태로 상기 바디에 내장됨과 동시에 상기 한 쌍의 마스터 조의 위치를 검출하는 LVDT 센서를 구비한다. 상기 LVDT 센서는, 통상의 센서 케이스 본체와, 상기 센서 케이스 본체에 감겨진 1차 코일 및 2개의 2차 코일과, 상기 피스톤과 일체적으로 왕복동함과 동시에 상기 센서 케이스 본체에 대해서 출몰 가능한 코어축을 가지고 있다. 파지 장치는, 상기 센서 케이스 본체의 축선의 주위에서 상기 센서 케이스 본체에 대해서 맞닿음(當接)과 동시에 상기 센서 케이스 본체를 상기 헤드 커버를 향해서 힘을 가하여(付勢) 상기 헤드 커버와 협동하여 상기 센서 케이스 본체를 사이에 끼우는 부세 부재를 구비한다.A gripping device for achieving the above object includes a normal body having a cylinder chamber to which a fluid is supplied and discharged, a piston accommodated in the cylinder chamber and a piston reciprocating by the fluid supplied to and discharged from the cylinder chamber at the same time, and in the body a head cover mounted on an axial end of An LVDT sensor for detecting the position of the jaw is provided. The LVDT sensor includes a normal sensor case body, a primary coil and two secondary coils wound around the sensor case body, and a core shaft that reciprocates integrally with the piston and can retract and retract with respect to the sensor case body. Have. The gripping device abuts against the sensor case body around the axis of the sensor case body and simultaneously applies a force to the sensor case body toward the head cover to cooperate with the head cover. and a biasing member sandwiching the sensor case body.

상기 파지 장치에서, 상기 센서 케이스 본체의 외주면에는, 상기 센서 케이스 본체의 외주면과 상기 바디의 내주면 사이를 씰하여 상기 실린더실로부터의 유체의 누락을 억제하는 환상의 씰 부재가 설치되고 있는 것이 바람직하다.In the gripping device, it is preferable that an annular sealing member is provided on the outer circumferential surface of the sensor case body to seal between the outer circumferential surface of the sensor case body and the inner circumferential surface of the body to suppress leakage of fluid from the cylinder chamber. .

상기 파지 장치에서, 상기 헤드 커버는, 상기 바디에 대해서 나사 삽입되는 수나사부를 갖고, 상기 센서 케이스 본체에서의 상기 바디에 대한 회전을 방지하는 회전 멈춤 기구를 더 구비하고 있는 것이 바람직하다.In the gripping device, it is preferable that the head cover further includes a rotation stop mechanism that has a male threaded portion screwed into the body and prevents rotation of the sensor case body with respect to the body.

도 1은, 일 실시 형태에서의 파지 장치의 단면도.
도 2는, 파지 장치를 확대하여 나타내는 단면도.
도 3은, 워크를 파지시킨 상태를 나타내는 파지 장치의 단면도.
도 4는, 바디의 평면도.
도 5는, 파지 장치의 분해 단면도.
도 6은, 다른 실시 형태에서의 파지 장치를 확대하여 나타내는 단면도.
도 7은, 종래의 파지 장치의 단면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is sectional drawing of the holding|gripping tool in one Embodiment.
Fig. 2 is an enlarged cross-sectional view of the holding device;
Fig. 3 is a cross-sectional view of a gripping device showing a state in which a work is gripped.
4 is a plan view of the body.
5 is an exploded cross-sectional view of the holding device.
Fig. 6 is an enlarged cross-sectional view of a holding device in another embodiment;
Fig. 7 is a cross-sectional view of a conventional gripping device.

이하, 파지 장치를 구체화한 일 실시 형태를 도 1~도 5에 따라서 설명한다.Hereinafter, one Embodiment which embodied the holding|gripping tool is demonstrated with reference to FIGS. 1-5.

도 1에 나타내듯이, 파지 장치(10)는, 사각 통상의 바디(11)를 구비하고 있다. 바디(11)에는, 바디(11)의 축선 방향으로 관통하는 원공상(圓孔狀)의 관통공(12)이 형성되고 있다. 관통공(12)은, 암나사공(13), 센서 수용공(14), 실린더공(15), 로드 삽통공(16), 및 수용공(17)에 의해 형성되고 있다. 암나사공(13), 센서 수용공(14), 실린더공(15), 로드 삽통공(16), 및 수용공(17)은, 바디(11)의 축선 방향의 제1 단부로부터 제2 단부에 걸쳐 이 순서로 나란하게 바디(11)에 형성되고 있다. 따라서, 암나사공(13)은, 바디(11)의 제1 단면(11a)에 개구하고 있다. 수용공(17)은, 바디(11)의 제2 단면(11b)에 개구하고 있다.As shown in FIG. 1 , the holding device 10 is provided with a rectangular cylindrical body 11 . The body 11 is formed with a circular through-hole 12 penetrating in the axial direction of the body 11 . The through hole 12 is formed by the female threaded hole 13 , the sensor accommodation hole 14 , the cylinder hole 15 , the rod insertion hole 16 , and the accommodation hole 17 . The female threaded hole 13 , the sensor receiving hole 14 , the cylinder hole 15 , the rod insertion hole 16 , and the receiving hole 17 are from the first end to the second end in the axial direction of the body 11 . It is formed on the body 11 side by side in this order. Accordingly, the female threaded hole 13 is opened in the first end face 11a of the body 11 . The accommodation hole 17 is opened in the second end surface 11b of the body 11 .

암나사공(13)에서의 바디(11)의 제1 단면(11a)과는 반대측의 단부는, 센서 수용공(14)에 연통하고 있다. 센서 수용공(14)에서의 암나사공(13)과는 반대측의 단부는, 실린더공(15)에 연통하고 있다. 실린더공(15)에서의 센서 수용공(14)과는 반대측의 단부는, 로드 삽통공(16)에 연통하고 있다. 로드 삽통공(16)에서의 실린더공(15)과는 반대측의 단부는, 수용공(17)에 연통하고 있다.The end of the female screw hole 13 opposite to the first end face 11a of the body 11 communicates with the sensor receiving hole 14 . The end of the sensor accommodating hole 14 on the opposite side to the female threaded hole 13 communicates with the cylinder hole 15 . The end of the cylinder hole 15 on the opposite side to the sensor accommodation hole 14 communicates with the rod insertion hole 16 . The end of the rod insertion hole 16 on the opposite side to the cylinder hole 15 communicates with the accommodation hole 17 .

암나사공(13)의 구멍 지름(孔徑)은, 센서 수용공(14)의 구멍 지름보다 크다. 또, 센서 수용공(14)의 구멍 지름은, 실린더공(15)의 구멍 지름보다 크다. 따라서, 바디(11)는, 센서 수용공(14)의 내주면과 실린더공(15)의 내주면을 접속함과 동시에 바디(11)의 축선 방향에 대해서 직교하는 방향으로 연장되는 환상의 제1 단차면(18)을 가지고 있다. 또, 실린더공(15)의 구멍 지름은, 로드 삽통공(16)의 구멍 지름보다 크다. 따라서, 바디(11)는, 실린더공(15)의 내주면과 로드 삽통공(16)의 내주면을 접속함과 동시에 바디(11)의 축선 방향에 대해서 직교하는 방향으로 연장되는 환상의 제2 단차면(19)을 가지고 있다.The hole diameter of the female screw hole 13 is larger than the hole diameter of the sensor accommodation hole 14 . Moreover, the hole diameter of the sensor accommodation hole 14 is larger than the hole diameter of the cylinder hole 15. As shown in FIG. Accordingly, the body 11 connects the inner circumferential surface of the sensor accommodating hole 14 and the inner circumferential surface of the cylinder hole 15 and at the same time, an annular first stepped surface extending in a direction orthogonal to the axial direction of the body 11 . (18) has. In addition, the bore diameter of the cylinder hole 15 is larger than the bore diameter of the rod insertion hole 16 . Accordingly, the body 11 connects the inner circumferential surface of the cylinder hole 15 and the inner circumferential surface of the rod insertion hole 16 and at the same time, an annular second step surface extending in a direction orthogonal to the axial direction of the body 11 . (19) has.

로드 삽통공(16)의 구멍 지름은, 수용공(17)의 구멍 지름보다 작다. 따라서, 바디(11)는, 로드 삽통공(16)의 내주면과 수용공(17)의 내주면을 접속함과 동시에 바디(11)의 축선 방향에 대해서 직교하는 방향으로 연장되는 환상의 제3 단차면(20)을 가지고 있다. 로드 삽통공(16)의 내주면에는, 환상의 씰 장착홈(16a)이 형성되고 있다. 씰 장착홈(16a)은, 제3 단차면(20)에 개구하고 있다.The hole diameter of the rod insertion hole 16 is smaller than the hole diameter of the accommodation hole 17 . Accordingly, the body 11 connects the inner circumferential surface of the rod insertion hole 16 and the inner circumferential surface of the accommodation hole 17 , and at the same time, an annular third step surface extending in a direction perpendicular to the axial direction of the body 11 . (20) has An annular seal mounting groove 16a is formed on the inner peripheral surface of the rod insertion hole 16 . The seal mounting groove 16a is opened in the third stepped surface 20 .

도 2에 나타내듯이, 센서 수용공(14)은, 소경공(14a)과, 소경공(14a)보다 큰 구멍 지름을 가지는 대경공(14b)으로 형성되고 있다. 소경공(14a)은, 대경공(14b)보다 실린더공(15)에 가까운 위치에 위치하고 있고, 실린더공(15)에 연통하고 있다. 대경공(14b)은, 암나사공(13)에 연통하고 있다. 소경공(14a)의 내주면과 대경공(14b)의 내주면은, 원추형의 테이퍼면(14c)에 의해서 접속되고 있다. 테이퍼면(14c)은, 대경공(14b)으로부터 소경공(14a)을 향함에 따라 축경(縮徑)하여 간다.As shown in Fig. 2, the sensor accommodating hole 14 is formed of a small-diameter hole 14a and a large-diameter hole 14b having a larger hole diameter than the small-diameter hole 14a. The small-diameter hole 14a is located at a position closer to the cylinder hole 15 than the large-diameter hole 14b, and communicates with the cylinder hole 15 . The large-diameter hole 14b communicates with the female threaded hole 13 . The inner peripheral surface of the small-diameter hole 14a and the inner peripheral surface of the large-diameter hole 14b are connected by a conical tapered surface 14c. The tapered surface 14c is reduced in diameter from the large-diameter hole 14b toward the small-diameter hole 14a.

도 1에 나타내듯이, 바디(11)의 제2 단면(11b)에는, 평판상의 한 쌍의 지지부(21)가 돌출되고 있다. 도 1에서는, 도면의 형편상, 2개의 지지부(21)의 일방만이 도시되고 있다. 한 쌍의 지지부(21)는, 바디(11)의 제2 단면(11b)으로부터 바디(11)의 축선 방향으로 돌출되고 있다. 2개의 지지부(21)는, 서로 평행으로 연장되고 있다. 관통공(12)은, 2개의 지지부(21)의 사이로 개구되고 있다.As shown in FIG. 1 , a pair of flat support portions 21 protrude from the second end surface 11b of the body 11 . In FIG. 1, only one of the two support parts 21 is shown for the convenience of drawing. The pair of support portions 21 protrude from the second end surface 11b of the body 11 in the axial direction of the body 11 . The two support parts 21 extend in parallel with each other. The through hole 12 is opened between the two support parts 21 .

관통공(12) 내에는, 원판상의 스프링 베어링 부재(spring bearing member)(22)가 수용되고 있다. 스프링 베어링 부재(22)의 외경은, 실린더공(15)의 구멍 지름보다 크고, 또한 센서 수용공(14)의 소경공(14a)의 구멍 지름보다 조금 작다. 스프링 베어링 부재(22)의 제1 단면(22a)의 외주부는, 제1 단차면(18)에 맞닿고(當接) 있다. 스프링 베어링 부재(22)의 제2 단면(22b)에는, 링상의 용수철 수용홈(22c)이 형성되고 있다. 스프링 베어링 부재(22)의 중앙부에는, 원공상의 삽통공(22h)이 형성되고 있다.A disk-shaped spring bearing member 22 is accommodated in the through hole 12 . The outer diameter of the spring bearing member 22 is larger than the hole diameter of the cylinder hole 15 and slightly smaller than the hole diameter of the small diameter hole 14a of the sensor accommodation hole 14 . The outer peripheral portion of the first end surface 22a of the spring bearing member 22 is in contact with the first step surface 18 . A ring-shaped spring receiving groove 22c is formed in the second end face 22b of the spring bearing member 22 . A circular insertion hole 22h is formed in the central portion of the spring bearing member 22 .

그리고, 관통공(12) 내에는, 스프링 베어링 부재(22)의 제1 단면(22a), 실린더공(15)의 내주면, 및 제2 단차면(19)에 의해서 실린더실(23)이 구획되고 있다. 따라서, 바디(11)는, 실린더실(23)을 가지고 있다. 실린더실(23)에는, 링상의 피스톤(24)이 수용되고 있다. 피스톤(24)의 외주면에는, 링상의 피스톤 패킹(25)이 장착되고 있다. 피스톤 패킹(25)은, 피스톤(24)의 외주면과 실린더공(15)의 내주면 사이를 씰 한다.And, in the through hole 12, the cylinder chamber 23 is partitioned by the first end surface 22a of the spring bearing member 22, the inner peripheral surface of the cylinder hole 15, and the second step surface 19, have. Accordingly, the body 11 has a cylinder chamber 23 . A ring-shaped piston 24 is accommodated in the cylinder chamber 23 . A ring-shaped piston packing 25 is attached to the outer peripheral surface of the piston 24 . The piston packing (25) seals between the outer peripheral surface of the piston (24) and the inner peripheral surface of the cylinder hole (15).

피스톤(24)은, 실린더실(23)을, 스프링 베어링 부재(22)에 인접하는 제1 압력 작용실(26)과, 제2 단차면(19)에 인접하는 제2 압력 작용실(27)로 구획하고 있다. 바디(11)의 외주벽에서의 스프링 베어링 부재(22) 가까이에는, 제1 압력 작용실(26)에 연통하는 제1 유체 급배 포트(28)가 형성되고 있다. 그리고, 제1 압력 작용실(26)에는, 제1 유체 급배 포트(28)에 의해서 유체가 선택적으로 공급 및 배출된다. 또, 바디(11)의 외주벽에서의 제2 단차면(19) 가까이에는, 제2 압력 작용실(27)에 연통하는 제2 유체 급배 포트(29)가 형성되고 있다. 그리고, 제2 압력 작용실(27)에는, 제2 유체 급배 포트(29)에 의해서 유체가 선택적으로 공급 및 배출된다. 따라서, 실린더실(23)에는 유체가 공급 및 배출된다. 피스톤(24)는, 제1 압력 작용실(26) 및 제2 압력 작용실(27)에 대해서 유체의 공급 및 배출을 함으로써, 실린더실(23) 내를 왕복동한다. 따라서, 피스톤(24)는, 실린더실(23)에 공급 및 배출되는 유체에 의해서 실린더실(23)를 왕복동한다.The piston 24 has a cylinder chamber 23 , a first pressure action chamber 26 adjacent to the spring bearing member 22 , and a second pressure action chamber 27 adjacent to the second stepped surface 19 . is delimited by A first fluid supply/discharge port 28 communicating with the first pressure action chamber 26 is formed near the spring bearing member 22 on the outer peripheral wall of the body 11 . And, the fluid is selectively supplied and discharged to the first pressure action chamber 26 by the first fluid supply/discharge port 28 . Further, a second fluid supply/discharge port 29 communicating with the second pressure action chamber 27 is formed near the second step surface 19 on the outer peripheral wall of the body 11 . And, the fluid is selectively supplied and discharged to the second pressure action chamber 27 by the second fluid supply/discharge port 29 . Accordingly, the fluid is supplied to and discharged from the cylinder chamber 23 . The piston 24 reciprocates in the cylinder chamber 23 by supplying and discharging fluid to and from the first pressure action chamber 26 and the second pressure action chamber 27 . Accordingly, the piston 24 reciprocates in the cylinder chamber 23 by the fluid supplied to and discharged from the cylinder chamber 23 .

피스톤(24)에는, 피스톤(24)에서의 스프링 베어링 부재(22)와는 반대측의 단면으로부터 바디(11)의 축선 방향으로 연장되는 피스톤 로드(30)가 일체화되고 있다. 따라서, 피스톤 로드(30)는, 피스톤(24)과 일체적으로 이동한다. 피스톤 로드(30)는, 로드 삽통공(16) 및 수용공(17)을 통과하여 바디(11)의 제2 단면(11b)으로부터 돌출되고 있다. 피스톤 로드(30)에서의 피스톤(24)과는 반대측의 선단부는, 2개의 지지부(21)의 사이에 위치하고 있다. 따라서, 피스톤 로드(30)는, 2개의 지지부(21)의 사이로, 바디(11)에 대해서 출몰 가능하게 구성되어 있다.The piston 24 is integrated with a piston rod 30 extending in the axial direction of the body 11 from an end face on the opposite side to the spring bearing member 22 of the piston 24 . Accordingly, the piston rod 30 moves integrally with the piston 24 . The piston rod 30 protrudes from the second end face 11b of the body 11 through the rod insertion hole 16 and the receiving hole 17 . The distal end of the piston rod 30 on the opposite side to the piston 24 is located between the two supporting parts 21 . Accordingly, the piston rod 30 is configured to be retractable with respect to the body 11 between the two supporting parts 21 .

씰 장착홈(16a) 내에 로드 패킹(31)이 장착되고 있다. 로드 패킹(31)은, 로드 삽통공(16)의 내주면과 피스톤 로드(30)의 외주면 사이를 씰 한다. 또, 수용공(17) 내에는 발지 부재(32)가 배치되어 있다. 발지 부재(32)는, 로드 패킹(31)에서의 씰 장착홈(16a)으로부터의 누락을 방지한다.The rod packing 31 is mounted in the seal mounting groove 16a. The rod packing 31 seals between the inner peripheral surface of the rod insertion hole 16 and the outer peripheral surface of the piston rod 30 . In addition, the gripping member 32 is disposed in the accommodating hole 17 . The trigger member (32) prevents the rod packing (31) from slipping out of the seal mounting groove (16a).

파지 장치(10)는, 피스톤(24)의 왕복동에 수반하여 개폐 동작을 실시하는 한 쌍의 마스터 조(master jaw)(33)를 구비하고 있다. 또, 파지 장치(10)는, 2개의 마스터 조(33)를 서로 접근 또는 이간하는 방향으로 안내하는 가이드 플레이트(34)를 구비하고 있다. 가이드 플레이트(34)는, 한 쌍의 지지부(21)에서의 바디(11)의 제2 단면(11b)과는 반대측의 단부에 장착되고 있다. 가이드 플레이트(34)에서의 한 쌍의 지지부(21)와는 반대측의 단면에는, 2개의 마스터 조(33)를 서로 접근 또는 이간하는 방향으로 안내하는 가이드 요부(34a)가 형성되고 있다. 또, 가이드 플레이트(34)에는, 한 쌍의 레버용 관통공(34h)이 형성되고 있다.The gripping device 10 is provided with a pair of master jaws 33 which open and close with the reciprocation of the piston 24. As shown in FIG. Moreover, the holding|gripping tool 10 is equipped with the guide plate 34 which guides the two master jaws 33 in the direction which mutually approaches or separates. The guide plate 34 is attached to the end of the pair of supporting parts 21 opposite to the second end face 11b of the body 11 . In the end face on the opposite side to the pair of support parts 21 in the guide plate 34, the guide recessed part 34a which guides the two master jaws 33 in the mutually approaching or spaced-apart direction is formed. Moreover, a pair of through-holes 34h for levers are formed in the guide plate 34. As shown in FIG.

파지 장치(10)는, 한 쌍의 레버(35)를 구비하고 있다. 각 레버(35)는, 대략 L자 판상이다. 각 레버(35)의 일부는, 2개의 지지부(21)의 사이에 배치되어 있다. 각 레버(35)의 제1 단부에는, U자형상의 계합홈(35a)이 형성되고 있다. 각 레버(35)의 계합홈(35a)은, 피스톤 로드(30)의 선단부에 설치된 계합축(36)에 계합되고 있다. 또, 각 레버(35)의 L자의 굴곡(屈曲) 부분에는, 지지축(37)이 각각 관통하고 있다. 각 지지축(37)은, 한 쌍의 지지부(21)에 걸쳐서 건네진 상태로 한 쌍의 지지부(21)에 고정되고 있다. 그리고, 피스톤 로드(30)가, 바디(11)에 대해서 출몰 동작을 실시하는 것에 의해서, 각 레버(35)가 대응하는 지지축(37)을 회동 중심으로서 회동한다.The holding device 10 is provided with a pair of levers 35 . Each lever 35 has a substantially L-shaped plate shape. A part of each lever 35 is arrange|positioned between the two support parts 21. As shown in FIG. At the first end of each lever 35, a U-shaped engaging groove 35a is formed. The engagement groove 35a of each lever 35 is engaged with the engagement shaft 36 provided in the front-end|tip part of the piston rod 30. As shown in FIG. Moreover, the support shaft 37 penetrates each L-shaped bent part of each lever 35, respectively. Each support shaft 37 is being fixed to the pair of support parts 21 in the state passed over the pair of support parts 21 . And when the piston rod 30 performs a retracting operation with respect to the body 11, each lever 35 rotates the corresponding support shaft 37 as a rotation center.

각 레버(35)의 제2 단부는, 대응하는 레버용 관통공(34h)을 통과하여 가이드 플레이트(34)에서의 한 쌍의 지지부(21)와는 반대측의 단면으로부터 돌출되고 있다. 각 레버(35)의 타단부에는, 계합자(契合子)(38)가 설치되고 있다. 그리고, 각 레버(35)의 계합자(38)는, 대응하는 마스터 조(33)에 형성된 수용 요부(33h)에 삽입되고 있다. 이것에 의해, 각 계합자(38)와 대응하는 수용 요부(33h)가 서로 걸리고(掛止) 있다. 이 각 계합자(38)와 대응하는 수용 요부(33h)의 걸림에 의해서, 각 레버(35)의 선단부에 대응하는 마스터 조(33)가 연결되고 있다.The second end of each lever 35 passes through the corresponding lever through hole 34h and protrudes from the end face on the side opposite to the pair of support portions 21 in the guide plate 34 . At the other end of each lever 35, an engaging member 38 is provided. And the engaging member 38 of each lever 35 is inserted in the receiving recessed part 33h formed in the corresponding master jaw 33. As shown in FIG. Thereby, each engaging member 38 and the corresponding receiving recessed part 33h are engaged with each other. The master jaws 33 corresponding to the distal ends of the respective levers 35 are connected by engagement of the respective engaging members 38 and the corresponding receiving recesses 33h.

도 3에 나타내듯이, 제2 유체 급배 포트(29)로부터 제2 압력 작용실(27)에 유체가 공급되면, 피스톤(24)가 스프링 베어링 부재(22)를 향해서 이동하기 시작한다. 그것에 의해, 제1 압력 작용실(26)의 유체가 제1 유체 급배 포트(28)를 통해 외부로 배출되고, 피스톤(24)이 스프링 베어링 부재(22)를 향해서 이동하여 간다. 이것에 의해, 피스톤 로드(30)가 바디(11)에 대해서 몰입하는 방향으로 이동한다. 이 피스톤 로드(30)에서의 바디(11)에 대한 몰입 방향으로의 이동에 수반하여, 한 쌍의 레버(35)의 제1 단부가 계합축(36)을 통해 피스톤 로드(30)로 끌여들여지고, 각 레버(35)가 대응하는 지지축(37)을 회동 중심으로서 계합자(38)가 서로 접근하는 방향으로 회동한다. 계합자(38)에서의 서로 접근하는 방향으로의 이동에 의해서, 2개의 마스터 조(33)가 서로 접근하는 방향으로 이동하고, 워크(W1)를 파지한다.As shown in FIG. 3 , when a fluid is supplied from the second fluid supply/discharge port 29 to the second pressure action chamber 27 , the piston 24 starts to move toward the spring bearing member 22 . Thereby, the fluid in the first pressure action chamber 26 is discharged to the outside through the first fluid supply/discharge port 28 , and the piston 24 moves toward the spring bearing member 22 . Thereby, the piston rod 30 moves with respect to the body 11 in the immersed direction. With the movement of this piston rod 30 in the direction of engagement with respect to the body 11 , the first ends of the pair of levers 35 are drawn into the piston rod 30 via the engaging shaft 36 and , Each lever 35 rotates in a direction in which the engaging members 38 approach each other as a center of rotation about the corresponding support shaft 37 . By the movement in the mutually approaching direction in the engaging member 38, the two master jaws 33 move in the mutually approaching direction, and the workpiece|work W1 is gripped.

도 1에 나타내듯이, 제1 유체 급배 포트(28)로부터 제1 압력 작용실(26)에 유체가 공급되면, 피스톤(24)이 제2 단차면(19)을 향해서 이동하기 시작한다. 그것에 의해, 제2 압력 작용실(27)의 유체가 제2 유체 급배 포트(29)를 통해 외부로 배출되고, 피스톤(24)이 제2 단차면(19)을 향해서 이동하여 간다. 이것에 의해, 피스톤 로드(30)가 바디(11)에 대해서 돌출하는 방향으로 이동한다. 이 피스톤 로드(30)에서의 바디(11)에 대한 돌출 방향으로의 이동에 수반하여, 한 쌍의 레버(35)의 제1 단부가 계합축(36)을 통해 피스톤 로드(30)에 밀어넣어지고, 각 레버(35)가 대응하는 지지축(37)을 회동 중심으로서 계합자(38)가 서로 이간하는 방향으로 회동한다. 계합자(38)에서의 서로 이간하는 방향으로의 이동에 의해서, 2개의 마스터 조(33)가 서로 이간하는 방향으로 이동하고, 워크(W1)의 파지 상태가 해제된다.As shown in FIG. 1 , when fluid is supplied from the first fluid supply/discharge port 28 to the first pressure action chamber 26 , the piston 24 starts to move toward the second stepped surface 19 . Thereby, the fluid in the second pressure action chamber 27 is discharged to the outside through the second fluid supply/discharge port 29 , and the piston 24 moves toward the second stepped surface 19 . Thereby, the piston rod 30 moves in a direction to project with respect to the body 11 . Accompanying the movement of the piston rod 30 in the projecting direction with respect to the body 11 , the first ends of the pair of levers 35 are pushed into the piston rod 30 via the engaging shaft 36 . and each lever 35 rotates in a direction in which the engaging members 38 are spaced apart from each other with the support shaft 37 corresponding to the rotation center. The two master jaws 33 move in the direction spaced apart from each other by the movement in the mutually spaced direction in the engaging member 38, and the holding state of the workpiece|work W1 is cancelled|released.

도 2에 나타내듯이, 암나사공(13)에는, 원판상의 헤드 커버(39)가 장착되고 있다. 따라서, 헤드 커버(39)는, 바디(11)에서의 축선 방향의 제1 단부에 장착되고 있다. 헤드 커버(39)의 외주면에는, 암나사공(13)에 대해서 나사 삽입되는 수나사부(39a)가 형성되고 있다. 따라서, 헤드 커버(39)는, 바디(11)에 대해서 나사 삽입되는 수나사부(39a)를 가지고 있다. 그리고, 관통공(12) 내에는, 헤드 커버(39), 센서 수용공(14)의 내주면, 및 스프링 베어링 부재(22)의 제2 단면(22b)에 의해서 센서 수용실(40)이 구획되고 있다. 따라서, 바디(11)는, 센서 수용실(40)을 가지고 있다.As shown in FIG. 2 , a disk-shaped head cover 39 is attached to the female screw hole 13 . Accordingly, the head cover 39 is attached to the first end of the body 11 in the axial direction. On the outer peripheral surface of the head cover 39, a male screw portion 39a that is screwed into the female screw hole 13 is formed. Accordingly, the head cover 39 has a male screw portion 39a that is screwed into the body 11 . And, in the through hole 12, the sensor accommodating chamber 40 is partitioned by the head cover 39, the inner peripheral surface of the sensor accommodating hole 14, and the second end surface 22b of the spring bearing member 22, have. Accordingly, the body 11 has a sensor accommodating chamber 40 .

파지 장치(10)는, 한 쌍의 마스터 조(33)의 위치를 검출하는 LVDT 센서(50)를 구비하고 있다. LVDT 센서(50)는, 원통상의 센서 케이스 본체(51)와, 센서 케이스 본체(51)에 감겨진 1차 코일(61) 및 2개의 2차 코일(62)과, 피스톤(24)과 일체적으로 왕복동함과 동시에 센서 케이스 본체(51)에 대해서 출몰 가능한 코어축(63)을 가지고 있다.The holding device 10 is provided with the LVDT sensor 50 which detects the position of a pair of master jaws 33. As shown in FIG. The LVDT sensor 50 is integrated with a cylindrical sensor case body 51 , a primary coil 61 and two secondary coils 62 wound around the sensor case body 51 , and a piston 24 . It has a core shaft 63 capable of reciprocating and reciprocating with respect to the sensor case body 51 at the same time.

센서 케이스 본체(51)는, 수지제인 바닥을 가지는 원통형의 본체부(52)를 가지고 있다. 본체부(52)는, 원판상의 저벽(底壁)(52a)과, 저벽(52a)의 외주부로부터 연장되는 원통형의 주벽(周壁)(52b)을 가지고 있다. 주벽(52b)의 내경은, 스프링 베어링 부재(22)의 삽통공(22h)의 구멍 지름과 동일하다. 또, 본체부(52)는, 주벽(52b)에서의 저벽(52a)과는 반대측의 단부로부터 외측으로 돌출하는 환상의 플랜지(52c)를 가지고 있다. 센서 케이스 본체(51)에 대해서는, 1차 코일(61) 및 2개의 2차 코일(62)이 본체부(52)에 수지 몰드되고 있다. 1차 코일(61) 및 2개의 2차 코일(62)은 본체부(52)의 주벽(52b)에 매설되고 있다. 1차 코일(61) 및 2개의 2차 코일(62)은, 본체부(52)의 축선 방향으로 나란하게 배치되어 있다. 본체부(52)의 축선 방향에서, 1차 코일(61)은, 2개의 2차 코일(62) 사이에 배치되어 있다.The sensor case body 51 has a cylindrical body 52 with a bottom made of resin. The main body 52 has a disk-shaped bottom wall 52a and a cylindrical peripheral wall 52b extending from the outer periphery of the bottom wall 52a. The inner diameter of the circumferential wall 52b is the same as the hole diameter of the insertion hole 22h of the spring bearing member 22. As shown in FIG. Moreover, the main body part 52 has the annular flange 52c which protrudes outward from the edge part on the opposite side to the bottom wall 52a of the main wall 52b. As for the sensor case body 51 , a primary coil 61 and two secondary coils 62 are molded into the body part 52 with resin. The primary coil 61 and the two secondary coils 62 are embedded in the peripheral wall 52b of the main body 52 . The primary coil 61 and the two secondary coils 62 are arranged side by side in the axial direction of the body part 52 . In the axial direction of the body portion 52 , the primary coil 61 is disposed between the two secondary coils 62 .

또, 센서 케이스 본체(51)는, 본체부(52)의 주벽(52b)의 외주면을 덮는 원통형의 피복 부재(53)를 가지고 있다. 피복 부재(53)는, 예를 들면, 철제이다. 또한, 센서 케이스 본체(51)는, 피복 부재(53)의 외주면을 덮는 원통형의 케이스 부재(54)를 가지고 있다. 케이스 부재(54)는, 예를 들면, 알루미늄제이다. 케이스 부재(54)의 외경은, 플랜지(52c)의 외경과 대략 동일하다. 케이스 부재(54)에서의 플랜지(52c)와 대향하는 단면은, 플랜지(52c)에 접촉하고 있다. 또, 케이스 부재(54)에서의 헤드 커버(39)와 대향하는 단면은, 헤드 커버(39)에 맞닿고 있다.Moreover, the sensor case main body 51 has a cylindrical covering member 53 which covers the outer peripheral surface of the peripheral wall 52b of the main body part 52. As shown in FIG. The covering member 53 is made of iron, for example. Further, the sensor case body 51 has a cylindrical case member 54 that covers the outer peripheral surface of the covering member 53 . The case member 54 is made of, for example, aluminum. The outer diameter of the case member 54 is substantially equal to the outer diameter of the flange 52c. The end face of the case member 54 opposite to the flange 52c is in contact with the flange 52c. In addition, the end face of the case member 54 opposite to the head cover 39 is in contact with the head cover 39 .

플랜지(52c)의 외경, 및 케이스 부재(54)의 외경은, 센서 수용공(14)의 소경공(14a)의 구멍 지름보다 조금 작다. 센서 케이스 본체(51)는, 센서 수용실(40)에 수용되고 있다. 플랜지(52c)는, 소경공(14a)의 내측에 배치되어 있다. 본체부(52)의 주벽(52b)의 축심은, 스프링 베어링 부재(22)의 삽통공(22h)의 축심과 일치하고 있다.The outer diameter of the flange 52c and the outer diameter of the case member 54 are slightly smaller than the hole diameters of the small-diameter hole 14a of the sensor accommodating hole 14 . The sensor case body 51 is accommodated in the sensor accommodating chamber 40 . The flange 52c is disposed inside the small-diameter hole 14a. The axial center of the peripheral wall 52b of the main body 52 coincides with the axial center of the insertion hole 22h of the spring bearing member 22 .

코어축(63)은, 수나사(63a)를 갖는다. 피스톤(24)은, 스프링 베어링 부재(22)와 대향하는 단면에 암나사공(24h)을 갖는다. 코어축(63)의 수나사(63a)는, 피스톤(24)의 암나사공(24h)에 나합되고 있다. 그리고, 코어축(63)은, 수나사(63a)가 암나사공(24h)에 나합됨으로써, 피스톤(24)에서의 스프링 베어링 부재(22)와 대향하는 단면으로부터 바디(11)의 축선 방향으로 연장된 상태로 피스톤(24)에 일체화되고 있다. 또, 수나사(63a)에는 너트(64)가 나착되고 있고, 수나사(63a)에서의 암나사공(24h)에 대해서 나사의 풀림이 억제되고 있다.The core shaft 63 has an external screw 63a. The piston 24 has a female threaded hole 24h in a cross section facing the spring bearing member 22 . The male screw 63a of the core shaft 63 is screwed into the female screw hole 24h of the piston 24 . And, the core shaft 63, the male screw 63a is screwed into the female screw hole 24h, extending in the axial direction of the body 11 from the end face opposite to the spring bearing member 22 in the piston 24 It is integrated with the piston 24 in the state. Moreover, the nut 64 is screwed into the male screw 63a, and loosening of a screw is suppressed with respect to the female screw hole 24h of the male screw 63a.

코어축(63)은, 실린더실(23)로부터 스프링 베어링 부재(22)의 삽통공(22h)을 통과하여 본체부(52)의 주벽(52b)의 내측에 삽입되고 있다. 코어축(63)의 외경은, 주벽(52b)의 내경, 및 스프링 베어링 부재(22)의 삽통공(22h)의 구멍 지름보다 작다. LVDT 센서(50)는, 피스톤(24)과 동축으로 배치된 상태로 바디(11)에 내장되고 있다.The core shaft 63 is inserted from the cylinder chamber 23 through the insertion hole 22h of the spring bearing member 22 inside the peripheral wall 52b of the body part 52 . The outer diameter of the core shaft 63 is smaller than the inner diameter of the circumferential wall 52b and the hole diameter of the insertion hole 22h of the spring bearing member 22 . The LVDT sensor 50 is built into the body 11 in a state coaxial with the piston 24 .

1차 코일(61)에는 교류 전압이 인가되고 있다. 피스톤(24)의 왕복동에 수반하여 코어축(63)이 각 2차 코일(62)의 내측을 왕복동함으로써, 각 2차 코일(62)에는 유기 전압이 발생한다.An AC voltage is applied to the primary coil 61 . As the core shaft 63 reciprocates inside each secondary coil 62 with the reciprocation of the piston 24 , an induced voltage is generated in each secondary coil 62 .

스프링 베어링 부재(22)의 용수철 수용홈(22c) 내에는, 부세 부재(65)가 수용되고 있다. 부세 부재(65)는, 예를 들면, 웨이브 와셔이다. 부세 부재(65)는, 본체부(52)에서의 저벽(52a)과는 반대측의 단면에 맞닿고 있다. 따라서, 부세 부재(65)는, 센서 케이스 본체(51)의 축선의 주위에서 센서 케이스 본체(51)에 대해서 맞닿음과 동시에 센서 케이스 본체(51)를 헤드 커버(39)를 향해서 힘을 가하고 있다. 그리고, 부세 부재(65)는, 헤드 커버(39)와 협동하여 센서 케이스 본체(51)를 사이에 끼운다.The biasing member 65 is accommodated in the spring receiving groove 22c of the spring bearing member 22 . The biasing member 65 is, for example, a wave washer. The biasing member 65 is in contact with the end face of the main body 52 on the opposite side to the bottom wall 52a. Accordingly, the biasing member 65 abuts against the sensor case body 51 around the axis of the sensor case body 51 and simultaneously applies a force to the sensor case body 51 toward the head cover 39 . . Then, the biasing member 65 cooperates with the head cover 39 to sandwich the sensor case body 51 therebetween.

플랜지(52c)의 외주면에는, 링상의 씰 부재(66)가 장착되고 있다. 씰 부재(66)는, 플랜지(52c)의 외주면과 소경공(14a)의 내주면 사이를 씰하고 있다. 따라서, 센서 케이스 본체(51)의 외주면에는, 센서 케이스 본체(51)의 외주면과 바디(11)의 내주면 사이를 씰하여 실린더실(23)로부터의 유체의 누락을 억제하는 씰 부재(66)가 설치되고 있다.A ring-shaped seal member 66 is attached to the outer peripheral surface of the flange 52c. The sealing member 66 seals between the outer peripheral surface of the flange 52c and the inner peripheral surface of the small-diameter hole 14a. Accordingly, on the outer circumferential surface of the sensor case body 51 , a sealing member 66 for sealing between the outer circumferential surface of the sensor case body 51 and the inner circumferential surface of the body 11 to suppress leakage of fluid from the cylinder chamber 23 is provided. is being installed

파지 장치(10)는, 센서 케이스 본체(51)에서의 바디(11)에 대한 회전을 방지하는 회전 멈춤 기구(70)를 더 구비하고 있다. 회전 멈춤 기구(70)는, 케이스 부재(54)의 외주면에 나사 삽입되는 볼트(71)와, 바디(11)에 형성됨과 동시에 볼트(71)의 머리 부분(71a)이 내측에 배치되는 구멍(孔)(72)으로 구성되어 있다.The gripping device 10 further includes a rotation stop mechanism 70 that prevents rotation of the sensor case body 51 with respect to the body 11 . The rotation stop mechanism 70 includes a bolt 71 screwed into the outer circumferential surface of the case member 54, and a hole formed in the body 11 and a head portion 71a of the bolt 71 disposed inside (孔) (72).

도 4에 나타내듯이, 바디(11)의 외주벽의 외측면에는, 요부(11c)가 형성되고 있다. 그리고, 구멍(72)은, 요부(11c)의 저면(11d)에 형성되고 있다. 구멍(72)은, 센서 수용공(14)의 대경공(14b)에 연통하고 있다. 구멍(72)은, 평면에서 보면, 타원공 형상이다. 구멍(72)의 길이 방향은, 바디(11)의 축선 방향으로 일치하고 있다. 구멍(72)의 내주연(內周緣)은, 한 쌍의 장측 테두리(緣)(72a)와, 제1 만곡 테두리(彎曲緣)(72b)과, 제2 만곡 테두리(72c)으로 형성되고 있다. 2개의 장측 테두리(72a)는, 구멍(72)의 길이 방향으로 서로 평행으로 연장된다. 제1 만곡 테두리(72b)은 반달형으로 만곡하고, 2개의 장측 테두리(72a)에서의 제1 단부끼리를 접속한다. 제2 만곡 테두리(72c)은 반달형으로 만곡하고, 2개의 장측 테두리(72a)에서의 제2 단부끼리를 접속한다.As shown in FIG. 4 , a recess 11c is formed on the outer surface of the outer peripheral wall of the body 11 . And the hole 72 is formed in the bottom surface 11d of the recessed part 11c. The hole 72 communicates with the large-diameter hole 14b of the sensor accommodating hole 14 . The hole 72 has an elliptical shape in plan view. The longitudinal direction of the hole 72 coincides with the axial direction of the body 11 . The inner periphery of the hole 72 is formed of a pair of long-side rims 72a, a first curved rim 72b, and a second curved rim 72c. . The two long-side edges 72a extend parallel to each other in the longitudinal direction of the hole 72 . The 1st curved edge 72b curves in a half-moon shape, and connects the 1st ends in the two long-side edge 72a. The second curved edge 72c is curved in a half-moon shape, and connects the second ends of the two long-side edges 72a.

도 2에 나타내듯이, 플랜지(52c)가 소경공(14a)의 내측에 배치되어 있고, 센서 케이스 본체(51)가, 부세 부재(65)와 헤드 커버(39)에 의해서 사이에 끼운 상태에서, 볼트(71)의 머리 부분(71a)은, 구멍(72)의 제1 만곡 테두리(72b) 가까이에 위치하고 있다. 이 때, 바디(11)의 축선 방향에서, 볼트(71)의 머리 부분(71a)과 구멍(72)의 제2 만곡 테두리(72c) 사이의 거리 L1는, 테이퍼면(14c)으로부터 씰 부재(66)까지의 거리 L2보다 크다.As shown in Fig. 2, in a state in which the flange 52c is disposed inside the small-diameter hole 14a and the sensor case body 51 is sandwiched by the biasing member 65 and the head cover 39, The head 71a of the bolt 71 is located close to the first curved edge 72b of the hole 72 . At this time, in the axial direction of the body 11, the distance L1 between the head 71a of the bolt 71 and the second curved rim 72c of the hole 72 is, from the tapered surface 14c, the seal member ( 66) is greater than the distance L2.

도 4에 나타내듯이, 요부(11c)의 저면(11d)에는, 배선용 삽통공(11h)이 형성되고 있다. 도 2에 나타내듯이, 배선용 삽통공(11h)은, 구멍(72)보다 헤드 커버(39) 가까이에 위치함과 동시에, 센서 수용공(14)의 대경공(14b)에 연통하고 있다. 또, 케이스 부재(54)에는, 노치(切欠)(54k)가 형성되고 있다. 배선용 삽통공(11h)와 노치(54k)는, 바디(11)의 축선 방향에 대해서 직교하는 방향으로 서로 겹치고 있다. 그리고, 1차 코일(61) 및 2개의 2차 코일(62)로부터 인출(引出)된 상기 배선(73)은, 노치(54k) 및 배선용 삽통공(11h)을 통과하여 요부(11c) 내를 향해서 연장되고 있다.As shown in Fig. 4, a through-hole 11h for wiring is formed in the bottom surface 11d of the recess 11c. As shown in FIG. 2 , the wiring insertion hole 11h is located closer to the head cover 39 than the hole 72 , and is in communication with the large-diameter hole 14b of the sensor accommodating hole 14 . Further, a notch 54k is formed in the case member 54 . The wiring insertion hole 11h and the notch 54k overlap each other in a direction orthogonal to the axial direction of the body 11 . Then, the wiring 73 drawn out from the primary coil 61 and the two secondary coils 62 passes through the notch 54k and the wiring insertion hole 11h to pass through the recess 11c. is extended towards

도 1에 나타내듯이, 바디(11)의 외주벽의 외측면에는, 증폭기(74)가 탑재되고 있다. 따라서, 증폭기(74)는, 파지 장치(10)에 일체화되고 있다. 증폭기(74)는, 요부(11c)를 폐색 한 상태로 바디(11)의 외주벽의 외측면에 장착되고 있다. 상기 배선(73)에서의 1차 코일(61) 및 2개의 2차 코일(62)과는 반대측의 단부는, 증폭기(74)에 전기적으로 접속되고 있다. 증폭기(74)는, 연결기(74a)를 통해 외부 제어 기기(75)에 전기적으로 접속되고 있다. 증폭기(74)는, 각 2차 코일(62)로부터 출력되는 유기 전압을 증폭한다. 그리고, 증폭기(74)에 의해서 증폭된 전압은, 연결기(74a)를 통해 외부 제어 기기(75)에 공급된다.As shown in FIG. 1 , an amplifier 74 is mounted on the outer surface of the outer peripheral wall of the body 11 . Accordingly, the amplifier 74 is integrated into the gripping device 10 . The amplifier 74 is mounted on the outer surface of the outer peripheral wall of the body 11 in a state in which the recess 11c is closed. Ends of the wiring 73 on the side opposite to the primary coil 61 and the two secondary coils 62 are electrically connected to the amplifier 74 . The amplifier 74 is electrically connected to the external control device 75 via a connector 74a. The amplifier 74 amplifies the induced voltage output from each secondary coil 62 . Then, the voltage amplified by the amplifier 74 is supplied to the external control device 75 through the connector 74a.

다음으로, 본 실시 형태의 작용에 대해 설명한다.Next, the effect|action of this embodiment is demonstrated.

피스톤(24)의 왕복동에 수반하여 코어축(63)이 왕복동함으로써, 2개의 2차 코일(62)에 발생하는 유기 전압에 차이가 생긴다. 이 유기 전압의 차이는, 코어축(63)의 위치에 따라 변화한다. 또, 한 쌍의 마스터 조(33)의 이동량과 피스톤(24)의 이동량과는 비례 관계에 있다. 따라서, 외부 제어 기기(75)는, 2개의 2차 코일(62)로부터 상기 배선(73) 및 증폭기(74)를 통해 공급되는 유기 전압의 차이의 변화량을 검출하는 것에 의해서, 코어축(63)의 이동량, 즉 피스톤(24)의 이동량이 검출 가능해진다. 결과적으로, 한 쌍의 마스터 조(33)의 이동량이 검출 가능해진다. 이것에 의하면, 한 쌍의 마스터 조(33)의 위치가 리니어에 검출 가능해지고, 한 쌍의 마스터 조(33)의 위치 검출이 고정밀도로 행해진다.When the core shaft 63 reciprocates with the reciprocation of the piston 24 , a difference occurs in the induced voltage generated in the two secondary coils 62 . The difference in this induced voltage changes according to the position of the core shaft 63 . Moreover, there exists a proportional relationship between the movement amount of the pair of master jaws 33, and the movement amount of the piston 24. As shown in FIG. Accordingly, the external control device 75 detects the change amount of the difference in the induced voltage supplied from the two secondary coils 62 through the wiring 73 and the amplifier 74, thereby The amount of movement of , that is, the amount of movement of the piston 24 can be detected. As a result, the movement amount of a pair of master jaws 33 becomes detectable. According to this, the position of a pair of master jaws 33 becomes detectable linearly, and the position detection of a pair of master jaws 33 is performed with high precision.

또, 외부 제어 기기(75)는, 한 쌍의 마스터 조(33)가 워크(W1)를 파지하고 있을 때에, 한 쌍의 마스터 조(33)의 위치를 검출함으로써, 한 쌍의 마스터 조(33)의 위치 정보에 근거하여, 워크(W1)의 치수를 측정할 수도 있다. 따라서, 본 실시 형태의 LVDT 센서(50)는, 워크(W1)의 치수를 측정하기 위해서 이용되는 측장(測長) 센서라고 해도 기능한다.Moreover, the external control device 75 detects the position of a pair of master jaws 33, when a pair of master jaws 33 hold the workpiece|work W1, By detecting the position of a pair of master jaws 33 ), it is also possible to measure the dimension of the workpiece W1 based on the position information. Therefore, the LVDT sensor 50 of this embodiment functions also as a length sensor used in order to measure the dimension of the workpiece|work W1.

도 5에 나타내듯이, 예를 들면, 메인터넌스시 등, 바디(11)에 대한 헤드 커버(39)의 조립(組付)이나 떼어낸다(取外). 이 때, 케이스 부재(54)에서의 헤드 커버(39)에 대향하는 단면과 헤드 커버(39)가 맞닿은 상태로 헤드 커버(39)의 수나사부(39a)에서의 암나사공(13)에 대한 나진(螺進) 또는 나퇴(螺退)를 하면, 센서 케이스 본체(51)가 헤드 커버(39)와 함께 따라 돌려고 한다. 이 때, 볼트(71)의 머리 부분(71a)이, 구멍(72)의 2개의 장측 테두리(72a)의 일방에 접촉함으로써, 센서 케이스 본체(51)에서의 바디(11)에 대한 회전이 방지된다.As shown in Fig. 5, for example, during maintenance or the like, assembly or removal of the head cover 39 to the body 11 is performed. At this time, in a state in which the end face of the case member 54 opposite to the head cover 39 and the head cover 39 are in contact with the female screw hole 13 in the male screw portion 39a of the head cover 39 , it is spread out. When (螺進) or protruding (螺退), the sensor case main body (51) tries to turn along with the head cover (39). At this time, the head 71a of the bolt 71 contacts one of the two long-side edges 72a of the hole 72, so that rotation of the sensor case body 51 with respect to the body 11 is prevented. do.

예를 들면, 메인터넌스시 등, 센서 케이스 본체(51)를 바디(11)로부터 떼어낼 때, 우선, 헤드 커버(39)가 바디(11)로부터 떼어내지고, 증폭기(74)가 바디(11)의 외주벽의 외측면으로부터 떼어내진다. 그리고, 볼트(71)의 머리 부분(71a)이 구멍(72)의 제2 만곡 테두리(72c)에 맞닿을 때까지, 볼트(71)의 머리 부분(71a)이 제2 만곡 테두리(72c)을 향해서 이동된다. 그리고, 센서 케이스 본체(51)가 암나사공(13)을 향해서 이동하고, 플랜지(52c)가, 소경공(14a)으로부터 테이퍼면(14c)을 통해 대경공(14b)의 내측에 위치한다. 이것에 의해, 씰 부재(66)에서의 플랜지(52c)의 외주면과 소경공(14a)의 내주면 사이의 씰이 해제되어, 씰 부재(66)와 바디(11) 사이의 접동 저항이 저하한다. 그 결과, 센서 케이스 본체(51)에서의 바디(11) 내에서의 축선 방향으로의 이동이 부드럽게 되어, 센서 케이스 본체(51)가 바디(11)로부터 떼어내기 쉬워진다. 그리고, 볼트(71)를 케이스 부재(54)로부터 떼어내고, 센서 케이스 본체(51)를 관통공(12)으로부터 뽑아 냄(引拔)으로써, 센서 케이스 본체(51)가 바디(11)로부터 떼어내진다.For example, when removing the sensor case body 51 from the body 11 during maintenance or the like, first, the head cover 39 is removed from the body 11 , and the amplifier 74 is connected to the body 11 . detached from the outer surface of the outer peripheral wall of And, until the head 71a of the bolt 71 abuts against the second curved edge 72c of the hole 72, the head 71a of the bolt 71 engages the second curved edge 72c. is moved towards Then, the sensor case body 51 moves toward the female threaded hole 13, and the flange 52c is located inside the large diameter hole 14b from the small diameter hole 14a through the tapered surface 14c. Thereby, the seal between the outer peripheral surface of the flange 52c in the seal member 66 and the inner peripheral surface of the small-diameter hole 14a is released, and the sliding resistance between the seal member 66 and the body 11 decreases. As a result, the movement of the sensor case body 51 in the axial direction within the body 11 becomes smooth, and the sensor case body 51 becomes easy to be removed from the body 11 . Then, the bolt 71 is removed from the case member 54 and the sensor case body 51 is pulled out from the through hole 12 to separate the sensor case body 51 from the body 11 . thrown out

상기 실시 형태에서는 이하의 효과를 얻을 수 있다.In the said embodiment, the following effects can be acquired.

(1) 파지 장치(10)는, 센서 케이스 본체(51)의 축선의 주위에서 센서 케이스 본체(51)에 대해서 맞닿음과 동시에 센서 케이스 본체(51)를 헤드 커버(39)를 향해서 힘을 가하여 헤드 커버(39)와 협동하여 센서 케이스 본체(51)를 사이에 끼우는 부세 부재(65)를 구비하고 있다. 이것에 의하면, 센서 케이스 본체(51)는, 상기 센서 케이스 본체(51)의 축선의 주위에서 맞닿는 부세 부재(65)와 헤드 커버(39)에 의해서 사이에 끼우고, 센서 케이스 본체(51)가, 코어축(63)의 축선에 대해서 기울어진 상태로 바디(11) 내에 배치되는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 코어축(63)에서의 센서 케이스 본체(51)에 대한 출몰 동작을 부드럽게 할 수 있다.(1) The gripping device 10 abuts against the sensor case body 51 around the axis of the sensor case body 51 and simultaneously applies a force to the sensor case body 51 toward the head cover 39 , A biasing member 65 is provided for sandwiching the sensor case body 51 in cooperation with the head cover 39 . According to this, the sensor case body 51 is sandwiched between the biasing member 65 and the head cover 39 that abut on the periphery of the axis of the sensor case body 51, and the sensor case body 51 is , it can be suppressed from being disposed in the body 11 in a state inclined with respect to the axis of the core shaft 63 . Accordingly, the moving in and out of the core shaft 63 with respect to the sensor case body 51 can be smoothed.

(2) 센서 케이스 본체(51)의 외주면에는, 센서 케이스 본체(51)의 외주면과 바디(11)의 내주면 사이를 씰하여 실린더실(23)로부터의 유체의 누락을 억제하는 환상의 씰 부재(66)가 설치되고 있다. 이것에 의하면, 센서 케이스 본체(51)의 축선에 대해서 직교하는 방향에서, 바디(11) 내에서의 센서 케이스 본체(51)의 위치를, 실린더실(23)로부터의 유체의 누락을 억제하는 환상의 씰 부재(66)의 탄성력을 이용하여 위치 결정할 수 있다. 따라서, 센서 케이스 본체(51)의 축선이, 코어축(63)의 축선에 대해서 어긋나는 것을 억제할 수 있기 때문에, 코어축(63)에서의 센서 케이스 본체(51)에 대한 출몰 동작을 더 부드럽게 할 수 있다.(2) An annular sealing member ( 66) is being installed. According to this, in the direction orthogonal to the axis of the sensor case body 51 , the position of the sensor case body 51 in the body 11 is annular for suppressing leakage of fluid from the cylinder chamber 23 . The position can be determined using the elastic force of the seal member 66 of the Therefore, since it is possible to suppress the axial line of the sensor case body 51 from shifting with respect to the axis line of the core shaft 63, it is possible to make the moving in and out operation of the core shaft 63 with respect to the sensor case body 51 smoother. can

(3) 헤드 커버(39)는, 바디(11)에 대해서 나사 삽입되는 수나사부(39a)를 가지고 있다. 또, 파지 장치(10)는, 센서 케이스 본체(51)에서의 바디(11)에 대한 회전을 방지하는 회전 멈춤 기구(70)를 더 구비하고 있다. 이것에 의하면, 예를 들면, 헤드 커버(39)가, 바디(11)에 대해서 압입에 의해서 장착되고 있는 경우에 비하면, 바디(11)에 대한 헤드 커버(39)의 조립성을 향상시킬 수 있다. 또, 예를 들면, 메인터넌스시 등, 헤드 커버(39)를 바디(11)에 대해서 떼어낼 필요가 있는 경우에서도, 헤드 커버(39)가 바디(11)에 대해서 압입에 의해서 장착되고 있는 경우에 비하면, 헤드 커버(39)를 바디(11)에 대해서 용이하게 떼어낼 수 있다. 또한, 바디(11)에 대한 헤드 커버(39)의 조립이나 분리를 실시할 때에, 센서 케이스 본체(51)가 헤드 커버(39)와 함께 따라 돌아 버리는 것을 회전 멈춤 기구(70)에 의해서 방지할 수 있다. 따라서, 센서 케이스 본체(51)가 회전함에 따라, 1차 코일(61) 및 2차 코일(62) 각각에 접속되고 있는 상기 배선(73)이 끌려가 손상되어 버리는 등의 불편이 생기는 것을 회피할 수 있다.(3) The head cover 39 has a male screw portion 39a screwed into the body 11 . Further, the gripping device 10 further includes a rotation stop mechanism 70 that prevents rotation of the sensor case body 51 with respect to the body 11 . According to this, for example, the assembling property of the head cover 39 with respect to the body 11 can be improved compared to the case where the head cover 39 is attached to the body 11 by press-fitting. . Also, for example, when it is necessary to remove the head cover 39 from the body 11 during maintenance or the like, when the head cover 39 is press-fitted to the body 11 . In comparison, the head cover 39 can be easily removed from the body 11 . In addition, when assembling or disassembling the head cover 39 with respect to the body 11, the rotation stop mechanism 70 prevents the sensor case body 51 from rotating along with the head cover 39. can Therefore, as the sensor case body 51 rotates, it is possible to avoid inconvenience such as the wiring 73 connected to each of the primary coil 61 and the secondary coil 62 being dragged and damaged. can

(4) 메인터넌스시 등, 센서 케이스 본체(51)를 바디(11)로부터 떼어낼 때, 볼트(71)의 머리 부분(71a)이 구멍(72)의 제2 만곡 테두리(72c)에 맞닿을 때까지, 볼트(71)의 머리 부분(71a)을 제2 만곡 테두리(72c)을 향해서 이동된다. 이것에 의해, 센서 케이스 본체(51)가 암나사공(13)을 향해서 이동하고, 플랜지(52c)를, 소경공(14a)으로부터 테이퍼면(14c)을 통해 대경공(14b)의 내측에 위치시킬 수 있다. 그 결과, 씰 부재(66)에서의 플랜지(52c)의 외주면과 소경공(14a)의 내주면 사이의 씰이 해제되고, 씰 부재(66)와 바디(11) 사이의 접동 저항을 저하시키는 것이 가능하고, 센서 케이스 본체(51)에서의 바디(11) 내에서의 축선 방향으로의 이동이 부드럽게 되어, 센서 케이스 본체(51)를 바디(11)로부터 용이하게 떼어낼 수 있다.(4) When the sensor case body 51 is removed from the body 11 during maintenance, etc. When the head 71a of the bolt 71 abuts against the second curved edge 72c of the hole 72 , the head 71a of the bolt 71 is moved toward the second curved rim 72c. Thereby, the sensor case body 51 moves toward the female threaded hole 13, and the flange 52c is positioned inside the large diameter hole 14b from the small diameter hole 14a through the tapered surface 14c. can As a result, the seal between the outer peripheral surface of the flange 52c and the inner peripheral surface of the small-diameter hole 14a in the seal member 66 is released, and it is possible to reduce the sliding resistance between the seal member 66 and the body 11 Then, the movement of the sensor case body 51 in the axial direction within the body 11 becomes smooth, so that the sensor case body 51 can be easily removed from the body 11 .

(5) 본 실시 형태에 의하면, 코어축(63)에서의 센서 케이스 본체(51)에 대한 출몰 동작이 부드럽게 행해지기 때문에, 외부 제어 기기(75)로의 한 쌍의 마스터 조(33)의 위치를 정밀도 좋게 검출할 수 있다.(5) According to the present embodiment, the position of the pair of master jaws 33 relative to the external control device 75 is adjusted because the moving in and out of the core shaft 63 with respect to the sensor case body 51 is performed smoothly. It can be detected with high precision.

또한, 상기 실시 형태는, 이하와 같이 변경하여 실시할 수 있다. 상기 실시 형태 및 이하의 변경예는, 기술적으로 모순되지 않는 범위에서 서로 조합하여 실시할 수 있다.In addition, the said embodiment can be implemented by changing as follows. The above-described embodiment and the following modifications can be implemented in combination with each other within a range that is not technically contradictory.

· 도 6에 나타내듯이, 회전 멈춤 기구(70)가, 바디(11)에 나사 삽입되는 볼트(81)와, 센서 케이스 본체(51)에 형성됨과 동시에 볼트(81)의 축부(81a)가 내측에 배치되는 구멍(82)으로 구성되어 있어도 좋다. 요부(11c)의 저면(11d)에는, 볼트(81)의 축부(81a)가 나사 삽입되는 암나사공(11e)이 형성되고 있다. 피복 부재(53)에는, 볼트(81)의 축부(81a)가 삽통되는 홈(53e)이 형성되고 있다. 구멍(82), 홈(53e), 및 암나사공(11e)은, 바디(11)의 축선 방향에 대해서 직교하는 방향으로 서로 겹치고 있다. 그리고, 암나사공(11e) 및 홈(53e)을 통과한 볼트(81)의 축부(81a)의 선단부가 구멍(82)에 삽입되고 있다. 이것에 의하면, 센서 케이스 본체(51)가 헤드 커버(39)와 함께 따라 돌려고 하면, 구멍(82)의 내주면이, 볼트(81)의 축부(81a)의 선단부에 접촉함으로써, 센서 케이스 본체(51)에서의 바디(11)에 대한 회전이 방지된다. 또, 도 6에 나타내는 실시 형태에서는, 파지 장치(10)의 소형화를 도모하기 위해서, 피스톤(24)의 외경이 상기 실시 형태보다 작아지고 있다. 이에 따라, 센서 케이스 본체(51)의 외경도 작아지고 있다. 구체적으로는, 도 6에 나타내는 실시 형태의 센서 케이스 본체(51)는, 상기 실시 형태에서 설명한 케이스 부재(54)가 생략된 구성이 되어 있다.As shown in Fig. 6, the rotation stop mechanism 70 is formed in the bolt 81 screwed into the body 11 and the sensor case body 51, and the shaft portion 81a of the bolt 81 is inside. It may be comprised with the hole 82 arrange|positioned at the. A female screw hole 11e into which the shaft portion 81a of the bolt 81 is screwed is formed in the bottom surface 11d of the recess 11c. A groove 53e through which the shaft portion 81a of the bolt 81 is inserted is formed in the covering member 53 . The hole 82 , the groove 53e , and the female threaded hole 11e overlap each other in a direction orthogonal to the axial direction of the body 11 . Then, the tip end of the shaft portion 81a of the bolt 81 passing through the female threaded hole 11e and the groove 53e is inserted into the hole 82 . According to this, when the sensor case body 51 is rotated along with the head cover 39, the inner peripheral surface of the hole 82 comes into contact with the tip end of the shaft portion 81a of the bolt 81, so that the sensor case body ( Rotation with respect to the body 11 at 51 is prevented. Moreover, in embodiment shown in FIG. 6, in order to achieve size reduction of the holding|gripping tool 10, the outer diameter of the piston 24 is becoming smaller than the said embodiment. Accordingly, the outer diameter of the sensor case body 51 is also reduced. Specifically, the sensor case body 51 of the embodiment shown in Fig. 6 has a configuration in which the case member 54 described in the above embodiment is omitted.

· 실시 형태에서, 실린더실(23)로부터의 유체의 누락을 억제하는 환상의 씰 부재(66)가, 센서 케이스 본체(51)의 외주면에 설치되지 않고, 예를 들면, 스프링 베어링 부재(22)의 외주면, 및 스프링 베어링 부재(22)의 제2 단면(22b)과 센서 케이스 본체(51) 사이에 각각 설치되고 있어도 좋다.In the embodiment, the annular seal member 66 that suppresses leakage of the fluid from the cylinder chamber 23 is not provided on the outer peripheral surface of the sensor case body 51, for example, the spring bearing member 22 may be respectively provided between the outer peripheral surface of the , and the second end surface 22b of the spring bearing member 22 and the sensor case body 51 .

· 실시 형태에서, 헤드 커버(39)가, 바디(11)에 대해서 압입에 의해서 장착되고 있어도 좋다.· In the embodiment, the head cover 39 may be attached to the body 11 by press-fitting.

· 실시 형태에서, 부세 부재(65)가, 예를 들면, 코일 스프링이라도 좋다.· In the embodiment, the biasing member 65 may be, for example, a coil spring.

· 실시 형태에서, LVDT 센서(50)는, 1차 코일(61) 및 2개의 2차 코일(62)이, 본체부(52)의 축선 방향으로 나란하게 배치되어 있는 구성이 아니어도 좋고, 예를 들면, 2개의 2차 코일(62)의 내주측에 1차 코일(61)이 배치되어 있는 구성이어도 좋다.In the embodiment, the LVDT sensor 50 may not have a configuration in which the primary coil 61 and the two secondary coils 62 are arranged side by side in the axial direction of the body part 52, yes For example, the structure in which the primary coil 61 is arrange|positioned on the inner peripheral side of the two secondary coils 62 may be sufficient.

· 실시 형태에서, 증폭기(74)가, 바디(11)의 외주벽의 외측면에 탑재되어 있지 않아도 좋다. 요점은, 증폭기(74)가, 파지 장치(10)에 일체화되어 있지 않아도 좋다.· In the embodiment, the amplifier 74 may not be mounted on the outer surface of the outer peripheral wall of the body 11 . The point is that the amplifier 74 may not be integrated with the gripping device 10 .

· 실시 형태에서, 바디(11)는, 사각 통상으로 한정하지 않고, 예를 들면, 원통형이어도 좋다.· In the embodiment, the body 11 is not limited to a rectangular tubular shape, and for example, a cylindrical shape may be used.

10…파지 장치
11…바디
23…실린더실
24…피스톤
33…마스터 조
39…헤드 커버
39a…수나사부
50…LVDT 센서
51…센서 케이스 본체
61…1차 코일
62…2차 코일
63…코어축
65…부세 부재
66…씰 부재
70…회전 멈춤 기구10… gripping device
11… body
23… cylinder chamber
24… piston
33… Master Joe
39… head cover
39a… male thread part
50… LVDT sensor
51… sensor case body
61... primary coil
62... secondary coil
63… core shaft
65… absence of tax
66… no seal
70… rotation stop mechanism

Claims (3)

유체가 공급 및 배출되는 실린더실을 가지는 통상의 바디와,
상기 실린더실에 수용됨과 동시에 상기 실린더실에 공급 및 배출되는 유체에 의해서 왕복동하는 피스톤과,
상기 바디에서의 축선 방향의 단부에 장착되는 헤드 커버와,
상기 피스톤의 왕복동에 수반하여 개폐 동작을 실시하는 한 쌍의 마스터 조와,
상기 피스톤과 동축에 배치된 상태로 상기 바디에 내장됨과 동시에 상기 한 쌍의 마스터 조의 위치를 검출하는 LVDT 센서를 구비하는 파지 장치며,
상기 LVDT 센서는,
통상의 센서 케이스 본체와,
상기 센서 케이스 본체에 감겨진 1차 코일 및 2개의 2차 코일과,
상기 피스톤과 일체적으로 왕복동함과 동시에 상기 센서 케이스 본체에 대해서 출몰 가능한 코어축을 갖고,
상기 파지 장치는,
상기 센서 케이스 본체와 동축으로 배치되고, 상기 센서 케이스 본체를 기준으로 상기 헤드 커버의 반대편에 위치하고, 일 단면이 상기 센서 케이스 본체에 면 접촉 가능한 스프링 베어링 부재; 및
상기 센서 케이스 본체의 축선의 주위에서 상기 센서 케이스 본체에 대해서 맞닿음과 동시에 상기 센서 케이스 본체를 상기 헤드 커버를 향해서 힘을 가하여 상기 헤드 커버와 협동하여 상기 센서 케이스 본체를 사이에 끼우는 부세 부재를 구비하고,
상기 스프링 베어링 부재는, 상기 일 단면으로부터 함몰 형성되어 상기 부세 부재를 수용하는 용수철 수용홈을 포함하는, 파지 장치.
A conventional body having a cylinder chamber to which the fluid is supplied and discharged;
A piston accommodated in the cylinder chamber and at the same time reciprocating by the fluid supplied to and discharged from the cylinder chamber;
a head cover mounted on an axial end of the body;
A pair of master jaws performing an opening and closing operation accompanying the reciprocating movement of the piston;
It is a gripping device having an LVDT sensor for detecting the position of the pair of master jaws while being embedded in the body in a state of being coaxial with the piston,
The LVDT sensor is
A normal sensor case body,
a primary coil and two secondary coils wound around the sensor case body;
It has a core shaft that can reciprocate integrally with the piston and retract and retract with respect to the sensor case body,
The holding device,
a spring bearing member disposed coaxially with the sensor case body, positioned opposite the head cover with respect to the sensor case body, and having one end face contactable with the sensor case body; and
A biasing member is provided that abuts against the sensor case body around the axis of the sensor case body and at the same time applies a force toward the head cover to cooperate with the head cover to sandwich the sensor case body. do,
The spring bearing member is formed to be recessed from the one end surface and includes a spring accommodating groove for accommodating the biasing member.
 제1항에 있어서,
상기 센서 케이스 본체의 외주면에는, 상기 센서 케이스 본체의 외주면과 상기 바디의 내주면 사이를 씰하여 상기 실린더실로부터의 유체의 누락을 억제하는 환상의 씰 부재가 설치되고 있는 파지 장치.
According to claim 1,
An annular sealing member is provided on the outer circumferential surface of the sensor case body to seal between the outer circumferential surface of the sensor case body and the inner circumferential surface of the body to suppress leakage of fluid from the cylinder chamber.
 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 헤드 커버는, 상기 바디에 대해서 나사 삽입되는 수나사부를 갖고,
상기 센서 케이스 본체에서의 상기 바디에 대한 회전을 방지하는 회전 멈춤 기구를 더 구비하고 있는 파지 장치.3. The method of claim 1 or 2,
The head cover has a male threaded portion screwed into the body,
The holding device further comprising a rotation stop mechanism for preventing rotation of the sensor case body with respect to the body.
KR1020190094966A 2018-08-08 2019-08-05 Holding device KR102344563B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018149479A JP6867340B2 (en) 2018-08-08 2018-08-08 Gripping device
JPJP-P-2018-149479 2018-08-08

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200017355A KR20200017355A (en) 2020-02-18
KR102344563B1 true KR102344563B1 (en) 2021-12-29

Family

ID=69186014

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190094966A KR102344563B1 (en) 2018-08-08 2019-08-05 Holding device

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP6867340B2 (en)
KR (1) KR102344563B1 (en)
CN (1) CN110815264B (en)
DE (1) DE102019121213A1 (en)
TW (1) TWI742407B (en)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3122021B2 (en) * 1995-10-09 2001-01-09 扶桑工機株式会社 Article transfer gripping device
JP4337039B2 (en) * 2003-12-02 2009-09-30 Ｓｍｃ株式会社 Electric chuck

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5946755B2 (en) * 1977-09-08 1984-11-14 大同特殊鋼株式会社 Grip force detection device for mechanical hand
JPH11320474A (en) * 1998-05-12 1999-11-24 Kondo Seisakusho:Kk Holding device with claw position detecting mechanism
JP4122490B2 (en) * 1999-10-04 2008-07-23 Ｓｍｃ株式会社 Combined type air chuck with position detection mechanism
WO2007096322A2 (en) * 2006-02-23 2007-08-30 Abb Ab A system for controlling the position and orientation of an object in dependence on received forces and torques from a user
FR2911956B1 (en) * 2007-01-29 2009-05-08 Hispano Suiza Sa DEVICE FOR MEASURING THE POSITION OF A PISTON IN A CYLINDER, A SET OF A CYLINDER, A PISTON AND A SUCH DEVICE AND AN AIRCRAFT ENGINE COMPRISING SUCH AN ASSEMBLY
JP6628076B2 (en) * 2015-06-30 2020-01-08 Smc株式会社 Chuck device
JP6353825B2 (en) * 2015-12-22 2018-07-04 Ckd株式会社 Gripping device
JP6661473B2 (en) * 2016-05-26 2020-03-11 大同特殊鋼株式会社 Transfer device gripping mechanism

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3122021B2 (en) * 1995-10-09 2001-01-09 扶桑工機株式会社 Article transfer gripping device
JP4337039B2 (en) * 2003-12-02 2009-09-30 Ｓｍｃ株式会社 Electric chuck

Also Published As

Publication number Publication date
DE102019121213A1 (en) 2020-02-13
JP2020023031A (en) 2020-02-13
TW202012132A (en) 2020-04-01
KR20200017355A (en) 2020-02-18
CN110815264B (en) 2023-04-07
TWI742407B (en) 2021-10-11
CN110815264A (en) 2020-02-21
JP6867340B2 (en) 2021-04-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6666429B2 (en) Flow rate control valve
JP4811261B2 (en) Sealing material press-fitting device
US20150076753A1 (en) Overtravel Pressure Relief For A Gas Spring
EP3284958B1 (en) Cylinder device
KR102344563B1 (en) Holding device
US9719606B1 (en) Vacuum breaker valve
JP2001003863A (en) Port plug
TWI733086B (en) Poppet switch valve device and method for manufacturing poppet switch valve device
CN104697414B (en) A kind of stamping parts hole position detection pin
CN107208669B (en) Fluid pressure cylinder
US10835964B2 (en) Gripper
US5399837A (en) Wire brake for robotic welding torch
US7108013B2 (en) Relief valve assembly
KR20130060316A (en) Oil immersed solenoid
KR101852159B1 (en) Pipe joint
WO2022052237A1 (en) End effector
US9808921B2 (en) Press-fit installation tool with dynamic load assist and method of press-fitting
CN210372023U (en) High-pressure needle valve
JP6546167B2 (en) Stroke detection device
US8274008B2 (en) EDM spindle assembly with fluid seal
KR20210031962A (en) Work support
KR200493732Y1 (en) Fluid pressure cylinder for vacuum suction
US20070180608A1 (en) Quick connection, and liquid supply system provided therewith
AU2018247288A1 (en) Access port for a fluid system
KR20050034111A (en) One-touch tube connector

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right